「surface active」に関連した英語例文の一覧と使い方(70ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an active energy ray-curable composition capable of forming a cured film having excellent properties originally required for the cured coated film such as a surface hardness, chemical/solvent resistance and adhesiveness to a base material, and also having excellent antibacterial and/or antifungal properties, and the long-term sustainability thereof.例文帳に追加

表面硬度、耐薬品・溶剤性、基材との密着性などの硬化塗膜に本来求められる性能に優れ、かつ抗菌性及び／または防黴性、更にはその長期的持続性にも優れた硬化塗膜の形成が可能な活性エネルギー線硬化性組成物の提供。 - 特許庁

To secure a breakdown voltage at a periphery (peripheral region, junction terminal region), the voltage being equal to or greater than that of a cell, by the conventional periphery termination structure or Resurf (Reduced Surface Field) structure since the concentration of the body cell (active region) in a super junction structure becomes comparatively high.例文帳に追加

スーパ・ジャンクション構造では、本体セル部（活性領域）の濃度が比較的高濃度となるため、従来型の周辺ターミネーション構造またはリサーフ構造によってセル部と同等以上の耐圧を周辺部（周辺領域、接合終端領域）で確保することは困難となることである。 - 特許庁

The active vibration removing device includes: an air spring 21 that supports an object for vibration removal (a surface plate 7, a top plate 27 and a precision device) with respect to a foundation structure 3; a linear motor 23; a controller controlling vibration of the object for vibration removal by driving the linear motor 23; and a displacement sensor 33.例文帳に追加

除振対象物（定盤７、トッププレート２７及び精密装置）を基礎構造部３に対して支持する空気ばね２１と、リニアモータ２３と、リニアモータ２３を駆動して除振対象物の振動を制御するコントローラ３７と、変位センサ３３とを備えたアクティブ除振装置である。 - 特許庁

To provide a process for producing a fatty acid methyl ester as a biodiesel fuel that can solve such problems as the danger to a man in handling each of catalysts used in the production of a fatty acid methyl ester, the decrease in a yield due to the production of a surface active component and a high cost of the catalyst.例文帳に追加

各脂肪酸メチルエステル生成における触媒を人が取り扱う上での危険性、界面活性成分生成による歩留まりの低下、触媒の高コストの課題を解決できるバイオディーゼル燃料である脂肪酸メチルエステルを生成する方法を提供する。 - 特許庁

A coating film is formed by coating an electrode mixture paste to contain an electrode active material 3, an air hole forming material, and a binder 4 on a surface of a current collector sheet, the obtained coating film is dried and rolled, and electrode mixture layers 2a, 2b of an electrode for the lithium-ion battery are formed.例文帳に追加

電極活物質３、気孔形成材および結着材４を含む電極合剤ペーストを集電体シートの表面に塗布して塗膜を形成し、得られた塗膜を乾燥および圧延することにより、リチウムイオン電池用電極の電極合剤層２ａ、２ｂを形成する。 - 特許庁

On a surface of the bulk silicon wafer substrate 1', an insulator layer 2 is formed by etching back the dielectric insulating layer 2' in its thickness direction for forming each active area 10 being exposed so as to project a body region of the field effect transistor in a shape of fin portions 3 and 5.例文帳に追加

バルクシリコンウエハ基板１’の表面上において、各活性エリア１０を電界効果トランジスタの本体領域をフィン部３、５の形状で突出するように露出させて形成するために、誘電性絶縁部層２’を厚さ方向にエッチバックして絶縁体層２を形成する。 - 特許庁

The hydrogenation catalyst is preferably characterized in that the carrier having ≥200 m^2/g specific surface area, 40-130 Å average pore diameter and 0.4-0.8 mmol/g acid amount is used, the amount of the active metals to be carried is 0.001-10 mass% and the carried molar ratio of Pd/Pt is 1/10 to 10/1.例文帳に追加

該水素化触媒は、比表面積が２００ｍ^2／ｇ以上、平均細孔径が４０〜１３０Å、酸量が０．４〜０．８ｍｍｏｌ／ｇの担体を用い、活性金属の担持量が０．００１〜１０質量％、ＰｄとＰｔの担持比率がモル比で１／１０〜１０／１であることが好ましい。 - 特許庁

