「temperature controller」に関連した英語例文の一覧と使い方(31ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a refrigerator which has a compressor having a drive motor capable of control of its rotational speed, an outside air temperature sensor for sensing the temperature of outside air, an evaporator temperature sensor for sensing the temperature of an evaporator, a selector for selecting the operation mode, and a controller for controlling the action of the drive motor.例文帳に追加

回転速度の制御が可能な駆動モータを有する圧縮機、外気の温度を感知する外気温度センサ、蒸発器の温度を感知するための蒸発器温度センサ、動作モードを選択するための選択部、及び駆動モータの動作を制御するための制御部を有する冷蔵庫を提供する。 - 特許庁

A fixing heater controller possesses a voltage measuring means to measure the voltage of the AC power source, a temperature measuring means to measure the temperature of a fixing roller heated by a fixing heater and an abnormality detecting means to detect the abnormality by monitoring the change of temperature measured by the temperature measuring means.例文帳に追加

本発明の定着ヒータ制御装置は、ＡＣ電源の電圧を測定する電圧測定手段と、定着ヒータによって加熱された定着ローラの温度を測定する温度測定手段と、温度測定手段によって測定される温度の変化を監視して異常を検出する異常検出手段とを有している。 - 特許庁

The motor drive controller comprises a motor, a circuit for controlling the motor, an analog means for detecting the temperature in the control circuit, and an operating unit for operating an inner temperature distribution based on the detection temperature value of the analog temperature detecting means wherein the operating unit calculates the timing for replacing a lifetime component.例文帳に追加

モータ部と、前記モータ部を制御する制御回路部と、前記制御回路部の内部温度を検出するアナログ温度検出手段と、前記アナログ温度検出手段の検出温度値に基づいて内部温度分布を演算する演算装置を備え、前記演算装置により寿命部品の交換時期を算出する。 - 特許庁

The battery controller 3 determines failure of the cooling fan 4 on the basis of the temperature Tb1 of the battery 1 detected by the temperature sensors 2a and 2b when the cooling fan 4 is operated and the temperature Tb2 of the battery detected by the temperature sensors 2a and 2b when the control for stopping the operation of the cooling fan 4 is performed.例文帳に追加

バッテリコントローラ３は、冷却ファンが作動しているときに温度センサ２ａ，２ｂによって検出した電池１の温度Ｔｂ１と、冷却ファン４の作動を停止させる制御を行ったときに温度センサ２ａ，２ｂによって検出した電池１の温度Ｔｂ２とに基づいて冷却ファン４の故障を判断する。 - 特許庁

When the internal temperature is different from the temperature to which a seek time table used at present corresponds, another seek time table which is preliminarily held in a magnetic disk device controller and corresponds to the present internal temperature of the magnetic disk device is used to perform suitable command rearrangement capable of following up the temperature change.例文帳に追加

磁気ディスク装置の内部温度を監視し、現在使用しているシーク時間テーブルの温度と差異が生じた場合、予め磁気ディスク装置コントローラ内に保持している現在の磁気ディスク装置内部温度に対応するシーク時間テーブルを用い、温度変化に追従可能な好適なコマンド並べ替えを行う。 - 特許庁

When temperature of an objective lens OBJ is rased exceeding the threshold, or when it is determined as the above, a controller CPU keeps the temperature in an allowable range by cooling the objective optical element OBJ using a Peltier element PE, based on the temperature measured by a temperature sensor TS1, and the light use efficiency can be compensated.例文帳に追加

コントローラＣＰＵは、温度センサＴＳ１の測定した温度に基づいて、対物レンズＯＢＪの温度が閾値を超えて上昇した、もしくはしそうであると判断した場合、ペルチェ素子ＰＥを用いて対物光学素子ＯＢＪを冷却することで、その温度を許容範囲に留め、光利用効率を補償することができる。 - 特許庁

An air temperature detection part 22 is attached to the vicinity of an indoor air blowout port 18, and heating operation is performed by controlling an output of a compressor 6 and aperture of a heating expansion mechanism 8 so as to bring the detection temperature of the air temperature detection part 22 close to a set temperature of a controller 20.例文帳に追加

本発明では、室内用空気吹出口１８の近傍へ空気温度検知部２２を取り付けして、空気温度検知部２２での検知温度が制御機器２０の設定温度に近づくよう、圧縮機６の出力や暖房用膨張機構８の絞り量を制御して暖房運転を行うようにする。 - 特許庁

This unit is equipped with a fan which cools an uninterruptible power system within a casing, a temperature sensor which measures the temperature within the casing, and a controller which operates the above fan when the temperature value measured by this temperature sensor exceeds a set value and stops the above fan when it falls under the set value.例文帳に追加

筐体内の無停電電源システムを冷却するためのファンと、前記筐体内の温度を測定する温度センサと、この温度センサにより測定された温度値が設定値以上になると前記ファンを運転させ、設定値設定値未満になると前記ファンの運転を停止させる制御装置とを備えた。 - 特許庁

The semiconductor storage device includes a temperature sensor 12 for detecting the internal temperature of the device, an oscillator 13 generating a clock signal, and a latch circuit 11 for performing the driving based on the clock signal of the oscillator 13 and temporally latching temperature data from the temperature sensor 12 at the time when a command from an external controller is received.例文帳に追加

