「thin-layer」に関連した英語例文の一覧と使い方(166ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a method for fabricating a TMR element in which a high quality TRM film including a barrier layer having a high MR ratio and little pin hole can be obtained stably, and to provide a method for manufacturing a thin film magnetic head and a method for fabricating a magnetic memory.例文帳に追加

高いＭＲ比を有すると共にピンホールの少ないバリア層を有する高品質のＴＭＲ膜を安定して得ることができるＴＭＲ素子の製造方法、薄膜磁気ヘッドの製造方法及び磁気メモリの製造方法を提供する。 - 特許庁

A thin-film wiring conductor layer is formed on the surface of an insulating substrate containing Si, Al, Mg, B and O as constitutive elements, containing at least cordierite crystal phase as the crystal phase, and having porosity of sintered body which is not higher than 0.3%.例文帳に追加

Ｓｉ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｂ、Ｏを構成元素として含有し、結晶相として少なくともコーディエライト結晶相を含有し、かつ該焼結体の開気孔率が０．３％以下である該絶縁基板の表面に薄膜配線導体層を形成する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a composite filter by which a composite filter having high surface flatness and thin in thickness can be obtained in a high productivity, in the method of manufacturing the composite filter for display in which an electromagnetic shielding filter and a functional layer are laminated.例文帳に追加

電磁波シールドフィルタと機能層を積層したディスプレイ用複合フィルタの製造方法であって、表面平坦性が高く、且つ厚みが薄い複合フィルタを得ることが可能な、生産性が高い複合フィルタの製造方法を提供する。 - 特許庁

Since the fibrillation and orientation of the liquid crystal resin of each of the thin layers 11 which form the base material layer 1 are caused in the whole of the thickness direction of the resin molded product and the coefficient of linear expansion is reduced sufficiently, the coefficient of linear expansion of the long resin molded product is reduced.例文帳に追加

基材層１を形成する各薄層１１の液晶樹脂の繊維化と配向が厚さ方向全体に生じて線膨張率が十分に低下しているため、長尺樹脂成形体の線膨張率が小さくなる。 - 特許庁

The method also provides the thin-film pigment with high quality, because it does not use peeling oil but uses the peeling layer 50 composed of a material such as carbon and plastic, which can be removed through thermal oxidation, and accordingly does not contaminate the multilayer 15_1 with the peeling oil.例文帳に追加

また、剥離層５０はカーボンやプラスチック等、加熱酸化により除去可能な材料で構成されており、剥離オイルは用いられないので、積層膜１５_1が剥離オイルで汚染されることがなく、品質の良い薄膜顔料が得られる。 - 特許庁

Since the effective permitting of the CPW part decreases due to the structure of the thin-film dielectric layer, the adjustable range of the characteristic impedance of a high-frequency circuit is expanded, thus achieving a high-performance MIC with low loss and less crosstalks.例文帳に追加

上記薄膜誘電体層の構造により、ＣＰＷ部の実効誘電率が低下するため、高周波回路の特性インピーダンスの調整可能範囲が広がり、低損失でクロストークが少なく、高性能のＭＩＣが実現可能となる。 - 特許庁

A oxide thin film is epitaxially grown on such a metal sulfide placed directly on the surface of a Si substrate as a buffering layer as In2S3, AlInS3, CeInS3, LaInS3, CaIn2S4, MgIn2S4, MnIn2S4, BaIn2S4, MgS, CaS, and MnS.例文帳に追加

Ｓｉ基板直上に、バッファー層として例えばＩｎ_2 Ｓ_3 、ＡｌＩｎＳ_3 、ＣｅＩｎＳ_3 、ＬａＩｎＳ_3 、ＣａＩｎ_2 Ｓ_4 、ＭｇＩｎ_2 Ｓ_4 、ＭｎＩｎ_2 Ｓ_4 、ＢａＩｎ_2 Ｓ_4 、ＭｇＳ、ＣａＳ、ＭｎＳ等の金属硫化物を介在させ、酸化物薄膜をエピタキシャル成長させる。 - 特許庁

The thin blow bottle stuck with the label on its body wall by the in-mold molding is characterized by partly co-extruding a highly rigid resin material on the end edge parts on both sides of the label to pinch the end edges and thereby providing a reinforcing layer with a specified width.例文帳に追加

