「AMPLIFIED」に関連した英語例文の一覧と使い方(69ページ目) - Weblio英語例文検索

The sensor S, a diode D and a load resistance R are connected in series to an alternating current source P, and a comparator 5 for switching between ON/OFF states of an output by comparing the voltage amplified by an operational amplifier 6 with a prescribed threshold is connected to both ends of the load resistance R through the operational amplifier 6.例文帳に追加

センサＳとダイオードＤと負荷抵抗Ｒを交流電源Ｐに直列に接続し、負荷抵抗Ｒの両端にオペアンプ６を介し、このオペアンプ６で増幅された電圧を所定のしきい値と比較して出力のオン、オフを切り換えるコンパレータ５を接続する。 - 特許庁

Thus, even if the preceiding car changes in a vehicle speed, a vehicle speed change in a succeeding car is restrained, and when many vehicles travel by following up while running in line in a longitudinal row, car group instability can be prevented from propagating, wherein the vehicle speed change in the preceding car is successively amplified to the succeeding car.例文帳に追加

これにより、先行車に車速変化があっても後続車の車速変化が抑制され、多くの車両が縦列に並んで追従走行する場合に、先行車の車速変化が後続車に次々と増幅されて伝播する車群不安定性を防止することができる。 - 特許庁

When a movable portion 72 of a wire rod 70 inserted into the blood vessel 20 is deformed by coming into contact with some sort of obstacle, the control section 50 amplifies a detection signal by a prescribed amplification factor to generate a motor control signal V consisting of pulse waves based on the amplified detection signal.例文帳に追加

制御部５０は、血管２０内に挿入された線材７０の可動部７２が何らかの障害物に接触して変形している場合、検出信号を所定の増幅率で増幅し、増幅された検出信号に基づいてパルス波からなるモータ制御信号Ｖを生成する。 - 特許庁

Since fine potential difference of a pair of sense nodes SNU0, SNL0 corresponding to a pair of bit lines BLLU0, BLLL0 is amplified, outputted by a dynamic latch circuit 12 and the FBC 5 is refreshed by performing feedback of this output, ratio at which the read/write operations are restricted by a refreshing operation is lowered.例文帳に追加

センスアンプ４内では、ダイナミックラッチ回路１２にて一対のビット線BLLU0,BLLL0に対応する一対のセンスノードSNU0,SNL0の微小電位差を増幅して出力し、この出力をフィードバックしてFBC５のリフレッシュを行うため、リード／ライトの動作がリフレッシュ動作により制限される割合が低下する。 - 特許庁

Further, a voiceless section attenuating unit 42 attenuates an input signal X(n) during detecting a voiceless section, so noise other than a sound signal for simultaneous broadcast is prevented from being amplified by an amplifier 39 to reduce the influence of the noise sent out of the speaker 22.例文帳に追加

しかも、無音区間減衰部４２が無音区間を検出している間は入力信号Ｘ(ｎ)を減衰させるので、一斉放送用音声信号以外のノイズが増幅器３９で増幅されるのを防いでスピーカ２２から送出されるノイズの影響を低減することができる。 - 特許庁

The chemically amplified resist composition contains: (A) a resin which has a specified structure and which is decomposed by the effect of an acid to increase its solubility with an alkaline developing solution; (B) a compound which generates an acid by irradiation of active rays or radiation; and (C) a component having a specified structure.例文帳に追加

（Ａ）特定構造を有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）特定構造を有する成分、を含有する化学増幅型レジスト組成物により達成される。 - 特許庁

To amplify audio signals, such as an upper left audio signal LH, an upper right audio signal RH, a left outside audio signal LW and a right outside audio signal RW and output the amplified audio signals from loudspeaker terminals corresponding to these channels by amplifying the audio signals, without the need of providing amplifiers for the number of all channels.例文帳に追加

全チャンネル数分のアンプを設ける必要なく、左上側音声信号ＬＨ、右上側音声信号ＲＨ、左外側音声信号ＬＷ、右外側音声信号ＲＷ等の音声信号を増幅して、これらのチャンネルに対応するスピーカー端子から出力する。 - 特許庁

The optical amplification fiber 10 absorbs the first excitation light and excited to a first excitation state from a base condition, and absorbs the second excitation light and excited into a second excitation state from the first excitation state, with the signal light amplified by induced emission with the signal light.例文帳に追加

