「method process」に関連した英語例文の一覧と使い方(634ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a method of producing a polyester resin pellet with excellent operability, by which a polyester in which polyester resin pellets are not fused to each other can be obtained, upon starting process of continuous crystallization, drying or solid phase polymerization of uncrystallized polyester resin pellets obtained by liquid phase polymerization.例文帳に追加

液相重合で得た未結晶のポリエステル樹脂ペレットを連続して結晶化、乾燥または固相重合の処理を開始する際に、樹脂ペレット同士の融着を生じないポリエステルを得ることができる、操業性に優れたポリエステル樹脂ペレットの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for industrially, inexpensively and stably producing a 1-azole-2-phenyl-2, 3-propanediol derivative which is useful compound in medicinal and agrochemical fields, especially, a remarkably important intermediate in a process for producing azole-based antifugal agent.例文帳に追加

医農薬分野における有用な化合物であり、特にアゾール系抗真菌剤の製造過程において極めて重要な中間体となる、１−アゾール−２−フェニル−２、３−プロパンジオール誘導体の製造に関して、工業的な観点から、安価にかつ安定的に製造する方法を提供することである。 - 特許庁

The method for manufacturing the optical member comprises an interfacial gel polymerization process of a polymerizable composition for the optical member comprising a radical-polymerizable monomer, a nitrile group free azo compound as a polymerization initiator, a chain transfer agent and a compound whose refractive index is different from that of the polymerizable monomer.例文帳に追加

ラジカル重合性モノマーと、重合開始剤としてニトリル基不含のアゾ化合物と、連鎖移動剤と、前記重合性モノマーと異なる屈折率を有する化合物とを含む光学部材用重合性組成物を界面ゲル重合させる工程を含む光学部材の製造方法である。 - 特許庁

In the method for manufacturing a toner including processes of suspension polymerization of radical polymerizable monomers containing a coloring agent and a chain transfer agent in at least a water-based medium and then filtering and cleaning, amyris oil is added in the cleaning process.例文帳に追加

少なくとも水系媒体中で着色剤及び連鎖移動剤を含有するラジカル重合性単量体を懸濁重合せしめ、ついで濾過、洗浄する工程を有するトナーの製造方法において、該洗浄工程時にアミリスオイルを添加し洗浄することを特徴とするトナーの製造方法。 - 特許庁

A blood coagulation system analysis method is provided for acquiring information on blood coagulation property on the basis of a change incurred in a complex dielectric constant spectrum measured in a blood coagulation process by adding to blood a material that activates or inactivates platelets.例文帳に追加

血小板を活性化あるいは不活化する物質を血液に添加することにより該血液の凝固過程で測定される複素誘電率スペクトルに生じる変化に基づいて、前記血液の凝固能に関する情報を取得する血液凝固系解析方法を提供する。 - 特許庁

The nitrogen oxides reducing catalyst is constituted by depositing 0.5-3 wt.% cobalt on alumina, and the removing method of nitrogen oxides is composed of a process for decomposing NO contained in the waste gas by allowing the nitrogen oxides reducing catalyst to contact with the waste gas containing the nitrogen oxides by using a reducing agent at need.例文帳に追加

アルミナに、コバルトを０．５〜３重量％担持して成る窒素酸化物還元触媒、および該窒素酸化物還元触媒を、窒素酸化物を含む排ガスと接触させ、必要により還元剤を用いて該排ガスに含まれるＮＯを分解することから成る窒素酸化物の除去方法。 - 特許庁

To provide a method and a device for efficiently decomposing organic materials such as organic halogen compounds contained in collected ash, while are applied for heat treating collected ash discharged from a coke bed type gasification high temperature melding integrated process and small in unburnt carbon.例文帳に追加

コークスベッド式ガス化高温溶融一体化プロセスから排出される未燃炭素の少ない集じん灰を対象として加熱処理する場合に適用し、集じん灰中に含まれる有機ハロゲン化合物等の有機物を効率的に分解させる方法及び装置の提供。 - 特許庁

To provide a method for recovering a catalyst in a simple process with low energy in producing chlorohydrins by a chlorinating reaction of a multihydroxy group-substituted aliphatic hydrocarbon and/or an ester of the multihydroxy group-substituted hydrocarbon using a carboxylic acid-based compound as the catalyst.例文帳に追加

