| 意味 | 例文 |
micro-thinの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 235件
While an evaporated raw material gas flows in the micro-passage 95, the raw material gas is heated by the thin film heater 97 and expedited by the reforming catalyst 96 to cause reforming.例文帳に追加
そして、気化した原料ガスがマイクロ流路95を流れている間に、原料ガスは薄膜ヒータ97に加熱されて、更に改質触媒96に促進されて、改質反応をする。 - 特許庁
To provide a MEMS (micro electro mechanical system) sensor and a manufacturing method thereof capable of reducing a time and labor for forming a protrusion for preventing contact between a substrate and a lower thin film.例文帳に追加
基板と下薄膜との接触を防止するための凸部を形成するための時間および手間を軽減することができるMEMSセンサおよびその製造方法を提供すること。 - 特許庁
In the separation process (S15), a micro cavity is grown up inside a fixed distance from the flat surface of the piezoelectric substrate 1, and a piezoelectric thin film 4 is separated from the piezoelectric substrate 1 bonded to the support part 2.例文帳に追加
剥離工程(S15)は、圧電基板1の平坦面から一定距離の内部でマイクロキャビティを成長させて、支持部2に接合する圧電基板1から圧電薄膜4を剥離する。 - 特許庁
Since sapphire has a refractive index of approximately 1.84 in the wavelength of 248 nm and the refractive index is higher than quartz of approximately 1.51, the optical thin-film 303 functions as the convex lens-shaped micro-lens array.例文帳に追加
サファイアは、波長248nmにおける屈折率は約1.84であり、石英の約1.51よりも高いことから、光学薄膜303が凸レンズ状のマイクロレンズアレイとして作用する。 - 特許庁
Micro phase separation is induced in a metal nanocolloid containing a nonionic surfactant and an ionic surfactant to obtain a coating liquid containing metal nanoparticles for use in forming the thin metal foil.例文帳に追加
ノニオン性界面活性剤およびイオン性界面活性剤を含有する金属ナノコロイドにミクロ相分離を誘発させて得られる金属ナノ微粒子を含む塗工液を用いる。 - 特許庁
METHOD FOR FORMING PATTERN, METHOD FOR MANUFACTURING MICRO DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING THIN-FILM MAGNETIC HEAD, METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC HEAD SLIDER, METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC HEAD DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC RECORDING AND REPRODUCING DEVICE例文帳に追加
パターン形成方法、マイクロデバイスの製造方法、薄膜磁気ヘッドの製造方法、磁気ヘッドスライダの製造方法、磁気ヘッド装置の製造方法、磁気記録再生装置の製造方法 - 特許庁
An opposing face side of each of the micro-strip lines 14, 15 is roughed for reserving a bond strength to the insulating thin film layer 13, but a potential difference between the opposing faces is not generated.例文帳に追加
各マイクロストリップ線路14,15は絶縁性薄膜層13との密着強度を確保するため対向面側が粗面化されているが、該対向面どうしの間には電位差が生じない。 - 特許庁
The chemically sensing device uses a surface plasmon resonance in a micro opening provided in a metallic thin film or on the surface of a metal nanoparticle, which provides a capture agent in the micro opening or in the surface of the metal nanoparticle and then captures a target substance by using the capture agent.例文帳に追加
金属薄膜に設ける微小な開口、または、金属微粒子の表面における表面プラズモン共鳴を利用する化学センシング装置において、微小な開口、または金属微粒子の表面に捕捉体物質を設け、該捕捉体物質を利用して、標的物質を捕捉する。 - 特許庁
To provide a micro-lens molding mold which can form a micro-lens of a thin thickness, can reduce dispersion in thickness, is resistant to breakage and high in durability, and has an improved precision molding surface shape and to provide a method for producing a thin precision micro-lens in a high yield by using the molding mold high in durability and shape precision.例文帳に追加