光増幅用ファイバ１０は、第１励起光を吸収し基底状態から第１励起状態に励起され、第２励起光を吸収し第１励起状態から第２励起状態に励起され、信号光による誘導放出によって信号光を増幅する。 - 特許庁

The exciting force input from the exciting plate 66 is amplified on the basis of pressure action in the fluid chambers 70, 42 or the resonant action of fluid, since it can be exerted to the passive vibration system 12, the passive vibration system 12 can be excited with excellent energy efficiency.例文帳に追加

しかも、流体室７０，４２内の圧力作用乃至は流体の共振作用に基づいて、加振板６６から入力される加振力を増幅して受動振動系１２に及ぼすことが出来ることから、優れたエネルギ効率をもって受動振動系１２を加振制御することが可能となる。 - 特許庁

To provide a method for evaluating a resin by which a degree of in-liquid generation of a foreign substance in a radiation-sensitive resin composition can be evaluated at a stage of resin materials, and a radiation-sensitive resin composition usable as a chemically amplified resist useful for microfabrication using various radiations.例文帳に追加

感放射線性樹脂組成物における液中異物発生度合を樹脂原料段階で評価可能な樹脂の評価方法、及び各種放射線を使用する微細加工に有用な化学増幅型レジストとして使用できる感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

A current detected with the resistor 3 as a voltage value is full-wave rectified with the absolute value circuit 9, amplified, then compared with a a threshold value with a comparison circuit 11a, and if the rectified current exceeds the threshold value, it is judged that the cord short-circuit arises, and the switch 6 is opened with the electric circuit tripping circuit 5.例文帳に追加

抵抗体３で電圧値として検出した電流を絶対値回路９で全波整流し、増幅した後比較回路１１ａで閾値と比較し、閾値を超えたらコード短絡発生と判断させて、電路引き外し回路５により開閉器６を開動作させた。 - 特許庁

The signal is divided into a transmitting side (antenna 15) and a mixer 16 by a distributor 13, mixed (multiplied) with the receiving signal in the mixer 16, mixed output is given to the band filter 17 of a narrow band, and the mixed output passing it is amplified and detected with an amplification and detection circuit 18.例文帳に追加

その信号を分配器１３にて送信側（アンテナ１５）と混合器１６に振り分けられ、混合器１６にて受信信号と混合（乗算）され、混合出力が狭帯域の帯域濾波器１７に与えられ、そこを通過した混合出力が増幅・検波回路１８で増幅・検波される。 - 特許庁

The method for detecting the pathogenic virus of crustaceans by LAMP method includes the step of performing the LAMP with a sample containing a primer set for LAMP for the detection of a pathogenic virus of crustaceans and a nucleic acid as a specimen and the step of detecting the production of an amplified product by the LAMP.例文帳に追加

LAMPに用いられる甲殻類病原性ウイルス検出用プライマーセットと検体用核酸とを含有するサンプルをLAMPに供する工程と、当該LAMPによって増幅産物が産生されたか否かを検出する工程とを含む、LAMPにおける甲殻類病原性ウイルス検出方法。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive resin composition useful as a chemically amplified resist satisfying excellent resolution, small LWR (Line Width Roughness), excellent pattern collapse resistance and excellent in non-defectiveness, and to provide a polymer usable as a resin component in the radiation-sensitive resin composition.例文帳に追加

解像性能に優れるだけでなく、ＬＷＲが小さく、パターン倒れ耐性に優れ、且つ、欠陥性にも優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物およびこの感放射線性樹脂組成物に樹脂成分として使用できる重合体を提供する。 - 特許庁

The amplifier section 2 uses input output matching circuits 20, 21 to realize a frequency characteristic wherein the second harmonic wave is amplified and undesired harmonics of a third harmonic wave or more are attenuated over the required band without the need for a resonance circuit employing a 1/4 wavelength line or the like.例文帳に追加

前記増幅部２においては、必要帯域に亘り２倍波を増幅し３倍波以上の不要高調波を減衰させる周波数特性を、１／４波長線路等を用いた共振回路に依らず、入出力整合回路２０及び２１により実現する。 - 特許庁

