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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > gaseous flowに関連した英語例文

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gaseous flowの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 231



例文

Heated gaseous He enters a vessel from a heated gas inlet nozzle 3 at the bottom of the reformer, ascends in a heated gas flow passage 15 surrounded by the reaction tube 7 and the formed material 9 along the reaction tube 7 to heat the reaction tube 7.例文帳に追加

加熱(He)ガスは改質器底部の加熱ガス入口ノズル3から容器内に入り、反応管7と本発明による成形材9とで囲まれる加熱ガス流路15を反応管7に沿って上昇し反応管7を加熱する。 - 特許庁

Based on the balance between the radius of the reference circle 5 and the inner diameter of the bearing part 2, a flow rate of gas blown out from the bearing part 2 which is a porous body is regulated so that a pressure distribution of the gaseous film becomes uniform.例文帳に追加

基準円5の半径と軸受部2の内径との差分に基づいて、多孔質体である軸受部2から噴出される気体の流量を調整し、気体膜の圧力分布を均一にする。 - 特許庁

Further, formation of a deposit around the guide member 251 by the flow of the gaseous mixture discharged through the opening 51c can be prevented, and stable film deposition can be carried out over a long period of time.例文帳に追加

さらに、開口51cから吐出される混合ガスのガス流によってガイド部材251の周りに堆積物が形成されることを防止し、長時間安定した成膜が可能になる。 - 特許庁

In a method for changing length of coagulated jet, a coagulated jet is established by using a flame surrounding material generated by using gaseous fuel and the length of the jet is changed by changing the flow rate of the fuel.例文帳に追加

気体状燃料を使用して発生せしめられた火炎包囲体を使用して凝集噴流を確立し、そして気体状燃料の流量を変更することにより凝集噴流の長さを変更する。 - 特許庁

例文

The gaseous mixture for reforming which flows in the reforming part 30 is adjusted to make the flow velocity in the axial direction more uniform by baffle plates arranged in the whole region of the cross section of the reforming part 30.例文帳に追加

改質部30に流動してきた改質用混合気は、改質部30にその断面の全域に配置されているじゃま板70によって、更に、その軸方向への流速が均一になるよう調整される。 - 特許庁


例文

As a result, the whirling gaseous flow rotating in the same direction as the rotating direction of the substrate is formed by the admitted gas.例文帳に追加

基板をスピンチャックに保持して回転させ、同時に基板の横に位置したガス供給ノズルから溶剤の蒸気を含むキャリヤガスを、基板の回転方向と同じ方向に流入する。 - 特許庁

To provide an image forming device which lessens the formation of NOX and suppresses the generation of image flow by lessening the adhesion of the gaseous material generated in an electrostatic charger to the surface of an image carrying member.例文帳に追加

帯電装置で発生するガス状物質の像担持体表面への付着を低減してNOXの生成を低減し、画像流れの発生を抑制する画像形成装置を提供する。 - 特許庁

Outgases such as H_2O on H_2 are carried on the flow of the gaseous argon, so as to be efficiently exhausted from the exhaust port 62, and the stagnation of the outgases at the space S can be prevented, thus the intrusion of the outgases into the sputtered film can be reduced.例文帳に追加

H_2O、H_2等のアウトガスをアルゴンガスの流れに乗せて排出口62から効率良く排出でき、上記空間Sでのアウトガスの滞留を防ぐことができ、スパッタ膜へのアウトガスの混入を少なくできる。 - 特許庁

Processing gas consisting of a gaseous mixture of N2, H2 and Ar, whose flow rate ratio (Ar/(N2+H2+Ar)) is 0.7-0.8, is introduced to the inside the processing chamber 102, and a pressure atmosphere inside the processing chamber 102 is set to 5 mTorr-15 mTorr.例文帳に追加

処理室102内に流量比(Ar/(N_2+H_2+Ar))が0.7〜0.8のN_2とH_2とArの混合ガスから成る処理ガスを導入し,処理室102内の圧力雰囲気を5mTorr〜15mTorrに設定する。 - 特許庁

例文

A mixture inlet 12 provides a passage for making a mixture of an oil and a gaseous refrigerant flow from an outside of the oil separator-a muffler into the separator area.例文帳に追加

