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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > 極薄シリコンに関連した英語例文

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極薄シリコンの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 309



例文

ガラス基板からなるボディ1の一表面側に、ボディ1に設けられた収納孔16を閉塞するシリコン膜からなる蓋体17とアーマチュアブロック3を構成するフレーム部31とが陽接合される。例文帳に追加

A lid body 17 made of a silicon thin film blocking a housing hole 16 fitted to a body 1 and a frame part 31 constituting an armature block 3 are anodically bonded on one surface side of the body 1 consisting of a glass substrate. - 特許庁

ゲート絶縁膜15上に成膜した第1の金属層72をパターニングして、膜トランジスタ4,5となる部分のポリシリコン層11に対向したゲート絶縁膜15上にゲート電16を設ける。例文帳に追加

The liquid crystal display device further includes a first metal layer 72 deposited on the gate insulating film 15 and patterned to provide a gate electrode 16 on the gate insulating film 15 opposed to a polysilicon layer 11 of parts becoming thin film transistors 4, 5. - 特許庁

多孔質シリコンには、陰エレクトロマイグレーションまたは任意の公知の方法で、ラマン活性金属、たとえば金または銀のい皮膜をコーティングすることができる。例文帳に追加

The porous silicon can be coated with a Raman active metal, for instance, a thin film made of gold or silver by cathodic electromigration or any known method. - 特許庁

シリコン表面に厚さがサブナノから数ナノメートル(nm)レベルのの絶縁膜を形成し、これを利用して、低電圧動作MOSデバイスを実現する。例文帳に追加

To form an extremely thin insulating film of a sub-nanometer to several nanometers (nm) in thickness on a silicon surface, and to actualize a low-voltage operating MOS device using the same. - 特許庁

例文

シリコンが元来有しているリチウムの吸蔵脱離性能を保ちつつ、サイクル特性に優れたリチウム二次電池の負として用いることを可能とした鱗片状膜微粉末分散液を提供する。例文帳に追加

To provide a scale-like thin-film fine powder dispersion liquid which can be used as a negative electrode of a lithium secondary battery superior in cycle characteristics while maintaining a storage and desorption performance of lithium which silicon originally has. - 特許庁


例文

膜光電変換装置100は、基板1上に、透明電層2と、3つのシリコン系光電変換層91,92,93とを順に備える。例文帳に追加

The thin-film photoelectric conversion device 100 has a transparent electrode layer 2 and three silicon-based photoelectric conversion layers 91, 92 and 93 in order on a substrate 1. - 特許庁

い液体セル、プリズム光学系、およびシリコンロッドなどを用いずに、テラヘルツ波に対して大きな吸収を有する物質中の微量な分子などのテラヘルツ透過スペクトル測定を良好に行うことを可能にする。例文帳に追加

To well measure the terahertz transmission spectrum of a very small amount of the molecules or the like in a substance highly absorbent for terahertz waves, without using an extremely thin liquid cell, a prism optical system, a silicon rod and the like. - 特許庁

い液体セル、プリズム光学系、およびシリコンロッドなどを用いずに、テラヘルツ波に対して大きな吸収を有する物質のテラヘルツ透過スペクトル測定を良好に行うことを可能にする。例文帳に追加

To well measure the terahertz transmission spectrum of a substance highly absorbent for terahertz waves, without using an extremely thin liquid cell, a prism optical system, a silicon rod, and the like. - 特許庁

欠陥が低く、高次シラン混入の少ない高品質なアモルファスシリコン膜を大面積で得るために、広い面積に渡り陰凹部(ホロー)にプラズマを発生できるプラズマCVD装置を提供する。例文帳に追加

To provide a plasma CVD device which can generate plasma in a cathode depressed part (hollow) across a wide area in order to obtain a high-quality amorphous silicon thin-film of a large size with few defects and few inclusion of high-order silane. - 特許庁

例文

ゲート絶縁膜全体として、シリコン酸化膜換算膜厚の増加を抑制し、高誘電率を有する絶縁膜を主体としたゲート絶縁膜を構成すること。例文帳に追加

To inhibit increase in film thickness calculated in terms of the film thickness of a silicon oxide film as the whole gate insulating film and to constitute an ultrathin gate insulating film containing an insulating film having a high dielectric constant as its main component. - 特許庁

