「source system」に関連した英語例文の一覧と使い方(146ページ目) - Weblio英語例文検索

At least one of optical members constituting an exposure light source system, lighting optical system, photo-mask, and projection optical system comprises a synthetic quartz glass for optical member which has an absorption coefficient at 157 nm wavelength of 0.70 cm-1 or less and an infrared absorption peak of about 3640 cm-1 based on SiOH expansion/shrinkage oscillation.例文帳に追加

露光光源系、照明光学系、フォトマスクおよび投影光学系を構成する光学部材の少なくとも１つが、波長１５７ｎｍにおける吸収係数が０．７０ｃｍ^-1以下であり、かつＳｉＯＨ伸縮振動に基づく赤外吸収ピークを略３６４０ｃｍ^-1に有する光学部材用合成石英ガラスからなる露光装置。 - 特許庁

This multi-beam source 101 for generating a plurality of beamlets 112 of energetic electrically charged particles comprises: an illumination system 102 generating an illuminating beam of charged particles; and a beam-forming system 103 being arranged behind the illumination system as seen in the direction of the beam, and adapted to form a plurality of telecentric or homocentric beamlets 112 out of the illuminating beam.例文帳に追加

エネルギ荷電粒子の複数のビームレット（１１２）を発生するためのマルチビーム源（１０１）は、荷電粒子の照明ビームを発生する照明システム（１０２）と、ビームの方向に見て照明システムの後に配置され、かつ照明ビームから複数のテレセントリックまたは均質なビームレット（１１２）を形成するように適応されたビーム形成システム（１０３）とを含む。 - 特許庁

The illumination optical system, for example, has a first optical system for converting a beam from a light source into an approximately parallel beam, an integrator 4 having the plurality of mirrors 4a for reflecting the beam from the first optical system, and second optical systems 5-12 for forming an illumination area in a certain shape on a surface to be illuminated by the beam from the integrator.例文帳に追加

照明光学系は、例えば、光源からの光束を略平行光束に変換する第１の光学系と、該複数のミラー４ａを有し、第１の光学系からの光束を反射するインテグレータ４と、該インテグレータからの光束により被照明面に所定形状の照明領域を形成する第２の光学系５〜１２とを有する。 - 特許庁

To reduce the power consumption of a system by automatically turning off a power source, and reducing the number of times of start of an input/output device while maintaining a session with a server with respect to an unused input/output device even when the power source control of the input/output device is not performed by a host device in a computer system whose input/output processing quantity changes.例文帳に追加

本発明が解決しようとしている課題は、入出力処理量が変化する計算機システムにおいて、入出力装置の電源制御を上位装置で行わなくとも、未使用の入出力装置に対してサーバとのセッションを維持したまま、自動的に電源切断を行い、且つ入出力装置の起動回数を少なくする事によりシステムの消費電力を削減することである。 - 特許庁

A single operation detection apparatus 100 is configured to detect single operation of distributed power sources 28 within a present facility 20 constituting a distributed power source cooperation system in which a plurality of power source owning facilities 20 each having the distributed power sources 28 are classified into a first group and a second group and connected to a power distribution system, including an injection frequency voltage extracting device 60 and a voltage determining device 70.例文帳に追加

この単独運転検出装置１００は、分散電源２８をそれぞれ有する複数の分散電源保有設備２０が第１群と第２群に分類されて配電系統に接続されている分散電源連系システムを構成する自設備２０内の分散電源２８の単独運転を検出する装置であり、注入周波数電圧抽出装置６０と電圧判定装置７０を備えている。 - 特許庁

When the compound oxide catalyst containing at least Mo and Si is manufactured by a process including the integration and heating of the supply source compounds of the respective component elements in an aqueous system, an aqueous dispersion, which is obtained by integrating a molybdenum (Mo)-containing compound and a silicon (Si)-containing compound in the aqueous system, is used as at least a part of the Mo supply source compound.例文帳に追加

少なくともＭｏ及びＳｉを含有する複合酸化物触媒を、各成分元素の供給源化合物の水性系での一体化及び加熱を含む工程によって製造する際に、モリブデン（Ｍｏ）供給源化合物の少なくとも一部として、Ｍｏ含有化合物とケイ素（Ｓｉ）含有化合物とを水性系での一体化を行って得られる水分散液を用いることを特徴とする。 - 特許庁

