「layer method」に関連した英語例文の一覧と使い方(654ページ目) - Weblio英語例文検索

(1) This manufacturing method includes processes of: forming polysilicon layers on outer surfaces of a silicon wafer formed with a non-defect region cut out from a silicon single-crystal ingot grown by Czochralski method; applying an RTA process to the wafer with the polysilicon layers formed thereon; and removing the polysilicon layer at least on one-side principal surface of the wafer after the RTA process.例文帳に追加

（１）チョクラルスキー法により育成されたシリコン単結晶インゴットから切り出された無欠陥領域からなるシリコンウェーハの外表面にポリシリコン層を形成する工程と、前記ポリシリコン層を形成したウェーハにＲＴＡ処理を施す工程と、ＲＴＡ処理後のウェーハのすくなくとも一方の主面のポリシリコン層を除去する工程とを有する製造方法。 - 特許庁

To provide a cleaning composition which can prevent corrosion of the metal layer on a semiconductor substrate, especially of titanium nitride, and can sufficiently remove plasma etching residue or ashing residue produced in the production process thereof by solving a problem peculiar to a cleaning composition containing a hydroxylamine compound adjusted substantially to neutral, and to provide a cleaning method using the cleaning composition and a method of manufacturing a semiconductor element.例文帳に追加

実質的に中性に調整されたヒドロキシルアミン化合物を含有する洗浄組成物に特有の課題を解決し、半導体基板の金属層、特に窒化チタンの腐食を防止し、しかもその製造工程で生じるプラズマエッチング残渣やアッシング残渣を十分に除去することができる洗浄組成物、これを用いた洗浄方法及び半導体素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for an EL element capable of greatly reducing defects when performing transfer such as excessive transfer and defective transfer at a comparatively low transfer temperature and obtaining high-quality EL element when manufacturing the EL element by transferring an organic EL layer on a substrate like a pattern by a transfer method.例文帳に追加

本発明は、転写法により有機ＥＬ層を基板上にパターン状に転写させてＥＬ素子を製造する際に、比較的低い転写温度を用い、かつ過剰転写や転写不良といった転写に際しての不具合を大幅に低減させることができ、高品質のＥＬ素子を得ることができるＥＬ素子の製造方法を提供することを主目的とするものである。 - 特許庁

In this manufacturing method of an organic electroluminescent display device composed by forming the pixel formation area by arranging a plurality of pixels in a matrix-like shape on a substrate, when an organic material layer for each pixel is formed by applying a solution to the pixel formation area by an ink jet method, the solution is sequentially applied from a generally central part to a peripheral part of the image formation area.例文帳に追加

基板上に複数の画素をマトリクス状に配置し画素形成領域を構成してなる有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、前記画素形成領域においてインクジェット法により溶液を塗布して各画素の有機材料層を形成するに際し、前記画素形成領域の略中央部から周縁部へ前記溶液を順次塗布していく。 - 特許庁

To provide coating film removing device for an organic photoreceptor which is capable of exactly and efficiently removing the unnecessary coating films at the bottom end of a cylindrical substrate having a photoconductive layer by a dip coating application method in a desired size range, easily improves productivity and does not give rise to the problem of image faults, etc., a method of manufacturing the organic photoreceptors and the organic photoreceptor.例文帳に追加

浸漬塗布法による光導電層を備える円筒状基体の下端部の不要な塗布膜を、正確かつ効率的に所望の寸法範囲に除去処理することができ、生産性の向上が容易に図れ、画像障害などの問題の発生しない有機感光体の塗布膜除去装置、有機感光体の製造方法及び有機感光体の提供。 - 特許庁

To provide electronic components such as a laminated ceramic capacitor capable of restraining particle growth of Ni particles at a baking process even in case each thickness of an inner electrode layer is made thin, and capable of effectively restraining degradation of capacitance by preventing the particles from becoming spherical and preventing the electrode from breakage, and to provide a manufacturing method thereof, and conductive particles as well as conductive paste used for the manufacturing method.例文帳に追加

特に内部電極層の各厚みが薄層化した場合でも、焼成段階でのＮｉ粒子の粒成長を抑制し、球状化、電極途切れを有効に防止し、静電容量の低下を効果的に抑制することができる積層セラミックコンデンサなどの電子部品、その製造方法、その製造方法に用いられる導電性粒子および導電性ペーストを提供する。 - 特許庁