例文

ITO膜と同程度の電電位を有し、シリコンが拡散することなく、比抵抗が低く、耐熱性に優れたアルミニウム合金膜を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide an aluminum alloy thin film which has an electrode potential equal to that of an ITO (indium-tin-oxide) film, has no diffusion of silicon, has low specific resistance, and has excellent heat resistance. - 特許庁

この圧力検出チップ200のダイアフラム8′は、従来の圧力検出チップと略同様に、絶縁体(絶縁膜210)と共有電(1a)とシリコン基板膜部1cとを合わせて形成されている。例文帳に追加

The diaphragm 8' of a pressure detecting chip 200 is formed substantially similarly to the conventional pressure detection chip by joining an insulator (an insulating film 210), a common electrode (1a) and a silicon substrate thin film part 1c. - 特許庁

さらに、肉部5のダイヤフラム部5Aにはピエゾ抵抗素子8を形成すると共に、このピエゾ抵抗素子8に接続された電9を下部シリコン基板1の表面1A側に配置する。例文帳に追加

A piezo-resistance element 8 is formed in a diaphragm part 5A of the thin-walled part 5, and an electrode 9 connected to the piezo-resistance element 8 is arranged on the surface 1A side of the silicon substrate 1. - 特許庁

ヒータ電4が電気的に接続されたポリシリコン抵抗からなるヒータ3上にBPSG7及びTEOS8からなる層間膜を介してAl_2O_3とCoからなるナノグラニュラー膜抵抗1を設ける。例文帳に追加

Above a heater 3 comprising a polysilicon resistance connected electrically with heater electrodes 4, a nano-granular thin-film resistance 1 made of Al_2O_3 and Co is provided via an interlayer film made of BPSG (Boron-doped Phospho-Silicate Glass) 7 and TEOS (tetra ethyl ortho silicate) 8. - 特許庁

n形シリコン基板1の主表面側に強電界ドリフト部6が形成され、強電界ドリフト部6上に金膜よりなる表面電7が形成されている。例文帳に追加

In this field emission electron source, a strong electric field drift part 6 is formed on the main surface side of a n-type silicon substrate 1, and a surface electrode 7 of a gold foil film is formed on the strong electric field drift part 6. - 特許庁

多結晶シリコン膜を上下の電層として有するキャパシタにおいて、絶縁層をなす酸化膜の膜厚が100Å以下と非常にい場合でも、信頼性の高いキャパシタを得る。例文帳に追加

To obtain a capacitor whose reliability is high, even when the film thickness of an oxide film forming an insulating layer is extremely thin, for example, 100or smaller in a capacitor having polycrystalline silicon films as the upper and lower electrode layers. - 特許庁

チャネル部を形成する多結晶シリコン膜をゲート電と重なり合う領域で分離することにより、放熱を大きくして温度上昇を抑制し、信頼性に優れた膜トランジスタが得られる。例文帳に追加

The thin film transistor having the excellent reliability can be obtained by increasing a heat sink and suppressing the temperature rise by separating a polycrystal silicon film for forming a channel by a region to be superposed with a gate electrode. - 特許庁

な部分を含む変位部(梁部6+重り7)8を備えた半導体素子3のシリコン基板2に、キャップ15を陽接合により接合する。例文帳に追加

A cap 15 is bonded by the anode-bonding to an Si substrate 2 of a semiconductor element 3 which has a displacement part (beam 6 plus weight 7) including a thin-walled part. - 特許庁

本方法におけるフォトリソグラフィー工程は、線状遮光体形成、多結晶シリコン膜形成、ゲート電形成、の3工程のみとなる。例文帳に追加

The photolithographic processes of the present method comprise only three steps of forming the linear light shielding bodies, forming the polycrystalline silicon thin film and forming the gate electrode. - 特許庁

シリコンを主成分とする膜を負活物質として備えたエネルギーデバイスの大容量化とサイクル特性の向上とを両立させる。例文帳に追加

To enhance cycle characteristics of an energy device equipped with a thin film having silicon as a main component as a negative electrode active material while allowing it to have a large capacity. - 特許庁

透明絶縁基板1上に少なくとも第1の金属膜2、陽酸化膜3、第1の絶縁膜4、多結晶シリコン膜5、第2の絶縁膜6、及び、第2の金属膜7を順に積層して膜半導体装置を構成する。例文帳に追加

