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controlling processの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1768件
A process of plating Sn on the sliding surface and a process of projecting the solid lubricant are singly performed in the order and, therefore, the ratio of mixing Sn and the solid lubricant can be controlled freely by controlling the amount of lamination of Sn or the solid lubricant on each process.例文帳に追加
Snをめっきする工程と、固体潤滑剤を投射する工程とが順次単独で実行されるため、各工程においてSnまたは固体潤滑剤の積層量を制御すれば、Snおよび固体潤滑剤の混合比率を自由に制御することができる。 - 特許庁
The vacuum dryer includes a first process of raising temperature in an airtight atmosphere with respect to the particulate matter, a second process of raising the temperature while controlling internal pressure by a pressure regulating valve, and a third process of maintaining a predetermined temperature while sucking by a vacuum pump.例文帳に追加
粒状物質に対して、気密雰囲気で昇温させる第1工程と、圧力調整弁にて内部圧力をコントロールしながら昇温させる第2工程と、真空ポンプにて吸引しながら所定温度を維持させる第3工程とを含んで構成される真空乾燥装置である。 - 特許庁
To provide a method for controlling polymerization of (meth)acrylic acid and a (meth)acrylic acid ester, which reduces causes of stains of a production process, a purification process, a storage or transportation process of (meth)acrylic acid and/or a (meth)acrylic acid ester and discoloration of (meth)acrylic acid and a (meth)acrylic acid ester.例文帳に追加
(メタ)アクリル酸および/または(メタ)アクリル酸エステルの製造工程、精製工程、貯蔵あるいは輸送工程において、当該工程の汚れの原因及び(メタ)アクリル酸および(メタ)アクリル酸エステルの着色を低減する(メタ)アクリル酸および(メタ)アクリル酸エステルの重合抑制方法を提供する。 - 特許庁
To provide a vacuum processing apparatus that includes a plurality of processing chambers and whose process is controlled by a ladder program, and facilitates process management and progress confirmation by improving visibility about the process management and the progress confirmation of each kind of apparatus, and to provide a method of controlling the same or the like for the same.例文帳に追加
複数の処理室を有しかつラダープログラムで工程が制御される真空処理装置で、工程管理、各種機器の進捗確認について可視性を向上させ、工程管理と進捗確認を容易に行える真空処理装置とその制御方法等を提供する。 - 特許庁
To provide a control method of a coating apparatus which shortens the overall process time without repeating the process for controlling a gap between a substrate and a nozzle by elevating and lowering a dispenser two or more times during the process to form a plurality of patterns on the substrate.例文帳に追加
基板上に複数のパターンを形成する工程中でディスペンサを複数回にわたって上昇・下降させて前記基板とノズルとの間のギャップを調節する過程を繰り返さないで、全体の工程時間を短縮する、塗布装置の制御方法を提供する。 - 特許庁
In the method for producing the semiconductor structure, this method is provided with a process for controlling the SOI wafer having a plurality of active areas thereon, a process for forming the CMOS in the first active area on the wafer, and a process for forming the SiGe HBT in the other active area on the wafer.例文帳に追加
半導体構造を製造する方法は、上に複数の活性領域を有するSOI基板を調整する工程と、基板上の第1の活性領域にCMOSを形成する工程と、基板上の別の活性領域にSiGe HBTを形成する工程とを包含する。 - 特許庁
According to an operation start instruction by the operation of an operation start instructing means provided in an operating means 12 by a user, washing process, rinsing process and drying process are successively executed while controlling the temperature by the heater 15 on the basis of the temperature information obtained through the temperature sensor 17.例文帳に追加
操作手段12に設けてある運転開始指令手段を使用者が操作することによる運転開始指令に伴い、温度センサ17を介して得られる温度情報に基づきヒータ15による温度制御を行ないながら、洗浄行程、すすぎ行程、乾燥行程を順次実行する。 - 特許庁
The method includes controlling the inside of the carburizing chamber to a lower pressure during a heating process before the component to be treated reaches the carburizing temperature than during a carburizing process after the component has reached the carburizing temperature, so as to inhibit carburization during the heating process.例文帳に追加
前記被処理部品を前記浸炭温度に加熱するまでの昇温過程の間、前記浸炭室内の圧力を、前記浸炭温度に加熱してからの浸炭処理過程のときにおける圧力よりも、当該昇温過程の間における浸炭を抑制するように低くする。 - 特許庁