本発明は、カルボン酸系化合物を触媒とする多水酸基置換脂肪族炭化水素及び／又は多水酸基置換脂肪族炭化水素のエステルの塩素化反応によるクロロヒドリン類の製造において、触媒の回収を簡略な工程で、低エネルギーで回収する方法を提供することである。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a polyester with its mechanical properties improved by the addition of an ion group-provided metallic compound in the process of saturated polyester resin synthesis for metal ions to disperse into or to react with polyester polymeric chains for the formation of crystalline grains therein.例文帳に追加

イオン基をもった金属化合物を飽和ポリエステル樹脂合成の時に添加して金属イオンをポリエステルの高分子鎖内に分散或いは反応させることにより、結晶性の内部粒子を形成させて機械的物性を向上させるポリエステルの製造方法を提供する。 - 特許庁

To find a simple method by which amount of nitration hindering sulfur compounds used as an isomerization catalyst at the time of conversing α, β-unsaturated carboxylic acid to a corresponding trans-or cis- isomer can be reduced to an extent with which environmentally allowable disposal of process waste water is guaranteed.例文帳に追加

α, β- 不飽和カルボン酸を対応するトランスまたはシス異性体に転化する際に異性化触媒として使用される硝化阻害性硫黄化合物の量を、プロセス廃水の環境的に許容可能な廃棄が保証される程度にまで低減することができる簡単な方法を見出すこと。 - 特許庁

The method comprises the steps of making an inorganic thin film deposited on a substrate, forming a hemispherical photoresist pattern on the inorganic thin film, and forming a microlens of the hemispherical inorganic thin film by carrying out a whole surface etch back process for the inorganic thin film.例文帳に追加

基板上に無機物薄膜を蒸着するステップと、前記無機物薄膜上に半球状のフォトレジストパターンを形成するステップと、前記無機物薄膜に全面エッチバック工程を行い半球状無機物薄膜のマイクロレンズを形成するステップとを有することを特徴とする。 - 特許庁

The method is to prevent or treat infection caused by a range of fungal pathogens in animals, plants or stored plant products and includes a process for administering an effective amount of the sugar acid, above all, mannoic acid, gluconic acid or galacturonic acid.例文帳に追加

動物若しくは植物又は貯蔵された植物産物におけるある範囲の真菌病原体による感染を予防又は治療する方法であって、糖酸、とりわけマンノン酸、グルコン酸若しくはガラクツロン酸の有効量を投与する工程を含む方法が提供される。 - 特許庁

To introduce an effective photopolymerization method capable of achieving a high intermolecular conjugated polymerization degree in an ultraviolet-irradiating polymerization process in a conjugate triple bond-based thiol SAM film, and capable of preventing ultraviolet oxidation on the surface of the SAM film by ultraviolet irradiation.例文帳に追加

本発明の課題は、共役３重結合系チオールＳＡＭ膜において紫外線照射重合過程にて、高い分子間共役重合度を達成し、かつ、紫外線照射によるＳＡＭ膜表面の紫外線酸化を防止する効果的な光重合方法を導入するものである。 - 特許庁

In a process for analyzing the grade of the ruthenium powder by glow discharge mass analyzing method, ruthenium powder is molded using a press mold, of which the material quality is yttrium-stabilizing zirconia and baked in an atmosphere by using a reducible gas to prepare an analytical sample of the ruthenium powder.例文帳に追加

ルテニウム粉末の品位をグロー放電質量分析装置で分析する工程において、材質がイットリウム安定化ジルコニアであるプレス成型用の型を用いてルテニウム粉末を成型し、還元性ガスを用いた雰囲気中にて焼成するルテニウム粉末の分析試料を作製する方法。 - 特許庁

To provide a liquefaction preventive construction method for improving permeation of a grout material into the ground by crushing cement particulates included in the grout material furthermore and reducing cost and time required by the whole process without generating waste grout material having difficulty in its permeation into the ground.例文帳に追加

グラウト材に含まれるセメント微粒子をさらに砕粒して地盤に対する浸透性を向上させるとともに、地盤への浸透が困難になる無駄なグラウト材を生じさせずに、工程全体に要するコストおよび時間を削減できる液状化防止工法を提供する。 - 特許庁

