「substrate effect」に関連した英語例文の一覧と使い方(24ページ目) - Weblio英語例文検索

Hereby, the static pressure can be detected by the capacitance between the second electrode 12 and the third electrode 14, and the dynamic pressure can be detected by a piezoelectric effect of the substrate 13 constituted of the piezoelectric material.例文帳に追加

これによって、第二の電極１２と第三の電極間１４の静電容量によって静圧を検知でき、また圧電材料で構成された基板１３の圧電効果によって動圧を検知することが可能となる。 - 特許庁

To provide a method for selectively oxidizing a hydrocarbon substrate, which innovatively removes a conventional refractory sulfur compound, attains an approximately sulfur-free ultra-low desulfurization and simultaneously exhibits removal effect in denitrification.例文帳に追加

従来の除去し難い(refractory)硫黄化合物を革新的に除去してほぼ硫黄のない超深度脱硫を達成し、これと同時に脱窒までも除去する効果を示す、炭化水素基質の選択酸化方法を提供すること。 - 特許庁

To provide an ultrasonic cleaning device that provides an ultrasonic cleaning effect to a glass substrate for a magnetic disk to be cleaned without variation due to positions in an inner tank in a twin-tub type ultrasonic cleaning system.例文帳に追加

超音波による二槽層洗浄方式において、超音波の洗浄効果を内槽内の位置によるバラツキなく被洗浄物である磁気ディスク用ガラス基板にもたらす超音波洗浄装置を提供する。 - 特許庁

Clamps (20, 22, 24) that the supporting frame (18) comprises may be a Johnson-Raybeck effect type clamp that requires a stringent positional precision, and the cleaning of the inside of the projection apparatus is carried out by using only one substrate.例文帳に追加

それで、この支持フレーム（１８）が備えるクランプ（２０、２２、２４）が厳しい位置精度を要求するジョンソン・レイベック効果型クランプでもよく、この投影装置内の清掃をたった１枚の基板で行うこともできる。 - 特許庁

When the element characteristics of an element to be selected (selection element DUTx) are measured, an off-leak current flowing through an element not to be selected (non-selection element DUTy) is reduced utilizing the substrate bias effect.例文帳に追加

選択対象の素子（選択素子ＤＵＴｘ）の素子特性を測定する際には、基板バイアス効果を利用して、非選択対象の素子（非選択素子ＤＵＴｙ）に流れるオフリーク電流を小さくする。 - 特許庁

To provide a semiconductor device which has a semiconductor substrate of a shape capable of improving a distortion effect by a stress film to a channel area and has a source/drain area of a sufficient depth, and its manufacturing method.例文帳に追加

応力膜によるチャネル領域への歪み効果を向上させる形状の半導体基板を有し、かつ十分な深さのソース・ドレイン領域を有する半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To prevent substrate floating effect, which is generated due to the channel region of a transistor element consisting of a single crystal silicon layer covered with an insulating film becoming a state such that the channel region floats electrically, and to stabilize the electrical characteristics of the element.例文帳に追加

絶縁膜により覆われた単結晶シリコン層からなるトランジスタ素子のチャネル領域が電気的に浮いた状態となるために発生する基板浮遊効果を防止し、素子の電気的特性を安定させる。 - 特許庁

A field effect transistor 100 is provided with an i-GaN layer 5 formed on a substrate 1, an i-GaN layer 9, and a pulse dope layer 7 formed between the i-GaN layer 5 and the i-GaN layer 9.例文帳に追加

本発明の電界効果トランジスタ１００は、基板１上に設けられたｉ−ＧａＮ層５と、ｉ−ＧａＮ層９と、ｉ−ＧａＮ層５とｉ−ＧａＮ層９との間に設けられたパルスドープ層７とを備える。 - 特許庁

Light which is transmitted through the substrate 7 to be made incident optically rotates large through Faraday effect when transmitted through the magnetic transfer film 5, is reflected by the magnetic thin line 1, and optically rotates to exit when transmitted through the magnetic transfer film 5 again.例文帳に追加

基板７を透過して入射した光は、磁気転写膜５を透過する際のファラデー効果により大きく旋光し、磁性細線１で反射して、再び磁気転写膜５を透過する際にも旋光して出射する。 - 特許庁

By minimizing the contamination of the substrate, for example, to improvement in the yields of a resist coat process in a semiconductor manufacturing process is contributed and the effect of preventing contamination of each kind of device, including a transfer robot, can be expected.例文帳に追加