マイクロレンズの厚さを薄く形成することが可能であるとともに、厚さのばらつきを低減することができるマイクロレンズ成形型を提供することにあり、また、破損しにくく、耐久性が高いとともに、従来よりも高精度の成形面形状を有するマイクロレンズ成形型を提供し、さらに、上記のような耐久性及び形状精度が高いマイクロレンズ成形型を用いることによって、薄型化可能であり、また、高精度で、歩留まりの高いマイクロレンズの製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a thin-film magnetic head with microwave band magnetic exciting function and a magnetic recording and reproducing device provided with the thin-film magnetic head, which writes a data signal with high accuracy in a magnetic recording medium having large coercive force without heating, and applies a magnetic field for micro wave resonance to a magnetic recording medium even in a higher micro wave band.例文帳に追加
加熱によることなく大きな保磁力を有する磁気記録媒体に高精度でデータ信号の書込みを行うことができ、しかも周波数のより高いマイクロ波帯においても磁気記録媒体にマイクロ波共鳴用磁界を印加することのできるマイクロ波帯磁気駆動機能付の薄膜磁気ヘッド及びこの薄膜磁気ヘッドを備えた磁気記録再生装置を提供する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a dielectric thin film device for solving a problem due to a residual stress actualized when the patterning of a dielectric thin film is performed by using conventional photo-lithography technology, and a problem due to a micro-fine residue.例文帳に追加
従来のフォトリソグラフィー技術を用いて誘電体薄膜のパターニングを行った場合に顕在化する残留応力に起因する問題および微小残渣に起因する問題を解消することができる誘電体薄膜デバイスの製造方法を提供する。 - 特許庁
This can suppress the occurrence of micro-cracks in the second semiconductor chip 2 due to the impact of a thin metallic wire 7 for connecting the second semiconductor chip 2 to the wiring substrate 20, and the occurrence of defective bonding of the thin metallic wire 7.例文帳に追加
これにより、第2の半導体チップ2を配線基板20に電気的に接続する金属細線7の衝撃により、第2の半導体チップ2にマイクロクラックが発生したり、金属細線7の接合不良が発生することを抑えることを可能とする。 - 特許庁
To provide a method for evaluating easily and quickly a film thickness and a distribution thereof of a thin film existing on a material surface, in particular, the method for evaluating the film thickness in a micro-part of the thin film existing on the material surface, and the film thickness distribution in a sample face.例文帳に追加
簡便で迅速に、材料表面に存在する薄膜の膜厚及びその分布を評価する方法、特に材料表面に存在する薄膜の微小部の膜厚および、試料面内での膜厚の分布を評価する方法を提供する。 - 特許庁
While rotating a substrate holder 30 and a transfer table 40, the joining face of plural thin films 12a on a substrate 10 and the transfer table 40 is irradiated with an argon high speed atom beam 5, plural thin films 12a are peeled from the substrate 10, plural thin films 12a are laminated/joined on the transfer table 40, a micro structure is formed.例文帳に追加
基板ホルダ30および転写台40を回転させながら、基板10上の複数の薄膜12aおよび転写台40の接合面にアルゴンの高速原子ビーム5を照射し、基板10から複数の薄膜12aを剥離し、転写台40上に複数の薄膜12aを積層して接合することにより微小構造体を形成する。 - 特許庁
To precisely measure non-destructively and non-contactingly an index value in a short time, which is for evaluating the crystallinity of an extremely micro area in a thin film sample comprising a semiconductor such as polysilicon.例文帳に追加
ポリシリコン等の半導体からなる薄膜試料のごく微小領域の結晶性を評価するための指標値を,非破壊及び非接触で,かつ短時間及び高精度で測定できること。 - 特許庁
Organic thin film photosensors 4a, 4b are inside the package and installed just near the optical transmission window 11 which is a passage of the scanning light beams reflected from a micro mirror 21 of the light deflector 2.例文帳に追加
有機薄膜フォトセンサ4a、4bはパッケージ内部にあって、光偏向器2のマイクロミラー21から反射される走査光ビームが通過する光学透過窓11の極近傍に設けられている。 - 特許庁
The interface lends itself to implementation with miniature connectors and thin flexible cables which are especially useful in connecting display elements such as wearable micro-displays to portable computers and wireless communication devices.例文帳に追加
このインターフェースは、小型のコネクタと、ウェアラブルマイクロディスプレイのようなディスプレイエレメントをポータブルコンピューターおよび無線通信装置に接続するのに特に有用な薄い可撓性のケーブルを有した実施に適している。 - 特許庁
To provide a photosensitive resin composition capable of easily forming a micro-patterned thin film excellent in low dielectric property as well as in various properties such as flatness, heat resistance, transparency and chemical resistance.例文帳に追加