This polymer cement composition contains cement, at least one polymer selected from among a polyacrylate resin, a styrene-butadiene synthetic rubber and an acrylic VeoVa (R)-vinyl acetate copolymer and an organic shrinkage reducing agent having a surface active function.例文帳に追加

セメントと、ポリアクリル酸エステル樹脂系、スチレンブタジエン合成ゴム系、又は酢酸ビニルベオバアクリル共重合系のうち少なくとも１種のポリマーと、界面活性作用を有する有機系の収縮低減剤とを含有してなることを特徴とするポリマーセメント組成物を解決手段とする。 - 特許庁

Disclosed is a positive electrode active material for a nonaqueous electrolyte secondary battery, having at least a lithium-transition metal composite oxide of a layer structure, in which an existence ratio of titanium is 20% or higher on a surface of the lithium-transition metal composite oxide.例文帳に追加

非水電解質二次電池用正極活物質を、少なくとも層状構造のリチウム遷移金属複合酸化物を有する非水電解質二次電池用正極活物質であって、前記リチウム遷移金属複合酸化物の表面におけるチタンの存在割合が２０％以上である構成とする。 - 特許庁

The method for coating a medical implement includes a process for supplying an aqueous dispersion containing a sulfonated polyester and a surface-active agent, a process for making the medical implement contact with the aqueous dispersion, and a process for drying the medical implement.例文帳に追加

一定の医療器具を被覆するための方法はスルホン化ポリエステルおよび界面活性剤を含有する一定の水性分散液を供給する工程、上記医療器具を上記水性分散液に接触させる工程、および上記医療器具を乾燥する工程を含む。 - 特許庁

The resin composition for modifying the substrate surface contains a multifunctional (meth)acrylate monomer and a (meth)acrylic copolymer, wherein the above (meth)acrylic polymer is the one obtained by polymerizing as the essential component a monomer having an active hydrogen group.例文帳に追加

多官能（メタ）アクリレート系単量体及び（メタ）アクリル系共重合体を含有する基材表面改質用樹脂組成物であって、上記（メタ）アクリル系重合体は、活性水素基を有する単量体を必須として重合してなるものである基材表面改質用樹脂組成物である。 - 特許庁

The reference plane and the intermediate surface are substantially aligned with each other, so that a remaining gate electrode material tends to be suppressed or removed during the formation of the gate electrode, the electrical isolation improves between the adjacent active regions, and the performance of a semiconductor device improves.例文帳に追加

基準面と中間表面との間を概ね一致させることにより、ゲート電極を形成する間に残存するゲート電極材料を抑制または除去する傾向があって、隣接する活性領域との間の電気的な分離が向上し、半導体素子の性能が向上される。 - 特許庁

To provide a polysiloxane compound having a vinyl group, for obtaining a film forming a surface from which stains are easily removed by washing with water and onto which water drops are hardly adhere, and an active energy ray-curing composition and a film comprising them, and a method for producing them.例文帳に追加

付着した汚れを水洗によって簡易に取り除くことが出来、水滴が付き難い表面を形成するフィルムを得るためのビニル基含有ポリシロキサン化合物とこれを含有する活性エネルギー線硬化性組成物及びフィルムとその製造方法を提供する。 - 特許庁

The method for manufacturing a photomask includes: preparing the substrate being the transmission part; forming the light shielding film being a light shielding part on the substrate; causing a surface of the light shielding film to adsorb an organic silicone; and forming SiO_2 by irradiation at a desired wavelength under an atmosphere wherein active species such as ozone coexist.例文帳に追加

透過部である基板を準備し、基板上に遮光部である遮光膜を形成し、遮光膜の表面に有機シリコーンを吸着させ、オゾン等活性種が共存する雰囲気下で所望の波長で照射することでＳｉＯ_２化することを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 特許庁

In the ink-jet ink comprising at least water, a colorant and a photopolymerizable compound curable by active rays, the photopolymerizable compound exists in an emulsion state in the ink and the ink has ≤35 mN/m surface tension at 25°C.例文帳に追加

少なくとも水、色材及び活性光線により硬化可能な光重合性化合物を含有するインクジェットインクにおいて、該光重合性化合物がインク中でエマルジョン状態で存在し、２５℃での表面張力が３５ｍＮ／ｍ以下であることを特徴とするインクジェットインク。 - 特許庁