At least, a first metallic film 2, an anode oxide film 3, a first insulating film 4, a polycrystalline silicon film 5, a second insulating film 6, and a second metallic film 7 are successively laminated on a transparent insulating substrate 1. - 特許庁

集電体と負活物質膜との界面近傍に、集電体の主成分元素及びシリコンの組成分布がなだらかに変化する組成傾斜層が形成されている。例文帳に追加

A composition inclining layer gently changing composition distribution of a main component element of a current collector and silicon is formed in the vicinity of the interface between a current collector and the negative active material thin film. - 特許庁

ガラス板等の絶縁性の基板11に、所定の電形状に形成されたシリコン等の半導体板20が積層され、基板11の半導体板20の積層面とは反対側から半導体板20に達する複数の透孔12が形成されている。例文帳に追加

Semiconductor thin sheets 20 of silicon or the like, formed so as to have predetermined electrode configurations, are laminated on a substrate 11 having insulation properties such as a glass plate or the like, while a plurality of through holes 12 extend to the semiconductor thin sheets 20 from the opposite side of the laminated surface of the semiconductor thin sheets 20 on the substrate 11. - 特許庁

ウエハレベル・チップサイズのパッケージ構造は、シリコン基板11上に形成された半導体回路を一様に覆うい絶縁膜15と、このい絶縁膜15上に各外部電22に対応して形成されて、各外部電22を搭載するドーナツ状の厚い絶縁膜18とを有する。例文帳に追加

The package structure of the semiconductor device in a wafer-level chip size has a thin insulating film 15 covering uniformly semiconductor circuits formed on a silicon substrate 11, and thick doughnut-formed insulating film 18 which is formed on the thin insulating film 15 corresponding to each of external electrodes 22 and mounts the external electrodes 22. - 特許庁

半導体基板を製造する工程で、絶縁膜層であるSiN(窒化シリコン)等のドライエッチング時に発生する残渣物を容易に除去でき、さらにガラス基板や膜回路に使用されるa−Si、ポリシリコンや配線材料を全く腐食することなくめて効率良く半導体基板を洗浄する方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for easily removing a residual generated in dry-etching on SiN (silicon nitride) which is an insulting film layer in a process for manufacturing a semiconductor substrate and efficiently cleaning the semiconductor substrate without the corrosion of a-Si, polysilicon and a wiring material, which are used for a glass substrate and a thin film circuit. - 特許庁

本発明の膜キャパシタ100は、誘電体膜(シリコン窒化膜)15がキャパシタ下部電(アルミニウム)12上の第1の絶縁膜(シリコン酸化膜)13に設けられた開口部14内面に沿って形成され、開口部14の底部コーナ14aは、底部コーナ14aだけを部分的に覆う第2の絶縁膜(無機SOG膜)101で被覆されている。例文帳に追加

The thin film capacitor 100 has a dielectric film (silicon nitride film) 15 formed along the inner surface of an opening 14 provided in a first insulating film (silicon oxide film) 13 on the lower electrode (aluminum) 12 of the capacitor wherein the bottom corner 14a of the opening 14 is coated with a second insulating film (inorganic SOG film) 101 covering only the bottom corner 14a partially. - 特許庁

本発明に係る圧力波発生装置は、圧力波を発生させる圧力波発生装置1であって、シリコン基板11と、当該シリコン基板11上に設けられたガラス基板12と、当該ガラス基板12上に形成され、電気的に駆動される発熱体膜から構成された電13とを備えたものである。例文帳に追加

The pressure-wave generator 1 for generating a pressure wave has a silicon substrate 11, a glass substrate 12 arranged on the silicon substrate and an electrode 13 which is formed on the glass substrate 12 and structured of a heating-element thin-film driven electrically. - 特許庁

可変形状鏡の上部基板101は、単結晶シリコン基板105に形成された枠部及びミラー開口部103と、上記シリコン基板105全面にわたって形成された少なくとも2層の膜であるポリイミド膜106及び電膜10により上記ミラー開口部103に形成されたダイヤフラムと、を少なくとも有するダイヤフラム構造体である。例文帳に追加

An upper substrate 101 of a variable form mirror is of a diaphragm structure body having at least a frame part and a mirror opening part 103 formed on a single crystal silicon substrate 105, and a diaphragm formed at the mirror opening part 103 with a polyimide film 106 and an electrode film 10 which are at least two layers of thin films formed over the whole face of the silicon substrate 105. - 特許庁