混合物入口(12)が油とガス状冷媒との混合物が油分離器−マフラの外部から分離器領域に流れるようにするための通路をもたらす。 - 特許庁

例文

The flow channel (4) has an upstream portion (4a) arranged on the upstream side of the substrate (S) and an inner bottom surface (22) of the upstream portion (4a) extends the gaseous raw materials continuing into a top surface (SF) of the substrate (S).例文帳に追加

フローチャンネル(4)は、基板(S)の上流側に位置する上流側部分(4a)を有し、上流側部分(4a)の内側下面(22)は、原料ガスを基板(S)の上面(SF)に連なって延びている。 - 特許庁

Further, the photomask 1 with a pellicle and the activated gas are irradiated with light at a low wavelength by a light irradiation device 3 to enhance the reactivity of the foreign matter; and the foreign matter on the photomask 1 with a pellicle is removed by the gas flow of the gaseous mixture.例文帳に追加

さらに、光照射装置3によりペリクル付きフォトマスク1および活性ガスに低波長の光を照射し、異物の反応性を高め、混合ガスの気流によりペリクル付きフォトマスク1の異物を除去する。 - 特許庁

To provide a gas-dispersing plate set at a fluidized bed polymerizer for polymerizing olefin in gaseous phase and excellent in action uniformly dispersing gas flow in fluidized bed.例文帳に追加

オレフィン類の気相重合を行う流動層重合器に設けられ、流動層域のガス流を均一分散させる作用に優れたガス分散板を提供することである。 - 特許庁

It is also possible that hydrogen is fed to the fluid passage 8, and electric current is made to flow between the respective power feed bodies 3, 4, so as to obtain high pressure gaseous hydrogen at the fluid passage 7 in the separator 5 on the cathode side.例文帳に追加

流体通路8に水素を供給して各給電体3,4に通電することにより、カソード側セパレータ5の流体通路7に高圧の水素ガスを得るものでもよい。 - 特許庁

A gas flow moving toward the upper face side through the prepared hole H is generated in gaseous helium at the lower side of the work W when the negative pressure is generated at the upper face side of the work W.例文帳に追加

ワークWの上面側が負圧になると、ワークWの下面側のヘリウムガスが下孔Hを通って上面側に移動する気流が発生する。 - 特許庁

Thus, a mixture of gaseous fuel supplied from the spray bar 2 and air is passed through the respective intake passages while increasing its flow rate, and is supplied to respective cylinders of an engine body 11.例文帳に追加

これにより、スプレーバー2から供給されるガス燃料と空気との混合気がその流量を増して、各吸気通路を通ってエンジン本体11の各シリンダに供給される。 - 特許庁

A vaporized gaseous phase refrigerant is sucked and compressed by a compressor 3 to become high-temperature and -pressure gas, to be made to flow into a condenser 4, and is condensed and liquefied by releasing heat into outside air.例文帳に追加

気化した気相冷媒はコンプレッサ3に吸引されて圧縮され、高温高圧ガスとなってコンデンサ4へ流入し、外気へ放熱することによって凝縮液化する。 - 特許庁

After about 1 hr and the temperature of the electric furnace 6 reaches growing temperature of 1,200°C, the growth of a specimen is performed for 2 hr under a stabilized condition of the flow rate of gaseous argon, the pressure in the quartz tube chamber 5 and the temperature of the electric furnace 6.例文帳に追加

そして、約1時間後、電気炉6が1200℃の成長温度になって、そのときArガスの流量、石英管室5の圧力と電気炉6の温度が安定した条件下で2時間の試料成長を行わせた。 - 特許庁

Suction means 9 situated in the lower story 6 create a gaseous flow 5 directed downwards from the clean room 1 through the intermediate space 2c to the lower story 6.例文帳に追加

下階6に位置する吸込手段9は、クリーンルーム1から中間スペース2cを通って下階6に下向きに送られるガス流5を発生させる。 - 特許庁

(3) In the refining method by adding the stirring gas into the molten iron, as the stirring gas, the hydrocarbon is used and the flow rate of the gaseous hydrogen generated by the decomposition of the hydrocarbon is regulated to 0.04-4.0 Nm3/min.ton of the molten iron.例文帳に追加