胴壁にインモールド成形によってラベルを貼着した薄肉のブローボトルであって、ラベルの両側の端縁部に、高剛性の樹脂材料を部分的に共押出して端縁を挟んで所定巾の補強層を配設したことを特徴とする。 - 特許庁

To provide an apparatus for rapidly analyzing the crystal structure of a surface crystal layer that is several nm to tens of nm thick or the crystal structure of a thin-film crystal, a crystal domain size, and the ratio of a domain when a plurality of domains having different orientations are present.例文帳に追加

サブnmから数10nmの厚さの表面結晶層、あるいは、薄膜結晶の結晶構造、結晶ドメインサイズ、および、方位の異なる複数の結晶ドメインが存在する場合のドメインの割合を迅速に解析するための装置である。 - 特許庁

This adjusting member for intaglio impression cylinder printing of the intaglio printing machine is manufactured using the forming mold material in which reverse patterns required for an aggregate with thin planate base materials such as multilayered films laminated are formed on each layer.例文帳に追加

本発明の凹版印刷機の凹版圧胴印刷調整用部材は、多層から成るフィルム等の薄い平面状の基材を積層した集合体に必要とする逆パターンを各層に形成した加工用型材を使用し作製される。 - 特許庁

The electric double layer capacitor 14 is formed in the flat and thin shape and is mounted by laminating at least a part of each of a battery chamber 15, a main board 20, a power board 22, an image pickup board 26 and a media slot 14.例文帳に追加

この電気二重層コンデンサ１４は扁平で且つ薄型形状に形成され、その配置は電池室１５，メイン基板２０，パワー基板２２，撮像基板２６及びメディアスロット１４の全てに対して少なくともその一部が積層されて実装される。 - 特許庁

A heater coil 60 projecting the medium facing surface to the recording medium side by thermal expansion by energizing over heating is arranged through an insulation layer at write coil relative area 70 opposing to an area at which a thin film coil pattern of the write coil 54 is arranged.例文帳に追加

ライトコイル５４の薄膜コイルパターンを配置した領域に相対するライトコイル相対領域７０に、通電過熱により媒体相対面を熱膨張により記録媒体側に突出させるヒータコイル６０を絶縁層を介して配置する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a light-emitting layer for inorganic electroluminescence in which excess Cu component added as an acceptor can be treated by a method suitable for a thin film, without being removed by washing using a harmful aqueous solution, or the like, of sodium cyanide.例文帳に追加

アクセプターとして添加された過剰なＣｕ成分の除去を有害なシアン化ナトリウム水溶液等の洗浄によらず、かつ薄膜に適した方法で処理できる無機エレクトロルミネッセンス用発光層の製造方法を提供することである。 - 特許庁

To provide a powder resin coating method capable of forming a thin and uniform coating layer even if an article is a porous molded one, having good workability and capable of simplifying a process, to provide a barrel polishing method and a product made by the manufacturing method.例文帳に追加

被加工物が多孔性の成形体であっても薄厚で均一なコート層を成膜させることができ、作業性がよく工程を簡略化し得る粉体樹脂コーティング製法とバレル研磨方法及びその製法による製造物を提供すること - 特許庁

The thin film transistor 1 mounted on a substrate 10 includes a source electrode 20a and drain electrode 20b separately disposed each other, an organic semiconductor layer 30 disposed between the source electrode 20a and drain electrode 20b, a gate insulating layer 40 disposed between the organic semiconductor layer 30 and gate electrode 50.例文帳に追加

薄膜トランジスタ１は、互いに分離して設けられたソース電極２０ａおよびドレイン電極２０ｂと、ソース電極２０ａおよびドレイン電極２０ｂ間に介在する有機半導体層３０と、有機半導体層３０とゲート電極５０との間に位置するゲート絶縁層４０とを有する構造をしており、さらに基板１０上に搭載されており、ゲート絶縁層４０は、金属イオンを補足し得るイオン捕捉物質４１を含有している。 - 特許庁

The thin film solar cell includes a transparent conductive film 2, at least one photoelectric conversion unit 3 formed of a semiconductor film and performing a photoelectric conversion, and a back electrode layer 6 sequentially formed on a translucent insulating substrate 1, wherein the photoelectric conversion unit 3 includes the photoelectric conversion layer 32 arranged between two conductivity layers 31, 33 having different conductivities, and at least one layer 33 of the conductivity layers 31, 33 has a cavity.例文帳に追加