ランプ光50を用いて、絶縁膜30もしくはゲート電20を選択的に加熱して絶縁膜30を成膜し、連続してアモルファスシリコン膜70を成膜することによって、基板10の温度を低温に保ったまま高品質の絶縁膜及び非晶質シリコン膜を形成でき、スループットを落とすことなく、信頼性及び性能の優れた膜トランジスタが得られる。例文帳に追加

Lamp light 50 is used, an insulating film 30 or a gate electrode 20 is selectively heated to form the insulating film 30, and an amorphous silicon film 70 is continuously formed, thus forming a high-quality insulating film and amorphous silicon film while the temperature in a substrate 10 is kept low, and hence obtaining the thin-film transistor having excellent reliability and performance without deteriorating the throughput. - 特許庁

接合工程は、肉のダイアフラム部にピエゾ抵抗効果を有する複数の歪みゲージをブリッジ回路状に形成してなる検出部4aを複数備えるシリコン基板(半導体基板)20をガラス基板21上に配設し、シリコン基板21及びガラス基板21を陽接合法によって接合する。例文帳に追加

In a junction process, a silicon substrate (semiconductor substrate) 20 on which a plurality of detection parts 4a in which a plurality of strain gauges having a piezoresistance effect in its thin diaphragm part are provided to form a bridge circuit is provided on a glass substrate 21 and put the silicon substrate 20 and the glass substrate 21 together by an anodic junction method. - 特許庁

基板とラダー状の電との間にシリコンを含む原料ガスおよび水素ガスを供給するとともに周波数が10MHz以上300MHz以下の高周波を印加することにより生成されるプラズマを利用するプラズマCVD法を用いて基板上に製膜されたシリコン膜を光電変換層として有する。例文帳に追加

Silicon-containing material gas and hydrogen gas are fed between a board and a ladden-shaped electrode, and a high-frequency power of 10 to 300 MHz is applied to generate a plasma, by which a silicon thin film is formed on the board through a plasma CVD method using the generated plasma, and the silicon thin film is used as a photoelectric conversion layer. - 特許庁

本発明の不揮発性メモリ素子は、完全空乏型の膜SOI表面に形成されたトンネル酸化膜と、該トンネル酸化膜表面に所定の密度で形成された複数のシリコンドットと、該シリコンドットを挟んで、トンネル酸化膜上に形成された酸化膜と、該酸化膜の表面に形成されたゲート電とを備える。例文帳に追加

The non-volatile memory device comprises a tunnel oxide film formed on the surface of a fully-depleted SOI thin film, the plurality of silicon dots formed at a prescribed concentration on the surface of the tunnel oxide film, an oxide film formed on the tunnel oxide film via the silicon dots, and a gate electrode formed on the surface of the oxide film. - 特許庁

表面シリコン原子の再配列によって形成した複数のステップ11およびテラス12を有するミスオリエンテーション基板10を用いて、その基板10のテラス12上にエピタキシャル成長させたの結晶質二酸化シリコン膜15をゲート絶縁膜としてMOS電界効果型トランジスタを構成する。例文帳に追加

With the use of a mis-orientated wafer 10 with a plurality of steps 11 and terraces 12 formed by rearranged surface silicon atoms, a MOS field-effect transistor is structured with a very thin crystalline silicon dioxide film 15 which is grown epitaxially on the terrace 12 of the wafer 10 as a gate insulating film. - 特許庁

基板に対して形成される絶縁性アンダーコート層と、該絶縁性アンダーコート層の上に形成される多結晶シリコンからなる半導体活性層と、該半導体活性層上に絶縁して形成されるゲート電とを備え、該絶縁性アンダーコート層は、テトラエトキシシランを材料とし、プラズマCVDで形成されたシリコン酸化膜層である膜トランジスタである。例文帳に追加

The thin-film transistor comprises an insulating undercoat layer formed on a substrate, a semiconductor active layer composed of polysilicon formed on the insulating undercoat layer, and a gate electrode formed on the semiconductor active layer, while being insulated wherein the insulating undercoat layer is a silicon oxide film layer formed by plasma CVD, using tetraethoxy silane as the material. - 特許庁

p型シリコン半導体基板をくした場合でも、塗布量を減らさないで、所望のBSF効果を十分達成することができ、かつ焼成後のp型シリコン半導体基板の変形を抑制することが可能なペースト組成物と、その組成物を用いて形成された不純物層または電層を備えた太陽電池を提供することである。例文帳に追加