This method for producing the leathery sheet is characterized in that a resin composing a water-based resin composition has core-shell structure and is a copolymer of a specific monomer in the method for producing the leathery sheet by supplying the water-based resin composition having crosslinking and curing properties to a fabric and then napping the surface of the fabric or forming a resin layer on the surface of the fabric.例文帳に追加

布帛に、架橋硬化性を有する水性樹脂組成物を付与し、そして該布帛表面を毛羽立てるか、または該布帛表面に樹脂層を形成して皮革様シートを製造する方法において、該水性樹脂組成物を構成する樹脂がコアシェル構造を有し、特定のモノマーの共重合体であることを特徴とする皮革様シートの製造方法。 - 特許庁

To provide a photosensitive planographic printing plate material excellent in the adhesiveness of a photopolymerizable layer to the support, capable of ensuring both printing resistance and improvement in stain of a non-printing area and capable of obtaining a high resolution planographic printing plate and to provide a method for producing the same.例文帳に追加

光重合層と支持体との接着性に優れ、耐刷力と非画線部の汚れ改良の両立が可能であり、更には、高い解像度を有する平版印刷版を得ることができる感光性平版印刷版材料及びその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a ferroelectric thin-film element which prevents changes in the properties or cracks of a surface layer from occurring, when heat treatment is conducted to improve the characteristics of the element and to provide a thin-film capacitor, using the element and a piezoelectric actuator.例文帳に追加

強誘電体薄膜素子の特性改善のため熱処理を行う場合に表面層の変質やクラックの発生等を防止する製造方法、およびこの強誘電体薄膜素子を用いた薄膜コンデンサおよび圧電アクチュエータを提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide an inkjet recording sheet having an ink acceptance layer with advantages such as excellent absorption of aqueous ink; sharpness of ink dot shape; superb color developing characteristics of ink; stable/high quality level printing image; outstanding resistance to water/humidity, transparency, conveyability and blocking resistance, and a method for manufacturing the inkjet recording sheet.例文帳に追加

水性インクの吸収性に優れ、且つインクドットの形状がシャープで、インクの発色性に優れ、安定した高品位な印字画像を与え、耐水性、耐湿性、透明性、更に搬送性及び耐ブロッキング性に優れたインク受容層を有するインクジェット用記録シートの提供。 - 特許庁

To provide a method which can prepare a water-base coating giving a coating film having a film performance such as low temperature curability, water resistance, and chipping resistance in a three wet coating system based on integral coating with a plastic member and form a multi-layer coating film excellent in appearance.例文帳に追加

プラスチック部材との一体塗装を踏まえた３ウエット塗装システムにおいて、低温硬化性、耐水性及び耐チッピング性等の塗膜性能を有する水性ベース塗料を調製し、更に、優れた外観の複層塗膜を形成できる方法を提供することにある。 - 特許庁

The method for producing the magnetic recording medium includes a step for forming at least a magnetic recording layer and a protective film on a nonmagnetic substrate, a step for applying a lubricant to the surface of the protective film after plasma treatment and a step for subjecting the lubricant to irradiation with UV and/or heat treatment.例文帳に追加

非磁性基板上に少なくとも磁気記録層及び保護膜を積層形成する工程と、該保護膜の表面をプラズマ処理してから潤滑剤を塗布する工程と、潤滑剤に紫外線照射処理或いは熱処理或いはそれ等両方の処理を加える工程とが含まれる。 - 特許庁

To provide a display device in which an image generating device and a light-transmitting member can be laminated with a joining material layer having a sufficient thickness and intrusion of air bubbles can be prevented, and to provide a method for manufacturing the display device, and electronic equipment equipped with the display device.例文帳に追加

十分な厚さの接合材料層で画像生成装置と透光部材とを貼り合わせることができるとともに、気泡の入り込みを防止することのできる表示装置、該表示装置の製造方法、および当該表示装置を備えた電子機器を提供すること。 - 特許庁

To provide an electronic component wherein an electronic component element is joined with a case board in a face-down method and a resin seal layer is provided to seal a space between the both that is structured to surely suppress a resin from intruding to a function area of the electronic component element.例文帳に追加