The exposure device equipped with a lighting optical system having a first lighting light source 1 for drawing based upon exposure pattern data and a lighting optical system having a second lighting light source 2 for irradiating a desired area including a pattern-drawn area with an energy beam is used to achieve high-precision pattern formation based on the exposure pattern data with high throughput at low cost.例文帳に追加

露光パターンデータに基づいて描画するための第１の照明光源１を有する照明光学系と、前記パターン描画された領域を含有する所望の面積に対してエネルギー線を照射するための第２の照明光源２を有する照明光学系とを備えた露光装置を用いることにより、露光パターンデータに基づく高精度のパターン形成を高スループットかつ低コストに達成する。 - 特許庁

To provide an AV server system that can simply realize recording of sources supplied from each source supply section without missing of the ends of the sources and transmission of the source in transmission timing as designated by each transmission section without intervention of a delay circuit to an input line and an output line and without the need for exclusive knowledge and materials during the operation of the AV server system.例文帳に追加

ＡＶサーバシステムにおいて、各素材供給部から供給される素材をそれぞれ末尾が途切れることなく収録することや、各送出部から指定された通りの送出タイミングで素材を送出させることを、遅延回路を入力ライン上や出力ライン上に介在させず、且つ、専門的な知識や機材を必要とせずに、ＡＶサーバシステムの運用中に簡単に実現させる。 - 特許庁

To provide a decorative lighting system having new palatability for decorating using a combustible member which can not be used for a light source with heat generation before by using a light source without generating heat at emitting light of a light-emitting diode or the like, and also, to provide a kit for manufacturing a decorative lighting which ordinary people can manufacture the decorative lighting system while giving a peculiarity.例文帳に追加

発光ダイオード等の発光に際し、発熱を伴わない光源を用いて、従来、発熱を伴う光源では使用することができなかった易燃性の部材を用いて装飾を施し、新たな嗜好性を有する装飾照明装置を提供するとともに、一般の人が独自性を持たせつつ、装飾照明装置を製作することができる装飾照明製作用キットを提供する。 - 特許庁

The scanning optical system 30 includes: a second imaging optical system comprising a deflector 31 which deflects laser luminous flux 60 from a light source 10; and scanning lenses 32 and 33 for focusing laser luminous flux 60 deflected by the deflector 31 on a surface 50 to be scanned.例文帳に追加

走査光学系３０は、光源１０からのレーザ光束６０を偏向させる偏向器３１と、偏向器３１により偏向されたレーザ光束６０を被走査面５０に合焦させるための走査レンズ３２、３３から構成される、第２結像光学系とを備えている。 - 特許庁

This refrigerating device 1 includes a refrigerant circuit 10 constituted by connecting a heat source system having a compressor 11 and an outside heat exchanger 12, and a cooling system having an inside heat exchanger 41 disposed inside, by a gas communication pipe 2 and a liquid communication pipe 3, and performing a refrigerating cycle.例文帳に追加

冷凍装置（1）は、圧縮機（11）と庫外側熱交換器（12）とを有する熱源系統と、庫内に配置された庫内側熱交換器（41）を有する冷却系統とがガス連絡管（2）と液連絡管（3）とによって接続されて冷凍サイクルを行う冷媒回路（10）を備えている。 - 特許庁

The confocal microscopic system using a light source array 11 and a light receiving element array 17 having spatial super parallelism is equipped with an optical system where a light emitting surface 11 and a light receiving surface 17 have equal image forming relation and which is constituted of a collimating lens 12 and an image forming lens 16.例文帳に追加

空間的超並列性を有する光源のアレイ１１と受光素子アレイ１７を用いた共焦点顕微鏡システムにおいて、発光面１１と受光面１７が同等の結像関係となるコリメートレンズ１２と結像レンズ１６からなる光学系を具備する。 - 特許庁

A system CPU or one of terminator cartridges can be confirmed as being mounted on each CPU slot by a logic control circuit, and the correctly matched CPU cartridge can be confirmed as being mounted on this system, and that the power source requirements of plural CPU are fulfilled.例文帳に追加

システムＣＰＵまたはターミネータ・カートリッジの１つが各ＣＰＵスロットに装着されていることを論理制御回路によって確認する他、正しく一致するＣＰＵカートリッジがシステムに装着されていることと、複数のＣＰＵの電源要件が満足されることを確認することができる。 - 特許庁

To provide a vertical illumination optical system for a microscope having an adjusting function to adjust the image position of a light source to the rear focal position of each microscopic objective lens in response to replacement of the microscopic objective lens with a simple constitution, in a Koehler illumination system using a condenser lens array.例文帳に追加