(3)溶鉄中に攪拌ガスを添加する精錬方法において、攪拌ガスとして炭化水素を使用し、該炭化水素が分解して発生する水素ガス流量を溶鉄トン当り0.04〜4.0Nm^3 /(min・t)とする。 - 特許庁

Further, the feed of the gaseous oxygen is performed at a flow rate lower than the one at which an LiNb_3O_8 phase is formed, and also sufficient for keeping the state where the surface of the LiNbO_3 target is covered with a fixed amount of oxygen atoms.例文帳に追加

また、酸素ガスの供給は、LiNb_3O_8相が生ずるよりも低く、かつ、LiNbO_3ターゲット表面を一定量の酸素原子が覆った状態を保つのに十分な流量にする。 - 特許庁

To provide a flowmeter module that provides for real time measurement of the mass flow rates of various gaseous pollutants based on the actual exhaust flow rate, and does not require any correction of a vehicle to be tested.例文帳に追加

実際の排気ガス流量に基づく様々なガス状汚染物質の質量流量のリアルタイムの測定を規定するものであり、且つ試験を受けるべき車両に対して何の修正も要求しないように成した流量計モジュールを提供するものである。 - 特許庁

The module 10 for fluid control is connected in-line to a fluid flow circuit through which a chemically corrosive or ultra high purity fluid flows in liquid or gaseous form and it controls the amount, pressure and volume of the fluid flow.例文帳に追加

流体制御モジュール10は、化学的に腐食性を有する、または極めて純度の高い流体が、液体状態または気体状態で流通される流体回路にインライン接続され、前記流体の流量、圧力および体積を制御する。 - 特許庁

This device includes: the first passage 1 where the absorbing solution 70 is made to flow; the second passage 2 where the gaseous or liquid mixed medium is made to flow; a penetration partition wall 3 partitioning the first passage 1 and the second passage 2; and a base body 4 having the first passage 1, the second passage 2 and the penetration partition wall 3.例文帳に追加

この装置は、吸収液70が流れる第1通路1と、ガス状または液状の混合媒体が流れる第2通路2と、第1通路1と第2通路2とを仕切る浸透隔壁3と、第1通路1、第2通路2および浸透隔壁3を有する基体4とを有する。 - 特許庁

To provide a method of growing a compound semiconductor crystal in a vapor phase, by which the formation of cracks in a flow channel caused by the sticking of deposits on the inner wall of the flow channel can be prevented and a gaseous raw material can be supplied efficiently onto a crystal substrate.例文帳に追加

フローチャネル内壁への堆積物付着によるフローチャネルの割れを防止すると共に、結晶基板上に原料ガスを効率よく供給できる化合物半導体結晶気相成長方法及び気相成長装置を提供する。 - 特許庁

The method comprises measuring a flow rate of gaseous fuel flowing through the supply line, calculating an expended fuel volume based on the measured flow rate, and determining a remaining liquid fuel level in the tank based on the expended fuel volume and tank capacity.例文帳に追加

方法は、供給ラインを通って流れる気体状燃料の流量を測定し、測定された流量に基づいて消費された燃料容積を計算し、消費された燃料容積およびタンク容量に基づいてタンクに残っている液体燃料レベルを決定する。 - 特許庁

A gas flow restricting means to allow flow-down of separated oil from a middle space to a lower space but block spouting up of gaseous fluid from the lower space to the middle space is situated in the outer peripheral passage of a stator not positioned facing the outer peripheral passage of a frame.例文帳に追加

フレーム外周通路と対面しない固定子外周通路には、中部空間から下部空間への分離された油の流下を許容するが下部空間から中部空間へのガス流体の吹上げを阻止するガス流絞り手段を設けた。 - 特許庁

The waste washing liquid 3a of the printed wiring boards is formed to a rectilinear jet flow 2a together with gaseous nitrogen 4a and this jet flow is continuously or intermittently brought into collision against a heated ceramic inner wall surface 5 of a vacuum reaction tank 1 and is separated and recovered as vaporized gas and cake debris 10.例文帳に追加

プリント配線基板洗浄廃液3aを、窒素ガス4aと共に直線状噴射流2aに形成し、該噴射流を真空反応タンク1の加熱したセラミック製内壁面5に、連続的もしくは断続的に衝突させて気化ガスと固形残渣物10とに分離して回収する。 - 特許庁