フェースダウン方式で電子部品素子がケース基板に接合されており、両者の間の空間を封止するように樹脂封止層が設けられている電子部品であって、樹脂の電子部品素子の機能領域への流入を確実に抑制し得る構造を備えた電子部品を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for activating and forming a second principal surface side p+ collector layer 8 of a substrate by a low temperature heat treatment (anneal furnace) which does not detrimentally affect the existence of the metallic film of a first principal surface side gate and the emitter electrode of the substrate in an n-type semiconductor substrate 7.例文帳に追加

ｎ型半導体基板７における該基板の第１主面側ゲート及びエミッタ電極の金属膜の存在に対し、悪影響を及ぼさない低温熱処理（アニール炉）による該基板の第２主面側ｐ^＋ コレクタ層８を活性化し形成する製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a photosensitive adhesive composition which is excellent in pattern formation, adhesiveness after pattern formation, heat resistance after adhesion and moisture resistance reliability, to provide an adhesive sheet, an adhesive pattern, a semiconductor wafer with adhesive layer, and a semiconductor device which use the photosensitive adhesive composition and to provide a manufacturing method of the semiconductor device.例文帳に追加

パターン形成性、パターン形成後の接着性、接着後の耐熱性及び耐湿信頼性に優れた感光性接着剤組成物、これを用いた接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To form an antireflection layer, having a low refractive index on the surface of a substrate and to provide a low reflective substrate, having high transmittance for visible rays by the method of supersaturation precipitation that the substrate is brought into contact with a silicon oxide supersaturated aqueous solution of hydrosilicofluoric acid to precipitate a silicon dioxide film on the substrate surface.例文帳に追加

珪弗化水素酸の酸化珪素飽和水溶液と基板とを接触させて基板表面に二酸化珪素被膜を析出させる過飽和析出法により、基板表面に低屈折率の反射防止層を形成して可視光透過率の高い低反射基板を提供する。 - 特許庁

To provide a wiring structure and a manufacturing method thereof that can improve reliability of an interlayer connection between multi-layer wires by using partial reflection from a through hole plug upon exposure, increasing the width of a wiring groove on the through-hole by self-matching, and securing a connection margin between the through-hole and the wiring groove.例文帳に追加

露光時にスルーホールプラグからの局所的反射を利用して、自己整合的にスルーホール上の配線溝幅を大きくして、スルーホールと配線溝との接続マージンを確保して多層配線間の縦接続の信頼性を向上させた配線構造とその製造方法を提供する。 - 特許庁

Then, a single crystal silicon carbide is epitaxially grown on the surface of the single crystal SiC substrate 15 in a liquid phase by a metastable solvent epitaxy (MSE) method using, as driving force, the concentration gradient generated in the Si melt layer based on the difference between free energies of the substrates 15, 20.例文帳に追加

そして、基板１５，２０の自由エネルギーの差に基づいてＳｉ溶融層に発生する濃度勾配を駆動力とする準安定溶媒エピタキシー（ＭＳＥ）法により、単結晶ＳｉＣ基板１５の表面に単結晶炭化ケイ素を液相エピタキシャル成長させる。 - 特許庁

The method for manufacturing the light weight cellular concrete panel comprises performing surface-processing within a period keeping fluidity of a colored paint and a mortar composition coated on the surface of the ALC panel by the physical means of an gaseous stream, a water stream, pressing, sculpturing, scratching and the like and laminating the same as a decoration layer.例文帳に追加

ＡＬＣパネル表面に塗布した着色塗料とモルタル組成物が流動性を有する時期に気流、水流、押圧、彫塑、引っ掻き、等の物理的手段で表面加工し、化粧層として積層させることを特徴とした軽量気泡コンクリートパネルの製造方法とする。 - 特許庁

To provide a pressure container excellent in air tight sealing peformance, in which the adhesive strength between a hollow container to be made of synthetic resin liner material and a mouth ring member or a reinforcing material layer is improved, and further to provide its manufacturing method by which the pressure container can be economically manufactured by a simple process.例文帳に追加

合成樹脂製ライナー材で形成される中空容器と口金部材または補強材層との接着力を向上させ、気密シール性が高められた圧力容器及びその圧力容器を簡単な工程かつ経済的に製造できる製造方法の提供。 - 特許庁