The electric signal amplified by the preamplifier 22 is inputted in a filter 23, the filter 23 transmits a signal in which occurrence of the noise and the distortion resulting from the Brillouin scattering is prevented by passing a signal only in an occupied band of the carrier signal and outputting the signal to an output amplifier 24.例文帳に追加

プリアンプ２２で増幅された電気信号は、フィルタ２３へ入力され、フィルタ２３は、キャリア信号の占有帯域のみの信号を通過して出力アンプ２４へ出力することによりブリルアン散乱に起因するノイズや歪の発生を防いだ信号を伝送することが出来る。 - 特許庁

The abnormality detecting system includes an amplifying section 130 which is connected with the piezoelectric element 120 for applying a pressure to an ink chamber and the ground and amplifies a voltage generated on the piezoelectric element 120, and a detecting section 150 that detects presence or absence of normal ejection of ink on the basis of the voltage amplified by the amplifying section 130.例文帳に追加

インキチャンバに圧力を加える圧電素子１２０とグラウンドとの間に接続され、該圧電素子１２０で発生する電圧を増幅する増幅部１３０と、該増幅部１３０によって増幅された電圧に基づいて、インキの正常吐出の有無を検出する検出部１５０とを含む。 - 特許庁

When making a switch to the monitor function, the gain is increased still more while the phase of a signal is inverted as it is about the signal whose phase is inverted to achieve a noise cancellation function, and ambient sound is amplified to thereby make the sound of the speaker and the microphone to be negative feedback, making it difficult to cause howling.例文帳に追加

モニター機能に切り替えた際、ノイズキャンセル機能を実現するために位相を反転させた信号を、その位相を反転させたまま、さらに大きくゲインを上げて、周囲の音を増幅させることで、スピーカーの音とマイクは負帰還となり、ハウリングを起こしにくくなる。 - 特許庁

A PCR is carried out by using four kinds of forward side primers having a disclosed sequence and four kinds of reverse side primers having a similarly disclosed sequence, and making the gene of an avian coccidial protozoan to be assayed in a test sample as a template and the amount of an amplified fragment is assayed in a real time.例文帳に追加

開示される配列を有するフォワード側プライマー４種と、同じく開示される配列を有するリバース側プライマー４種を用い、被検試料中の測定すべき鶏コクシジウム原虫遺伝子を鋳型としてＰＣＲを行うとともに、増幅断片の量をリアルタイムに測定する。 - 特許庁

Then, these pulses are transmitted to a head unit 30 side with an optical transmission fiber F1, and eventually amplified by a laser amplifier 31 provided in the head unit 30 side to the light intensity degree that it is made possible to mark a work piece W to be processed, so that they may be led to a light scanning mechanism 42.例文帳に追加

そして、これが伝送用光ファイバＦ１によってヘッドユニット３０側に伝送され、このヘッドユニット３０側に設けれたレーザ増幅器３１によって被加工物Ｗにマーキング可能な光強度に最終的に増幅されて光走査機構４２に導かれる。 - 特許庁

When a charger 3 charges a secondary battery 5 with a pulsating current, an amplifier 9 so inputs via a switch 19 and a capacitor 7 the voltage obtained by subtracting from the pulsating voltage component generated in the secondary battery 5 the DC component thereof as to output to a comparator 11 its amplified voltage at a prescribed amplification factor.例文帳に追加

充電器３が脈流電流を二次電池５に充電すると、増幅器９は二次電池に生じる脈流電圧成分から直流成分を差引いた値をスイッチ１９、コンデンサ７を通じて入力し、所定の増幅率で増幅してコンパレータ１１に出力する。 - 特許庁

A profile which presents the optical spectrum properties of the optical noise signal (ASE) serially amplified by downstream through an optical amplification repeater 3 of certain series from the barrier point changes according to a repeater number of stages when a barrier occurs in the middle of a submarine optical cable 2.例文帳に追加

光海底ケーブル２の途中に障害が発生したとき、その障害点より下流側にある一連の光増幅中継器３を通して逐次増幅された光雑音信号（ＡＳＥ）の光スペクトラム特性が呈するプロファイルは中継器段数に応じて変化する。 - 特許庁

To provide a negative resist material, in particular, a chemically amplified negative resist material that can exhibit higher resolution than conventional hydroxy styrene or novolac negative resist materials, that provides excellent pattern profiles after being exposed and that exhibits excellent etching resistance; and a patterning process that uses the resist material.例文帳に追加

