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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > dry methodに関連した英語例文

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dry methodの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 4151



例文

To provide a method of recovering a regenerative and highly-pure thermoplastic aromatic polyester resin by a dry process from a multilayer molded body containing a thermoplastic aromatic polyester resin layer and a polyglycolic acid layer.例文帳に追加

熱可塑性芳香族ポリエステル樹脂層及びポリグリコール酸層を含有する多層成形体から、ドライプロセスによって、再利用可能な高純度の熱可塑性芳香族ポリエステル樹脂を回収する方法を提供する。 - 特許庁

In the cleaning method of the semiconductor substrate, the residual generated in dry-etching the insulating film layer is removed by a cleaner including oxidizing agent and chelate agent in the manufacturing process of the semiconductor substrate.例文帳に追加

半導体基板の製造工程において、絶縁膜層のドライエッチング時に発生する残渣物を酸化剤とキレート剤とを含有する洗浄剤により除去することを特徴とする半導体基板の洗浄方法である。 - 特許庁

To provide a dry etching method for precisely treating an area to be etched of a workpiece with the use of a reactive ion etching process using a carbon monoxide gas including a nitrogen-containing compound gas, as a reactant gas.例文帳に追加

含窒素化合物ガスが添加された一酸化炭素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチングを用いて被加工体のエッチング対象領域を精密に加工することができるドライエッチング方法等を提供する。 - 特許庁

Also, in the fire extinguishing method for the oil fire for extinguishing the oil fire caused by the oil inside a container catching fire, the fire is extinguished by floating the water glass dry object foamed by the heat of the fire on the surface of the oil.例文帳に追加

また、容器内部の油に引火して生じた油火災を消火する油火災の消火方法であって、前記油の表面に、火災の熱で発泡した水ガラス乾燥物を浮遊させて消火することとした。 - 特許庁

例文

To provide a manufacturing method of an optical recording medium in which a recording layer is formed by coating an organic pigment solution on the medium and time to dry a solvent is shortened.例文帳に追加

有機色素溶液を塗布することにより記録層を形成する光記録媒体において、溶媒乾燥時間を短縮することを目的とした光記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁


例文

In this way in a manufacturing method for a semiconductor device, the damaged layer 37b as a factor for increasing contact resistance on a surface of the contact plug 37a can be removed in the dry etching step, and the contact resistance can be improved.例文帳に追加

このような半導体装置の製造方法により、コンタクトプラグ表面のコンタクト抵抗の増加要因として作用する損傷層を乾式エッチングで除去することにより、コンタクト抵抗を改善させ得る。 - 特許庁

The method of improving the wrinkles of the skin comprises delivering a dry powder of a water swelling substance having a swelling ratio of 5-10,000 times its own weight into the skin to allow it to swell in the skin.例文帳に追加

自重の5〜10,000倍の膨潤率を有する水膨潤性物質の乾燥した粉末を、皮内に送達し、皮内で膨潤させることにより皮膚のシワを改善するようにしたことを特徴とする。 - 特許庁

To provide a dry etching method capable of increasing an etching rate for a transparent conductive film on a substrate to 1500 to 2000 Å/min. without impairing a selection ratio and also suppressing dusting.例文帳に追加

基板上の透明導電性膜へのエッチングレートを1500〜2000Å/minまで選択比を損なうことなく向上させ、さらにダストの発生も抑制したドライエッチング方法を提供することにある。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a patterned magnetic recording medium by which only a necessary part can be highly accurately machined in a dry etching process when forming a rugged pattern of an interlayer.例文帳に追加

本発明の目的は、中間層の凹凸パターン形成時のドライエッチングプロセスにおいて、必要部位のみを高精度に加工することができる、パターンドメディア型の磁気記録媒体の製造方法を提供することである。 - 特許庁

例文

In a method of manufacturing a ridge semiconductor laser, a lower clad layer 2, an active layer 3, a first upper clad layer 4, a dry etching stop layer 13, an etching stop layer 5, a second upper clad layer 6, a contact layer 7 and a striped mask layer 8 are formed in order on a substrate 1.例文帳に追加