The method for controlling the injection molding machine is applied to the injection molding machine for conducting a molding cycle including an injecting process and the dwelling process continued thereto and conducting at least one step of a pressure control for maintaining a resin pressure at a set value in the dwelling process.例文帳に追加
本制御方法は、射出工程とそれに続く保圧工程とを含む成形サイクルを実行する射出成形機であって、前記保圧工程では樹脂圧力を設定値に維持するための圧力制御が少なくとも1段実行される射出成形機に適用される。 - 特許庁
An image adjusting process part 704 performs wavelet transform on the image signals read by the film scanner of a film scanner part 9 and performs a noise elimination process (process of controlling signal strength) on the image signals of high-frequency band components created by the wavelet transform.例文帳に追加
画像調整処理部704は、フィルムスキャナ部9のフィルムスキャナにより読み取られた画像信号に対して、ウェーブレット変換を施し、ウェーブレット変換により生成された高周波帯域成分の画像信号に対して、ノイズ除去処理(信号強度の抑制処理)を施す。 - 特許庁
To provide a process liquid level control unit for controlling the deviation between a control target value and a control measurement value and reducing the amount of change in process control output in process liquid level control, where the deviation between the control target value and the control measurement value does not necessarily have to be reduced.例文帳に追加
制御目標値と制御計測値との偏差を必ずしも小さくさせる必要がないプロセス液面制御において、制御目標値と制御計測値との偏差を制御し、かつ、プロセス制御出力の変化量を少なくすることができるプロセス液面制御装置を提供する。 - 特許庁
This method for controlling the exhaust quantity of nitrogen oxide from the internal combustion engine (ICE) 102 includes: a process of determining the timing in which the engine speed is under a first predetermined level; and a process of controlling an oxygen substitution valve (ODV)so that at least part of exhaust gas generated by an ICE 102 is guided to an intake flow of the internal combustion engine.例文帳に追加
内燃機関(ICE)102からの窒素酸化物の排出量を制御する方法は、エンジン速度が第1所定レベル未満である時期を判定する工程、及び、ICE102が発生する排気の少なくとも一部が内燃機関の吸気流に導かれるように、酸素置換バルブ(ODV)130を制御する工程、を含む。 - 特許庁
In the image forming apparatus in which a visual image can be transferred simultaneously to both sides of a recording medium, a control means 300A for controlling an image forming process is provided inside the loop of a second image carrier 10 and a second control means 300B for controlling the image forming process is provided inside the loop of a third image carrier 100.例文帳に追加
記録媒体の両面に顕像を同時に転写可能な画像形成装置において、第2の像担持体10のループ内側に作像工程を制御する制御手段300A、第3の像担持体100のループ内側に作像工程を制御する第2の制御手段300Bがそれぞれ設けられている。 - 特許庁
To rapidly and accurately confirm the effects of a papermaking chemical such as a yield improving agent, drainage improving agent, coagulant, pitch controlling agent which are added to water in a papermaking process, such as raw material slurry for paper or slurry in an inlet of the papermaking process, and properly controlling injection rate of the papermaking chemicals based on the monitoring result.例文帳に追加
抄紙工程において紙の原料スラリーやインレット内スラリー等の抄紙工程水に添加される歩留向上剤、濾水性向上剤、凝結剤、ピッチコントロール剤等の製紙用薬剤の効果を迅速かつ確実に確認し、この監視結果に基づいて製紙用薬剤の注入量を的確に制御する。 - 特許庁
To provide a printer in which are provided wire connection ports, a radio communication device for transmitting and receiving data by radio communication, a reception data processing device for controlling received reception data, and a printing process mechanism for carrying out a printing process, a POS system, a method for controlling radio communication, and an information recording medium.例文帳に追加
有線接続ポートと、無線通信によってデータを送受信する無線通信装置と、受信した受信データを制御する受信データ処理装置と、印刷処理を実行する印字処理機構とを備えたプリンタ、POSシステム、無線通信制御方法および情報記録媒体を提供する。 - 特許庁
The process control method is characterized by setting and controlling at least two setting values within a fixed range by installing the means to control independently at least two control factors which bring about an effect of a reverse direction out of control factors for controlling a process condition within a certain range.例文帳に追加