To provide a semiconductor device that while securing sufficient EM resistance for wiring, reduces inter-wiring-layer and inter-line leaks, increases a TDDB life, and secures a high selection ratio during via-hole etching to have high-reliability wiring, and to provide a manufacturing method thereof.例文帳に追加

配線に十分なＥＭ耐性を確保しつつ、配線層間・線間リークを低減しかつＴＤＤＢ寿命を向上することができるとともに、ビアエッチの際に高選択比を確保して高信頼性な配線を得ることができる半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a quality control method for an iron steel product where, in continuous casting, the molten layer thickness of mold powder within a mold and a molten steel level are measured, and, based on the information, operational conditions such as treatment conditions and inspection conditions in the following stages are optimized.例文帳に追加

連続鋳造において鋳型内のモールドパウダの溶融層厚みと溶鋼レベルを計測し、その情報に基づいて、下工程の処理条件や検査条件などの操業条件を適正化する鉄鋼製品の品質管理方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

This method for manufacturing this SOI substrate comprises a process to prepare a substrate, having a non-porous semiconductor layer 3 on a porous material 2; and a process to operate oxidization treatment to the substrate for oxidizing at least a portion of the porous material 2, and for changing it into an embedded oxide film 3.例文帳に追加

本発明のＳＯＩ基板の製造方法は、多孔質体２の上に非多孔質半導体層３を有する基板を準備する工程と、該基板に酸化処理を施すことにより、多孔質体２の少なくとも一部を酸化させて埋め込み酸化膜３に変化させる工程とを含む。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a fuel container, a fuel system component and/or a joint part excellent in gasoline barrier of the fuel container, the fuel system component and/or the joint part composed of a thermoplastic polymer resin, particularly a polyethylene single layer, having a three-dimensional shape.例文帳に追加

立体的な形状を有する、熱可塑性ポリマー樹脂、特にポリエチレン単層により構成される燃料容器、燃料系統部品および／または接合部のガソリンバリア性が優れた燃料容器、燃料系統部品および／または接合部を製造する方法を提供する。 - 特許庁

To provide an optical film having high surface hardness and excellent abrasion resistance, excellent in the adhesion of a layer based on a thermosetting resin and a film base material, extremely reduced in damage and excellent in visibility and heat stability, and its manufacturing method.例文帳に追加

表面硬度が高く、耐摩耗性に優れると同時に、熱硬化樹脂を主成分とする層とフィルム基材の密着性が優れ、更に、光学フィルムとしてフィルムに傷が極めて少なく、視認性、熱安定性に優れた光学用フィルムおよびその製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a sensor capable of sensing temperature or force applied by a user and, more particularly, a tactile sensor formed into a membrane structure, excellent in performance, and easy to manufacture by forming a resistor layer by screen printing, and to provide a method for manufacturing the same.例文帳に追加

本発明は、温度、又は、使用者が印加する力を認知することができるセンサーに関するものであり、より詳しくは、メンブレン構造に形成され、性能が優れながら、スクリーン印刷法を通じて抵抗層を形成することにより製作が容易な触覚センサーとその製造方法に関する。 - 特許庁

In a method of manufacturing a semiconductor device, the surfaces of source and drain electrode layers are subjected to sputtering treatment with plasma and an oxide semiconductor layer containing In, Ga, and Zn is formed successively over the source and drain electrode layers without exposure of the source and drain electrode layers 117a, 117b to air.例文帳に追加

ソース電極層及びドレイン電極層の表面をプラズマでスパッタリング処理し、当該ソース電極層及びドレイン電極層を大気にさらすことなく、当該ソース電極層及びドレイン電極層上に連続してＩｎ、Ｇａ、及びＺｎを含む酸化物半導体層を形成する。 - 特許庁

In this method, a reinforcement board and one of the surfaces of the liquid crystal polymer film is bonded together by an organic layer in between, a circuit pattern is formed on the other surface of the polymer film, and then the polymer film is released from the reinforcement board.例文帳に追加

補強板と液晶ポリマーフィルムの一方の面とを剥離可能な有機物層を介して貼り合わせ、次いで、液晶ポリマーフィルムのもう一方の面に回路パターンを形成してから、液晶ポリマーフィルムを補強板から剥離することを特徴とする回路基板の製造方法。 - 特許庁

To provide a printed circuit board manufacturing method capable of reducing a cost required for a transfer process and minimizing influence upon a metal pattern to improve the reliability of a product by using a substance that varies adhesion with temperature as an adhesion layer in transferring a circuit.例文帳に追加