基板1上に、下クラッド層2、活性層3、第1上クラッド層4、ドライエッチングストップ層13、エッチングストップ層5、第2上クラッド層6、コンタクト層7、およびストライプ状のマスク層8を順次形成する。 - 特許庁

例文

To provide a quenching method whereby the capability of a coke dry-quenching(CDQ) apparatus for quenching red-hot coke can be stably improved at a low cost by charging red-hot coke cooled in advance into the CDQ apparatus.例文帳に追加

あらかじめ冷却した赤熱コークスをコークス乾式消火(CDQ)設備に装入し、CDQ設備における赤熱コークスの消火能力を安価に安定して向上できる消火方法を提供する。 - 特許庁

To enhance production efficiency, a homogeneous coating work of an electroconductive coating possible, and improve the work environment in a manufacturing method of an alkaline dry cell to form an electroconductive film between a positive electrode mix and a positive electrode can.例文帳に追加

正極合剤と正極缶との間に導電性被膜を形成するアルカリ乾電池の製造方法において、生産効率を高め、導電性塗料の均質な塗布作業を可能とし、作業環境を改善する。 - 特許庁

To provide a semi-dry adhesion tiling method reducing cost by reducing the amount of material used while enhancing reliability in adhesion fixing, excelling in appearance and uninfluenced by the backing accuracy of an external wall of a building.例文帳に追加

接着固定の信頼性を高めつつ、材料使用量を減らしてコストダウンし、美観に優れ、建物外壁の下地精度に影響受けない半乾式接着タイル張り工法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide dry etching method and system in which etching rate can be raised at the end portion of a body to be etched and in-plane etching rate can be made uniform.例文帳に追加

ドライエッチング方法およびその装置に関し、被エッチング体の端部のエッチング速度を上げ、かつ、面内のエッチング速度を均一化することができるドライエッチング方法およびその装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

The method for producing the nucleic acid-based palatable component-containing laver seasoning extract includes a soaking treatment step of soaking dry laver in mixing water, a hydrolysis treatment step of hydrolyzing the laver after soaking treatment, and an enzymatic hydrolysis treatment step of enzymically hydrolyzing the laver after hydrolysis treatment.例文帳に追加

乾海苔を調合水に浸漬する浸漬処理工程と、浸漬処理後の海苔を加水分解する加水分解処理工程と、加水分解処理後の海苔を酵素分解する酵素分解処理工程とを有する。 - 特許庁

The method for producing polysaccharide coating starch comprises humidifying the mixture of starch and a thickening polysaccharide to 15-50% water content and heat-treating the mixture under dry conditions at 100°C to 200°C.例文帳に追加

澱粉と増粘多糖類の混合物を水分含量が15〜50%になるように調湿した後、乾式条件で100℃〜200℃にて加熱処理することを特徴とする多糖類コーティング澱粉の製造方法。 - 特許庁

This method for producing the minced meat-like albumen processed food, comprising thermally coagulating an albumen-mixed liquid compounded with dry albumen, is characterized by thermally treating the albumen-mixed liquid compounded with 5 to 15% of starch by a steam-injecting method.例文帳に追加

乾燥卵白を配合した卵白混合液を加熱処理して凝固させる挽肉様卵白加工食品の製造方法であって、5〜15%の澱粉を配合した卵白混合液を、蒸気注入法により加熱処理する挽肉様卵白加工食品の製造方法。 - 特許庁

To provide a method for inexpensively transferring a metal film at a low cost in which a dry type metal film can be easily and accurately transferred to a surface of a green sheet without breaking or deforming the sheet, and to provide a method for manufacturing the electronic component having an internal electrode.例文帳に追加

グリーンシートが破壊または変形されることなく、グリーンシートの表面に高精度に乾式タイプの金属膜を容易且つ高精度に転写することが可能であり、しかもコストが安価な金属膜の転写方法および内部電極を持つ電子部品の製造方法を提供すること。 - 特許庁

The electrolyte film of the solid polymer fuel cell is a substrate sheet in which positive ion-conductive fibers are interlaced in a mesh-shape and bonded to one another by a wet paper making method or a dry nonwoven fabric method, impregnated with, composited with and reinforced with an ion-conductive polymer resin.例文帳に追加