(2)プロセス条件を一定範囲に制御するための制御因子のうち、逆方向の効果をもたらす少なくとも2つの制御因子に対して独立して制御する手段を設置して、一定の制御範囲内で少なくとも2個以上の設定値を設定し、制御することを特徴とするプロセス制御方法。 - 特許庁
In the process mode, the voltage according to the execution process content is applied by controlling the driving power section 3 based on a command from outside and in the picture-output mode, the starting control is performed appropriately by displaying the input image promptly by controlling the driving power section 3 based on a predetermined sequence.例文帳に追加
プロセスモードの場合には、外部からのコマンドに基づいて駆動電源部3を制御して、実行プロセス内容に応じた電圧を印加し、絵だしモードの場合には、所定のシーケンスに基づいて駆動電源部3を制御して、速やかに入力映像を表示することにより、立ち上げ制御を好適に行うことができる。 - 特許庁
A CPU installed in a presentation controlling microcomputer prevents the start of execution of a presentation controlling interrupt process corresponding to the occurrence of a timer interrupt by starting a loop process if the value in an event interrupt stand-by timer reaches a limit time determination value without detecting an event interrupt (the step S372: Yes).例文帳に追加
演出制御用マイクロコンピュータが備えるCPUは、イベント割込みの発生が検出されずにイベント割込み待ちタイマ値が制限時間判定値に達すると(ステップS372;Yes)、ループ処理に入ってタイマ割込みの発生に対応する演出制御割込み処理の実行を開始させないようにする。 - 特許庁
A CPU installed in a presentation controlling microcomputer prevents the start of execution of a presentation controlling interrupt process corresponding to the occurrence of a timer interrupt by starting a loop process if the value in an event interrupt stand-by timer reaches a limit time determination value without detecting the occurrence of the event interrupt (the step S372: Yes).例文帳に追加
演出制御用マイクロコンピュータが備えるCPUは、イベント割込みの発生が検出されずにイベント割込み待ちタイマ値が制限時間判定値に達すると(ステップS372;Yes)、ループ処理に入ってタイマ割込みの発生に対応する演出制御割込み処理の実行を開始させないようにする。 - 特許庁
The carbo-nitriding method is the method for carbo-nitriding a treating material composed of steel containing ≥0.8mass% carbon, and is provided with: an atmosphere control process for controlling the atmosphere in a heat-treatment furnace; and a heating pattern control process for controlling the temperature hysteresis given to the treating material.例文帳に追加
浸炭窒化方法は、0.8質量%以上の炭素を含有する鋼からなる被処理物を浸炭窒化するための浸炭窒化方法であって、熱処理炉内の雰囲気が制御される雰囲気制御工程と、被処理物に付与される温度履歴が制御される加熱パターン制御工程とを備える。 - 特許庁
Since it is easier to manufacture the grove 2 and the tooth 5 with controlling dimensional precision in each group than to manufacturing the same with controlling dimensional precision of whole grooves and teeth consequently as a conventional process, the cost of the single screw compressor can be reduced.例文帳に追加
溝2および歯5を、従来におけるように全て同時に寸法精度を制御して製造するよりも、グループ毎に寸法精度を制御して製造するほうが容易であるから、このシングルスクリュー圧縮機が安価になる。 - 特許庁
To provide a pH controlling apparatus in a water purification plant with reduced cost of the whole water purifying process by optimizing an injection ratio of a pH controlling chemical according to variation in raw water qualities, and supplying a stable water quality.例文帳に追加
原水水質の変動に応じてpH調整用薬品の注入率を最適化することで浄水プロセス全体のコストを低減し、安定した水質を提供する浄水場におけるpH制御装置を提供すること。 - 特許庁
To execute a printing process by an optimum printer controlling program according to the kind of the medium to be used without the need of manually changing the printer controlling program in a printer device so as to always obtain a good printing result.例文帳に追加
手動でプリンタ装置内のプリンタ制御プログラムを変更することなく、使用するメディア種別に応じた最適なプリンタ制御プログラムでプリント処理が実行され、もって、常に良好な印刷結果が得られるようにする。 - 特許庁
The system includes a workstation, a database for storing meter specification data of one or more process control devices for controlling a process executed in a process plant environment, a wireless gateway for wirelessly communicating with the process control devices, a communication bus for interconnecting the wireless gateway, the workstation and the database, and a stock control application (AP) executed in the workstation.例文帳に追加