A fragrance fluid composition for use in the presence of an activated carbon, characterized in that it comprises an ethylene adding type surface active agent having linear chain or branched chain structure or a cycle structure with a molecular weight of 800 or more, a perfume and a solvent or a crrier.例文帳に追加

活性炭の存在下で用いられる芳香液組成物であって、直鎖枝分かれ構造又は環状構造を有し、分子量が８００以上であるエチレンオキサイド付加型の界面活性剤、香料、及び溶剤又は担体を含有することを特徴とする芳香液組成物。 - 特許庁

The negative electrode for the lithium ion secondary battery is provided with a metal foil, protrusions made of a conductive matter on the metal foil, and thin films of a negative electrode active material formed on a surface of the metal foil, and on a top face as well as on side faces of each protrusion.例文帳に追加

金属箔と、前記金属箔上の導電性物質製の突起と、前記金属箔の表面、前記突起の上面および前記突起の側面に、成膜された負極活物質の薄膜と、を有することを特徴とするリチウムイオン二次電池用の負極である。 - 特許庁

The p-type MIS transistor includes a second gate insulating film 13b and a second gate electrode 14b which are sequentially formed on a second active region 10b in the semiconductor substrate 10, and a second side wall 16b formed on the side surface of the second gate electrode 14b.例文帳に追加

ｐ型ＭＩＳトランジスタは、半導体基板１０における第２の活性領域１０ｂ上に順次形成された第２のゲート絶縁膜１３ｂ及び第２のゲート電極１４ｂと、第２のゲート電極１４ｂの側面上に形成された第２のサイドウォール１６ｂとを備えている。 - 特許庁

A cured matter layer consisting of two layers of an inner layer comprising a cured material of an active energy beam curable coating composition and an outermost layer, which comprises a cured material of a curable coating composition including polysilazane, being in contact with the inner layer is formed on at least a part of the surface of a base material comprising inorganic glass or the like.例文帳に追加

無機ガラス等の基材表面の少なくとも一部に、基材側から活性エネルギ線硬化性被覆組成物の硬化物からなる内層と、その内層に接するポリシラザンを含む硬化性被覆組成物の硬化物からなる最外層の２層からなる硬化物層を形成する。 - 特許庁

In the printing method, a printed pattern of a design or character is provided by an inkjet printing method using cationic active energy ray curing ink using pigment as a coloring material on the base material at least having a surface layer comprising a fibrous component and having permeability.例文帳に追加

少なくとも表面層が繊維状成分によって構成され、浸透性を有する基材に対して、顔料を着色材とするカチオン型活性エネルギー線硬化性インクを用いてインクジェット印刷法により意匠、文字等の印刷柄を設けることを特徴とする印刷方法。 - 特許庁

A combustion reaction is induced in the bondable dirt on the surface of the heating roller 2 by the active oxygen, etc., generated by the irradiation of the photocatalyst with the visible light or UV rays and the dirt adheres in the form of particles as small as invisible to the eyes on transfer paper P, by which the dirt is discharged.例文帳に追加

加熱ローラ２表面上の結着性の汚れは、光触媒に可視光ないし紫外線を照射することによって生じる活性酸素等によって燃焼反応を起こし、目に見えないほど小さな粒子となり転写紙Ｐに付着して排出される。 - 特許庁

The composite electrode for the electricity storage device includes: a base; whiskers or fibers that are formed on the base and contains at least one of a metal and a metal compound; and a coating layer formed on the surfaces of the whiskers or the fibers, contains an active material, and has an unevenness surface.例文帳に追加

蓄電デバイス用複合電極は、基材と、該基材の表面に形成され、金属及び金属化合物の一方又は双方を含有するウィスカー又はファイバーと、該ウィスカー又はファイバーの表面に形成され、活物質を含有し、且つ表面に凹凸を有する被覆層とを有する。 - 特許庁

The liquid cleaning agent filled in the container body contains 1 to 20 wt% of a surface active agent and preferably does not contain an antiseptic agent selected from benzoic acid and it's salt, para ben, sorbic acid, benzyl alcohol, ethanol, phenoxy ethanol, methy-iso-thiazolinon and methyl-chloro-iso-thiazolinon.例文帳に追加

また、容器本体内に収容される液体洗浄剤が、１〜２０ｗｔ％の界面活性剤を含み、かつ、安息香酸及びその塩、パラベン、ソルビン酸、ベンジルアルコール、エタノール、フェノキシエタノール、メチルイソチアゾリノン、メチルクロロイソチアゾリノンから選ばれる防腐剤を含まないものであることが好ましい。 - 特許庁