固体高分子型燃料電池の電解質膜は、陽イオン伝導性のある繊維を用いて湿式抄紙法もしくは乾式不織布法で網目状に交絡し繊維間で結合した基材シートに、イオン伝導性のある高分子樹脂を含浸して複合させて補強している。 - 特許庁

The problem of a structural defect caused by the formation of a coarse structure, which occurs when the board 1 is manufactured by a dry method, is overcome by setting the width of the groove 2 at 10 mm or less, and an emboss resistance (press load) is reduced when the board 1 is manufactured by a wet method.例文帳に追加

また縦目地溝2の巾を10mm以下に設定することによってこの板1が乾式法で製造された場合に発生する粗構造の形成による構造欠陥の問題を解消し、湿式法で製造された場合のエンボス抵抗(プレス負荷)を軽減する。 - 特許庁

To provide a method for producing an electronic part-sealing sheet-like epoxy resin composition material, by which the thick electronic part-sealing sheet-like epoxy resin composition material small in a volatile content and having a uniform dry state can be produced in a short time, and to provide an electronic part obtained by the method.例文帳に追加

揮発分の少ない均一な乾燥状態の厚い電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料を短時間で作製することが可能な電子部品封止用シート状エポキシ樹脂組成物材料の製造方法とそれにより得られる電子部品を提供する。 - 特許庁

To provide a sprayable monolithic refractory composition which eliminates drawbacks of a dry spray method and a wet spray method, dispenses with the work of kneading materials, does not clog a conveyance pipe and is applied to long-distance conveyance, gives excellent quality to a constructed refractory and is used for spraying work.例文帳に追加

乾式吹付け施工法及び湿式吹付け施工法の難点を解消し、材料の混練作業を不要とし、搬送管の閉塞を伴わず、長距離搬送の施工ができ、かつ施工耐火物は高品質を有する吹付け施工法のための不定形耐火組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a positive radiation-sensitive resin composition which even when a slit coating method is adopted as a coating method, shows excellent coating performance or film thickness uniformity and can reduce the time required to dry a coating film, and which is excellent in radiation sensitivity and the like.例文帳に追加

塗布方法としてスリット塗布法を採用した場合であっても、優れた塗布性ないし膜厚均一性を示しかつ塗布膜の乾燥時間を短縮が可能であって、放射線感度等に優れたポジ型感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a silver salt photothermographic dry imaging material having high sensitivity, low fog, excellent raw stock preservability, excellent stability of a silver image after heat development, a wide dynamic range, high maximum density even in the case of a small amount of silver and a good silver tone and to provide an image recording method and an image forming method.例文帳に追加

高感度、低カブリ、生保存性、熱現像後の銀画像の安定性に優れ、ダイナミックレンジが広く、低銀量でも最高濃度が高く、且つ、銀色調が良好である銀塩光熱写真ドライイメージング材料、画像記録方法及び画像形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a substrate processing device and a substrate processing method that use a low-surface-tension solvent such as IPA to dry a substrate surface getting wet with a processing liquid, the substrate processing device and the substrate processing method preventing trouble such as the occurrence of a watermark on the substrate and destruction of a pattern on the substrate surface.例文帳に追加

処理液で濡れた基板表面をIPAなどの低表面張力溶剤を用いて乾燥させる基板処理装置および基板処理方法において、基板表面にウォーターマークが発生したり、基板表面上のパターンが倒壊するなどの不具合を防止する。 - 特許庁

To provide a dry etching method processing an etching object layer into a shape of a desired rugged pattern with a high precision, a magnetic recording medium manufacturing method utilizing the same, and a magnetic recording medium which has a recording layer formed into a rugged pattern and allows good magnetic characteristics to be surely obtained.例文帳に追加

被エッチング層を所望の凹凸パターンの形状に高精度で加工できるドライエッチング方法、これを利用した磁気記録媒体の製造方法及び記録層が凹凸パターンで形成され、良好な磁気特性が確実に得られる磁気記録媒体を提供する。 - 特許庁

As air is gradually diluted in the hot air for heating and drying by mixing the nitrogen, there exists no possibility of accumulating water content and as the nitrogen gas itself hardly contains water content, it is possible to dry the pellets by a method being by no means inferior to the conventional method.例文帳に追加