集光レンズアレイを用いたケーラー照明系において簡単な構成で顕微鏡対物レンズの交換等に対応して光源の像位置を各顕微鏡対物レンズの後側焦点位置に調整する調整機能を有する顕微鏡用落射照明光学系。 - 特許庁

An optical system for CD and DVD and an optical system for BD (Blu-ray disc) are formed separately, and a light source unit 10 which is made by including a second semiconductor laser 12 for DVD and a third semiconductor laser 13 for CD into one package and a first semiconductor laser 11 for BD are prepared for respective optical systems.例文帳に追加

ＣＤ及びＤＶＤ用の光学系とＢＤ（ブルーレイディスク）用の光学系を別個に設け、各光学系毎にＤＶＤ用の第２半導体レーザ１２とＣＤ用の第３半導体レーザ１３を１パッケージとした光源ユニット１０とＢＤ用の第１半導体レーザ１１を設ける。 - 特許庁

To suppress deformation of peripheral components by a temperature rise with light from a light source, thereby avoiding adverse effect on an image reading device of a sheet-through system to read information on an original by moving the original in a sub-scanning direction with a read optical system fixed.例文帳に追加

読取光学系を固定した状態で原稿を副走査方向へ移動させて原稿情報を読取るシートスルー方式を有する画像読取装置において、光源による温度上昇で、周辺部品の変形を抑止して装置への悪影響を防止することを目的とする。 - 特許庁

A host control terminal 120 of a transfer source system 100 and that 220 of a transfer destination system 200 decode video materials recorded in video servers 110, 210 for fetching, and utilize a capture function to prepare a still image (thumbnail) at a fixed frame interval.例文帳に追加

転送元システム１００の上位制御端末１２０及び転送先システム２００の上位制御端末２２０は、ビデオサーバ１１０及びビデオサーバ２１０にそれぞれ収録された映像素材をデコードして取り込み、キャプチャ機能を利用して一定のフレーム間隔で静止画（サムネイル）をそれぞれ作成する。 - 特許庁

The feed part 2 is provided with a liquid feed cylinder 7, the mixing part is communicated with the reaction part, and an observation system 15 comprising a light source 13 and a spectrophotometer 14 and another observation system 18 constituted of a CCD camera 17 are provided in a side part of the mixing part or the reaction part.例文帳に追加

送液部２は送液シリンダ７を備え、混合部は、反応部に連通し、混合部ないしは反応部の側部には、光源１３と分光光度計１４からなる観察装置１５及びＣＣＤカメラ１７から構成される別の観察装置１８が設けられる。 - 特許庁

In the cryptographic key management system, opposite-side specification information and key information are stored to be made correspond to each other, a key corresponding to the opposite-side specification information is encrypted by means of a master key, and is sent to a job system of a transmission source or a transmission destination, together with the opposite-side specification information.例文帳に追加

相手先特定情報と鍵情報を対応付けて記憶し、送信元または送信先の業務システムに対して、前記相手先特定情報と対応付けられた鍵を、マスターキーによって暗号化して該相手先特定情報と共に送出する暗号鍵管理システム。 - 特許庁

To provide a power transmitting device appropriate for being adopted especially for an image forming device which protects members of a driving system and a transmitting system by quickly responding to and detecting excessive load change and immediately stopping operation of a power source motor, wherein a simple structure lowers cost.例文帳に追加

簡易構造でもって低コストを実現し、負荷の過大な変動時に迅速に応答して検出して直ちに動力源モータの稼動を停止させて、駆動系や伝達系の部材を保護できる特に画像形成装置に採用されて好適な動力伝達装置を提供する。 - 特許庁

This combined cycle generating plant is provided with a feed water preheater 33 on the outlet side of the condensate preheater 32 of a condensate-feed water system 29 and a steam supply system 34 for supplying a steam from an exhaust heat recovery boiler 3 as a heating source for the feed water preheater 33.例文帳に追加

本発明に係るコンバインドサイクル発電プラントは、復水・給水系２９の復水予熱器３２の出口側に給水予熱器３３を設け、この給水予熱器３３の加熱源として排熱回収ボイラ３からの蒸気を供給する蒸気供給系３４を設けた。 - 特許庁