To provide a production method of nitrogen gas-dissolved water by which nitrogen gas-dissolved water used for a wet washing process in industries handling electronic materials like semiconductors or liquid crystals can be produced efficiently and economically by reducing an amount of nitrogen used.例文帳に追加

半導体、液晶などの電子材料を扱う産業において行われるウェット洗浄工程に使用される窒素ガス溶解水を、窒素ガスの使用量を低減して、効率的かつ経済的に製造することができる窒素ガス溶解水の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a printed wiring board capable of incorporating and simply forming an LCR of high precision, concretely an inductor having high inductance in a resin circuit board, with a simple process at a low cost by using general-purpose sheet material.例文帳に追加

汎用的なシート材料を用いることにより低コストで簡便なプロセスにより、樹脂回路基板内に高精度のＬＣＲ、具体的には高いインダクタンスを有するインダクタの内蔵化を実現させると共に簡便に形成することができるプリント配線板の製造方法を提供する。 - 特許庁

This method for manufacturing magnesium or a magnesium alloy spectacle frame includes a process step of subjecting the entire surface of a spectacle frame blank, obtained by cutting and forming the magnesium or magnesium alloy to the sand blasting treatment by spraying of a blast material in manufacturing the spectacle frame made of the magnesium or the magnesium alloy.例文帳に追加

本発明は、マグネシウム又はマグネシウム合金製眼鏡フレームを製造するに際し、マグネシウム又はマグネシウム合金を切削成形して得た眼鏡フレーム素材の表面全面に、ブラスト材料を吹き付けてサンドブラスト処理を施す工程を含む、マグネシウム眼鏡フレームの製造方法である。 - 特許庁

To provide a method for continuously producing a carboxylic acid ester stably for a long period, securing the safety of the process by performing reaction of an unsaturated aldehyde with an alcohol in the presence of oxygen in a high unsaturated aldehyde conversion rate and a high unsaturated carboxylic acid ester selectivity.例文帳に追加

本発明は、酸素の存在下でアルデヒドとアルコールを反応させてカルボン酸エステルを製造する方法に関し、プロセスの安全を確保して、長期にわたり安定して、高いアルデヒド転化率と高いカルボン酸エステル選択率で、連続的にカルボン酸エステルを製造する方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a drying method for a solid catalyst component for olefin polymerization which lessens the amount of an adhering solvent while suppressing the falling of activity, and to provide a manufacturing process for the solid catalyst component for olefin polymerization less in the amount of the adhering solvent and having high activity.例文帳に追加

活性の低下を抑えつつ、付着している溶媒の量をより少なくするオレフィン重合用固体触媒成分の乾燥方法、および付着している溶媒の量がより少なく高活性なオレフィン重合用固体触媒成分の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for regeneration of a photoresist developing waste solution, capable of simply removing impurity metals such as Na or K difficult to remove, inexpensively and effectively in the regeneration process for a developing waste solution mainly containing a photoresist and tetraalkylammonium hydroxide (TAAH).例文帳に追加

フォトレジスト及び水酸化テトラアルキルアンモニウム（ＴＡＡＨ）を主として含む現像廃液の再生処理過程において、従来除去が不十分であったＮａ、Ｋ等の不純物金属を簡単で安価かつ効果的に除去することのできるフォトレジスト現像廃液の再生処理方法を提供する。 - 特許庁

The silver paste is obtained from β-keto silver carboxylate as expressed in a formula (1) and the production method of the silver paste includes a process in which a mixture containing the β-keto silver carboxylate and a polar solvent is heated.例文帳に追加

下記式（１）で表わされるβ−ケトカルボン酸銀から得られる銀ペーストならびに、銀ペーストの製造方法であって、前記方法が、下記式（１）で表わされるβ−ケトカルボン酸銀と、極性溶媒とを含む混合物を加熱する工程を含む銀ペーストの製造方法により解決される。 - 特許庁

This method for continuously producing the polyarylene sulfide by reacting a sulfur source with dihalogenated aromatic compound in an aprotic solvent is characterized by comprising at least one polymerization reaction process in which the polymer phase as a dispersing phase is a spherical liquid droplet.例文帳に追加

