「upper- layer」に関連した英語例文の一覧と使い方(157ページ目) - Weblio英語例文検索

In the composite piezoelectric vibrating plate consisting of a composite piezoelectric body comprising a piezoelectric ceramics and a high polymer member and of electrodes formed to an upper face and a lower face of the piezoelectric body, the electrodes are made up of a gold layer or a copper layer made of electroless plating.例文帳に追加

圧電セラミックスと高分子材との複合圧電体と、その上面および下面に形成した電極とを有してなる複合圧電振動子板において、その電極を無電解メッキで形成された金層または銅層で構成する。 - 特許庁

An interlayer insulation film 6 coating a ferroeelctric capacitor structure 1 formed by a platinum electrode layer 3, a PZT film 4, and an upper platinum electrode layer 5 is formed on a Si substrate 2 by a plasma CVD method to open a contact hole 6A.例文帳に追加

Ｓｉ基板２上に白金電極層３、ＰＺＴ膜４、上部白金電極層５をもつて形成された強誘電体キャパシタ構造１を覆って層間絶縁膜６をプラズマＣＶＤ法により形成し、コンタクトホール６Ａを開口する。 - 特許庁

In the multiplier element, a distributed resin organic semiconductor layer 3 is formed on a lower electrode 2 of a transparent ITO electrode formed on a glass substrate 1, and on the distributed resin organic semiconductor layer 3, an upper electrode 4 of a gold deposited film is formed.例文帳に追加

ガラス基板１上に形成されたＩＴＯ透明電極の下部電極２上に樹脂分散有機半導体層３が形成され、その樹脂分散有機半導体層３上に金蒸着膜の上部電極４が形成されている。 - 特許庁

To provide an optical semiconductor element capable of sufficiently reducing contact resistance between a contact layer in the upper part of a ridge or mesa shape semiconductor layer and an electrode, and selecting an electrode material at a high degree of freedom, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加

リッジ形状又はメサ形状の半導体層上部のコンタクト層と電極とのコンタクト抵抗を十分に低減するとともに、高い自由度で電極材料を選択することができる光半導体素子及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

The EL element is provided between a pixel electrode of a lower layer and a transparent electrode of an upper layer to the substrate, the pixel electrode is electrically connected to the pixel circuit, and the transparent electrode is electrically connected to common wiring through a contact hole.例文帳に追加

ＥＬ素子は、基板に対して下層の画素電極と上層の透明電極との間に設けられ、画素電極は画素回路に電気的に接続され、透明電極はコンタクトホールを介して共通配線に電気的に接続される。 - 特許庁

An arched structure 8 being joined with intermediate columns 2b reaching upper layer floors and transmitting the column axial force of the intermediate columns 2b to an external wall 6 positioned on the outer circumferential section of the building 1 is mounted on a lowermost floor 5 or lower layer floors containing the lowermost floor.例文帳に追加

上層階にも至る中柱２ｂに接合して、該中柱２ｂの柱軸力を建物１の外周部に位置する外周壁６に伝達するアーチ状構造体８を最下階５または最下階を含む下層階に設けた。 - 特許庁

To provide a stator for an electric motor which can enhance a space factor of a coil as much as possible by effectively preventing the winding displacement of the coil caused by the interruption of an upper layer winding to a lower layer winding accompanied by the winding of the coil by a simple constitution.例文帳に追加

簡単な構成によって、コイルの巻回に伴って上層の巻線が下層の巻線に割り込むことによるコイルの巻きずれを効果的に防止し、可能な限りコイルの占積率が高められる電動モータのステータを提供すること。 - 特許庁

Since the recessed part 17 is provided on the upper surface 16A of the second conductivity type semiconductor layer 16, a current density difference between currents flowing in an optical semiconductor layer can be reduced to improve the emission unevenness.例文帳に追加

このように第２導電型半導体層16の上面16Ａに凹部17が設けられていることから、光半導体層に流れる電流の電流密度の差を小さくすることができ、発光ムラを改善させることができる発光素子１を提供する。 - 特許庁

When constructing a marine structure 10 such as an existing breakwater as the partitioned revetment of a waste disposal place, improvement processing is applied to a water permeable layer such as an upper sedimentation layer 3 of the seat bottom ground 1 so as to become the water impermeable ground.例文帳に追加