基板の汚染を最小限に留めることで、例えば、半導体製造工程におけるレジストコートプロセスの歩留まり向上に寄与し、また、搬送ロボットをはじめとした各種装置への汚染防止効果も期待できる。 - 特許庁

The method of subjecting the organic chlorine compounds in the soil and/or underground water to the decomposition treatment by supplying a proliferation substrate of the microorganisms to the soil and/or underground water and utilizing the effect of the microorganisms comprises supplying the proliferation substrate as a treating agent of ≤+100 mV in oxidation reduction potential of a silver/silver chloride electrode potential.例文帳に追加

微生物の増殖基質を土壌及び／又は地下水に供給し、微生物の作用を利用して土壌及び／又は地下水中の有機塩素化合物を分解処理する方法において、増殖基質を銀／塩化銀電極電位の酸化還元電位が＋１００ｍＶ以下の処理剤として供給する。 - 特許庁

To provide a CMP process metal impurity remover which is excellent in performance for removing metal impurities attached to the surface of a semiconductor substrate subjected to a CMP treatment without having any adverse effect on the semiconductor substrate in the manufacture of semiconductor elements, such as ICs, LSIs and the like, and liquid crystal panel elements.例文帳に追加

本発明の目的は、ＩＣ及びＬＳＩ等の半導体素子や液晶パネル素子の製造における、ＣＭＰ処理後の半導体基板表面の金属不純物除去性能に優れ、半導体基板へ悪影響を与える恐れが少ないＣＭＰ工程用金属不純物除去剤を提供することにある。 - 特許庁

The Mach-Zehnder type modulator includes a substrate 1 having electrooptical effect, a Mach-Zehnder type light guide 2 having two interference arm light guides 23 and 23' formed on the substrate, and temperature control bodies 14, 14, 16 and 16' making temperatures of the two interference arm light guides 23 and 23' constant.例文帳に追加

電気光学効果を有する基板１と、該基板１に形成された二つの干渉腕光導波路２３、２３’をもつマッハツェンダ型光導波路２と、該二つの干渉腕光導波路２３、２３’の温度を一定にする温度制御体１４、１４、１６、１６’と、を有することを特徴とするマッハツェンダ型光変調器。 - 特許庁

A method of manufacturing the field-effect transistor comprises a step of forming an oxide film 14 on a silicon substrate 12, a step of forming a polysilicon electrode film 16 on the oxide film 14, and a step of supplying deuterium ions to the interface between the oxide film 14 and silicon substrate 12 through the polysilicon electrode film 16 by means of an ion implanter.例文帳に追加

本発明は、シリコン基盤１２上に酸化膜１４を形成するステップと、酸化膜１４の上にポリシリコン電極膜１６を形成するステップと、ポリシリコン電極膜１６を介して、酸化膜１４とシリコン基盤１２との界面に、イオン注入機により重水素イオンを供給するステップとにより構成される。 - 特許庁

This aq. hardly decomposable binder compsn. is applied between an org. resin substrate and a photocatalyst to develop function making a photocatalyst coating soln. easy to coat and not exerting the adverse effect of the org. matter docomposing property of the photocatalyst on the org. resin substrate and can be also utilized as an aq. primer for the photocatalyst.例文帳に追加

また、この水性の難分解性結着剤は、それのみでも有機樹脂基板と光触媒の間に塗布することにより、光触媒コート液を塗りやすくするとともに光触媒の有機物分解性の悪影響を有機樹脂基板に及ぼさない働きを持つ、光触媒用水性プライマーとしても利用可能である。 - 特許庁

To obtain a technology for forming a high quality compact insulating film in a transistor forming a semiconductor layer and an insulating layer on a glass substrate by eliminating the effect of expansion/contraction of the substrate due to a heat treatment, and to obtain a semiconductor device in which high performance and high reliability are realized using that technology.例文帳に追加

ガラス基板上に半導体膜や絶縁膜を積層形成するトランジスタに対し、熱処理による基板の収縮の影響を無くして、その上で緻密で高品質の絶縁膜を形成する技術、並びにそれを用いて高性能で高信頼性を実現する半導体装置を適用することを目的とする。 - 特許庁

To provide a housing for an electronic apparatus which has excellent exhaust heat properties without having a major effect on component mounting on a motherboard substrate and its pattern design, out of electronic apparatuses for electrically connecting a plurality of printed boards by using the motherboard substrate, under a high vacuum environment especially where no heat transfer by convection is expected.例文帳に追加