非プロトン性有機溶媒中で硫黄源とジハロゲン化芳香族化合物とを反応させてポリアリーレンスルフィドを連続的に製造する方法において、分散相であるポリマー相が球状液滴である重合反応工程を少なくとも１つ含むことを特徴とするポリアリーレンスルフィドの製造方法。 - 特許庁

To provide a dry etching method free from sidewall deposit by employing mixture gas of halogen gas and inert gas as etching gas in the dry etching process of a ferroelectric film and applying high frequency bias power to the ferroelectric film under high vacuum high density plasma.例文帳に追加

強誘電体膜のドライエッチング工程において、ハロゲンガスと不活性ガスの混合ガスをエッチング処理ガスとし、高真空、高密度プラズマ下で強誘電体膜に高周波のバイアス電力を印加することにより側壁付着物のないドライエッチング方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The method of regenerating a catalyst for hydrolysis of COS consisting of potassium carbonate and/or sodium carbonate deposited on alumina includes a process of heat treating the catalyst at 200 to 800°C and then again depositing potassium carbonate and/or sodium carbonate.例文帳に追加

アルミナに炭酸カリウムおよび／または炭酸ナトリウムが担持された、硫化カルボニルの加水分解用触媒の再生方法であって、前記触媒を２００〜８００℃の温度範囲で加熱処理した後、炭酸カリウムおよび／または炭酸ナトリウムを再担持する工程を有する触媒の再生方法。 - 特許庁

This method for producing the epoxy compound, contains a process for glycidyletherizing the secondary hydroxyl groups of the compound containing the cyclohexanol groups with epichlorohydrin and an alkali metal hydroxide in the presence of a tertiary alcohol such as t-butanol and, if necessary, a phase transfer catalyst.例文帳に追加

シクロヘキサノール基を含む化合物に対し、ｔ−ブタノール等の三級アルコールの存在下、エピクロルヒドリンおよびアルカリ金属水酸化物、必要に応じて相間移動触媒を用いて、この二級アルコール性水酸基をグリシジルエーテル化する工程を経て、エポキシ化合物を製造する。 - 特許庁

The method for producing the ordinary temperature molten salt includes a process in which an organic compound containing no polymerizable functional group is additionally reacted with the polymerizable functional groups of the salt monomer comprising the onium cation having the polymerizable functional group and the organic anion having the polymerizable functional group.例文帳に追加

さらには、重合性官能基を有するオニウムカチオンと重合性官能基を有する有機アニオンとからなる塩モノマーの重合性官能基に、重合性官能基未含有化合物を付加反応させる工程を含むことを特徴とする常温溶融塩の製造方法。 - 特許庁

The method of manufacturing the stent comprises a process of forming the polymer film by applying the aqueous solution of the polyvinyl alcohole polymer to the stent frame and gelatinizing the same by repeating the freezing and the thawing treatment.例文帳に追加

ステントの製造方法は、ポリビニルアルコール系重合体の水溶液をステントフレームに塗布し、凍結処理および解凍処理を繰り返してゲル化させて重合体皮膜を形成する工程を含み、重合体の水溶液は、生化学的活性物質などを含有することができる。 - 特許庁

The method for producing the ethylene glycol includes using H-ZSM5-type zeolite as a solid acid catalyst to be brought into contact with the methanol in a process for producing the ethylene glycol by bringing the methanol containing the 2-methyl-1,3-dioxolane into contact with the solid acid catalyst.例文帳に追加

２−メチル−１，３−ジオキソランを含むメタノールを、固体酸触媒と接触させエチレングリコールを製造させる工程において、接触させる固体酸触媒がＨ−ＺＳＭ５型ゼオライトであることを特徴とするエチレングリコールの製造方法によって上記課題を解決することができる。 - 特許庁

The manufacturing method of the fuel cell 200 includes a process forming a cathode 30 formed of an electrode material by forming the electrode material having cathode activity in an amorphous state on an electrolyte 20 formed on a hydrogen separating membrane 10 and having proton conductivity.例文帳に追加

燃料電池（２００）の製造方法は、水素分離膜（１０）上に形成されプロトン伝導性を有する電解質（２０）上に、カソード活性を有する電極材料をアモルファスの状態で成膜することによって電極材料からなるカソード（３０）を形成する工程を含む。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for an ink-jet head, capable of certainly insulating between the electrodes in forming electrodes by a laser process, and beautifully finishing the processed surface, without a loss by short circuit between the electrodes or bonding failure with another part.例文帳に追加