既設の防波堤等の海洋構造物１０を、廃棄物処分場の仕切護岸として構築するに際して、海底地盤１の上部の堆積層３のような透水層に対して、不透水性地盤となるように改良処理を施工する。 - 特許庁

FB's 11 equipped with debugging function are arranged in an array state by a lower wiring layer 22, macro functional units FU's are allocated to them, the FB's are customized by an upper wiring layer 21, and thus the integrated circuit module 10 is manufactured.例文帳に追加

下位配線層２２により、デバッグ機能を備えたＦＢ１１をアレイ状に配置すると共に、それらにマクロ機能ユニットＦＵを割り付け、上位配線層２１によりＦＵをカスタマイズすることにより集積回路モジュール１０を製造する。 - 特許庁

The nonlinear element 10x is a TFD element that is provided with a lower electrode 13x, an insulation layer 14x covering the surface side of the lower electrode 13x, and an upper electrode 15x facing the lower electrode 13x with the insulation layer 14x in-between.例文帳に追加

非線形素子１０ｘは、下電極１３ｘ、この下電極１３ｘの表面側を覆う絶縁層１４ｘ、およびこの絶縁層１４ｘを介して下電極１３ｘに対向する上電極１５ｘを備えたＴＦＤ素子である。 - 特許庁

To overcome the problem such that since there is a difference between the width dimensions of a lower core layer and a upper core layer in a thin film inductive head, the recording magnetic field applied to a recording medium from both core layers protrudes from a track width, so that it is easy to generate write flinging.例文帳に追加

薄膜のインダクティブヘッドでは、下部コア層の幅寸法と上部コア層の幅寸法とで差があるため、両コア層から記録媒体に与えられる記録磁界がトラック幅からはみ出し、ライトフリンジングが発生しやすくなっている。 - 特許庁

In a semiconductor manufacturing process, an organic reflection preventing film provides selectivity for a lower layer and/or minimizes the etching speed in the lateral direction of photoresist of an upper layer which maintains a critical dimension determined by a photo resist.例文帳に追加

半導体製造プロセスであって、このプロセスは、有機反射防止膜が、下層に対して選択性を与え、及び／又は、フォトレジストによって定められるクリティカルディメンジョンを維持する上層のフォトレジストの横方向のエッチング速度を最小化する。 - 特許庁

This decoupling capacitor unit is equipped with odd-numbered decoupling capacitors 104a and 104b mounted on a first upper metal layer 102a, and even-numbered decoupling capacitors 104c and 104d mounted on a second lower metal layer 102b.例文帳に追加

奇数番のデカップリング・コンデンサ１０４ａ、１０４ｂが上面の第１の金属層１０２ａに取り付けられ、偶数番のデカップリング・コンデンサ１０４ｃ、１０４ｄが底面の第２の金属層１０２ｂに取り付けられる複数のデカップリング・コンデンサを備える。 - 特許庁

The insulating film is constituted by forming coating layers comprising polyphenylene ether type organic matter on the upper and rear surfaces of a liquid crystal polymer layer 1 and the liquid crystal polymer layer 1 contains a light absorber absorbing light with a wavelength of 150-500 nm.例文帳に追加

液晶ポリマー層１の上下面にポリフェニレンエーテル系有機物から成る被覆層２を形成して成り、液晶ポリマー層１は、波長150〜500ｎｍの光を吸収する光吸収剤を含有していることを特徴とする絶縁フィルム。 - 特許庁

A first common gate 10G is composed of a gate insulating film 32 formed of silicon oxide on a semiconductor substrate 32, a bimetal layer 34 formed of titanium nitride, and a gate upper layer 35 formed of tungsten.例文帳に追加

第１共有ゲート１０Ｇは、半導体基板３０上に形成された酸化シリコンからなるゲート絶縁膜３２、ポリシリコンからなるゲート下部層３３、窒化チタンからなるバリアメタル層３４及びタングステンからなるゲート上部層３５により構成されている。 - 特許庁

To obtain a source electrode and a drain electrode which obtains a proper ohmic contact to an organic semiconductor layer, prepared in an upper portion, at low cost without damaging the insulating layer of a ground that comprises an organic material.例文帳に追加

有機材料からなる下地の絶縁性層に対してダメージを与えることなく、かつ上部に設けられる有機半導体層に対して良好なオーミックコンタクトが得られるソース電極およびドレイン電極を低コストで得ることを可能にする。 - 特許庁