The nonaqueous electrolyte secondary battery has a positive electrode 1, a negative electrode 2 containing lithium or the lithium alloy, and a nonaqueous electrolyte, and a film 6 containing silicon oxide, silicon sulfide, lithium oxide, and lithium sulfide is formed on the surface of the negative active material.例文帳に追加

正極１と、リチウムまたはリチウム合金を含む負極２と、非水電解質とを備えた非水電解質二次電池において、前記負極活物質表面に酸化ケイ素、硫化ケイ素、酸化リチウムおよび硫化リチウムを含む被膜６が形成されていることを特徴とする。 - 特許庁

In a lithium secondary cell, the chemical composition of various spinel based manganese oxide, particularly the concentration of oxygen, is accurately fixed by quantitatively analyzing oxygen in the lithium based manganese spinal compound used as the positive electrode active material and having low specific surface area directly and precisely using an oxygen analyzer.例文帳に追加

リチウム二次電池において，正極活物質として使用する低比表面積のリチウム系マンガンスピネル化合物の酸素を酸素分析装置を用いて直接，高精度で定量分析し，各種スピネル系マンガン酸化物の化学組成とくに酸素濃度を正確に決定する。 - 特許庁

The alkaline zinc battery is composed of the negative electrode containing zinc or zinc alloy as its active material, a positive electrode, a separator, and alkali electrolytic solution, wherein a cationic organic substance is arranged in the neighborhood of the surface of the negative electrode.例文帳に追加

本発明に係るアルカリ亜鉛電池は、負極活物質として亜鉛あるいは亜鉛合金を含有する負極と、正極と、セパレータと、アルカリ電解液とを備えてなるアルカリ亜鉛電池であって、上記負極表面近傍にカチオン性有機物を配したことを特徴とする。 - 特許庁

The alkaline battery is constituted by using a positive electrode 1 which contains in the positive electrode active material oxy-nickel hydroxide of which surface is coated by cobalt compound and potential is controlled to be 0.320-0.375 V against Hg/HgO reference electrode 35 wt% or more.例文帳に追加

表面がコバルト化合物で被覆され、かつ、電位が、Ｈｇ／ＨｇＯ参照電極に対して０．３２０〜０．３７５Ｖの範囲となるように調整されたオキシ水酸化ニッケルを正極活物質中に３５質量％以上含有させた正極１を用いてアルカリ電池を構成する。 - 特許庁

This copper foil is for the lithium secondary battery electrode material in which an active material capable of electrochemically or chemically storing and releasing lithium are deposited and formed on a current collector, and this copper foil is for the lithium secondary battery electrode, in which a manganese-containing layer is formed on the surface.例文帳に追加

本発明は、電気化学的または化学的にリチウムを吸蔵、放出可能な活物質を集電体上に堆積して形成したリチウム２次電池用電極材料としての銅箔であって、該銅箔は表面にマンガン含有層が形成されているリチウム２次電池電極用銅箔である。 - 特許庁

However, the surface active agent comprising water and water insoluble oil medium is adopted for the solvent system to obtain a fluid ferrite wherein ferrite fine particles of nano meter size is uniformly dispersed in the medium oil.例文帳に追加

また、水を溶媒として用いる従来の水熱法では、製品フェライト粒子が1ミクロンメートル以上であったが、溶媒系を水−水不溶性の媒体油−界面活性剤とすることにより、ナノメートルサイズのフェライト微粒子が媒体油中に均一分散した流体フェライトが得られることを見出した。 - 特許庁

The photosensitive layer 3 of the printing plate material 5 comprises fine silica particles 32 and a photocatalyst 31 having a binder function and is formed in such a way that the surface exhibits hydrophilicity upon irradiation with an active ray having a higher energy than the band gap energy of the photocatalyst 31.例文帳に追加

印刷用版材５にそなえる感光層３を、シリカ微粒子３２とバインダ機能を有する光触媒３１とを有し、該光触媒３１のバンドギャップエネルギーよりも高いエネルギーをもつ活性光が照射されると表面が親水性を示すように構成する。 - 特許庁

Pixel electrodes 34 arranged on a pixel substrate 31 and a partition 38 that is disposed between the pixel electrodes 34 and formed from a resin are exposed to an atmosphere, in which active oxygen is present, or to ultraviolet light, to perform surface treatment of the pixel electrodes 34 and the partition 38.例文帳に追加