透光性絶縁基板１上に順次形成された透明導電膜２と、半導体膜からなり光電変換を行う少なくとも一つの光電変換ユニット３と、裏面電極層６と、を備え、前記光電変換ユニット３は、異なる導電型を有する２つの導電型層３１、３３間に光電変換層３２が配置されてなり、前記導電型層３１、３３のうち少なくとも一つの層３３が空洞を有する。 - 特許庁

The semiconductor device comprises an Si substrate 101 including an integrated circuit 102, an interlayer insulating film 103 formed thereon, an adhesive layer 104 formed thereon, a conduction layer 105 formed thereon, an LED epitaxial film 106 pasted thereon, and a thin film discrete wiring layer 107 formed on a region from above the LED epitaxial film 106 to the terminal region 108 of the Si substrate 101.例文帳に追加

半導体装置は、集積回路１０２を含むＳｉ基板１０１と、この上に形成された層間絶縁膜１０３と、この上に形成された接着層１０４と、この上に形成された導通層１０５と、この上に貼り付けられたＬＥＤエピタキシャルフィルム１０６と、ＬＥＤエピタキシャルフィルム１０６上からＳｉ基板１０１の端子領域１０８に至る領域に形成された薄膜の個別配線層１０７とを有する。 - 特許庁

In a method for manufacturing the organic thin film transistor wherein at least three terminals, namely a gate electrode, a source electrode and a drain electrode, an insulating layer and an organic semiconductor layer are formed on a substrate and the source-drain current is controlled by applying a voltage to the gate electrode, an insulating layer-forming step includes vapor phase film deposition of a fluorine polymer.例文帳に追加

少なくとも基板上にゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の３端子、絶縁体層並びに有機半導体層が設けられ、ソース−ドレイン間電流をゲート電極に電圧を印加することによって制御する有機薄膜トランジスタを作製する方法であって、該絶縁体層の形成工程がフッ素ポリマーの気相成膜を含むことを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法及び該方法で製造されてなる有機薄膜トランジスタ。 - 特許庁

Preferably, the polymer elastomer layer exists on a fibrous substrate, and the water base polymer elastomer is to be a surface layer, the polymer elastomer layer exists on release paper, the polymer elastomer on the release paper and the fibrous substrate are laminated by the water base polymer elastomer, and the release paper is peeled/removed, and the fibrous substrate has very thin fibers.例文帳に追加

また、高分子弾性体層が繊維質基材上に存在するものであり、水系高分子弾性体が表層となることや、高分子弾性体層が離型紙上に存在するものであり、水系高分子弾性体によって離型紙上の高分子弾性体と繊維質基材とを張り合わせ、次いで離型紙を剥離除去するものであることが好ましく、さらには繊維質基材が極細繊維を有するものであることが好ましい。 - 特許庁

This manufacturing method of the organic thin-film transistor has an electrode-forming process of forming a source electrode 103 and a drain electrode 104; an organic semiconductor layer process of forming an organic semiconductor layer 105, connected to the source electrode 103 and the drain electrode 104; and an aging process of heating the organic semiconductor layer 105 and applying an AC voltage to a portion between the source electrode 103 and to the drain electrode 104.例文帳に追加

本発明に係る有機薄膜トランジスタの製造方法は、ソース電極１０３及びドレイン電極１０４を形成する電極形成工程と、ソース電極１０３及びドレイン電極１０４に接続される有機半導体層１０５を形成する有機半導体層工程と、有機半導体層１０５を加熱し、ソース電極１０３及びドレイン電極１０４間に交流電圧を印加するエージング工程とを含む。 - 特許庁

The method of manufacturing the oxide superconducting thin film in which nanoparticles are provided in layers at predetermined intervals includes alternately performing: an oxide superconducting layer producing process of applying an organic metal compound solution and performing calcination heat treatment and main burning treatment to produce an oxide superconducting layer having a predetermined thickness; and a nanoparticle depositing process of depositing the nanoparticles on the oxide superconducting layer by using a solution of the nanoparticles.例文帳に追加