回路を転写することにおいて、温度に応じて粘着力が変化する物質を粘着層として用いることにより、転写工程に必要とする費用を節減でき、金属パターンへの影響を最小化して製品の信頼度を向上できる、印刷回路基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

Disclosed is the manufacturing method in which a translucent film and a light shielding film, and an intermediate film stopping etching using chlorine system upon occasion are provided, and chlorine-based gas and fluorine-based gas are used in combination as dry etching gas to carry out patterning in sequence without damaging a lower layer.例文帳に追加

透明基板上に、半透過膜と遮光膜と、必要に応じて塩素系ガスのエッチングを停止する中間膜とを設け、ドライエッチングガスとして塩素系ガスとフッ素系ガスを交互に組み合わせて、順次、下層に損傷を与えないようにパターン化していく製造方法を特徴とする。 - 特許庁

In this method for controlling communication between a client, who makes use of the security service layer and the application and the target, a message including a parameter for specifying communication is analyzed; and at least one service procedure is selected from among available service procedures, based on the analyzed result.例文帳に追加

セキュリティサービスレイヤーとアプリケーションを運用するクライアントとターゲット間の通信を制御する方法であって、通信を特定するパラメータを含むメッセージが解析され、解析結果に基づき、少なくとも一つのサービス手順が利用可能なサービス手順の数から選択される。 - 特許庁

In this polishing work method, a polishing tape T formed with a polishing layer fixing cerium oxide powder as an abrasive grain on a tape board having flexibility is pressed to a surface of a workpiece while supplying a solution L having hydroxyl group to the surface of the workpiece D and made to run.例文帳に追加

水酸基を有する溶液Ｌを被加工物Ｄの表面に供給しつつ、砥粒として酸化セリウム粉末を固定した研磨層を可撓性のあるテープ基板上に形成した研磨テープＴを被加工物の表面に押し付け、走行させる、化学的機械的研磨加工方法。 - 特許庁

To provide a method for recovering an unreacted monomer, by which the addition of a large amount of a defoaming agent to a polymer latex can be avoided, even when a foam layer is developed from the liquid face of the polymer latex, whereby the unreacted monomer can be recovered from the polymer latex containing the unreacted monomer in high efficiency.例文帳に追加

重合体ラテックスの液面から発泡層が生じる場合に、重合体ラテックスへの消泡剤の多量添加を避け、未反応モノマーを含むラテックスから未反応モノマーを高効率で回収することができる未反応モノマーの回収方法を提供すること。 - 特許庁

The organic substrate with light absorptive antireflection film and the manufacturing method thereof are characterized by building up of an adhesive layer 12 comprising principally of a nitride of silicon, a light absorptive film 13 and a low refractive index film 15, on a plasma-surface-treated organic substrate 10, in this order from the substrate side.例文帳に追加

表面がプラズマで処理された有機基体１０上に、基体側から、ケイ素の窒化物を主成分とする密着層１２、光吸収膜１３、低屈折率膜１５が順に形成された光吸収性反射防止膜付き有機基体とその製造方法。 - 特許庁

To provide a hologram type optical recording medium with improved sensitivity of the recording layer, increase in multiplicity, and improvement in the S/N ratio of the optical signal, and is capable of high-density image recording, and to provide a manufacturing method by which the optical recording medium can be efficiently manufactured.例文帳に追加

記録層の感度が向上し、多重度の増大及び光信号のＳ／Ｎ比の向上を図れ、高密度画像記録が可能なホログラム型の光記録媒体及び該光記録媒体を効率よく製造することができる光記録媒体の製造方法の提供。 - 特許庁

This method comprises a process for building up a dummy displacement gate, a process for carrying out high temperature treatment to elements, a process for removing a dummy gate 28A, and a process for building-up dielectric materials to be turned into the gate dielectric layer 32 and final gate materials in the gate area.例文帳に追加

この方法では、ダミー置換ゲートを堆積する工程と、素子を高温処理にかける工程と、ダミーゲート２８Ａを除去する工程と、その後に、ゲート領域内に、ゲート誘電体層３２となる誘電体材料および最終的なゲート材料を堆積する工程とを含む。 - 特許庁