When light is generated from the active layer 21 and the generated light is strengthened by diffraction in the 2D photonic crystal layer 23, strong laser light is generated from the periphery of the upper electrodes 33 from which the current is led to the outside.例文帳に追加

これにより、活性層２１で光が発生し、その光が２次元フォトニック結晶層２３において回折により強められることにより、電流を導入した上部電極３３の周囲から外部に向かって強いレーザ光が発せられる。 - 特許庁

A bipolar transistor and a capacitive element are formed on the same semiconductor substrate 11 wherein a base region 20 formed of an epitaxial layer and the upper electrode 21 of the capacitive element are patterned from a vapor phase epitaxial growth layer formed simultaneously.例文帳に追加

同一の半導体基板１１にバイポーラトランジスタ及び容量素子が形成され、エピタキシャル層で形成されたベース領域２０及び容量素子の上部電極２１が、同時に形成された気相成長層からパターニングされて形成されている。 - 特許庁

To provide a distributed feedback semiconductor laser, having a structure that improves the planarity of crystal layer growth in the upper layer of a diffraction grating, and further, improves the reliability of an element by reducing the density of crystal defects.例文帳に追加

回折格子層の上層における結晶層成長の平坦性の向上と、結晶欠陥密度の低減を図ることにより、素子信頼性の向上を図ることを可能とする構造を備える分布帰還型半導体レーザを提供する。 - 特許庁

The electron emission element 1 includes a particulate layer 4 between a substrate 2 and an upper part electrode 3, and the particulate layer 4 contains metal particulates 6 having high antioxidant power and particulates 5 of an insulator which have larger sizes than that of the metal particulates 6.例文帳に追加

電子放出素子１は、基板２と上部電極３との間に微粒子層４を備え、微粒子層４は、抗酸化力が高い金属微粒子６と、金属微粒子６の大きさより大きい絶縁体の微粒子５とを含んでいる。 - 特許庁

The upper layer 5a of the sealing resin 5 includes an additive for shielding the electromagnetic field or electrostatic field for ferrite and conductive material, and concentration of this additive is relatively larger than that of the lower layer 5b of the sealing resin 5.例文帳に追加

封止樹脂５の上層部５ａは、フェライトや導電体材料などの電磁界または静電気に対してシールド効果を有する添加物を含んでおり、その添加物の濃度は、封止樹脂５の下層部５ｂよりも相対的に大きい。 - 特許庁

An image forming material of the present invention is formed by sequentially laminating on a substrate a lower layer containing water-insoluble, alkali-soluble resin; and an upper layer containing polyurethane with solubility to an alkali aqueous solution improved by an infrared absorbent and infrared exposure.例文帳に追加

支持体上に、水不溶かつアルカリ可溶性樹脂を含む下層と、赤外線吸収剤及び赤外線露光によりアルカリ水溶液への溶解性が向上するポリウレタンを含む上層と、を順次積層してなる画像形成材料である。 - 特許庁

The layers 39 are formed in such a way that upper end edges 39a1 of side end faces 39a facing the multilayer film T1 are overlapped with a face S1a on the opposite side of a face facing the nonmagnetic material layer 36 of the layer S1.例文帳に追加

第１絶縁層３９は、多層膜Ｔ１に対向する側端面３９ａの上端縁３９ａ１が鏡面反射層Ｓ１の非磁性材料層３６に対向する面と反対側の面Ｓ１ａと重なるように成膜される。 - 特許庁

Hot water generated from an electric heater 6 at a regeneration time circulates through an upper part activated carbon layer 3 and a lower part activated carbon layer 4 by an air bubbles pump part 5, and generated steam is discharged through a gas discharge port and purified water outflow port 7.例文帳に追加

再生時には電気加熱器６から発生した熱水が気泡ポンプ部５よって上部活性炭層３及び下部活性炭層４を循環し、発生した蒸気はガス排気口兼浄水流出口７を通って排気される。 - 特許庁

Earthquake resistance is thereby increased, the lower layer story can ensure a big span used for a parking space or a store and, at the same time, the large space required in the case the upper layer story is used for a dwelling can be ensured.例文帳に追加

それにより、耐震性を高め、下層階は駐車スペースまたは店舗に使用するための大きなスパンを確保することができるとともに、上層階は住居として使用する場合に望まれる大きな空間を確保することができる。 - 特許庁