窒素の混入により加熱乾燥用の熱風中には空気が次第に稀薄となるため、水分が蓄積されることがなく、また窒素ガスそのものが水分を殆ど含有しないため、従来方法と比較して何等の遜色なくペレットを乾燥することができる。 - 特許庁

This recycling method for wastepaper including resinous components is characterized by dry-disintegration under condition that pulp solid concentration is70% and washing treatment in the recycling method for reclaimed pulp from wastepaper printed with a toner for electrophotography or an UV ink.例文帳に追加

電子写真用トナー及びUVインキで印刷された印刷古紙から再生パルプを得る方法において、パルプの固形分濃度が70%以上で乾式離解処理を行い、その後に洗浄処理を行うことを特徴とする樹脂成分を含む古紙の再生方法。 - 特許庁

The polyurethane polyurea elastic yarn for thermobonding having excellent adhesiveness and elastic characteristics is obtained by adding 20-30 wt.% thermoplastic elastomer having 80-160°C melting point to a polyurethane polyurea having170°C melting point and spinning the mixture by a dry spinning method or a wet spinning method.例文帳に追加

融点が170℃以上であるポリウレタンポリウレアに、融点が80〜160℃の熱可塑性エラストマーを2〜30重量%含有させ、乾式紡糸法または湿式紡糸法により紡糸して優れた接着性と、弾性特性を有する熱接着性ポリウレタンポリウレア弾性糸を得る。 - 特許庁

To provide a method for producing an earthworm extract hardly causing insufficient recovery of supernatant liquid due to clogging in filtration and in centrifugation, also good in operability, easy in removal of water-insoluble matter, and a method for producing an earthworm dry powder from the earthworm extract.例文帳に追加

ろ過における目詰まりや遠心における上清液の回収不良を生じ難く、加えて操作性が良く、水不溶物の除去も容易なミミズ抽出液の製造方法及びそれによって得られたミミズ抽出液からミミズ乾燥粉末を製造する方法の提供を目的とする。 - 特許庁

To provide a nanoimprint mold manufacturing method and a resist pattern formation method capable of preventing a resist pattern shape from deteriorating even in an atmosphere in which oxygen exists and forming a fine transfer pattern in means for improving dry etching resistance of a resist pattern via electron beam irradiation.例文帳に追加

電子線照射によるレジストパターンのドライエッチング耐性を向上させる手段において、酸素が存在する雰囲気中でも、レジストパターンの形状劣化を防止し、微細な転写パターンを形成することを可能とするナノインプリント用モールドの製造方法およびレジストパターンの形成方法を提供する - 特許庁

To provide a stable separation membrane and its production method having not only high permeability and selectivity for olefins, but also stable separation performance even in a long, dry operation condition with no supply of a liquid solvent, causing no lowering phenomenon of the separation performance due to reduction of silver ions, and its production method.例文帳に追加

オレフィンに対する透過性と選択性が高いだけでなく、液体溶媒の供給がない長時間の乾燥した運転条件でも分離性能が安定し、銀イオンの還元などによる分離性能の低下現象がなく、安定な分離膜およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for smoking pipe tobacco, capable of significantly removing toxic components such as tar in tobacco smoke, and also giving easily dry feeling owing to spontaneously removing moisture emitted from the tobacco and moisture contained in (exhaled) breath as well, and to provide a pipe to be used for the method.例文帳に追加

たばこの煙に含まれるタールなどの有害成分が大幅に除去でき、しかもタバコから出る水分や呼気に含まれる水分も自然に除去されて手軽にドライ感を味わえようにできる、パイプたばこの喫煙方法およびそれに用いるパイプを提供する。 - 特許庁

In the method for forming the brilliant coating film by a method for forming brilliant base coating films on a base material over two stages and subsequently forming a clear topcoating film thereon, the dry film thickness ratio of the brilliant base coating films respectively formed by two stages, that is, first and second stages is 2/1-4/1.例文帳に追加

基材に、光輝性ベース塗膜を2ステージで形成し、次いでクリヤートップ塗膜を形成する方法であって、上記2ステージで形成する第1ステージと第2ステージで形成する上記光輝性ベース塗膜の乾燥膜厚比率が、2/1〜4/1である光輝性塗膜形成方法。 - 特許庁