マザーボード基板を使用して複数のプリント基板間の電気的な接続を行う電子機器のうち、特に対流による熱伝達が見込めない高真空環境下においてマザーボード基板の部品実装及びパターン設計に大きな影響を与えることなく、高い排熱特性を有する電子機器の筐体を提供する。 - 特許庁

This field effect transistor 1 has a buried gate region 5 formed by doping an impurity in a compound semiconductor substrate 19, wherein concave portions 6L and 6R are provided on both the sides of the buried gate region 5 of the compound semiconductor substrate 19.例文帳に追加

本発明に係る電界効果トランジスタ１は、化合物半導体基体１９に不純物をドーピングして形成した埋め込みゲート領域５を有する電界効果トランジスタ１において、前記化合物半導体基体１９に埋め込みゲート領域５の両側に隣接する凹部６Ｌ、６Ｒを設けることを特徴とする。 - 特許庁

To reliably and easily fix only a micro substance arbitrarily selected from a plurality of micro substances on a substrate without causing any effect on the micro substances and furthermore fix any kind of micro substances on a substrate regardless of the working environments and liquid type.例文帳に追加

複数の微小物質の中から任意に選択した微小物質のみを該微小物質に何ら影響を与えることなく確実且つ容易に基板上に固定でき、しかも、作業環境や液体の種類に影響を受けることなく、あらゆる種類の微小物質をコストをかけずに基板上に固定すること。 - 特許庁

This optical shutter device is provided with an optical shutter chip 30 which is made of the material having an electro-optical effect which makes the space between a common electrode and an individual electrode which are opposed with each other an optical modulation region (optical shutter element) and a supporting substrate 10 which supports the chip 30, the driving IC 15 and a wired substrate 16.例文帳に追加

互いに対向する共通電極と個別電極との間を光変調領域（光シャッタ素子）とした電気光学効果を有する材料からなる光シャッタチップ３０と、該チップ３０及びその駆動ＩＣ１５、配線基板１６を支持する支持基板１０とを備えた光シャッタ装置。 - 特許庁

Parameters, such as temperature, pressure, humidity, a transfer time and the like in the substrate-processing device to have effect on the formation of a resist pattern are selected as environmental conditions around a substrate, and only normal data which enable a required resist pattern to be formed are collected from the above selected parameters (step 11).例文帳に追加

レジストパターンを形成する際に影響を及ぼす基板周囲の環境条件として例えば、装置内の温度や気圧、湿度あるいは装置内の搬送時間等のパラメータを抽出し、これら抽出された複数のパラメータのうち、所望のレジストパターンを形成するときの正常データ値のみを収集する（ステップ１１）。 - 特許庁

The semiconductor storage device is provided with a field effect transistor having a gate electrode 3 formed on the bottom face section 1a of a recessed groove provided on the surface of a semiconductor substrate 1 through a gate insulating film 2 and a pair of source/drain diffusion regions 13 and 13 formed on the portions of the surface 18a of the semiconductor substrate 1 corresponding to both sides of the recessed groove.例文帳に追加

半導体基板１の表面に設けられた凹溝の底面部１ａ上にゲート絶縁膜２を介して形成されたゲート電極３と、その凹溝の両側に相当する半導体基板表面１８ａに形成された一対のソース／ドレイン拡散領域１３，１３とを有する電界効果トランジスタを備える。 - 特許庁

A protective substrate 5 is structured, so that an opening gap is formed with respect to a magnetism sensing part comprising a semiconductor magnetism resisting effect film 2 and a short-circuit electrode 3 provided on a semiconductor substrate 1, whereby strain stresses applied on the magnetism sensing part is reduced, when temperatures change, and a magnetism sensitivity of a semiconductor magnetism detection element is enhanced.例文帳に追加

半導体基板１上に設けた半導体磁気抵抗効果膜２と短絡電極３からなる感磁部に対して空隙を形成するように保護基板５を構成することにより、温度が変化した場合の感磁部に加わるひずみ応力を軽減し、半導体磁気検出素子の磁気感度を向上した。 - 特許庁

A liquid crystal device 100 has a side light shield layer 7a perpendicular to a support substrate 10d, formed along both width-directional ends of a lattice-shaped non-display area 100c where a scan line 3a, a capacitance line 5b, a data line 6a and a field effect transistor 30 are formed on the support substrate 10d.例文帳に追加