従来のヒドロキシスチレン系、ノボラック系のネガ型レジスト材料を上回る高解像度を有し、露光後のパターン形状が良好であり、更に優れたエッチング耐性を示すネガ型レジスト材料、特に化学増幅ネガ型レジスト材料、及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

In such a structure, each of the currents which are determined, depending on the output of light received by the photodiode 2, is injected to the wavelength control region and the amplifier 5, so as to keep the optical output of the semiconductor laser element 1 amplified by the amplifier 5 to be a constant level.例文帳に追加

このような構成において、増幅器５により増幅された半導体レーザ素子１の光出力を一定に保つように、フォトダイオード２により受光された光出力に応じて決定された電流をそれぞれ、波長制御領域および増幅器５に注入する。 - 特許庁

The signal/pumping light combined use optical fiber port is optically coupled with one end of the lasing fiber to transmit the signal to be amplified between the optical coupler and the lasing fiber, while causing population inversion in a lasing substance by transmitting the pumping light to the lasing material in the lasing fiber.例文帳に追加

信号・ポンプ光兼用光ファイバポートはレージングファイバの一端に光学的に結合されており、増幅されるべき信号を光結合器とレージングファイバとの間で伝送させる一方で、レージングファイバ中のレージング物質にポンプ光を伝送させてレージング物質中で反転分布を起こさせる。 - 特許庁

To provide a semiconductor integrated circuit device for analog video signal processing for reducing noise to be superimposed on an analog video signal before being differentially amplified resulting from clamp processing, a signal changeover switch, or the like and for reducing sag included in the analog video signal.例文帳に追加

アナログ映像信号に対し、クランプ処理や、信号の切り替えスイッチ等に起因して、差動増幅される以前に重畳されるノイズを低減するとともに、アナログ映像信号に含まれるサグを低減した、アナログ映像信号処理用の半導体集積回路装置を提供する。 - 特許庁

An input light level adjusting section 14 sets the level of input light for the amplification characteristic of the semiconductor optical amplifier 13 to be amplified by the supplied driving current so that the operating point of the semiconductor optical amplifier 13 may be adjacent to a boundary between a non-saturation area and a saturation area.例文帳に追加

入力光レベル調節部１４は、供給された駆動電流量で増幅される半導体光増幅器１３の増幅特性に対し、非飽和領域と飽和領域の境界近傍に半導体光増幅器１３の動作点が位置するように入力光レベルを設定する。 - 特許庁

A product supporting table 2 comprises a speaker 5 for holding the portable wireless terminal 1 and reproducing the voice amplified by the power amplifier 9 before being inputted to the microphone of the portable wireless terminal 1, and a microphone 3 for inputting the voice turned back in the portable wireless terminal.例文帳に追加

製品支持台２は、携帯無線端末１を保持すると共に、電力増幅器９で増幅された音声を再生し携帯無線端末１のマイクに入力するスピーカ５およびこの携帯無線端末内で折り返した音声を入力するマイク３を有する。 - 特許庁

A signal from the light receiving part 12 is amplified in an amplification part 13, is input into a judging part 15 through a control part 14, judges that the lid is opened, and drives a lamp SW 17 to OFF by a drive part 16 to shut off power supply supplied from lamp power supply to the lamp box 2 through a connector 4.例文帳に追加

受光部12よりの信号は増幅部13で増幅し、制御部16を介し判定部14に入力し、蓋が開けられたと判定し、駆動部15によりランプＳＷ17をオフに駆動し、ランプ電源からコネクタ４を介しランプボックス２に供給される電源を遮断する。 - 特許庁

To provide a polymeric compound as a resist material, especially a chemically amplified positive-type resist material, having high resolution tendency greater than that of conventional positive-type resist materials, good in the in-plane size uniformity on a substrate(e.g. mask blanks) of a resist pattern after developed, and having high etching resistance as well.例文帳に追加

従来のポジ型レジスト材料を上回る高解像度性を有し、現像後のレジストパターンの基板（たとえばマスクブランクス）上面内サイズ均一性が良好であり、さらに高いエッチング耐性を有する高分子化合物、レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料を提供する。 - 特許庁

An input signal is distributed by a coupler 2 to the path of the amplitude signal amplifying system and the path of the phase signal amplifying system, the amplitude signal is taken out in an amplitude signal detection circuit 3, voltage amplified by an amplitude signal amplifier 4, and supplied as the voltage source of a phase signal amplifier 7.例文帳に追加