有機金属化合物溶液の塗布、仮焼熱処理、本焼熱処理を行い、所定厚みの酸化物超電導層を作製する酸化物超電導層作製工程と、ナノ微粒子の溶液を用いて酸化物超電導層の上にナノ微粒子を付着させるナノ微粒子付着工程とを、交互に行い、ナノ微粒子が所定間隔で層状に設けられた酸化物超電導薄膜を製造する酸化物超電導薄膜の製造方法。 - 特許庁

To provide a thin film forming method, and a plasma CVD(chemical vapor deposition) system, for fabricating a highly reliable element by enhancing step coverage while suppressing corrosion of underlying Si layer at the time of forming a titanium film and a titanium silicide film by plasma CVD using TiCl4 as a material.例文帳に追加

ＴｉＣｌ_4 を原料としたプラズマＣＶＤでチタン膜とチタンシリサイド膜を形成するとき、段差被覆性が良くかつ下地Ｓｉ層の浸食を抑制し、信頼性の高い素子を製造する薄膜形成方法とプラズマＣＶＤ装置を提供する。 - 特許庁

To improve uniformity of a dielectric film by eliminating incubation time when forming the dielectric film by Chemical Vapor Deposition (CVD) method on a silicon (Si) substrate surface covered with a thin molecular layer of an insulator and to control composition of the dielectric film in the thickness direction.例文帳に追加

薄い絶縁物の分子層で覆われたＳｉ基板表面にＣＶＤ法により誘電体膜を形成する際のインキュベーション時間をなくし、得られる誘電体膜の均一性を向上させると同時に、誘電体膜の膜厚方向の組成を制御する。 - 特許庁

Hence, when a pin hole 14a is formed by dielectric breakdown in a thin-film insulation layer 14 and its vicinity is used as a heat-generating region, since the amount of heat escaping to the bottom electrode 13 is decreased, heat-generating efficiency that is higher than in the conventional devices can be obtained.例文帳に追加

このため、絶縁破壊によって薄膜絶縁層１４にピンホール１４ａを形成し、その近傍を発熱領域とした場合、下部電極１３側に逃げる熱が低減されることから、従来よりも高い発熱効率を得ることが可能となる。 - 特許庁

Disclosed is the method for manufacturing the alignment layer made of an inorganic substance, the method including a step of depositing a thin film of the inorganic substance on a substrate in an oblique deposition method, the inorganic substance being vapor-deposited in different film deposition regions on the substrate at different film deposition rates.例文帳に追加

無機物から成る配向膜の製造方法であって、斜方蒸着法により基板上に無機物の薄膜を形成する工程を有し、前記基板上の異なる成膜領域に、異なる成膜速度で無機物を蒸着する配向膜の製造方法。 - 特許庁

To provide an organic thin film transistor which can operate with low voltage and which is easy to commercialize by forming a gate dielectric layer on a plastic or glass substrate, in a low-temperature process with a thickness of several nanometers, and to provide a fabrication method thereof.例文帳に追加

プラスチック基板やガラス基板などに低温工程で形成するものの、数ｎｍの厚みでゲート絶縁膜を形成することによって、低電圧で動作が可能であり、且つ商用化が容易な有機薄膜トランジスタ及びその製造方法を提供すること。 - 特許庁

To securely prevent the occurrence of uncharged developer at both longitudinal ends of a developer carrier and to perform the steady, satisfactory formation of a developer thin layer on the developer carrier.例文帳に追加

現像剤担持体の長手方向両端部において未帯電現像剤の発生を確実に防止すると共に、現像剤担持体上の現像剤薄層形成を安定して良好に行えうる現像装置、現像カートリッジ、及び、電子写真画像形成装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a mask for forming a thin film pattern, which prevents the occurrence of a display failure in a liquid crystal display and provides uniform film characteristics, by inhibiting a substrate from being bruised, and preventing the peeling of a protective film and a white spot on a black matrix layer.例文帳に追加

基板へのキズの発生を抑制し、保護膜の剥離、ブラックマトリックス層の白ヌケを防止することで、液晶表示装置の表示不良発生を防止することができ、かつ均一の膜特性を得ることができる薄膜パターン形成用マスクを提供する。 - 特許庁

To provide a thin separator for an electrochemical element having excellent ion permeability and mechanical strength, by reducing an internal resistance of the electrochemical element such as an electric double-layer capacitor or the like, and by preventing self-discharge and short-circuiting thereof; and to provide an apparatus and a method for manufacturing the same separator.例文帳に追加