液晶装置１００では、支持基板１０ｄにおいて、走査線３ａ、容量線５ｂ、データ線６ａおよび電界効果型トランジスタ３０が形成されている格子状の非表示領域１００ｃの幅方向の両端部に沿って、支持基板１０ｄに対して垂直な側部遮光層７ａが形成されている。 - 特許庁

An embedding member having a fibril shape or fragment shape is provided by forming adhesive layers, which can attach to paper in a drying zone of paper machine, on both sides of sheet substrate excellent for anti-counterfeit effect, and shredding the sheet substrate with being attached to a no-size paper or a water soluble sheet, which is dissolved into fibers when immersed into water.例文帳に追加

偽造防止効果に優れたシート状基材の両面に、抄紙機の乾燥ゾーンで紙と接着する接着剤層を形成し、このシート状基材と水に浸漬すると繊維に離解する無サイズ紙若しくは水溶性シートと接した状態で繊維状又は細片形状を有した抄き込み部材を製造する。 - 特許庁

In the microlens array sheet 15 comprising a transparent substrate 4, a microlens array 7 and a light shielding layer 10, the light shielding layer 10 is irradiated with a laser beam 12 from the microlens array 7 side via a transparent substrate 4 by utilizing a lens effect and an inverse-truncated conical self-alignment hole 13 is formed on the light shielding layer 10.例文帳に追加

透明基材４，マイクロレンズアレイ７，及び遮光層１０を有するマイクロレンズアレイシート１５において、レンズ効果を利用して透明基材４を介してマイクロレンズアレイ７側からレーザ光１２を遮光層１０に照射して、遮光層１０に逆円錐台形状のセルフアライメント孔１３を形成する。 - 特許庁

The reflection type liquid crystal display element 1 having a transparent substrate 2, a driving circuit substrate 3, and liquid crystal 4 is characterized in that a predetermined region of a predetermined film 18 formed as a side effect on the back surface of the driving circuit board when respective pixels are formed on the top surface of the driving circuit board is removed by a laser beam.例文帳に追加

透明基板２と、駆動回路基板３と、液晶４とを備える反射型液晶表示素子１において、駆動回路基板の表面の各画素を形成する際に副次的に成膜された駆動回路基板の裏面の所定の膜１８の所定領域をレーザービームによって除去する。 - 特許庁

The fluorine inert fluid is excellent in permeability and drying characteristics, so that it is capable of restraining water marks from being formed on the surface of the substrate even if the substrate has a fine and complicated structure, and it restrains a drying process from increasing in cost because it has no adverse effect on an environment and requires no special treatment when it is disused.例文帳に追加

フッ素系不活性液体は、浸透性・乾燥性に優れているため微細化・複雑化された構造を有する基板であってもウォーターマークの発生を抑制することができ、また環境に負荷を与えないため廃棄に特段の処理を必要とせず、乾燥処理に要するコストの上昇を抑制することができる。 - 特許庁

After a driving substrate 1-9 for driving an active matrix to increase the light emission time of a single pixel by a memory effect and an EL element substrate 11-14 for the emission of EL light are produced as completely separated from each other, the substrates are laminated by pressing by using indium columns 10 or the like as a glue.例文帳に追加

メモリ効果による単一画素の発光時間の長時間化をはかるアクティブマトリックス駆動のための駆動基板（１−９）とＥＬ発光のためのＥＬ素子基板（１１−１４）とを完全に分離して作製した後、両基板をインジウム柱１０などを糊として使用してプレスして貼り合わせる。 - 特許庁

Since the presence of the oxide film 4 can eliminate the effect of the difference in the characteristics of the substrate on the formation of the USG film 5, the USG film 5 with a constant film thickness can be formed on any of the semiconductor substrate 1, the p+-type active region 3 and the n+-type active region 2.例文帳に追加

下地の特性の相違がＵＳＧ膜５の形成にもたらす影響を酸化膜４の存在によってなくすことができるので、半導体基板１上、Ｐ＋型活性領域３上、Ｎ＋型活性領域２上にかかわらず一定の膜厚を有するＵＳＧ膜５を形成することができる。 - 特許庁

The electric field recording/reproducing head that records/reproduces information to/from a ferroelectric recording medium by an electric field effect, has a semiconductor substrate, a recess part that is formed by being pulled from an upper surface of the semiconductor substrate, facing the recording medium, and a recording/reproducing part provided in the recess part.例文帳に追加