To provide a method for producing a stock for a gear where, even in the case gear cutting is performed by dry cutting using no coolants in high speed cutting of200 m/min, a tool life free from problems for mass-production can be secured, and to provide a method for producing a gear using the stock.例文帳に追加

クーラントを使用しないドライ切削で、200m/分以上の高速切削により歯切加工した場合でも、量産するのに問題のない工具寿命を確保できる歯車用素材の製造方法及びその素材を用いた歯車の製造方法を提案すること。 - 特許庁

A raw garbage treatment method of the present invention is the raw garbage treatment method that the raw garbage Wo is treated and changed to the valuable resource and is characteristic of application of hot air blow and dry treatment of the smashed raw garbage Ws by means of drying with hot air 10 after the raw garbage Wo is smashed by smashing means 4.例文帳に追加

本発明に係る生ゴミ処理方法は、生ゴミWoを処理して有価物に変える生ゴミ処理方法であって、生ゴミWoを粉砕手段4で粉砕した後、その粉砕した生ゴミWsを温風乾燥手段10で温風乾燥処理することを特徴とする。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing an electro-optic device capable of preventing generation of electrostatic breakdown even when a high dielectric constant insulating film is used for a dielectric layer and dry etching is employed for etching the high dielectric constant insulating film or the like, and to provide an electro-optic device manufactured by the method.例文帳に追加

誘電体層に高誘電率絶縁膜を用い、高誘電率絶縁膜等のエッチングにドライエッチングを採用した場合でも、静電破壊の発生を防止することができる電気光学装置の製造方法、および当該方法により製造した電気光学装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a silver salt photothermographic dry imaging material having high sensitivity and little fog, less liable to changes in the fog and sensitivity even when stored in an environment at high temperature and high humidity and ensuring a good color tone of a formed silver image and to provide an image recording method and an image forming method for the material.例文帳に追加

高感度でカブリが少なく、高温高湿環境下に保存されても、かぶり、感度の変動が少なく、かつ形成された銀画像の色調が良好な銀塩光熱写真ドライイメージング材料、その画像記録方法及び画像形成方法を提供することにある。 - 特許庁

To provide a water-stopping box for repairing a under water structure, its manufacturing method and a repairing method using the same capable of executing a repair work in a dry space without requiring a diving work, improving a repair quality, and reducing a work period and costs.例文帳に追加

補修作業をダイバー作業の不要なドライ空間で行うことを可能にし、それにより補修の質の向上、工期の短縮化、コストの削減等を実現する、水中構造物補修用止水箱、その製造方法及びこれを用いた補修方法を提供する。 - 特許庁

This water-proof method is a coating method of shoes equipped with uppers and soles and is characterized by the following steps: a step to assemble the uppers on the soles, a step to apply at least one layer of liquid polymer which is flexible or semi-rigid in predetermined areas of the uppers, and a step to dry the shoes.例文帳に追加

胴および靴底を備えた靴のコーティング方法であって、前記靴底上に前記胴を組み立てるステップと、前記胴の所定領域内に可撓性または半剛性の液状ポリマーの少なくとも1つの層を塗布するステップと、乾燥させるステップとを含むことを特徴とする方法。 - 特許庁

To provide a method and a device for surface treatment in which a predetermined treatment effect is achieved even while surface treatment for an object to be treated is performed in dry method by using a gas, in the device for surface treatment which performs surface treatment by generating gas discharge under a pressure near an atmospheric pressure.例文帳に追加

大気圧近傍の圧力下でガス放電を発生させて表面処理を行う表面処理装置において、ガスを用いて被処理体の表面処理をドライ方式にて実施しながらも、所定の処理効果を達成できる表面処理方法およびその装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for desulfurization usable as a dry method for desulfurization in a gasification system of a combustible material by which a stable CaSO4 can be formed as a desulfurization product by using a calcium compound particles as a desulfurization agent while suppressing the discharge of the unreacted calcium compound.例文帳に追加

可燃物のガス化システムにおける乾式脱硫方法として、脱硫剤にカルシウム化合物粒子を用い、未反応カルシウム化合物の排出を抑制し、かつ脱硫反応生成物として安定なCaSO_4 を生成することができる脱硫方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing an acrylic fiber in which traveling of a coagulated yarn in a coagulating liquid is stabilized and productivity of the acrylic fiber can be increased by reducing tension applied to the coagulated yarn in a guide part in a dry-wet type spinning method.例文帳に追加