電気二重層キャパシタなどの電子化学素子の内部抵抗を低減させ、自己放電や短絡を防ぎ、かつ、薄膜で、イオン透過性や機械的強度に優れた電気化学素子用セパレータおよびその製造装置と製造方法を提供する。 - 特許庁

When the surface layer part of the sample block 1 is thinly cut, the sample block 1 is sent out toward the cutter blade 3 and the carrier tape 5 is allowed to run in connection with the movement of the sample block 1 to suck and hold the cut thin sample 1 on its undersurface.例文帳に追加

試料ブロック１の表層部分を薄切りする際、試料ブロック１をカッタブレード３に向けて送り出すとともに、キャリアテープ５を試料ブロック１の動きに連動させて走行させ、切り取られた薄片試料をその下面に吸着して保持する。 - 特許庁

To provide an ink jet recording head which eliminates stagnancy at an ink flow or the like, can obtain a good ink discharge operation and high- quality gradation expression, and also can ease a layer alignment accuracy when layered thin plate parts are bound, or the like.例文帳に追加

インク流における淀み等の発生を解消し、良好なインク吐出動作及び高品位な階調表現が得られるものでありながらも、積層する薄板部品間における連結時の積層アライメント精度等を緩和できるインクジェット記録ヘッドを提供する。 - 特許庁

To provide the subject methods, instrument and devices that can measure a thin film having a thickness of the wavelength of light or less, and to enhance the precision therefor, when the film thickness of the uppermost layer is measured in a sample of a multilayered film structure.例文帳に追加

多層膜構造サンプルの最上層の膜厚を測定する際、光の波長以下の薄い膜の測定を行なえ、その精度の向上を図る膜厚測定方法および装置、薄膜処理方法および装置、並びに半導体装置の製造方法を提供すること。 - 特許庁

A layer of a secondary electron emission metal 14 is formed on the inside wall of each taper-like thin tube 13 of which emission side has a small diameter, and incident electrons 12 collide against the secondary electron emission metal 14 and are multiplied so that secondary electrons 15 are emitted as emitted electrons 16.例文帳に追加

射出側が径小なテーパ状細管１３の内壁に２次電子放出金属１４の層が形成され、入射電子１２が２次電子放出金属１４に衝突して増倍され２次電子１５を射出電子１６として射出する。 - 特許庁

A peeling off preventing layer 13 comprising a thin film made of (for example, non-doping polycrystalline silicon, non-doping amorphous silicone, silicon oxide, silicon nitride, or the like) preventing the peeling off of the electron passing part 5 from the lower electrode is placed between the lower electrode 12 and an insulating substrate 11.例文帳に追加

下部電極１２と絶縁性基板１１との間に下部電極１２から電子通過部５が剥れるのを防止する薄膜（例えば、ノンドープの多結晶シリコン、ノンドープのアモルファスシリコン、酸化シリコン、窒化シリコンなど）からなる剥れ防止層１３を介在させてある。 - 特許庁

To provide a semiconductor substrate and field effect transistor as well as manufacturing methods therefor, of less defects and leak current, with a low manufacturing cost while the thickness of an SOI layer is precisely controlled even to a thin one.例文帳に追加

半導体基板及び電界効果型トランジスタ並びにこれらの製造方法において、欠陥が少ないと共にリーク電流が小さく、低コストに製造することを可能にし、しかもＳＯＩ層の厚さを薄い厚さで精度よく制御できるようにすること。 - 特許庁

To provide a thin semiconductor and a method for manufacturing it wherein a material cost is reduced by effectively reducing the total thickness and thinning a substrate and it is possible to reduce the cost by providing a substrate which does not require a solder mask layer.例文帳に追加

全体厚さを有効的に低減し、基板の厚さを薄型化することによって、材料原価の低減を行い、ソルダマスク層を敷設不要な基板を提供することによって、コストの低減が可能な薄型半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

Metallic nano thin lines as the charging electrodes of 10 to 50 nm thickness are formed in projecting or recessed states from the surfaces of a large number of pores formed at 50 to 200 nm intervals on the surface of the anodic oxide film as the result of secondary electrolysis from a barrier layer inside of the pores.例文帳に追加

陽極酸化皮膜の表面に50〜200ｎｍの間隔で形成された無数の細孔の内部のバリヤー層から二次電解して、太さ10〜50ｎｍの放電電極としての金属ナノ細線が細孔の表面から凸状に又は凹状に形成されている。 - 特許庁