平坦性、耐熱性、透明性、耐薬品性等の諸性能に優れるとともに、低誘電性に優れた微細なパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁
The lithium micro-battery is formed by a laminate of thin layers on a substrate 1, and includes two current collectors 2, 3, a positive electrode 4, a solid electrolyte 6, a negative electrode 5, and the encapsulating layer.例文帳に追加
リチウム・マイクロバッテリは、薄膜層の積層体により基板1上に形成され、2つの電流コレクタ2及び3と、正電極4と、固体電解質6と、負電極5と、封止層とを備える。 - 特許庁
To change an orientation of zinc oxide whereby an oxide semiconductor thin film layer excels in a heat resistance and surface smoothness, it is intended to suppress a leakage current and enhance a current drive capability, and a pixel electrode excels in a micro processability, thereby highly micronizing pixels.例文帳に追加
酸化亜鉛の配向を変化させることで、酸化物半導体薄膜層は、耐熱性、表面平滑性に優れたものとし、リーク電流の抑制、電流駆動能力の向上を図る。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a rare earth permanent magnet thin film enabling mass-production at low cost of a high performance and small micro device with high processing accuracy, using a high performance permanent magnet thin film laminated with a high melting point metal layer, such as Ta, and a R-T-B based permanent magnet.例文帳に追加
Taなどの高融点金属層とR−T−B系永久磁石が積層された高性能永久磁石薄膜を用いた、高加工精度の小型・高性能なマイクロデバイスを、低コストで大量に生産することができる、希土類永久磁石薄膜の製造方法の提供。 - 特許庁
To provide an ultra thin sheet welding method by semiconductor laser in which a synthetic beam is formed by space coupling of combining a plurality of basic beams and by forming an irradiation beam adaptable to a joining shape of the surface to be welded of an ultra thin metallic sheet, and also to provide an ultra high-speed laser micro welding apparatus related to the method.例文帳に追加
各基本ビームを複数組み合わせるスペースカップリングにより合成ビームを生成させ、超薄板金属の被溶接面の接合形状に適応する照射ビームを生成する半導体レーザによる超薄板溶接方法とその超高速レーザ微細接合装置を提供する。 - 特許庁
To provide raw paper for a corrugating medium capable of preventing the lowering of adhesive strength at a time of the manufacturing of thin corrugated cardboard by a fingerless system and especially suitably used in a micro- fluted corrugated cardboard sheet and to obtain the thin corrugated cardboard sheet excellent in carton making properties and printability by using the raw paper.例文帳に追加
フィンガーレス方式による薄型段ボール製造時の接着強度低下の問題を防止することのできる、特にマイクロフルート段ボールシートに好適に使用される中芯用原紙、及びそれを用いて製函適性、印刷適性に優れた薄型の段ボールシートを得る。 - 特許庁
In the race for shell-shaped needle bearing forming a cylindrical race 1 made of drawing of a thin plate material 10, a micro irregularity is formed on one face of the thin plate material 10 with bright faces on the both sides to have a fitting face 1a, while the other face is made as a rolling face 1b.例文帳に追加
薄板材料10を絞り加工して円筒状の軌道輪1を形成するシェル形ニードル軸受用軌道輪であって、両面がブライト面の前記薄板材料10の片面に微細な凹凸を形成して嵌め合面1aとし、他方の面を転動面1bとしたこと。 - 特許庁
To provide a semiconductor device in which the interconnect line of a thin film device can be prevented from short-circuiting while reducing the increase of the parasitic capacitance when the thin film device (semiconductor device) is constituted by pasting a micro tile-like element onto a substrate, and to provide its manufacturing method and an electronic apparatus.例文帳に追加
基板上に微小タイル状素子を貼り付けて薄膜デバイス(半導体装置)を構成する場合に、その薄膜デバイスについての配線が短絡すること及び寄生容量が増大することを低減できる半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子機器を提供する。 - 特許庁