The lithographic apparatus includes the radiation source for generating the radiation, an illuminating system for adjusting the radiation, a patterning device for patterning the adjusted radiation, and a projection system for projecting the patterned radiation onto a target section of a substrate.例文帳に追加

本発明のリソグラフィ装置は、放射線を発生するための放射線源と、放射線を調整するための照明システムと、調整された放射線にパターンを付与するためのパターン付与デバイスと、パターンが付与された放射線を基板のターゲット部分に投影するための投影システムとを含む。 - 特許庁

To provide a network RAID system, its power source management device and a program to be executed by a computer for increasing efficiency and reliability with low power consumption in a network RAID system in which data are distributed and backed up in each computer.例文帳に追加

データが各コンピュータに分散してバックアップされるネットワークＲＡＩＤシステムにおいて、低消費電力で効率性・信頼性を向上させることが可能なネットワークＲＡＩＤシステム、その電源管理装置、およびコンピュータが実行するためのプログラムを提供することを目的とする。 - 特許庁

A comparator 22 compares a DC voltage obtained by rectifying, smoothing and dividing with resistance an AC voltage from an AC power source 10 with a reference voltage Vref3, and determines whether the input AC voltage is an AC100V system or an AC200V system to switchingly control a switch S1.例文帳に追加

コンパレータ２２は、交流電源１０からの交流電圧を整流、平滑、抵抗分圧して得られた直流電圧と、基準電圧Ｖｒｅｆ３とを比較し、入力交流電圧がＡＣ１００Ｖ系かＡＣ２００Ｖ系かを判別してスイッチＳ１をスイッチング制御する。 - 特許庁

This energy charging system is a second charging coil mounted on a movable positioner and includes the energy charging stand having a second charging coil connectable to an electric energy source, at least one drive mechanism structured to translate the movable positioner, and a system controller.例文帳に追加

エネルギー充電システムは、更に、可動ポジショナ上に設けられた第２充電コイルであって、電気エネルギー源に連結可能な第２充電コイルと、可動ポジショナを並進させるように構成された少なくとも１つの駆動機構と、システム制御装置と、を含むエネルギー充電スタンドを含む。 - 特許庁

An MR imaging apparatus includes an MRI system (10) and a computer (20) programmed to cause the MRI system (10) to apply a pulse sequence and acquire multi-echo source data for the pulse sequence that includes a phase component and a magnitude component.例文帳に追加

ＭＲ撮像装置は、ＭＲＩシステム（１０）とコンピュータ（２０）とを含み、コンピュータ（２０）は、ＭＲＩシステム（１０）がパルス系列を印加するようにし、パルス系列に対するマルチエコー源データであり、位相成分および強度成分を含むマルチエコー源データを取得するようにプログラムされている。 - 特許庁

To provide an exposure device that suppresses misalignment between optical axes of optical system elements, in particular, a laser light source and an optical system element positioned downstream therefrom, and thereby irradiates a prescribed object with laser light, an optical scanner, and an image forming apparatus with the same.例文帳に追加

光学系素子間で、特にレーザ光源とその下流側に位置する光学系素子との間で光軸のずれを抑制することが可能、ひいてはレーザ光を所定の対象に正確に照射することが可能な露光装置、光走査装置およびそれを備えた画像形成装置を提供する。 - 特許庁

The rod type optical integrator 22 has a light-incident face 22a arranged in a light soured image forming face for a light source image formed by the first optical system 32 or in a face conjugated with the forming face, and a light emitting face 22b arranged in a front side focal face of the second optical system 23.例文帳に追加

ロッド型オプティカルインテグレータ２２は、第１光学系３２によって形成される光源像の形成面または該形成面と共役な面に配置された光入射面２２ａと、第２光学系２３の前側焦点面に配置された光射出面２２ｂとを有する。 - 特許庁

The simple authentication system of equipment is provided to judge whether or not the authentication of equipment is set in the case of the power source ON of equipment, or during or after the rising of equipment, and to, when the authentication is not set, notify a user of the result through an operation display part 8 under the control of a system control part 1.例文帳に追加

機器の電源ＯＮ時、または立ち上げ中、または立ち上がった後に、機器が認証設定されているかどうか判断し、認証未設定の場合にその旨操作表示部８を介して通知するようシステム制御部１で制御する機器の簡易認証方式。 - 特許庁

To provide an exhaust heat recovery system which achieves a combined power generation system achieving both an increase in the power-generating capacity of an exhaust heat power generation facility and recovery of cold by an absorption refrigerating machine and which has higher efficiency by using an exhaust heat recovery boiler with middle/low-temperature exhaust gas as a heat source.例文帳に追加