電界効果により強誘電性の記録媒体に／から情報を記録／再生する電界記録再生ヘッドであって、半導体基板と、半導体基板の前記記録媒体と対向する上面から引き込まれて形成されるリセス部と、そのリセス部内に設けられた記録再生部と、を備える電界記録再生ヘッドである。 - 特許庁

To provide a reflection preventive film which has a satisfactory cutting property when being used as a plate for reflection preventive display, can be easily worked into a complicated shape, moreover, has a high reflection preventive effect and has excellent adhesion with a substrate, and to provide the plate for reflection preventive display which is allowed to adhere to the substrate by using the reflection preventive film.例文帳に追加

反射防止ディスプレイ用板としたときの切削加工性が良く、複雑な形状に容易に加工でき、しかも、反射防止の効果が高く、基板との密着性のよい反射防止フィルム及びそのフィルムを用いて基板と密着させた反射防止ディスプレイ用板を提供することにある。 - 特許庁

To provide a method and a device for plating a substrate where, in a process of closely and uniformly plating fine cavities such as fine grooves for wiring formed on a substrate with copper, a copper alloy or the like, the abnormal rising phenomenon (over plate) of a plating film as the harmful effect of bottom up film deposition (preferential growth from trench or via bottoms) can be suppressed.例文帳に追加

基板に形成された微細な配線用の溝等の微細窪みに銅または銅合金等を隙間なく均一にめっきするプロセスにおける、ボトムアップ成膜（トレンチやビア底からの優先成長）の弊害である、めっき膜の異常盛り上がり現象（オーバープレート）を抑える基板のめっき方法および装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a thin film transistor substrate, along with an intermediate structure for forming a thin film transistor substrate, capable of preventing bad effect on polycrystallization by a natural oxide film formed on an amorphous silicon film when changing the amorphous silicon film into polycrystal silicon film by laser radiation.例文帳に追加

非晶質シリコン膜をレーザー照射により多結晶シリコン膜に変化させる際に、非晶質シリコン膜上に形成された自然酸化膜が多結晶化に及ぼす悪影響を防ぐことができる薄膜トランジスタ基板の製造方法及び薄膜トランジスタ基板形成用中間構造物を提供する。 - 特許庁

A first magnetoresistive element MRa is provided above the surface of the substrate, has two stationary states having different resistance values depending on a magnetoresistive effect, and has a first length in which a shape projected on the surface of the substrate follows a first direction and a second length eqaul to or longer than the first length in which it follows a second direction.例文帳に追加

第１磁気抵抗素子ＭＲａは、基板表面の上方に設けられ、磁気抵抗効果によって抵抗値の異なる２つの定常状態を取り、基板表面に投影された形状が第１方向に沿った第１長さと第２方向に沿った前記第１長さ以上の長さの第２長さとを有する。 - 特許庁

This element 30 has a substrate 21 consisting of material having an electro-optic effect, a Mach-Zehnder type waveguide 27 formed on the main surface of this substrate 21, a signal electrode 24 and grounding electrodes 25-1 and 25-2 for controlling the light waves guided in this optical waveguide.例文帳に追加

本発明の光導波路素子３０は、電気光学効果を有する材料からなる基板２１と、この基板の主面に形成されたマッハツエンダー型光導波路２７と、この光導波路中を導波する光波を制御するための信号電極２４及び接地電極２５−１及び２５−２とを具える。 - 特許庁

The micromirror device is obtained by using a semiconductor anisotropic etching process to process a silicon substrate and has a structure, wherein a shear-type strain gauge 3 which measures the angle of rotation of a mirror 1 and utilizes a piezoresistance effect is provided in a torsion bar 2 divided p-type or n-type semiconductor areas in a perpendicular direction of the silicon substrate.例文帳に追加

半導体異方性エッチングプロセスを使用してシリコン基板を加工したマイクロミラーデバイスであって、シリコン基板の厚さ方向にｐ型またはｎ型の半導体領域に分割したトーションバー２に、ミラー１の回転角を測定するピエゾ抵抗効果を利用したせん断型歪ゲージ３を設けた構造を特徴とする。 - 特許庁

To provide a method for correctly evaluating the effect on a substrate of sample water by sampling impurities contained in highly pure sample water such as ultra pure water by continuously supplying the sample water to the substrate, and hence accurately measuring the concentration of impurities contained in the sample water.例文帳に追加