To provide a device manufacturing method to be a basic technology for manufacturing a micro/nano device using a film forming method to a base material by which a smooth film can be formed in a wide film thickness range from a thin film to a thick film in a micro/nano region position-selectively to the base material of a compound or the like containing an Si-O-Si bond.例文帳に追加
Si−O−Si結合を含む化合物等の基体に対して極めて平滑な膜を、薄膜から厚膜まで広い膜厚範囲で、マイクロ/ナノ領域に位置選択的に形成可能とした基体への膜形成法を用いた、マイクロ/ナノデバイスの作製のための基盤技術となるデバイス作製法を提供する。 - 特許庁
A solar cell is provided with a double-layer heterostructure of a substrate 10 comprising a polycrystal of plural elements having a non- uniform micro composition distribution and a deposit 20 formed by depositing to grow a thin film crystal on this substrate.例文帳に追加
ミクロ的な組成分布が不均一な多元系多結晶からなる基板10と、この基板上に薄膜結晶を堆積成長させてなる堆積成長層20との2層ヘテロ構造を備えた太陽電池。 - 特許庁
In the method of making the thin sheet of the amorphous metallic material, molten metallic material capable of rapidly solidifying to an amorphous micro-structure, is discharged on the surface under flattened statical state of a liquid cooling pool.例文帳に追加
非晶質金属材料の薄板を製造する方法において、急速に凝固して非晶質ミクロ組織となりうる溶融金属材料を冷却液溜りの平らな静止状態の表面上に排出する。 - 特許庁
A TFT(thin film transistor) substrate 110 and a counter substrate 120 are aligned and joined together by deciding the coincidence of an alignment mark 112 of the TFT substrate 110 and a pitch of the micro lenses part 122 of the counter substrate 120 with each other.例文帳に追加
TFT基板110のアライメントマーク112と対向基板120のマイクロレンズ部122のピッチの一致を判定することにより、TFT基板110と対向基板120とを位置合わせして接合する。 - 特許庁
The raw material constituting the thermoelectric conversion material of the thin wire 2 and the raw material of the non-conductive material 3 are alternately supplied on the single crystal inclined substrate 1 inclined from the face of an arbitrary exponent by the micro angle.例文帳に追加
その作製は、任意の指数の面から微小角傾斜した単結晶傾斜基体1上に、細線2の熱電物質を構成する原料と非導電物質3の原料とを交互に供給して実施する。 - 特許庁
To provide a spiral electrode group, using thin type electrodes and a battery provided with the electrode group which markedly decreases difference in capacities among batteries, and hardly produces micro short-circuits, even if changings and dischargings are repeated.例文帳に追加
電池間の容量バラツキが著しく低下し、充放電を繰り返しても微小短絡が生じにくい、薄型電極を用いる渦巻状の電極群及びその電極群を備えた電池を提供する。 - 特許庁
To manufacture a good-quality liquid crystalline block copolymer thin film in which the micro-phase separation structure of a liquid crystalline block copolymer has a uniaxially horizontally aligning nanopattern, simply and stably even if having a large area.例文帳に追加
液晶性ブロック共重合体のミクロ相分離構造が一軸水平配向したナノパターンを有する良好な品質の液晶性ブロック共重合体薄膜を、大面積でも簡便に安定して製造する。 - 特許庁
To provide a polymeric thin film in which a microphase separation phenomenon of a polymeric block copolymer is used, thereby a pillar-shaped micro domain is oriented in the penetration direction of the film, and which has a regulated arrangement pattern.例文帳に追加
高分子ブロック共重合体のミクロ相分離現象を用いて、柱状ミクロドメインが、膜の貫通方向に配向するとともに規則配列パターンを有する高分子薄膜を提供することを課題にする。 - 特許庁
To provide a light, thin, and small micro capsule magnetic migration display sheet in which recording and erasing are both enabled in a same surface, clear characters are recorded depending on a kind of a magnet, the erasing is performed clearly, and contrast difference of white and black is high.例文帳に追加
軽薄短小、記録乃至消去がいずれも同一面で可能であり、磁石の種類如何により鮮明な文字等が記録され、またきれいに消去され、しかも白黒のコントラストの差が大きいこと - 特許庁
To display a high quality image by improving an efficiency of incident light with respect to a liquid crystal device of such a constitution as is provided with a light-shielding film under TFTs(Thin Film Transistors) for switching pixels and micro lenses on a counter substrate.例文帳に追加