画素基板３１上に配列された画素電極３４と、画素電極３４間に設けられ樹脂により形成された隔壁３８とを、活性な酸素が存在する雰囲気、又は紫外線に曝露して、画素電極３４及び隔壁３８の表面処理を行う。 - 特許庁

The DRAM cell includes a MOS capacitor 4 composed of a plate node electrode, a storage node electrode 114 and insulator membranes 110 and 111, and a cell transistor 3 comprising a gate insulating membrane 110, a gate electrode 112, and a source/drain 118 formed on the top surface of an active region.例文帳に追加

ＤＲＡＭセルは、プレートノード電極、ストレージノード電極１１４、絶縁体薄膜１１０，１１１からなるＭＯＳキャパシター４と、活性領域の上部面に形成されたゲート絶縁膜１１０及びゲート電極１１２、ソース／ドレーン１１８を含むセルトランジスター３と、を含む。 - 特許庁

Upon the discharge of the chemical solution, the organic oxide seed can be efficiently formed near the surface of the board of the electronic device, and the formed active organic oxide seed can promote an oxidation decomposition reaction of a photoresist and a photoresist residue for efficient removal.例文帳に追加

薬液吐出と同時に電子デバイス基板表面近傍に有機物酸化種を効率よく生成させることができ、生成した活性な有機物酸化種によりフォトレジストおよびフォトレジスト残渣の酸化分解反応を促進させて効率よく除去することができる。 - 特許庁

W/O-TYPE EMULSION PREPARATION HAVING HIGH WATER CONTENT AND CONTAINING MODERATELY POLAR AND/OR NONPOLAR LIPID, ONE OR MORE A-O-B-O-A-TYPE SURFACE-ACTIVE POLYETHER AND ONE OR MORE SUBSTANCE SELECTED FROM CATIONIC POLYMER例文帳に追加

中程度に極性の脂質及び／又は非極性の脂質及び１種類以上のＡ−Ｏ−Ｂ−Ｏ−Ａ型の界面活性ポリエーテルを含んでなり、そしてカチオン性ポリマーの群から選択される少なくとも１種類の物質を含んでなる、高水分含有量を含むＷ／Ｏエマルション型の調製物 - 特許庁

The positive electrode active material of lithium secondary battery is composed of a core containing at least one lithium compound and a surface processed layer formed on the core and containing one or more coating substances selected from the group comprising hydroxide, oxyhydroxide, oxycarbonate, and hydroxycarbonate of coating element.例文帳に追加

少なくとも一種以上のリチウム化合物を含む、コア及びコア上に形成されたコーティング元素のヒドロキシド、オキシヒドロキシド、オキシカーボネート及びヒドロキシカーボネートからなる群より選択される少なくとも一種以上のコーティング物質を含む表面処理層からなるリチウム二次電池用正極活物質。 - 特許庁

The negative electrode for lithium secondary battery is obtained by filling a paste containing active material powder including a metal for forming an alloy with lithium in a porous body of which the frame surface is made of mainly nickel, and then, by heating at 250°C or more.例文帳に追加

本発明のリチウム二次電池用負極は、骨格表面が主としてニッケルからなる多孔体に、リチウムと合金を形成することが可能な金属を含む活物質粉末を含有するペーストを充填し、次いで、２５０℃以上で加熱することにより得られることを特徴とする。 - 特許庁

This nickel positive electrode active material for an alkaline secondary battery is formed of nickel hydroxide particles coated with a cobalt compound having 2.0 g/m-liter or more tap density and 2.8 or more surface cobalt valency, and having 99% or more nickel-to-cobalt ratio on their surfaces.例文帳に追加

タップ密度が２．０ｇ／ｍリットル以上であり、表面コバルト価数２．８以上のコバルト化合物で被覆され、かつ表面でのコバルトとニッケルの割合がモル比で９９％以上である水酸化ニッケル粒子からアルカリ二次電池用ニッケル正極活物質を構成した。 - 特許庁

The nickel positive electrode is made by filling an active material made of mainly nickel hydroxide in the porous nickel sinter substrate and further by forming on its surface a manganese compound layer containing manganese having more than two valences, and an alkaline battery is constructed by using this nickel positive electrode.例文帳に追加