システムは、ワークステーションと、プロセスプラントの環境で実行されるプロセスを制御するための1つ以上のプロセス制御デバイスの計器仕様データを格納するデータベースと、プロセス制御デバイスとワイヤレスで通信するワイヤレスゲートウェイと、ワイヤレスゲートウェイ、ワークステーション、及びデータベースを相互接続する通信バスと、ワークステーションで実行される在庫制御アプリケーション(AP)とを含む。 - 特許庁
In the solar cell controller 24 for controlling cooling process of the solar cell 12, the cooling process is controlled to result in amount of power generation energy larger than amount of cooling energy by comparing the amount of cooling energy equivalent to amount of energy consumed for the cooling process with the amount of power generation energy equivalent to amount of power generation that is increased with fall of temperature by the cooling process.例文帳に追加
太陽電池12の冷却を制御する太陽電池制御装置24において、冷却のために消費されるエネルギ量である冷却エネルギ量と、冷却による温度低下によって増加する発電量である発電エネルギ量とを比較して、発電エネルギ量が冷却エネルギ量より大きくなるように冷却を制御する。 - 特許庁
Inside the operating system(OS), a managing table is provided for controlling the state of using the cache and when starting the process, the OS receives the position information of a most frequent execution part (main part) from the relevant process and controls the load address of the process so as not to overlap a cache address corresponding to the main part with an existent process by collating the information with the managing table.例文帳に追加
OS内にキャッシュの使用状態を制御するための管理テーブルを設け、OSはプロセス起動時に、最頻実行部分(主要部)の位置情報を当該プロセスから受取り、管理テーブルとの照合により、主要部に対応するキャッシュアドレスが既存のプロセスとの間で重複しない様に、プロセスのロードアドレスを調整する。 - 特許庁
An image acquirement process (S406) for controlling the exposure and acquiring the plural images different in the exposures, an image management process (S410) managing the plural images different in the exposures and an image generation process (drawing 6) generating the image of the arbitrary exposure from the plural images different in the exposures, which are managed in the image management process, are provided.例文帳に追加
露出を制御して、複数の露出の異なる画像を取得する画像取得工程(S406)と、上記露出の異なる複数の画像を管理する画像管理工程(S410)と、前記画像管理工程で管理された露出の異なる複数の画像から、任意の露出の画像を生成する画像生成工程(図6)とを有する。 - 特許庁
This method for controlling the injection of a medical fluid in the patient using an injector in medical procedure includes a process for collecting the data corresponding to a patient reaction curve produced from the injection of the fluid, a process for determining at least one mathematical model for entering data and a process for controlling the injection of the fluid in the patient by controlling the injector during the medical procedure to form patient reaction at least partially based on the mathematical model.例文帳に追加
本発明は、医療的手順にて、インジェクタを用いて、患者に薬剤流体を注入することを制御する方法であって、流体の注入から生じる患者反応カーブに対応したデータを収集する工程と、データを記載する少なくとも1つの数学的モデルを決定する工程と、医療的手順中にインジェクタを制御して、患者への流体の注入を制御し、一部は少なくとも数学的モデルに基づいた患者反応を生成する工程を有する。 - 特許庁
The game device 10 is provided with the hardware and software for a character growing game, e.g. at least a growth process part 100 and a transmission/reception controller 112 controlling the transmission/ reception process of data for the internet.例文帳に追加
該ゲーム装置10は内部にキャラクタ育成ゲームのためのハードウェア及びソフトウェア、例えば少なくとも育成処理部100及びインターネットに対してデータの受信及び送信処理を制御する送受信制御部112を備える。 - 特許庁
To provide a manufacturing method of semiconductor device including a polishing step for preventing generation of a defect of insulating film after the polishing process, controlling the polishing of a stopper film and readily detecting the final point of the polishing process.例文帳に追加
研磨後の絶縁膜の欠陥の発生を防止し、ストッパー膜に対する研磨を抑制し、研磨の終点の検出を容易に行なうことを可能とする研磨工程を備える半導体装置の製造方法を提供すること。 - 特許庁
A rinsing process with a weak alkaline solution is provided after an APM treating process is carried out, so that an electrostatic force acting between the surface of a substrate and particles can be made minus by controlling, and the particles are prevented from sticking again to the surface of the substrate.例文帳に追加