The straightening member 100 exercises a straightening function and a restrictor function of a coolant passing in a two-phase flow state of a liquid phase and a gaseous phase, and a function of subdividing bubbles in the coolant of the two-phase flow state by the straightening holes, and coolant passing noise caused by the bubbles can be effectively reduced.例文帳に追加

整流部材100は、その整流孔によって、液相と気相との二相流状態で通過する冷媒の整流機能、絞り機能、二相流状態の冷媒中の気泡を細分化する機能を発揮し、気泡に起因する冷媒通過音を効果的に低減させることができる。 - 特許庁

A method for production of the fiber includes the steps of: passing a flow of one or more gaseous reactants into a reactor 12; reacting the one or more gaseous reactants within a reaction zone of the reactor 12 to form an aerogel; agglomerating the aerogel into an agglomerate 4; and applying a force to the agglomerate 4 to displace it continuously away from the reaction zone so as to produce the fiber 24.例文帳に追加

1つまたは複数のガス状反応物質の流れを反応器12に通す工程と、反応器12の反応領域内で1つまたは複数のガス状反応物質を反応させて、エーロゲルを形成する工程と、該エーロゲルを凝集物4へと凝集させる工程と、該凝集物4に力を加えて、それを反応領域外に連続的に移動させながら繊維24にする工程とを含む製造方法。 - 特許庁

In the method for recovering ruthenium and tantalum from the ruthenium-tantalum alloy, a ruthenium-tantalum alloy is heated while gaseous chlorine is blown therein, and, as gaseous chlorine is made to flow by an amount 1 to 4 times the one required for chlorination reaction at 700 to 800°C, tantalum is subjected to chlorination volatilization and is recovered, and ruthenium is made to remain to be a chloride.例文帳に追加

ルテニウムータンタル合金から各元素を回収する方法において、塩素ガスを吹き込みつつルテニウムータンタル合金を加熱し、700から800℃にて、塩素ガスを塩化反応に必要とする1から4倍量を流しつつ、タンタルを塩化揮発し回収し、ルテニウムは、残留し塩化物とするルテニウムータンタル合金からルテニウムとタンタルを分離する方法。 - 特許庁

The thin film deposition method for forming the thin films consisting of oxide on the surfaces of the substrates by forming a gaseous mixture containing monomer gas and oxidative reaction gas to plasma comprises forming the gaseous mixture to the plasma while changing a supply rate ratio of the monomer gas to the reaction gas in such a manner that the supply flow rate ratio includes at least a specific range.例文帳に追加

モノマーガスと、酸化性の反応ガスとを含有する混合ガスをプラズマ化し、基材の表面に酸化物からなる薄膜を形成する薄膜成膜方法において、前記反応ガスに対する前記モノマーガスの供給流量比が少なくとも特定範囲を含むように、前記供給流量比を変化させながら混合ガスをプラズマ化する。 - 特許庁

Vaporized gas remaining in an empty low temperature liquefied gas tank 1 from which stored liquid is extracted is replaced with vaporized gas in separate low temperature liquefied gas tank 1' in operation, next, gaseous nitrogen 9 is supplied from the lower part of the empty low temperature liquefied gas tank 1 and residual gas of an upper layer is replaced with gaseous nitrogen of a lower layer by a piston flow.例文帳に追加

貯蔵液を抜き出した空の低温液化ガスタンク1に残留する気化ガスを、運転中の別の低温液化ガスタンク1’の気化ガスで置換し、次いで空の低温液化ガスタンク1の下部から窒素ガス9を供給して上層の残留ガスを下層の窒素ガスでピストンフローにより窒素ガスに置換する。 - 特許庁

The apparatus for manufacturing optical fiber preforms by MCVD method has a quartz tube 1, a heating device 4, a gas supplying device for supplying a gaseous mixture of glass raw materials and a carrier gas into the quartz tube, and a switching point part 6, which can make the gaseous mixture of glass raw materials and the carrier gas into a spiral laminar flow having 1,000 or less of Reynolds number.例文帳に追加

石英管1、加熱装置4、およびガラス原料とキャリアガスの混合ガスを該石英管内に供給するガス供給装置を有するMCVD法の光ファイバ母材製造装置において、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる転向部材6を備えたことを特徴とする光ファイバ母材製造装置。 - 特許庁