入力信号はカプラ２によって振幅信号増幅系の経路と位相信号増幅系の経路とに分配され、振幅信号は振幅信号検出回路３で取り出されて振幅信号増幅器４で電圧増幅され、位相信号増幅器７の電圧源として供給される。 - 特許庁

A nucleic acid amplification is conducted using a combination of oligonucleotides consisting of a first primer having a sequence homologous to part of Bacillus tuberculosis-derived 16S rRNA or its gene and a second primer having the complementary sequence to detect the thus amplified nucleic acid using an oligonucleotide probe.例文帳に追加

結核菌由来１６Ｓ ｒＲＮＡ又はその遺伝子の一部と相同的な配列を有する第一のプライマー、相補的な配列を有する第二のプライマーからなるオリゴヌクレオチドの組み合わせを用いて核酸増幅を行い、増幅された核酸をオリゴヌクレオチドプローブにて検出する。 - 特許庁

In the method and device for detecting the seabed, the seabed detection level is calculated for each predetermined depth, the reflected signal amplified/detected by a receiver is compared with the seabed detection level calculated for each predetermined depth, and the calculated seabed detection level is moved based on the comparison result.例文帳に追加

海底を検出する方法において、所定深度毎に海底検出レベルを演算し、受信機で増幅検波した反射信号を所定深度毎に演算した海底検出レベルと比較し、比較の結果により演算した海底検出レベルを移動することを特徴とする。 - 特許庁

Furthermore, an amplified receiving signal from the broadband amplifier is attenuated by a level difference improving filter 20, allowing the signals covering a weak electric field receiving channel to be preferentially passed and the signals covering the strong electric field receiving channel group to be passed unless listening and viewing are prevented.例文帳に追加

また、広帯域アンプからの増幅済み受信信号をレベル差改善用フィルタ２０により、弱電界受信対象チャンネルの信号を優先的に通過させ、かつ、強電界受信対象チャンネル群の信号については視聴が妨げられない範囲内にて減衰させる。 - 特許庁

On the basis of the reference signal, the PLL circuit 11 outputs a signal at a desired frequency on the basis of a frequency division ratio which is set in advance by a frequency division ratio setting circuit 13, and the signal is amplified by an amplifier circuit 12 so as to be output as the output signal of a local oscillator 15.例文帳に追加

そして、ＰＬＬ回路１１は、この基準信号を基に、予め、分周比設定回路１３で設定された分周比に基づいて所望の周波数の信号を出力し、増幅回路１２で増幅された後に、局部発振器１５の出力信号として出力される。 - 特許庁

The hearing aid includes a microphone 10, a hearing aid unit 120 which amplifies a sound output from the microphone 10, a noise generation unit 130 which generates noise, and a noise addition unit 170 which adds the noise generated by the noise generation unit 130 to the sound amplified by the hearing aid unit 120.例文帳に追加

マイクロフォン１０と、マイクロフォン１０から出力される音を増幅する補聴部１２０と、雑音を生成する雑音生成部１３０と、補聴部１２０によって増幅された音に雑音生成部１３０によって生成された雑音を付加する雑音付加部１７０とを備える。 - 特許庁

An image sensor IC11 amplifies an electric signal of each photoelectric conversion block based on a reference voltage VREF, so that noise is hard to be caused on the amplified electric signal since the noise is hard to be caused on the reference voltage VREF by the image sensor IC11 or the other image sensor IC11.例文帳に追加

イメージセンサＩＣ１１は各光電変換ブロックの電気信号を基準電圧ＶＲＥＦに基づいて増幅し、このイメージセンサＩＣ１１または他のイメージセンサＩＣ１１によって基準電圧ＶＲＥＦにノイズが乗りにくくなるので、増幅された電気信号にもノイズが乗りにくくなる。 - 特許庁

Signals obtained from a microphone 17 are amplified by an amplifier 18, input to a speech recognition part 21 after the external sound component of which is extracted by a differential circuitry 20, converted into speech pattern data, and then input to a coincidence determination part 22 to be compared with the data of a specific identification parameter memory 23.例文帳に追加