Because the nonvolatile memory element has the block layer 14 capable of blocking the phase change of the recording layer 13, radiation is inhibited to the side of the upper electrode 15, and a phase changing area P is largely limited when a write current is applied.例文帳に追加

本発明によれば、記録層１３の相変化をブロック可能なブロック層１４を有していることから、上部電極１５側への放熱が抑制されるとともに、書き込み電流を印加した場合の相変化領域Ｐが大きく制限される。 - 特許庁

There is the relationship of T1<T3<T2<T3+30°C among the softening point of the major glass powder used for the lower dielectric layer (T1), that of the major glass powder used for the upper dielectric layer (T2), and firing temperature of the major glass powders (T3).例文帳に追加

上記下側誘電体層に使用される主要ガラス粉末の軟化点（Ｔ１）と、上記上側誘電体層に使用される主要ガラス粉末の軟化点（Ｔ２）と、上記主要ガラス粉末の焼成温度（Ｔ３）とが関係Ｔ１＜Ｔ３＜Ｔ２＜Ｔ３＋３０℃を満たす。 - 特許庁

The first lower and upper portions form an undoped region ND having a thickness of >0.5 μm and the difference Δn_opt in light refractive index between either one of the coating layers 1 and 2 and the guide layer adjoining the coating layer is adjusted to <0.02.例文帳に追加

第１の下方および上方部分は、厚さが０．５μｍより大きいドープされていない領域ＮＤを形成し、被覆層の少なくともいずれか１つと、前記隣接するガイド層との光屈折率の差Δｎ_ｏｐｔは０．０２未満である。 - 特許庁

There is provided a laminated nonwoven fabric having upper and lower layers of thermoplastic continuous fiber layers having a birefringence of not more than 0.040, and an intermediate layer of a thermoplastic microfiber layer having an average fiber diameter of not less than 2 μm, wherein the layers are integrated each other by thermal bonding.例文帳に追加

複屈折率が０．０４０以下である熱可塑性長繊維層を上下層とし、平均繊維径が２μｍ以上の熱可塑性微細繊維層を中間層とし、各層が熱接着で一体化されていることを特徴とする積層不織布。 - 特許庁

After a know novolak resist is rotatively coated as a lower layer resist 2 on a to-be-processed substrate (a), it is hard-baked at a high temperature (b), and a chemical amplification resist of a thin film is coated as an upper layer resist 3 on the hard-baked novolak resist (c).例文帳に追加

被加工基板（ａ）上に下層レジスト２として、周知のノボラックレジストを回転塗布した後、高温でハードベークし（ｂ）、該ハードベークしたノボラックレジスト上に化学増幅型レジストを薄膜で上層レジスト３として塗布する（ｃ）ようにした。 - 特許庁

A lateral mode adjustment layer 30 is provided on an upper surface of the mesa section 17, where the lateral mode adjustment layer 30 includes a high-reflection region 23A corresponding to the unoxidized region 18B and an annular low-reflection region 23B on the periphery of the high-reflection region 23A.例文帳に追加

メサ部１７の上面には、未酸化領域１８Ｂに対応して高反射領域２３Ａを有すると共に、高反射領域２３Ａの周縁に環状の低反射領域２３Ｂを有する横モード調整層３０が設けられている。 - 特許庁

A surface emitting laser module 10 is constituted into such a structure that the module 10 is provided with a semiconductor substrate 18, an upper side clad layer 14, an active layer layer 12 and a lower side clad layer 16, which are laminated in order.例文帳に追加

面発光型レーザモジュール１０は、半導体基板１８、上側クラッド層１４、活性層１２、下側クラッド層１６を順次積層し、下側クラッド層１６の下面及び半導体基板１８の上面にそれぞれ形成された下部電極２０及び上部電極２２を有する面発光型半導体光増幅器と、半導体基板１８の上側に設けられた光ファイバ２４を備えて構成されている。 - 特許庁

This printed wiring board 1 is provided with: a flexible substrate 10 having flexibility; a rigid substrate 20 formed on the upper and lower surfaces of the flexible substrate 10 and having an insulating layer 22 and a conductor layer 23 laminated; and a blocking layer 30 arranged between the flexible substrate 10 and the rigid substrate 20 and having water-vapor permeability lower than that of the insulating layer 22 of the rigid substrate 20.例文帳に追加