レーザー加工による電極形成において、各電極間で確実に絶縁を図ることができると共に、加工表面を美しく仕上げることができ、電極間のショートや部品との接合不良によるロスの発生のないインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。 - 特許庁

This aqueous emulsion preparation method is provided wherein a vinyl alcohol based polymer containing 1-15 mol% of ethylene unit in its molecule is used as a dispersant in a process of emulsion polymerization of vinyl easer monomers with an ethylene-vinyl ester copolymer resin emulsion acting as seed.例文帳に追加

エチレン−ビニルエステル共重合体系樹脂エマルジョンをシードとしてビニルエステル系単量体を乳化重合する際に、分子内にエチレン単位を１〜１５モル％含有するビニルアルコール系重合体を分散剤として用いることを特徴とする水性エマルジョンの製造方法。 - 特許庁

In this medical implant used for brachytherapy or other medical treatment wherein radioactive ions are preferably implanted into a silicon-based material, radioactive xenon ions are used as the radioactive ions, and the radioactive ions are doped into a silicon substrate by the controlled method in an ion implantation process.例文帳に追加

好ましくはシリコン・ベースまたは放射性イオンを移植された、ブラキテラピーまたは他の医療処置に使用する医療インプラントにおいて、放射性イオンとしては放射性キセノン・イオンを使用し、イオン移植工程は、制御された方法で放射性イオンをシリコン基体にドーピングするものである。 - 特許庁

The manufacturing method has a process of mixing the metal amide compound and the metal hydride containing as a whole the metals of lithium and magnesium as a component, under an inert gas atmosphere, or a hydrogen gas atmosphere, or under a mixed gas atmosphere of the inert gas and hydrogen gas.例文帳に追加

製造方法は、全体としてリチウムとマグネシウムの金属を成分として含む、金属水素化物と金属アミド化合物とを、不活性ガス雰囲気下もしくは水素ガス雰囲気下または不活性ガスと水素ガスとの混合ガス雰囲気下において混合する工程を有する。 - 特許庁

To efficiently reduce the water content of a cake of wet toner particles obtained by separating toner particles from a toner particle dispersion and washing these, in an apparatus and method for manufacturing toner particles shaped by a wet process.例文帳に追加

湿式で造粒されるトナー粒子の製造装置及び製造方法において、トナー粒子の分散液からトナー粒子を分離・洗浄して得られた湿潤トナー粒子のケーキの含水率を効率良く低下させるトナー粒子の製造装置及び製造方法を提供することである。 - 特許庁

To provide a production apparatus and a production method of toner particles, which efficiently and stably reduce the water content of wet toner particle cake obtained by separating and washing toner particles from toner particle dispersion in the production apparatus of the toner particles granulated in a wet process.例文帳に追加

湿式で造粒されるトナー粒子の製造装置において、トナー粒子の分散液からトナー粒子を分離・洗浄して得られた湿潤トナー粒子ケーキの含水率を効率良く、且つ、安定的に低下させるトナー粒子の製造装置及び製造方法を提供することである。 - 特許庁

To provide a method for increasing the yield of BHET product with which diethylene glycol terephthalic acid ester (DEG ester) contained in the residue occurring in recovery of ethylene glycol by distillation is converted to BHET of active ingredient so that the residue is recycled into the production process of BHET.例文帳に追加

エチレングリコールを蒸留回収する際生じる残渣に含まれるジエチレングリコールのテレフタル酸エステル（ＤＥＧエステル）を有効成分のＢＨＥＴに変換することで、該残渣をＢＨＥＴの製造工程へリサイクルすることを可能にし、製品ＢＨＥＴの収率を高める方法を提供する。 - 特許庁

LOW MOLECULAR WEIGHT HEPARIN SALT ACCOMPANYING TRIETHANOL AMINE USEFUL AS THERAPEUTIC ANTITHROMBOTIC DRUG FOR TOPICAL DELIVERY, METHOD FOR PREPARATION OF THE SAME, PROCESS FOR ELIMINATING HYGROSCOPIC PROPERTY OF HEPARIN SALT, AND PHARMACEUTICAL COMPOSITION AND ITS USE FOR TOPICAL USE IN ANTITHROMBOTIC TREATMENT例文帳に追加