The ozone water treating device for removing gaseous ozone contained in ozone water, is provided with an ozone water pipe 17 for allowing ozone water to flow, and an UV ray lamp 18 for irradiating and decomposing ozone water flowing in the ozone water pipe with UV rays to remove gaseous ozone, and the UV lamp has a straight tube shape and the ozone water pipe has a spiral shape and is wound on the outer periphery of the UV lamp.例文帳に追加

オゾン水に含まれるオゾンガスを除去するためのオゾン水処理装置において、オゾン水を流すオゾン水管17と、このオゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外線ランプ18とを具備し、上記紫外線ランプは直管状で、上記オゾン水管はこの紫外線ランプの外周面に巻回される螺旋状である。 - 特許庁

The apparatus has a liquid collecting means such as a flange for collecting the separated liquid, and a flow-through means such as a flow-through opening in the flange for simultaneously allowing the gaseous materials to flow, co-currently or counter-currently with the separated liquid, through and past the liquid collecting means and downstream on to further processing equipment.例文帳に追加

本発明の装置は、分離された液体を捕集するための液体捕集手段、例えば、フランジ、および同時に気体状物質を分離された液体と並流または逆流で、液体捕集手段を通って、下流のさらなる処理装置へと流すためのフロースルー手段、たとえばフランジにおけるフロースルー開口部を有する。 - 特許庁

In the horizontal scroll compressor for helium using gaseous helium as working gas, a gas flow direction changing means effective both in cooling a motor and reducing oil shortage is provided on a delivery port of a fixed scroll.例文帳に追加

本発明は、作動ガスとしてヘリウムガスを使用したヘリウム用横形スクロール圧縮機において、電動機の冷却と油上がり低減の両面で効果のあるガス流方向変更手段を固定スクロールの吐出口に備えたことを特徴とする。 - 特許庁

The fuel is prepared as a fuel with excellent conveniences by granulating lignocellulose biomass into a fine powder, to increase the surface area and thus enhance the efficiency of energy transformation such as burning efficiency and exhibit liquid flowability, gaseous mist and powder flow characteristics.例文帳に追加

リグノセルロース系バイオマスを微細粉化することで表面積を増大させ、燃焼効率等エネルギー変換効率の向上を図るとともに、液体的な流動性や気体的な噴霧や粉流特性を発揮させることで、利便性に優れた燃料とするものである。 - 特許庁

The flow of the fluid is improved in the gaseous phase reactor including the outer reaction vessel, the inner excluding cylinder having the upper and lower halves, an outer reaction space and an inner inert space and the annular catalyst bed.例文帳に追加

また外側の反応容器、上半分及び下半分及び反応の外側のスペース及び不活性な内側のスペースを有する内側の排除円筒、及び環状の触媒床を含んでなるガス相反応器において流体の流れを改善する方法。 - 特許庁

To provide a burner for manufacturing fullerene which is capable of improving the yield of fullerene by uniformalizing the flow of a pre-mixed gas of a gaseous starting material with an oxygen-containing gas to stably and uniformly combusting the pre-mixed gas in a reaction furnace.例文帳に追加

原料ガスと酸素含有ガスとの予混合ガスを均一な流れにして反応炉内に供給し反応炉内で均一燃焼を安定して行なってフラーレンの収率を向上させることが可能なフラーレン製造用バーナを提供する。 - 特許庁

An optical waveguide forming area is formed by making a gaseous material of glass, oxygen gas and hydrogen gas flow from a burner 6 to cause hydrolysis reaction of the material gases within an oxyhydrogen flame 5 and by accumulating the fine grains of glass on a substrate 11.例文帳に追加

バーナ6からガラスの原料ガスと酸素ガスと水素ガスを流して酸素水素火炎5中で前記原料ガスの加水分解反応を起こし、基板11上にガラス微粒子を堆積して光導波路形成領域を形成する。 - 特許庁

The apparatus for selectively removing the organic compounds having the functional groups accumulated in the liquid medium includes an enclosure containing the liquid medium, means for circulating the gaseous flow in the liquid medium and means for simultaneously acting the ultrasonic waves on the liquid medium.例文帳に追加

また、液体媒質中の官能基を有する有機化合物を選択的に除去する装置であって、前記液体媒質を含むエンクロージャと、前記液体媒質内にガス流を循環させる手段と、前記液体媒質に同時に超音波を作用させる手段とを含む装置。 - 特許庁