ニッケル正極を、多孔性ニッケル焼結基板にニッケル水酸化物を主体とする活物質を充填し、さらにその表面に２以上の価数を有するマンガンを含むマンガン化合物層を形成して作製し、このニッケル正極を用いてアルカリ蓄電池を構成する。 - 特許庁

A coating layer of a coating sheet, which has the almost same width as that of a collector and an opening part having an optional pattern, is formed on the collector of a longitudinal metal foil, and the active material layer is applied to the entire surface on the collector a part of which is coated with the coating layer.例文帳に追加

長尺状の金属箔からなる集電体上に、前記集電体と略同一幅を有し、任意のパターンの開口部を有する被覆シートよりなる被覆層を形成し、該被覆層によって一部が被覆された前記集電体上全面に、活物質層を塗設する。 - 特許庁

The normally charged toner remaining on the photoreceptor 1 is moved to the roller 13 when the photoreceptor 1 is in rotating, and the toner is separated from the circumferential surface of the roller 13 by the electrostatic force by the bias voltage and a centrifugal force generated by the rotation of the roller 13 when the photoreceptor 1 is in a non-active state.例文帳に追加

感光体１に残留した正常帯電トナーは、感光体１の回転中にローラ１３に移動し、感光体１の停止中にバイアス電圧による静電気力及びローラ１３の回転による遠心力によってローラ１３の周面から離脱する。 - 特許庁

To provide a water-based crosslinkable resin composition excellent in curability by active energy rays, particularly ultraviolet rays, giving cured film that is free from discoloration and odor, excellent in hardness, water resistance, chemical resistance including alkali resistance and solvent resistance, smoothness and adhesion, and also excellent in blocking resistance of the surface of the coating film therefrom.例文帳に追加

活性エネルギー線、特に紫外線による硬化性に優れ、その硬化膜が着色や臭気がなく、硬度、耐水性、耐アルカリ性及び耐溶剤性等の耐薬品性、平滑性及び密着性に優れ、塗膜表面の耐ブロッキング製に優れた水性架橋性重合体組成物を提供する。 - 特許庁

The catalyst is manufactured by spraying fine powder together with a carrier gas toward the surface of the metallic substrate 2 from the tip of a nozzle 4 having a minute throat to form an undercoat layer on the substrate 2, forming a catalytic film containing the active component of the catalyst on the undercoat layer by a wash coat method and then firing the catalytic film-formed substrate.例文帳に追加

微粉末をキャリアガスと共に微小孔ノズル４の先端から、金属製の基板２上に吹き付け、該基板２上にアンダーコート層を成膜し、該アンダーコート層上に、ウォッシュコート法で触媒活性成分を含む触媒膜を成膜し、しかる後、焼成処理を施すこととした。 - 特許庁

This is the manufacturing method of the current collector 31 which is used as a constituent of an electrode 30 in which an active material layer 35 is supported in the current collector 31 and has a carbon material (conductive material)-contained polymer layer 33 on the surface of a metallic current collector substrate 32.例文帳に追加

本発明によると、集電体３１に活物質層３５が保持された電極３０の構成要素として用いられ、金属製集電基材３２の表面にカーボン材料（導電材）含有ポリマー層３３を有する集電体３１を製造する方法が提供される。 - 特許庁

To improve color-change by an active gas during storage for a long period of time, which is caused by development of cracks on a protecting film surface upon bending in a printed article obtained by transferring a protecting film layer on a printed article by an ink-jet method using a transfer protecting film.例文帳に追加

インクジェット法による印画物に対して、転写保護フィルムを用いて保護膜層を転写した完成印画物において、折り曲げなど変形させたときに、保護膜表面にクラックが発生することで生じる長期保存化での活性ガスによる画像変色を改善すること。 - 特許庁

In the forming method of the organic anti-reflection film, an organic anti-reflection film composition containing a fluorine containing surface active agent component is applied on a substrate to form a coating film, the coating film at the edge of the substrate is removed by a solvent, and the organic anti-reflection film is formed by baking.例文帳に追加

本発明は、基板上に、含フッ素界面活性剤成分を含有する反射防止膜組成物を塗布し塗布膜を形成し、基板エッジ部の前記塗布膜を溶剤により除去し、ベーキングにより反射防止膜を形成することを特徴とする有機反射防止膜の形成方法。 - 特許庁