画素スイッチング用TFTの下側に遮光膜を設け且つ対向基板にマイクロレンズを備えた形式の液晶装置において、入射光の利用効率を改善し、高品位の画像を表示する。 - 特許庁
To provide a quartz substrate with a zinc oxide thin film suitable for growing a good quality hexagonal system nitride semiconductor crystal such as GaN, which has heat resistant properties so that micro cracks are not generated on the zinc oxide thin film, even if it is heated to a temperature of 700-900°C at the time of the growth of the semiconductor crystal.例文帳に追加
GaNなどの良質な六方晶系の窒化物半導体結晶を成長させるのに適した、ZnO薄膜付き石英基板において、半導体結晶成長時に 700〜900 ℃の温度に加熱されても、ZnO系薄膜にマイクロクラックが発生しないよう、耐熱性を改善する。 - 特許庁
This organic functional thin film is characterized by having micro phase-separated structures formed from a block copolymer in which mutually non-compatible polymer chains are bonded, having releasable substituents on the polymer for forming one of the separated phases of the micro phase-separated structure, and containing metal fine particles in pores 10 formed by the release of the substituents.例文帳に追加
互いに非相溶であるポリマー鎖が結合したブロック共重合体により形成されたミクロ相分離構造を有し、ミクロ相分離構造の一方の分離相を形成するポリマー鎖は、脱離可能な置換基を有し、置換基の脱離によって形成された空孔10に、金属微粒子を含有することを特徴とする。 - 特許庁
To provide a micro reactor chip that bubbles do not enter a bonding interface and it can be evenly bonded, a fluid neither leaks nor change in inner diameter and shape of a passage at the time of bonding occurs, further, the problem of the defective bonding neither occurs nor any warp generates even though a final micro reactor chip is thin.例文帳に追加
接合界面に気泡が入らず均一に接合でき、流体の漏れなどが発生しないだけでなく、接合時に流路の内径変化、形状変化がなく、さらに、最終的なマイクロリアクターチップが薄い場合でも、前記接合不良の問題がなく、反りなどが発生しないマイクロリアクターチップ作製方法を提供することである。 - 特許庁
In the resin relief printing plate for forming the thin film used for transferring a coating liquid applied on projected parts 2 for printing onto a body to be printed and printing, channel parts 4 for holding the coating liquid are formed among adjoining micro-projections 3 by distributing and forming a number of the micro-projections 3 on the whole face of the projected parts 2 for printing.例文帳に追加
印刷用凸部2に塗布された塗工液を被印刷体に転写し印刷するために用いる薄膜形成用樹脂凸版1であって、上記印刷用凸部2全面に多数の微小突起3が分布形成されていることによって、隣り合う微小突起3間に、上記塗工液を保持するための溝部4が形成されている。 - 特許庁
This optical switching element 20 having a reflector 21a such as a micro-mirror is provided with a thin film interfering layer 23 reflecting light by interfering on the surface of a metallic support layer 24 to increase the reflectivity using interfering.例文帳に追加
マイクロミラーなどの反射体21aを備えた光スイッチング素子20において、金属製の支持層24の表面に、干渉により光を反射する薄膜の干渉層23を設け、干渉を利用して反射率の増大を図る。 - 特許庁
The block chain B has high affinity to the surface of the guide pattern 702 and the block chain B is selectively brought into contact with the surface of the guide pattern 702 when the block copolymer thin film 703 is separated in micro phase.例文帳に追加
また、ブロック鎖Bは、ガイドパターン702の表面への親和性が高く、ブロック共重合体薄膜703をミクロ相分離させた場合、ブロック鎖Bが選択的にガイドパターン702の表面に接触するものとする。 - 特許庁
To provide a thin flexible wiring board in which the flatness of entire board is appropriate, adhesion between a base film and a metallic wiring is superior, reliability such as bending life or the like is high, micro wiring is formed in high density.例文帳に追加
基板全体の平坦性が良好であるとともに、ベースフィルムと金属配線との密着性に優れ、屈曲寿命等の信頼性が高く、微細な配線が高密度に形成された薄型のフレキシブル配線基板を提供する。 - 特許庁
In the case of deposition of metallic thin films on the side faces of the micro-metallic structures 16, insulation layers 19A and 19B are first formed on actuator structures 18 and metallic plates 20A and 20B are arranged on the insulation layers 19A and 19B.例文帳に追加