To provide paste composition to fully achieve requested BSF effect without decreasing the amount of application, even when thinning a p-type silicon semiconductor board, and to control deformation of the p-type silicon semiconductor board after baking and a solar cell equipped with an impurities layer or an electrode layer formed with the composition. - 特許庁

シリコン基板100上に、同装置内で連続して電層と圧電体層を積層し、積層された電層と圧電体層との両方を同一のマスクを用いてエッチングすることにより、下部電層104と圧電体膜105を形成する。例文帳に追加

On a silicon substrate 100, an electrode layer and a piezoelectric layer are stacked continuously within the same device, and both the stacked electrode layer and piezoelectric layer are etched using the same mask to form a lower electrode layer 104 and a piezoelectric thin film 105. - 特許庁

膜電子源として、絶縁基板上にアルミニウム又はアルミニウム合金を好適とする金属で形成した下部電11と、この下部電11の上にトンネル絶縁層12を有し、さらにこの上層にシリコンの上部電23を積層した構造とする。例文帳に追加

The thin-film electron source is provided with a lower electrode 11 formed of metal, suitably, aluminum or an aluminum alloy on an insulation substrate, and a tunnel insulation layer 12 on the lower electrode 11, on which, further, a silicon-made upper electrode 23 is laminated. - 特許庁

絶縁ゲート型電界効果トランジスタにおいて、側周壁部を極薄シリコン窒化膜で覆われたゲート電を形成し、側壁によるコンタクト面積の減少を抑え、かつ、ゲート電の周辺下端の酸化膜を厚くすることにより、そこでの電界集中を防ぐ。例文帳に追加

In an insulated gate field effect transistor, a gate electrode whose side peripheral wall is covered with a very thin silicon nitride film is provided, a contacting face is restrained from decreasing in area due to the side wall, and an oxide film is made thick around the lower end of the gate electrode so as to prevent an electric field from concentrating thereon. - 特許庁

開示される膜トランジスタ10は、ゲート絶縁膜7とゲート電9との間の位置に、多結晶シリコン膜3とゲート絶縁膜7との界面のダングリングボンドに水素を拡散するための水素供給層8が形成されている。例文帳に追加

In the disclosed thin film transistor 10, the hydrogen feeding layer 8 for diffusing hydrogen to a dangling bond on an interface between a polycrystalline silicon thin film 3 and a gate insulating film 7 in a position between the film 7 and a gate electrode 9. - 特許庁

ガラス基板を覆う絶縁性アンダーコート膜層と、この絶縁性アンダーコート膜層上に形成される多結晶シリコンの半導体活性層26と、この半導体活性層26上に絶縁して形成されるゲート電28とを備える。例文帳に追加

This thin film transistor has an insulating undercoat thin film layer which covers the glass substrate, a semiconductor active layer 26 of polycrystalline silicon formed on the insulating undercoat thin film layer, and a gate electrode 28 which is insulated and formed on the semiconductor active layer 26. - 特許庁

補強線を有する導体電表面に例えば多層タンデム構造の膜アモルファスシリコン層の光吸収起電力層とそれらに付随する各層総てを同心円筒状に積層するか、またはシート状のフレキシブル膜太陽電池を縦沿え合せ捲きにする。例文帳に追加

On the surface of a conductor electrode having reinforcement wire, for example, optical absorption electromotance layers of thin film amorphous silicon layers of multilayer tandem structure and all the respective layers accompanying them are laminated like a concentric cylinder, or a sheet-like flexible thin film solar battery is vertically attached and wound together. - 特許庁

シリコン等の基板411上にダイヤモンド膜42を成膜する成膜工程と、前記ダイヤモンド膜42をエッチングすることで所定の箇所を除去しマイクロ電42pを設けるエッチング工程とを備えるようにする。例文帳に追加

The manufacturing method of the micro-diamond electrode includes a film forming process for forming a diamond thin film 42 on a substrate 411 comprising silicon or the like and an etching process for etching the diamond thin film 42 to remove a predetermined place to provide the microelectrode 42p. - 特許庁