APM処理工程の後に、弱アルカリ性溶液によるリンス工程を設けることにより、基板表面とパーティクル間に働く静電気力をマイナス側に制御して、基板表面へのパーティクルの再付着を防止する。 - 特許庁
To provide a circuit apparatus which can control appropriately a power supply to each module, according to the function assigned to each module, and to provide its process for fabricating, while controlling the increase in the process for manufacturing and the increase of a circuit scale.例文帳に追加
製造工程の増加や回路規模の増大を抑制しつつ、各モジュールに供給される電源を各モジュールに割り当てる機能に応じて適切に制御することが可能な回路装置とその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a cellulosic porous product which achieves the improvement in productivity and a cost reduction by controlling the crystallization and the particle size of mirabilite crystals in the process of mixing with a viscose and by eliminating an independent crystallization process of mirabilite crystals.例文帳に追加
ボウ硝結晶の独立した結晶化工程を省略して、ビスコースとの混合過程で結晶化と粒径の制御を行ない、生産性向上と低コスト化に貢献するセルロース多孔質体の製造方法を提供する。 - 特許庁
The method for controlling insect pest adhered on plants includes the process providing a treating tank storing a liquid from which fishes are released, and the process soaking the plants into the liquid from which the fishes are released.例文帳に追加
植物に付着した害虫を駆除する方法であって、魚類が放流された液体が貯留されている処理槽を準備する工程と、魚類が放流された液体に植物を浸漬させる工程と、を含む、害虫駆除方法。 - 特許庁
The method comprises a rolling process of rolling unvulcanized rubbers of a high temperature to form the rubber-like sheet, a cooling process of cooling the rolled rubber-like sheet, and a chilling temperature control controlling a drum temperature of a cooling drum used for the cooling.例文帳に追加
高温度の未加硫ゴムを圧延してゴム状シートを形成する圧延工程と、圧延されたゴムシートを冷却する冷却工程と、冷却に用いる冷却ドラムのドラム温度を制御する冷却温度制御とを含む。 - 特許庁
To improve the management accuracy and work efficiency of document information by making correspondent a business process structure and a folder structure when controlling and managing the progress condition of a business process and the document information of the worked result.例文帳に追加
ビジネスプロセスの進行状況とその作業結果である文書情報の制御及び管理において、ビジネスプロセス構造とフォルダ構造を対応させることによって、文書情報の管理精度及び作業効率を向上させる。 - 特許庁
The process control device is characterized by including a means to control independently at least two control factors which bring about an effect of a reverse direction out of control factors for controlling a process condition within a fixed range.例文帳に追加
(1)プロセス条件を一定範囲に制御するための制御因子のうち、逆方向の効果をもたらす少なくとも2つの制御因子に対して独立して制御する手段を含むことを特徴とするプロセス制御装置。 - 特許庁
The rinsing process with a weak alkaline solution is provided after an APM treating process, whereby an electrostatic force acting between the surface of a substrate and particles can be made minus by controlling, and the particles are prevented from sticking again to the surface of the substrate.例文帳に追加
また、APM処理工程の後に、弱アルカリ性溶液によるリンス工程を設けることにより、基板表面とパーティクル間に働く静電気力をマイナス側に制御して、基板表面へのパーティクルの再付着を防止する。 - 特許庁
To provide an image processing system capable of appropriately controlling execution of a printing process for an image on the basis of charging information and capable of efficiently executing a printing process, and to provide a control method for the image forming system, a program and a recording medium.例文帳に追加
課金情報に基づいて画像の印刷処理の実行を適切に制御するとともに、効率よく印刷処理を実行することを可能とする画像処理システム、及びその制御方法、プログラム、記憶媒体を提供する。 - 特許庁
To provide a method and a device capable of controlling a process value of a control object for preventing it from hunting even when an equilibrium condition of the process value is greatly disturbed because of a rapid load change, a change of a carbon type, disturbance, or the like.例文帳に追加
プロセス値が急速負荷変化、炭種変化、外乱等により、プロセス値の平衡状態が大きく崩れた場合でも、前記制御対象のプロセス値がハンチングしないように制御する方法と装置を提供すること。 - 特許庁
To provide a system for detecting abnormality in yarn making, capable of instantaneously detecting occurrence of abnormality which occurs during a yarn-making process for producing yarn composed of a synthetic single fiber group and favorably controlling process abnormality thereby.例文帳に追加