マイクロフォン１７で得られた信号は、アンプ１８で増幅され、差分回路２０で車外音成分の抽出がなされて音声認識部２１に入力され、音声パターンデータに変換され、一致度判断部２２に入力されて特定識別パラメータ記憶装置２３のデータと比較される。 - 特許庁

The method for detecting PCR amplified product comprises (a) a step for providing at least one pair of electrodes in a PCR reactor, (b) a step for performing PCR, (c) a step for generating electric field between the electrodes and (d) a step for measuring change of dielectric characteristics.例文帳に追加

（ａ）ＰＣＲ反応容器内に一対以上の電極を提供する段階と、（ｂ）ＰＣＲを行う段階と、（ｃ）前記電極間に電場を発生させる段階と、（ｄ）前記ＰＣＲ反応溶液の誘電特性の変化を測定する段階と、を含むＰＣＲ増幅産物を検出する方法。 - 特許庁

Subsequently, an amplifier circuit section 34 performs voltage regulation by amplifying the voltage created at the input bias section 33 and output bias sections 35-37 output bias voltages created from the voltage amplified at the amplifier circuit section 34 to amplifying elements 11-13 (14-15).例文帳に追加

続いて、アンプ回路部３４が、入力バイアス部３３が生成した電圧を増幅して電圧調整を行い、出力バイアス部３５〜３７が、アンプ回路部３４が増幅した電圧からバイアス電圧を生成して増幅素子１１〜１３（，１４〜１５）にそれぞれ出力する。 - 特許庁

Accordingly, the fluctuation of the first electric motor feedback torque TF_M1 becomes gentle in the feedback control as the gear change ratio γ_AT of the automatic transmission part 20 becomes large, and the fluctuation of the first electric motor feedback TF_M1 is more largely amplified and becomes easy to be transmitted to driving wheels 38.例文帳に追加

従って、自動変速部２０の変速比γ_ＡＴが大きくなり第１電動機フィードバックトルクＴＦ_Ｍ１の変動がより大きく増幅されて駆動輪３８に伝達され易くなるほど、上記フィードバック制御において第１電動機フィードバックトルクＴＦ_Ｍ１の変動が緩やかになる。 - 特許庁

Microwave signals amplified by a driver amplifier 22 and taken out from a nonlinear side transmission line 34-1 are supplied to an output terminal 48b of a distortion generating transistor amplifier 48 through an output end side matching circuit 52 matching to a carrier frequency of the microwave signal.例文帳に追加

ドライバ増幅器２２で増幅され且つ非線形側伝送線路３４−１から取り出されたマイクロ波信号は、マイクロ波信号のキャリア周波数に整合している出力端側整合回路５２を介して歪発生用トランジスタ増幅器４８の出力端子４８ｂに供給される。 - 特許庁

A measuring object is measured by a sensor element 1, and a measured voltage signal is damped or amplified by an amplifier 2, subjected to digital conversion by an AD conversion circuit, sampled at a prescribed sampling period by a sampling control machine 4, and then given to DSP 5.例文帳に追加

センサ素子１により、測定対象物の測定が行われ、測定した電圧信号が、アンプ２により減衰または増幅され、ＡＤ変換回路３によりデジタル変換され、サンプリング制御機４によりを所定のサンプリング周期でサンプリングされ、ＤＳＰ５に与えられる。 - 特許庁

The reception signal level which is amplified by the amplification circuit 33 and is inputted to the amplification circuit 35 is set to a level higher than the DC offset component generated in the first stage of the amplifying circuit 35, thereby outputting a signal responding to the signal inputted to the amplifying circuit 35.例文帳に追加

増幅回路３３により増幅され、増幅回路３５に入力される受信信号レベルを、増幅回路３５の初段で発生するＤＣオフセット成分よりも大きく設定することで、増幅回路３５入力された信号に応答する信号を出力することができる。 - 特許庁

In the pre-wet treatment prior to the development of a substrate W to which a chemically amplified resist is applied, a temperature-controlled pure water is supplied to the substrate W to control the temperature of the substrate at the end of supply of a normal-temperature pure water to be used for pre-wetting.例文帳に追加

化学増幅型レジストが塗布された基板Ｗの現像処理に先立って行なわれるプリウェット処理において、プリウェット処理に使われる常温純水の供給の終わりにおいて温調純水が基板Ｗに供給され基板温度が制御される。 - 特許庁