このプリント配線基板１は、可撓性を有するフレキシブル基板１０と、フレキシブル基板１０の上面上および下面上に形成され、絶縁層２２および導体層２３が積層されたリジッド基板２０と、フレキシブル基板１０およびリジッド基板２０の間に配置され、リジッド基板２０の絶縁層２２よりも小さい水蒸気透過度を有する遮断層３０とを備える。 - 特許庁

In the rubber-reinforcing glass fiber, a primary coating layer is formed by providing the coating layer by applying the coating liquid for coating the glass fiber containing a phenols-formaldehyde condensation product and an acrylonitril-butadiene copolymer is applied to a strand obtained by bundling a plurality of high strength glass fiber filaments, and a secondary coating layer containing clorosulfonated polyethylene and bisallylnadiimide is formed on the upper layer.例文帳に追加

複数本の高強度ガラス繊維フィラメントを集束させたストランドにフェノール類−ホルムアルデヒド縮合物とアクリロニトリル−ブタジエン共重合体とを含有するガラス繊維被覆用塗布液を塗布し被覆層を設けて１次被覆層を形成し、その上層にクロロスルホン化ポリエチレンとビスアリルナジイミドを含有する２次被覆層を設けてなることを特徴とするゴム補強用ガラス繊維。 - 特許庁

The snow-melting sheet is formed by arranging a sheet heating element and a conductive layer between insulating sheets arranged on upper and lower surfaces of the sheet, providing electrodes at both side edges of the sheet heating element, connecting lead wires to the electrodes, laminating the sheet heating element and the conductive layer with an insulating layer interposed therebetween, and establishing a ground for the conductive layer.例文帳に追加

この発明の融雪シートは、上面及び下面に設けた絶縁シートの間に面状発熱体及び導電層を配設し、前記面状発熱体の両側端縁には電極を設け、前記電極にリード線を締結するとともに、面状発熱体と導電層との間には絶縁層を設けて積層し、前記導電層にはアースを設けたことを特徴とする。 - 特許庁

A resin compound made of phenoxy resin having a weight-average molecular weight of 20,000 or more and a solvent is applied to the surface of the conductor and is calcinated to form a primer layer, and further, the insulating layer mainly made of at least one or more resin selected from a group of polyester imide, polyamide imide, polyester, and polyimide is formed on an upper layer of the primer layer.例文帳に追加

導体表面に、重量平均分子量が２００００以上のフェノキシ樹脂と溶媒からなる樹脂組成物を塗布し、焼き付けることによってプライマー層を形成し、さらに、当該プライマー層の上層にポリエステルイミド、ポリアミドイミド、ポリエステル及びポリイミドからなる群から選ばれる少なくとも１種以上の樹脂を主体とする絶縁層を形成する。 - 特許庁

Since a chemically instable Schottky layer is covered with the cap layer and the boundary region between the Schottky layer/cap layer and the Schottky electrode susceptible to surface defect is covered with the upper structure of the Schottky electrode, occurrence of surface detect is retarded and a highly reliable semiconductor device can be fabricated at high yield.例文帳に追加

かかる構成によれば，化学的に不安定なショットキ層がキャップ層に覆われるとともに，表面欠陥が生じやすい，ショットキ層／キャップ層とショットキ電極との境界領域についても，ショットキ電極の上部構造により，覆われるので，表面欠陥が生じにくく，したがって高い信頼性を有する半導体装置を高い歩留まりで製造することが可能となる。 - 特許庁

In the method for producing the sintered ore where, when a sintering raw material is charged to the surface of a circularly moving pallet 2 so as to form a charged layer on the pallet 2, and when the charged layer is sintered, using a sintering machine 1 sintering the charged layer and producing a sintered ore, oxygen, air and gaseous fuel are supplied to the upstream side of the charged layer from the upper part.例文帳に追加

循環移動するパレット２上に焼結原料を装入してパレット２上に装入層を形成し、該装入層を焼結して焼結鉱を製造する焼結機１を用い、装入層を焼結する際に、酸素と空気と気体燃料とを装入層の上流側に上部から供給することを特徴とする焼結鉱の製造方法を用いる。 - 特許庁

A forming method of the inkjet print head includes steps of: attaching a plurality of piezoelectric elements 20 to diaphragms 36; supplying a dielectric filling layer on the diaphragms and the plurality of piezoelectric elements to seal the piezoelectric elements; curing the dielectric filling layer to form an aperture layer 50; and removing the aperture layer from an upper surface of the plurality of piezoelectric elements by plasma etching.例文帳に追加