超純水などの高純度な試料水中に含まれる不純物を、基板に試料水を連続的に供給して採取することで、試料水中に含まれている不純物の濃度を精度よく測定し、試料水の基板への影響を正しく評価することが可能な方法を提供する。 - 特許庁

To provide the subject method comprising such a process as to subject a reaction chamber with a substrate set inside to the feed of both adsorption gas and reactant gas and their purges alternately to effect atomic layer growth by reaction between the adsorption gas and reactant gas to form a thin film on one side of the substrate; wherein impurities left in the thin film are diminished during film formation.例文帳に追加

基板が設置された反応室に対して、吸着ガス及び反応ガスの供給、及びパージを交互に行い、吸着ガスと反応ガスとの反応によって原子層成長を行わせることにより、基板の一面上に形成された薄膜において、成膜の際に、膜中に残存する不純物を低減する。 - 特許庁

To provide a semiconductor integrated circuit device for preventing a decrease in characteristics caused by the substrate floating effect of a MOS transistor for composing an input/output circuit, in the semiconductor integrated circuit device that is arranged on an SOI substrate and allows the supply voltage of the input/output circuit section to be higher than that of a core circuit.例文帳に追加

ＳＯＩ基板上に配設され、入出力回路部の電源電圧がコア回路部の電源電圧よりも高い半導体集積回路装置において、入出力回路部を構成するＭＯＳトランジスタの基板浮遊効果に起因する特性低下を防止した半導体集積回路装置を提供する。 - 特許庁

In the optical waveguide element which has a substrate having an electrooptical effect and a plurality of optical waveguides formed on the substrate, at least two closely arranged optical waveguides are so formed that the widths of the respective optical waveguides in the close region are different from each other.例文帳に追加

電気光学効果を有する基板と、該基板上に形成された複数の光導波路とを有する光導波路素子において、近接配置された少なくとも２つの光導波路は、近接した領域における各光導波路の幅が、互いに異なるよう形成されていることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a method for making uniform and minute a projection with a size that is effective to the refraction or scattering of light when forming a thin film with tin oxide as a main constituent on a substrate, and to provide a photoelectric conversion element for effectively showing optical confinement effect using the substrate that is manufactured using the method.例文帳に追加

基板上に酸化スズを主成分とする薄膜を形成する場合において、光の屈折または散乱に有効な大きさの凸部を均一、かつ、緻密に成形する方法、ならびにその方法により製造された基板を用いて光閉じ込め効果を有効に発揮する光電変換素子を提供する。 - 特許庁

To provide a titanium substrate 1 for fuel cell separator which can maintain a low contact resistance for a long period when used as a substrate of a fuel cell separator and, for example, even if the manufacturing lot or the like is different, there arise hardly variations in the effect that the low contact resistance can be maintained for a long period.例文帳に追加

燃料電池セパレータの基材として用いられた場合に、低い接触抵抗を長期間維持することができ、かつ、例えば、製造ロット等が違っても、低い接触抵抗を長期間維持することができるという効果のばらつきが生じにくい燃料電池セパレータ用チタン基材を提供する。 - 特許庁

The manufacturing method of semiconductor device comprises a process (a) for forming the organic reflection preventing film 10 on the surface of a semiconductor substrate 1, a process (b) for applying organic solvent 11 on the surface of semiconductor substrate 1 to effect washing by wet etching the surface of the organic reflection preventing film 10, and a process (c) for forming a resist film 12 after the process (b).例文帳に追加

半導体基板１の表面に有機反射防止膜１０を形成する工程（ａ）と、半導体基板１の表面に有機溶剤１１を塗布し有機反射防止膜１０の表面をウエットエッチング洗浄する工程（ｂ）と、工程（ｂ）の後、レジスト膜１２を形成する工程（ｃ）とを含む。 - 特許庁

To manufacture a single crystal silicon substrate which has a hollow inside with leaving a single crystal silicon layer at the surface side and can form insulation type field effect transistors each having a high threshold voltage and a low leak current, when used in constitution of a semiconductor integrated circuit device having the insulation type field effect transistors.例文帳に追加

内部に、空洞が、表面側を単結晶シリコン層として残すように形成されている単結晶シリコン基板を、絶縁型電界効果トランジスタを有する半導体集積回路装置を構成するのに用いた場合に絶縁型電界効果トランジスタが高い閾値電圧と小さいリーク電流とを有するものに構成され得るものとして製造する。 - 特許庁