可動構造体9の上には可動膜13がシリコン基板2の表面に垂直なZ方向に所定の間隔をおいて移動可能に支持され、可動膜13と可動構造体9により角速度検出用の対向電が構成されている。例文帳に追加

A thin movable film 13 is supported on the movable structure 9 at a specified interval in Z direction perpendicular to the surface of the silicon substrate 2 and counter electrodes for angular speed detection are constituted of the thin movable film 13 and the movable structure 9. - 特許庁

そして、自発光素子1は、電基板2と膜電3との間に電圧が印加されると、電子加速層4で電子を加速させてホットエレクトロンを生成し、該ホットエレクトロンにより電子加速層4中のシリコン微粒子5表面が励起して発光する。例文帳に追加

The self-light-emitting element 1 creates hot electron by accelerating electron in the electron acceleration layer 4 when voltage is impressed between the electrode substrate 2 and the thin-film electrode 3, and surfaces of the silicon fine particles 5 in the electron acceleration layer 4 are excited by the hot electron to emit light. - 特許庁

誘電体として、アモルファスシリコンに、シフター(shifter)およびディプレッサー(depressor)作用を付与するため、チタン酸バリウムおよびチタン酸ストロンチウム等の添加物を添加し、鋼電板には、ラジカル酸化膜またはラジカル窒化膜の絶縁膜を設けた構成の蓄電器とする。例文帳に追加

The capacitor is structured such that an additive such as barium titanate or strontium titanate is added to amorphous silicon as a dielectric material in order to impart shifter and depressor action thereto, and an insulation film of a radical oxide film or a radical nitride film is formed on an extremely-thin steel electrode plate. - 特許庁

図4(b)の膜抵抗体49は、アルミ電45a、45cを形成すると共に、第1層のアルミ電を形成する際に、同時にCrSi膜41の形成領域を囲むようにシリコン基板33にトレンチ50を形成した構成としている。例文帳に追加

In a semiconductor device, the thin-film resistor 49 shown in a Fig. 4(b) forms aluminum electrodes 45a, 45c, and forms a trench 50 on a silicon substrate 33 so that the formation region of a CrSi film 41 is surrounded simultaneously when the aluminum electrode of a first layer is formed. - 特許庁

自発光素子1は、電基板2と、膜電3と、これらの間に挟持されシリコン微粒子5と導電微粒子6および塩基性分散剤60の少なくとも一方とが含まれる電子加速層4とを備えている。例文帳に追加

The self-light-emitting element 1 has an electrode substrate 2, a thin-film electrode 3, and an electron acceleration layer 4 sandwiched between the electrode substrate 2 and the thin-film electrode 3 and including silicon fine particles 5 and at least either conductive fine particles 6 or basic dispersants 60. - 特許庁

基板10上に、下部電32、強誘電体膜34及び上部電36がこの順に形成されてメモリ容量30が構成され、該メモリ容量30を覆って層間絶縁膜40が形成され、該絶縁膜40上に多結晶シリコンTFT20が形成されている。例文帳に追加

A lower electrode 32, a ferroelectric-material thin film 34 and an upper electrode 36 are formed in this order on a substrate 10 to constitute a memory capacity 30, an interlayer insulating film 40 is formed covering the memory capacity 30, and polycrystal silicon TFT20 is formed on the insulating film 40. - 特許庁

集電体1の凸部2の上に柱状に成長させた電活物質の膜3a〜3bを二段以上に積層させて多層構造としたことにより、充放電時のリチウムの吸蔵・放出によるシリコンの体積の膨張・収縮の影響が緩和され集電体1から電活物質の剥がれを抑制できる。例文帳に追加

Thereby, effect of expansion and contraction of the volume of silicon due to occlusion and discharge of lithium during charge and discharge is relieved and peeling of the electrode active material from the collector 1 can be suppressed. - 特許庁

例文

半導体装置10xの膜トランジスタ30nにおいて、ゲート電3nは、その表面を酸化してなるシリコン酸化膜3sにより覆われて、エッジ部分3w、3x、3y、3zが丸みを有しているため、ゲート電3nには、電界の集中するエッジ部分がない。例文帳に追加

In the thin-film transistor 30n of the semiconductor device 10x, the surface of a gate electrode 3n is covered with a silicon oxide film 3s formed by being oxidized, and edge parts 3w, 3x, 3y and 3z are rounded, so there is not an edge part where electric field is concentrated. - 特許庁

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