インクジェット印字ヘッドの形成方法は、ダイアフラム３６に複数の圧電素子２０を付着させるステップと、ダイアフラムと複数の圧電素子との上に誘電性充填層を供給し、圧電素子を封止するステップと、誘電性充填層を硬化させ、隙間層５０を形成するステップと、次に、複数の圧電素子の上面から隙間層をプラズマエッチングによって除去するステップとを含む。 - 特許庁

In the electrophotographic image receiving material constituted by providing a heat insulating layer having a gap structure on a supporting body, and providing at least one toner receiving layer containing thermoplastic resin and water soluble binder on the upper layer of the heat insulating layer, the thermoplastic resin is emulsion resin obtained by emulsion-polymerizing with polymeric dispersant having a hydroxyl group.例文帳に追加

支持体上に、空隙構造を有する断熱層、該断熱層の上層に少なくとも一層の熱可塑性樹脂及び水溶性バインダーを含有するトナー受容層を設けた電子写真用受像材料において、該熱可塑性樹脂が水酸基を有する高分子分散剤で乳化重合したエマルジョン樹脂であることを特徴とする電子写真用受像材料。 - 特許庁

By microprocessing a laminate 5 manufactured by laminating an electron emission layer 51 and an electron extracting electrode layer 53 via an insulator layer 52 with an IC technology, a number of micro columnar electron emission part 2 can be formed at an expected region in an expected shape and arrangement and an electron extracting electrode layer 53 can be formed at upper part of adjoining circumference as required.例文帳に追加

絶縁体層５２を介して電子放出層５１と電子引出電極層５３とを積層し、このようにして得た積層体５をＩＣ技術を用いて微細加工することにより、多数の微細柱状の電子放出部２を所望領域に所望の形状及び配置で形成することができ、その近接した周囲上方に電子引出電極層５３を適宜形成することができる。 - 特許庁

A color filter substrate includes a substrate 210, the retardation layer 230b which faces part of one principal surface of the substrate 210 and contains a liquid crystal substance having mesogen fixed or a polymer thereof, or a crosslinking body, and a color filter layer 220 including a colored layer 220b covering the entire upper surface and side surfaces of the retardation layer 230b.例文帳に追加

本発明のカラーフィルタ基板は、基材２１０と、前記基材２１０の一方の主面の一部と向き合い、メソゲンが固定化された液晶物質又はその重合体若しくは架橋体を含んだ位相差層２３０ｂと、前記位相差層２３０ｂの上面及び側面の全体を被覆した着色層２２０ｂを含んだカラーフィルタ層２２０とを具備したことを特徴とする。 - 特許庁

This radio resource allocation device includes: a radio resource using amount recording part 3 for recording a radio resource amount used for the transmission of physical layer packets for each physical layer packet; and a retransmission maximum radio resource amount determination part 4 for determining the upper limit value of the radio resource amount allocated for the retransmission of one physical layer packet on the basis of the radio resource amount used for the transmission of the physical layer packet.例文帳に追加

物理層パケット毎に物理層パケットの送信に使用された無線リソース量を記録する無線リソース使用量記録部３と、一物理層パケットの再送用に割り当てる無線リソース量の上限値を当該物理層パケットの送信に使用された無線リソース量に基づいて決定する再送最大無線リソース量決定部４とを備える。 - 特許庁

There are laminated, on a plug 11a composed of polysilicon, a titanium layer 13 silicified by silicon diffused from the plug 11a, a lower layer 141 composed of titanium silicide, a middle layer 142 composed of titanium silicide oxidized, an upper layer 143 obtained by further nitriding the oxidized titanium silicide, a capacitor lower electrode 15 composed of platinum, and an oxide dielectric 17, in this order.例文帳に追加

ポリシリコンからなるプラグ１１ａ上には、プラグ１１ａから拡散したシリコンによってシリサイド化されたチタン層１３と、チタンシリサイドからなる下層１４１と、酸化されたチタンシリサイドからなる中層１４２と、酸化されたチタンシリサイドに更に窒化を施して得られる上層１４３と、白金からなるキャパシタ下部電極１５と、酸化物誘電体１７とが、この順に積層される。 - 特許庁