微細金属構造体16の側面に金属薄膜を成膜する場合は、まずアクチュエータ構造体18上に絶縁層19A,19Bを形成し、この絶縁層19A,19B上に金属プレート20A,20Bを配置する。 - 特許庁
To measure the thermal capacity per unit area, thermal permeability and thermal diffusivity of a micro-area and a thin film on the surface of a sample with high spatial resolution by measuring a thermo-reflectance signal of the sample by use of a thermophysical property microscope.例文帳に追加
熱物性顕微鏡を用いて試料の熱反射信号を測定し、試料表面の微小領域及び薄膜の単位体積あたり熱容量、熱浸透率、熱拡散率を高い空間分解能により測定すること。 - 特許庁
The optical recording medium has the organic thin film, as a recording layer, consisting essentially of a block copolymer having two or more polymer blocks which are not compatible with each other and containing the recording material having an optically recording and reproducing function in only one phase of the micro phase separation structure and a functional optical material having no optically recording and reproducing function in only another phases of the micro phase separation structure.例文帳に追加
互いに非相溶の2種以上のポリマーブロックを有するブロック共重合体を主成分とし、そのミクロ相分離構造の一つの相にのみ光記録再生機能を有する記録材料を含有し、ミクロ相分離構造の他の相にのみ光記録再生機能を有しない機能性光学材料を含有する有機薄膜を記録層とする光記録媒体。 - 特許庁
The liquid crystal panel is provided with a pixel part having plural thin film transistors and pixel electrodes formed on the first substrate, the second substrate, a liquid crystal and gap holding members arranged between the first and the second substrates and a micro lens array having plural micro lenses arranged on the second substrate on the side opposite to the first substrate.例文帳に追加
第1の基板上に形成された複数の薄膜トランジスタ及び画素電極を有する画素部と、第2の基板と、前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた液晶およびギャップ保持部材と、前記第2の基板上であって、前記第1の基板の反対側に設けられた複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイとを有する液晶パネル。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a high-density recordable optical information recording medium, in which an excellent thin resin layer is formed, by eliminating the influence of a micro protrusion formed on the inside of a disk substrate during the in injection molding of the disk substrate.例文帳に追加
ディスク基板の射出成形時にディスク基板の内側に形成される微小突起部による影響を解消して、良好な薄い樹脂層を形成する高密度記録対応の光情報記録媒体の製造方法を提供すること。 - 特許庁
According to this constitution, a multitude of micro channels 3a, 3b can easily be formed in the plate by compressing the corrugated fin obtained by forming the thin sheet member so as to have a wavy form into the wavy direction, and surrounding the corrugated fin 3 by the outer shell plate 2.例文帳に追加
これにより、薄板材を波形状に成形したコルゲートフィンを波形状方向に圧縮し、更にこのコルゲートフィン3を外殻プレート2で取り囲むことにより、内部に多数のマイクロチャネル3a、3bを形成することが容易である。 - 特許庁
This technology is applicable to a manufacture of filter for a color liquid crystal display, and to a related step of components such as a photoelectric thin film of a low molecule sequence organic light emitting diode, a macromolecule sequence light emitting diode and other components having a micro structure.例文帳に追加
本技術はカラー液晶ディスプレイのフィルタの製造、低分子系列の有機発光ダイオード及び高分子系列の発光ダイオードの光電薄膜或いはその他のマイクロ構造を具えた部品の関係工程に応用可能である。 - 特許庁
The manufacturing method is used for a micro grid 1 that includes a grid mesh 10 that is used for sample support when observed by an electron microscope and a thin film 20 placed on the grid mesh 10 that has pores 21.例文帳に追加
本発明の製造方法は、電子顕微鏡による観察の際に試料支持用として用いられる、グリッドメッシュ10と、グリッドメッシュ10上に設けられた、孔部21を有する薄膜20と、を備えたマイクログリッド1の製造方法である。 - 特許庁
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