The contact holes 36 and 38 are respectively formed into a thin contact hole forming region A and a thick contact hole forming region B, both of which are provided on the lower diffusion layer 24 through dry etching by using a resist 34 as a mask.例文帳に追加

レジスト３４をマスクとしてドライエッチングを行い、下部配線層２６上の薄い膜厚のコンタクトホール形成領域Ａにコンタクトホール３６を形成するとともに、下部拡散層２４上の厚い膜厚のコンタクトホール形成領域Ｂにコンタクトホール３８を形成する。 - 特許庁

The shielding material for electromagnetic waves comprises a transparent base material 10 and a copper foil mesh which adheres to the base material in a patterned state, wherein a conductive coating layer of thin and uniform thickness is formed on the front 40 and side 50 of the copper foil mesh.例文帳に追加

透明基材１０と、該基材の表面にパターン化された状態で付着される銅箔メッシュを含み、前記銅箔メッシュの前面４０及び側面５０に、薄くて均一の厚さの導電性コーテイング層を形成した電磁波遮蔽用シールド材が提供される。 - 特許庁

To provide a display device that can stably keep the operation characteristic in a bottom-gate type organic thin-film transistor without being affected by an electrode formed in its upper layer and that can allow high reliable display by using it as a driving element.例文帳に追加

ボトムゲート型の有機薄膜トランジスタにおける動作特性を、その上層に設けた電極の影響を受けることなく安定した特性に維持することが可能で、これを駆動素子とすることにより信頼性の高い表示が可能な表示装置を提供する。 - 特許庁

A gate electrode 39 is formed striding over a part between channel regions 36 of the respective adjacent unit cells B via a gate oxide film 37 constituted of a thin silicon oxide film on an n-type channel region 36 and via a thick silicon oxide film 38 on the drain layer 33.例文帳に追加

そして、隣接する各単位セルＢのチャネル領域３６間に跨って、ｎ型チャネル領域３６上は薄いシリコン酸化膜からなるゲート酸化膜３７と、ドレイン層３３上は厚いシリコン酸化膜３８とを介してゲート電極３９が形成されている。 - 特許庁

The thin-film EL element has a light-emitting layer 4 which uses a luminescent material with an electric charge transporting property composed of a molecule having a part contributing to the electric charge transportation, and a part contributing to the light emission having at least two localized molecular orbits contributing to light emission transition.例文帳に追加

本発明の薄膜ＥＬ素子は、発光層４として、分子内に電荷輸送に寄与する部分と、発光遷移に寄与する少なくとも２つの分子軌道が局在した発光に寄与する部分とを有する電荷輸送性発光材料を用いる。 - 特許庁

To provide a construction and a manufacturing method, wherein an etching margin is assured when a connection hole is formed in an active layer of a thin-film transistor, the controllability of ion implantation is improved in the depth direction, and further the crystal defects and distortion are eliminated in a channel region.例文帳に追加

薄膜トランジスタの活性層上に接続孔を形成する際のエッチングマージンが確保し、イオン注入での深さ方向の制御性を良くし、さらにチャネル領域の結晶欠陥や歪みを解消する構成および製造方法を提供する。 - 特許庁

In the pattern forming method in which the surface layer of a substrate 1 is patternwise etched using a resist pattern as a mask, the pattern forming region of the surface of the substrate 1 is divided into a dense first region 2a and a thin second region 2b in accordance with pattern forming density.例文帳に追加

基板１の表面層に対して、レジストパターンをマスクに用いたパターンエッチングを施すパターン形成方法において、基板１表面のパターン形成領域を、パターンの形成密度に応じて密な第１領域２ａと疎な第２領域２ｂとに分割する。 - 特許庁

A raw material gas introduced into the internal space of the rod material 1 is plasmatized in the internal space while making the gas flow from one side to the other side of the rod material 1 and plasmatized particles are piled on the inner peripheral surface of the rod material 1 to form a thin film layer 2.例文帳に追加

竿素材１の内部空間に導入された原料ガスを、竿素材１の一端から他端に向けて流動させながらその内部空間でプラズマ化し、プラズマ化した粒子を竿素材１の内周面に堆積させて薄膜層２を形成する。 - 特許庁