To provide a method for measuring the capacitance of a depletion layer formed on the major surface of a wafer accurately without being affected by a contact resistance occurring between the wafer and a rear surface electrode while preventing occurrence of metal contamination or a flaw on the major rear surface of the wafer.例文帳に追加

ウェーハの主裏面への金属汚染と主裏面に発生するキズを防ぐとともに、該ウェーハの主表面に形成された空乏層の容量を、ウェーハと裏面電極の間に生ずる接触抵抗の影響を受けないで正確に測定する方法を提供する。 - 特許庁

The method for manufacturing the laminated body in which copper is formed on the insulation film by combining the dry plating and the wet electric plating is characterized by applying a rust-proof treatment on the dry plating layer and then, performing the wet electric plating.例文帳に追加

乾式めっきと湿式電気めっきを組み合わせて絶縁フィルム上に銅を形成する積層体の製造方法において、乾式めっき層に防錆処理を施した後に湿式電気めっきを行うことを特徴とする積層体の製造方法によって上記課題を解決しうる。 - 特許庁

The manufacturing method of a color filter comprises a protective film forming process of forming a protective film on a semiconductor substrate; a recessed part forming process of forming a recessed part by dry-etching the formed protective film; and a filter forming process of forming a color filter layer on the formed recessed part.例文帳に追加

半導体基板上に保護膜を形成する保護膜形成工程、形成された保護膜をドライエッチングにより加工して凹部を形成する凹部形成工程、及び形成された凹部にカラーフィルタ層を形成するフィルタ形成工程とを有するカラーフィルタの製造方法である。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a flash memory device capable of preventing a smiling phenomenon on an ONO layer and a bird's beak phenomenon on a tunnel oxide film, controlling increase of a surface resistance of a control gate, and increasing productivity by shortening the whole processing time.例文帳に追加

ＯＮＯ層のスマイリング現象及びトンネル酸化膜のバーズビーク現象を防止することができ、コントロールゲートの面抵抗の増加を抑制することができるうえ、全体時間時間を短縮して生産性を向上させることができるフラッシュメモリ素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a medium to be recorded in which an ink acceptive layer is provided with transparency, the image density is high, the gradation is clear, the resolution of an image is good and provided with a superior green storage properties and ink absorbability under the high temperature environment and also provide an image forming method thereof.例文帳に追加

インク受容層が透明性を有し、画像濃度が高く色調が鮮明で画像の解像性が良好であり、高湿環境下での優れた生保存性およびインク吸収性を有する被記録媒体およびこれを用いた画像形成方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a wiring board, which is formed by simultaneously baking with an insulating board consisting of aluminium oxide ceramic, provided with a low resistance surface wiring layer with which excellent adhesive strength can be obtained in soldering a copper-containing fitting, and to provide the manufacturing method of the above-mentioned wiring board.例文帳に追加

酸化アルミニウムセラミックスからなる絶縁基板と同時焼成によって形成され、銅を含み金具などのロウ付けにおいても優れた接着強度を付与することのできる低抵抗の表面配線層を具備した配線基板とその製造方法を提供する。 - 特許庁

To make a wafer 21 leave an electrostatic stage 1 in an electrostatic chuck for holding the wafer and in a wafer separating method regardless of the thickness of an oxide film on the back side of the wafer 21, that of a metal interconnection layer on the front side thereof and output, pressure of process condition and further, an individual difference of electrodes.例文帳に追加

ウェハ保持用静電チャックおよびウェハの剥離方法において、ウェハ２１の裏面の酸化膜の厚さや表面の金属配線層の厚さ、処理条件の出力および圧力と電極の個体差にかかわらずウェハ２１を静電ステ−ジ１から離脱させる。 - 特許庁

The method for producing the metal-covered fabric includes a step for jetting a slurry containing a polishing material having 4-150 μm median diameter provided in JIS Z 8901 on the surface of the fiber constituting the fabric at 0.06-0.4 MPa air pressure, and a step for forming a metal layer on the surface of the resultant fiber.例文帳に追加

布帛を構成する繊維表面に、ＪＩＳ Ｚ ８９０１で定められる中位径４〜１５０μｍの研磨材を含有するスラリーをエアー圧０．０６〜０．４ＭＰａで噴射する工程、および、該繊維表面に金属層を形成する工程を含む金属被覆布帛の製造方法である。 - 特許庁