排熱発電設備の発電力増大と吸収冷凍機による冷熱回収を両立させる複合発電システムを実現し、また、中低温の排ガスを熱源とした排熱回収ボイラを使って、より高効率な排熱回収装置を提供する。 - 特許庁

A pump light pulse output from a light source 10 has the beam diameter changed by a beam diameter changing optical system 20 and has the pulse surface tilted by a pulse surface tilting part 30 and has the beam diameter adjusted by a beam diameter adjusting optical system 40 and then is input to an optical function part 50.例文帳に追加

光源１０から出力されたポンプ光パルスは、ビーム径変更光学系２０によりビーム径を変更され、パルス面傾斜部３０によりパルス面を傾斜され、ビーム径調整光学系４０によりビーム径を調整されて、光学的作用部５０に入力される。 - 特許庁

A light source includes: a plurality of light emitting parts which emit luminous fluxes which scan photoreceptor drums via a polygon mirror 2104 and a scanning optical system; and one light emitting part which emits a luminous flux which is made incident on a sensor array via the polygon mirror 2104 and the scanning optical system.例文帳に追加

光源は、ポリゴンミラー２１０４及び走査光学系を介して感光体ドラムを走査する光束が射出される複数の発光部と、ポリゴンミラー２１０４及び走査光学系を介してセンサアレイに入射する光束が射出される１つの発光部とを有している。 - 特許庁

To provide a transmission control system and a device which reduce the processing load, by monitoring processing of a data island portion within a video transmission line of a sink device in a transmission system of a source device and the sink device HDMI connected, and to perform a large-capacity data transmission, in an effective manner.例文帳に追加

ＨＤＭＩ接続されたソース機器とシンク機器の伝送システムにおいて、シンク機器の映像伝送路内のデータアイランド部の監視処理による処理負荷を低減させる伝送制御システムおよび、装置を提供し、効率的に大容量のデータ伝送を行うことを目的とする。 - 特許庁

The lighting system for a surgical operation locally lights the operation field by including a fixing means (1) for fixing the system; a light source (2) for generating light; a lighting part (3) having at least one condensing lens (10); a posture holding means (4) for holding the operation posture of the lighting part (3).例文帳に追加

装置を固定するための固定手段（１）、光を発生させる光源部（２）、少なくとも１枚の集光レンズ（１０）を備えた照射部（３）、及び前記照射部（３）の操作姿勢を保持する姿勢保持手段（４）からなり、術野を局所的に照射する外科手術用照明装置。 - 特許庁

The image forming system is a system which forms an image to a paper below a recording head by conveying a carriage on which the recording head is loaded in a main scan direction using the motor as a power source, and by making the recording head perform the image forming operation at the time when the carriage is conveyed.例文帳に追加

本発明が適用された画像形成システムは、記録ヘッドが搭載されたキャリッジを、モータを動力源として主走査方向に搬送すると共に、キャリッジ搬送時に記録ヘッドに画像形成動作を実行させることにより、記録ヘッド下方の用紙に画像を形成するシステムである。 - 特許庁

A beam diameter of a probe light pulse outputted from a light source 11 is changed by a beam diameter changing optical system 33, the pulse surface is inclined by a pulse surface inclination unit 34, and the beam diameter is adjusted by a beam diameter adjustment optical system 35 before being inputted to the optical operation unit 42.例文帳に追加

光源１１から出力されたプローブ光パルスは、ビーム径変更光学系３３によりビーム径を変更され、パルス面傾斜部３４によりパルス面を傾斜され、ビーム径調整光学系３５によりビーム径を調整されて、光学的作用部４２に入力される。 - 特許庁

To simplify maintenance work to be executed on a user side for changes in the color tone of a captured image generated with a secular change or the like when using an endoscope which includes an illumination optical system having a laser light source and a fluorescent substance, and an imaging optical system having an imaging element.例文帳に追加

レーザ光源と蛍光体を有する照明光学系及び撮像素子を有する撮像光学系を備えた内視鏡を使用する場合に、経年変化等に伴って生じる撮像画像の色調変化に対してユーザ側で行うメンテナンス作業を簡単化する。 - 特許庁