局所的送達の治療用抗血栓剤として有用なトリエタノールアミンを伴う低分子量ヘパリン塩、それらの調製方法、ヘパリン塩の吸湿性を除去するためのプロセス、抗血栓療法における局所的使用のための薬学組成物及びそれにおける使用 - 特許庁

At least the surface of the toner carrier used in a developing method by an elecrophotographic process in which a toner is supplied to the development of an electrostatic latent image is formed with a composition comprising a polyvinyl acetal and metal oxide particles.例文帳に追加

トナーを静電潜像の現像に供する電子写真法による現像方法に用いるトナー担持体であって、少なくともその表面が、ポリビニルアセタール及び金属酸化物粒子からなる組成物によって形成されているトナー担持体並びにこのトナー担持体を用いる現像方法である。 - 特許庁

To provide a light diffraction element with which an optimum diffraction efficiency ratio (primary diffraction efficiency: zero-th diffraction efficiency) is available for respective diffraction elements, a method for manufacturing the light diffraction element in one process, and an optical pickup device using the light diffraction element.例文帳に追加

それぞれの回折素子において最適な回折効率比（１次回折効率：０次回折効率）が得られる光回折素子、およびその光回折素子を１プロセスで作製する光回折素子の製造方法、ならびにその光回折素子を用いた光ピックアップ装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a highly active electrode catalyst for a fuel cell replacing platinum and having high four-electron reduction performance and a high recycling property without using Fe carbonyl or Ni carbonyl which is a toxic substance in a manufacturing process.例文帳に追加

白金の代替となる、四電子還元性能が高く高活性な燃料電池用電極触媒であって、且つその製造過程で有害物質であるＦｅカルボニルやＮｉカルボニルを使用せず、且つリサイクル性の高い燃料電池用電極触媒の製造方法を提供する。 - 特許庁

The method for manufacturing the toner includes a step of aggregating resin particles in at least an aqueous medium, wherein at least one of inorganic oxo acid or an alkali metal salt of inorganic oxo acid is added in the process of aggregating the resin particles.例文帳に追加

少なくとも水系媒体中で樹脂粒子を凝集させる工程を有するトナーの製造方法であって、該樹脂粒子を凝集させる工程において、無機オキソ酸または無機オキソ酸アルカリ金属塩のうち、少なくとも一方を添加することを特徴とするトナーの製造方法。 - 特許庁

The method includes the steps of creating a memory file system in non-pageable kernel memory of the computing device, writing data to the memory file system and transferring the written data to a pageable memory space allocated to a user process running on the computing device.例文帳に追加

本方法は、コンピューティングデバイスのページング不能カーネルメモリにメモリファイルシステムを作成するステップと、メモリファイルシステムにデータを書き込むステップと、書き込まれたデータを、コンピューティングデバイス上で実行されているユーザプロセスにアロケートされているページング可能メモリ空間へ転送するステップとを含む。 - 特許庁

Radioactive rare gas generated from a reactor and a reprocessing process or spent nuclear fuel is recovered by contacting rock adsorbing in adsorbents consisting or natural zeolite rock especially an adsorbent which natural zeolite rock is controlled in hydrogen type by ion exchanging method.例文帳に追加

原子炉で発生する放射性希ガス又は使用済核燃料の再処理工程で発生する放射性希ガスを、天然ゼオライト岩からなる吸着剤、特に天然ゼオライト岩をイオン交換法により水素型に調整した吸着剤に接触吸着させて回収する。 - 特許庁

The method uses the etching composition which effectively protects a pattern or a storage electrode composed of polysilicon and selectively eliminates the oxidized film in a wet etching process, as a result the oxidized film is eliminated in a high etching ratio and impairment of polysilicon film is inhibited.例文帳に追加

ポリシリコンで構成されたパターン又はストレージ電極を効果的に保護することができるエッチング組成物を用いて、ウエットエッチング工程で酸化膜を選択的に除去するので、高いエッチング選択比で酸化膜を除去できるとともに、ポリシリコン膜の損傷を防止することができる。 - 特許庁