To provide a method and a plant for removing gaseous fluorocompounds or fluorosulfides, e.g. CF4, C2F6 and SF6, existing in a flow of xenon and/or krypton by transmission through one or more polymer film.例文帳に追加

本発明は、ポリマー膜のような1以上の膜により透過によりキセノンおよび/またはクリプトンの流れの中に存在するCF_4 、C_2 F_6 およびSF_6 のような気体状フルオロ化合物またはフルオロ硫化化合物を除去するための方法およびプラントに関する。 - 特許庁

To eliminate the problems of the occurrence of contracted vein at the end of an inside cylindrical part, the generation of vortexes and the resultant increase of pressure drop in a preheater cyclone at the time the gaseous flow flowing into the preheater cyclone flows into the inside cylindrical part therein.例文帳に追加

本発明は、プレヒータサイクロン内に流入してきたガス流がその内部の内筒部に流入するとき、内筒部の端部で縮流が起こり、渦が発生して、それがプレヒータサイクロンにの圧力損失の増加を招くという問題点を解消することを目的とする。 - 特許庁

To provide a structure that distributes air and gas to be injected to a compressor equally in amount over a peripheral surface of an inflow passage, so that a gaseous medium and air are mixed and a turbulence generated by blow-in of a suction flow is removed.例文帳に追加

ガス状の媒体と空気との混合、並びに、吸引流における、吹込みによって生じる乱流の除去がなされるように、注入する空気量またはガス量が、流入流路の周面に亘って、コンプレッサに均等に分配される構造を提供する。 - 特許庁

A gaseous-fuel supply system for a fuel cell includes: a first valve 110; a filter device 120; at least one pressure adjusting device 130; a first pipeline 140; a second valve 150; a flow rate sensor device 160; a gas check valve 170; and a control unit 180.例文帳に追加

第1のバルブ110、濾過デバイス120、少なくとも一つの圧力調節デバイス130、第1の管路140、第2のバルブ150、流量センサーデバイス160、気体逆止バルブ170および制御ユニット180を含む。 - 特許庁

Gas is discharged from the center O of rotation of the wafer 2 on the rear surface side of the wafer 2 toward the diametral direction on the peripheral edge side of the wafer 2 and the intrusion of the developer 3 to the inner side through a spacing S between a knife edge ring 4 and the wafer 2 is blocked by this gaseous flow.例文帳に追加

ウェハー2の裏面側でウェハー2の回転中心Oからウェハー2の周縁側の径方向に向けてガスを吐出させ、そのガス流でナイフエッジリング4とウェハー2の隙間Sを通って現像液3が内側に入り込むのを阻止するようにしている。 - 特許庁

The flow rate of the counter purge gas is changed at the switching of gaseous species, thus preventing infiltration of particle generated inside the treatment chamber 1 into a rotation mechanism part, a heater part, or the like, and generation of abnormalities in the vapor growth apparatus 40 due to particles.例文帳に追加

カウンタパージガスはガス種切り替え時に流量が変更され、処理チャンバ1内部に発生するパーティクルの回転機構部やヒータ部などへの侵入、或いはパーティクルによる気相成長装置40の異常発生を防止する働きをする。 - 特許庁

The central portion of the wafer 75, located upstream in terms of the flow of the gaseous starting material is heated by the mechanism 77 to 600°C, while its peripheral portion located downstream is heated by a second mechanism to 78 to 615°C.例文帳に追加

原料ガスの流れの上流側に位置するSiウェハ75の中心部を第1の加熱機構57により600℃に加熱する一方、原料ガスの流れの下流側に位置するSiウェハ75の周辺部を第2の加熱機構78により615℃に加熱する。 - 特許庁

例文

The passage opening 14 is formed at the partition 12 and has a gas back-stream blocking device 15 for ensuring a one-way flow for the gaseous Group 2B elements of the Periodic Table, from the first region 8 to the second region 9.例文帳に追加

この分離パーティション12には通路開口部14が設けられており、通路開口部14は、第1の領域8から第2の領域9への気体状の周期表の第2B族元素の一方向の流れを確保する、ガス逆流止め装置15を備えている。 - 特許庁

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