In the scalp care device 10 for massaging the scalp by operating projections 22b which are operated by the drive of a driving source 12 while coming in contact with the scalp of a human body, the color of the operating projections 22b is a deep color system so that an L* value is set to be ≤50 in an L*a*b* color system for details.例文帳に追加

人体の頭皮と接触し、駆動源１２の駆動により動作する施術突起２２ｂにて頭皮のマッサージを行う頭皮ケア装置１０において、施術突起２２ｂの色が濃色系、詳しくはＬ＊ａ＊ｂ＊表色系でＬ＊値が５０以下に設定される。 - 特許庁

The lithographic device includes the radiation source that generates the radiation, an illuminating system that adjusts the radiation, a pattern giving device that gives a pattern to the adjusted radiation, and a projection system that projects the pattern given radiation onto the targeted section of a substrate.例文帳に追加

本発明のリソグラフィ装置は、放射線を発生するための放射線源と、放射線を調整するための照明システムと、調整された放射線にパターンを付与するためのパターン付与デバイスと、パターンが付与された放射線を基板のターゲット部分に投影するための投影システムとを含む。 - 特許庁

In a circuit simulation part 15, a current source is added and then circuit simulation is made to the power supply system net list 26, a power supply system current voltage waveform data 27 is subjected to Fourier transform by a Fourier transform part 16 to obtain spectrum data 28, and the result is displayed at a simulation result display part 17.例文帳に追加

回路シミュレーション部１５において電流源付加後電源系ネットリスト２６に対して回路シミュレーションを行い、フーリエ変換部１６において電源系電流電圧波形データ２７をフーリエ変換してスペクトルデータ２８を求め、この結果をシミュレーション結果表示部１７で表示する。 - 特許庁

The beam intensity distribution changing optical system G is constituted by an aspheric cylindrical lens L1, arranged on a coherent light source side and an aspheric cylindrical lens L2 existing on its exit side and is arranged with the cylindrical lenses for condensing the rays through this optical system G onto the one-dimensional line.例文帳に追加

コヒーレント光源側に配置される非球面シリンドリカルレンズＬ１と、その出射側に位置する非球面シリンドリカルレンズＬ２とにより、ビーム強度分布変換光学系Ｇを構成し、当該光学系Ｇを経た光線を１次元の線上に集光するためのシリンドリカルレンズを配置する。 - 特許庁

To solve the problem that the length of the optical path between a projection optical system and an image display element is greatly varied with object height and optical performance deteriorates since the image display element tilts large to the projection optical system when the illumination light from a light source is made incident directly on a reflection type image display element.例文帳に追加

反射型画像表示素子に光源からの照明光を直接入射させる場合、画像表示素子が投写光学系に対して大きく傾くため、投写光学系と画像表示素子との間の光路長が物高によって大きく異なり、光学性能が低下する。 - 特許庁

An input signal is distributed by a coupler 2 to the path of the amplitude signal amplifying system and the path of the phase signal amplifying system, the amplitude signal is taken out in an amplitude signal detection circuit 3, voltage amplified by an amplitude signal amplifier 4, and supplied as the voltage source of a phase signal amplifier 7.例文帳に追加

入力信号はカプラ２によって振幅信号増幅系の経路と位相信号増幅系の経路とに分配され、振幅信号は振幅信号検出回路３で取り出されて振幅信号増幅器４で電圧増幅され、位相信号増幅器７の電圧源として供給される。 - 特許庁

To provide a hydrocarbon oil reformable as a raw material for producing the hydrogen in a system for producing the hydrogen using a burner as a heat source at a relatively low temperature and reducing the burner load and reducing the NOx emission as a fuel for the burner of the system for producing the hydrogen.例文帳に追加

熱源をバーナーとする水素製造システムにおける水素製造用原料として比較的低温で改質でき、かつ水素製造システムのバーナー用燃料としてもバーナー負荷の低減およびＮＯｘ排出量の低減を図ることができる炭化水素油を提供する。 - 特許庁

To prevent a carbon film from depositing on a reflection mask, a lighting optical system for irradiating a soft X ray to the reflection mask, or a reduction projection optical system for forming the image of the pattern of the reflection mask in a soft X-ray reduction projection aligner using the soft X ray as the light source.例文帳に追加

軟Ｘ線を露光光源として用いる軟Ｘ線縮小投影露光装置において、反射型マスク、軟Ｘ線を反射型マスクに照射させる照明光学系、又は反射型マスクのパターンを結像させる縮小投影光学系にカーボン膜が堆積しないようにする。 - 特許庁