乾湿式紡糸法において、ガイド部分で凝固糸条にかかる張力を低減し、延伸能を向上することによって凝固液中での凝固糸条の走行を安定にし、アクリル繊維の生産性を高めることができるアクリル繊維の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a decontaminant for treating special gas which can suppress a runaway reaction even when the treatment of a special gas containing hydrogen is performed and can continue stable contaminating treatment, while improving the performance of the decontaminant used in dry method, and a using method thereof.例文帳に追加

乾式法に使用される除害剤の性能向上を図りながら、水素を含む特殊ガスの処理を行う際にも暴走反応を抑制することができ、安定した除害処理を継続できる特殊ガス処理用除害剤及びその使用方法を提供する。 - 特許庁

To provide a cleaning liquid composition for a semiconductor substrate that improves removal force of residue during cleaning of a metal layer after dry etching and reduces damage of the metal layer to a minimum, a cleaning method of the semiconductor substrate using the composition, and a manufacturing method of a semiconductor device.例文帳に追加

ドライエッチング後の金属層の洗浄時、残留物の除去力を向上させ、金属層の損傷を最小化することができる半導体基板用洗浄液組成物、これを用いた半導体基板の洗浄方法、及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of reducing the concentration of the ammonia which inhibits methane fermentation of organic solid wastes in a dry process anaerobic digestion method so as to improve the digestion efficiency thereof and producing an organic fertilizer containing more ammonia and phosphoric acid and gaseous methane from the organic solid wastes.例文帳に追加

有機性固形廃棄物を乾式嫌気性消化法において、メタン発酵阻害を起こすアンモニア濃度を低減してその消化効率を改善すると共に該有機性固形廃棄物からアンモニアやリン酸をより多く含む有機性肥料やメタンガスを生産する方法を提供する。 - 特許庁

The method for manufacturing the particulate aluminosilicate of performing dry comminution of aluminosilicate in the presence of a liquid or slurry not containing an alkaline earth metal compound, and the liquid detergent containing the particulate aluminosilicate obtained by the manufacturing method and a surfactant are provided.例文帳に追加

アルカリ土類金属化合物を含有しない液体又はスラリーの存在下において、アルミノケイ酸塩の乾式粉砕を行なうことを特徴とする、微粒子アルミノケイ酸塩の製造方法、並びに該製造方法によって得られた微粒子アルミノケイ酸塩及び界面活性剤を含有する液状洗剤。 - 特許庁

To provide a silver salt photothermographic dry imaging material, having low fog, high sensitivity, high density, superior image preservability, improved soil resistance to a thermal developing drum and improved resistance to odor, and to provide an image recording method and an image forming method which uses the same.例文帳に追加

本発明の目的は、低カブリ、高感度、高濃度で、画像保存性に優れ、かつ熱現像ドラムに対する汚れ耐性や臭気耐性が改良された銀塩光熱写真ドライイメージング材料とそれを用いた画像記録方法及び画像形成方法を提供することである。 - 特許庁

To provide a surface treatment method which can attain a predetermined effect even if carrying out a surface treatment of a workpiece with a dry method using gas in a surface treatment apparatus where the surface treatment is performed by producing a gas discharge under a pressure close to an atmosphere pressure and its apparatus.例文帳に追加

大気圧近傍の圧力下でガス放電を発生させて表面処理を行う表面処理装置において、ガスを用いて被処理体の表面処理をドライ方式にて実施しながらも、所定の処理効果を達成できる表面処理方法およびその装置を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a manufacturing method of a semiconductor device which enables to use an ESC (electrostatic chuck) method as a means for fixing an insulating substrate in a dry process and can process to an external periphery without causing a dead space on a semiconductor substrate stuck on this insulating substrate.例文帳に追加

ドライプロセスにおいて絶縁性基板を固定する手段としてESC法を用いることを可能とし、この絶縁性基板と貼り合わされた半導体基板上にデットスペースを生じること無く外周域まで加工を施すことが可能な半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁




  
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