合成単繊維群からなる糸条を製造するための製糸工程中に生じる異常の発生をいち早く検知し、これによって工程異常を良好に管理することができる製糸異常検出システムを提供する。 - 特許庁
To provide a stay bonding method for a silicon ingot capable of easily controlling the pretreatment process of the silicon ingot before fed in a wire saw and capable of also simply performing the grasping of a process treatment state.例文帳に追加
ワイヤソーに搬入する前のシリコンインゴットに対する前処理工程の制御を容易に行うことができるとともに、工程処理状況の把握も簡単に行うことができるシリコンインゴットのステー接着方法を提供する。 - 特許庁
To provide a liquid feed controlling method in decoppering electrolysis, which is capable of keeping high nickel exudation rate in a chlorine exudation process and improving current efficiency in a de-coppering process to reduce the running cost.例文帳に追加
塩素浸出工程でのニッケル浸出率を高く維持できるとともに、脱銅電解工程の電流効率の向上によるランニングコスト低減を計ることのできる脱銅電解における給液調整方法を提供する。 - 特許庁
To provide a process gas transfer piping capable of uniformly controlling the heating of process gas flowing through the inner part of piping to a prescribed temperature and also capable of easily changing a piping system as well as facilitating maintenance, and a film deposition system.例文帳に追加
配管の内部を流れるプロセスガスを所定の温度に均一に加熱制御でき、しかもメンテナンスが容易であるばかりでなく、配管系を容易に変更できるようにしたプロセスガス搬送用配管及び成膜装置を提供する。 - 特許庁
To provide a sequence generation system, a sequence generation method and a sequence generation program which use data outputted from a process device in accordance with an online communication protocol to generate a sequence for controlling the process device efficiently.例文帳に追加
オンライン通信プロトコルに従ってプロセス装置から出力されるデータを用いて、プロセス装置を制御するためのシーケンスを効率的に作成するためのシーケンス生成システム、シーケンス生成方法及びシーケンス生成プログラムを提供する。 - 特許庁
The dynamic X-ray photographing method comprises detecting steps (S2 and S6) for detecting the respiratory cycle of a subject and a controlling process (S3, S4, S7 and S8) for automatically controlling the photographing timing of an X-ray photograph according to the respiratory cycle.例文帳に追加
本発明のダイナミックX線画像撮影方法は、被検者の呼吸サイクルを検出する検出工程(S2,S6)と、前記呼吸サイクルに応じて、X線画像の撮影タイミングを自動制御する制御工程(S3,S4,S7,S8)とを有する。 - 特許庁
In addition, the safety inputting/outputting apparatus 4 and/or the safety monitoring and controlling apparatus 6 are arranged under a condition where a process being important on safety is practiced in use or under a condition where they are distributed into controlling/driving elements 7, 8, 9 and 10 which can be inputted.例文帳に追加
そして、安全入力/出力装置4および/または安全監視制御装置6が、安全上重要な工程を実行するかもしくは入力可能な調節/駆動要素7、8、9、10に分散された状態で配置されている。 - 特許庁
To provide a printer controlling unit capable of executing calculations by outputting outline coordinate data as real numbers with the size reduced to a graphic process for maintaining the accuracy of various kinds of calculations, and a recording medium with a printer controlling program recorded.例文帳に追加
各種演算の精度保持のために、アウトラン座標データを実数でさらにサイズを縮小して描画処理に出力し、演算を行うことを可能にするプリンタ制御装置およびプリンタ制御プログラムを記録した記録媒体を提供すること。 - 特許庁
The process controller 11 performs film forming by calculating (Ii/Ie) upon film forming, obtaining D/R by using the calibration curve of a film formation rate, controlling a mass flow controller 5 based on the obtained D/R, and controlling the flow rate of the delivery gas.例文帳に追加
プロセスコントローラ11は成膜時に(Ii/Ie)を算出し、前記成膜速度検量線を用いてD/Rを求め、求めたD/Rに基づいてマスフローコントローラ5を制御し、搬送ガスの流量を制御して、成膜処理を行う。 - 特許庁
To provide a substrate accommodating apparatus and impurity controlling method for controlling adhesion to semiconductor substrate of impurity such as water or the like in the atmosphere during the waiting or transfer of the semiconductor substrate in the semiconductor manufacturing process.例文帳に追加
半導体製造工程における半導体基板の待機中或いは搬送中に、大気中の水分等不純物の半導体基板への付着を制御できる基板収納装置及びその不純物制御方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
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