装置内部の温度を検出する温度センサ１２と、クロック信号を発生するオシレータ１３と、オシレータ１３のクロック信号に基づいて駆動するとともに、外部のコントローラからのコマンドを受けたときにその時点での温度センサ１２からの温度データを一時的にラッチするラッチ回路１１と、を備える。 - 特許庁

The controller increases the paper feed interval of recording paper in a paper supply part when the remaining number of sheets determination part determines that the remaining number of sheet of the printing work exceeds a first value under a condition where the temperature determination part determines that the temperature detected by the temperature sensor 42 is equal to or larger than a predetermined temperature.例文帳に追加

制御部は、温度判定部が、温度センサ４２で検知した温度が所定温度以上であると判定した状態において、残り枚数判定部が、プリント作業の残り枚数が第１の値を越えると判定した場合には、用紙供給部における記録用紙の給紙間隔を拡大する。 - 特許庁

The water-level and water- temperature controller 40 calculates the amount of water to be fed for attaining the water level set by the water level setter 30 and calculate the water temperature after the water feeding based on the water temperature of the water source to be fed 110 and the water temperature in the rice paddies and control the proper water feed and output the data for water feeding.例文帳に追加

水位水温調整手段４０は、水位設定手段３０によって設定された水位とするための給水量を求めるととともに、給水水源１１０の水温及び水田１００の水温に基づいて、給水後の水温を計算し、適正な給水量を調整して給水データを出力する。 - 特許庁

The fuel cell system includes a fuel cell 50 formed by laminating a plurality of unit cells, and a controller 29 for detecting a temperature change of the fuel cell 50 from a temperature state detected by a temperature sensor 28 and conducting predetermined control for suppressing an pressure loss increase on a fuel electrode side in response to a temperature increase of the fuel cell 50.例文帳に追加

単セルを複数積層させてなる燃料電池５０と、温度センサ２８で検知した温度状態から燃料電池５０の温度変化を感知し、燃料電池５０の温度上昇に応じて燃料極側の圧損増大を抑制する所定の制御を行うコントローラ２９とを備える。 - 特許庁

The controller is equipped with a heater control means controlling a heater power physical amount applied to the heater 3 based on the difference between the target temperature of water set by the user temperature setting means 8 and a temperature of water detected by the heater inlet temperature detection means and setting the flow rate of water set by the user water flow rate setting means 9.例文帳に追加

ユーザ温度設定手段８で設定された水の目標温度とヒータ入口温度検出手段で検出された水の温度との差と、ユーザ水量設定手段９で設定された水の設定流量とに基づいて、ヒータ３に通電するヒータ電力物理量を制御するヒータ制御手段を具備する。 - 特許庁

The controller 5 lowers the set value of the amount of the dew condensation of a dew condensation sensor 9 to a predetermined set value when the change rate of the measured temperature difference between a first temperature sensor 92 for detecting the temperature of the sensor unit of the dew condensation sensor 9 and a second temperature sensor 13 embedded in a cooling/heating plate 4 reaches a predetermined value.例文帳に追加

この調節器５は、結露量センサ９のセンサ部温度を検出する第１温度センサ９２と冷却加熱プレート４に内蔵された第２温度センサ１３との間の測定温度差の変化率が所定値に達したら、結露量センサ９の結露量設定値を所定値まで下げる。 - 特許庁

To solve a problem wherein, since temperature is controlled by moving a variable resistor in a conventional phase-control temperature controller, the temperature of a furnace or hot air is raised over a required value or can not be raised to the required value if the temperature is not properly controlled, and the control requires great effort because the control is executed by moving the variable resistor in each case.例文帳に追加

従来の位相制御の温度調節器は可変抵抗器を動かして調節していたので調節が適正でないと炉や熱風の温度は必要な温度より上昇したり、必要な温度まで上がらなかったりする、調節はそのつど可変抵抗器を動かして行うため手間が掛かる。 - 特許庁

In a controller, a water temperature is monitored by a water temperature thermistor of a temperature sensor 48 when detecting a water level of a pot 41 by the water level sensor 43, and when the water temperature exceeds 110°C, it is judged that a water level thermistor of the water level sensor 43 can not carry out normal detection, and a pump is driven to carry out water supply.例文帳に追加

制御装置は、水位センサ４３によってポット４１の水位を検出している際に、温度センサ４８の水温サーミスタによって水温を監視し、上記水温が１１０℃を超えた場合には、水位センサ４３の水位サーミスタは正常な検出が不可であると判断して、ポンプを駆動して給水を行う。 - 特許庁

The battery controller 3 decides as a failure in the cooling fan 4, based on a temperature Tb1 of the battery 1 detected by the temperature sensors 2a and 2b, when the cooling fan is in operation and on a temperature Tb2 of the battery 1 detected by the temperature sensors 2a and 2b, when control is made to stop the operation of the cooling fan 4.例文帳に追加

バッテリコントローラ３は、冷却ファンが作動しているときに温度センサ２ａ，２ｂによって検出した電池１の温度Ｔｂ１と、冷却ファン４の作動を停止させる制御を行ったときに温度センサ２ａ，２ｂによって検出した電池１の温度Ｔｂ２とに基づいて冷却ファン４の故障を判断する。 - 特許庁

In order to remove an error by offset voltage variation due to the change of ambient temperature of the controller, the offset voltage is calculated while the controller operates, the error is removed by performing the control with the value.例文帳に追加

制御装置の周囲温度変化によるオフセット電圧変化による誤差をなくすために、制御装置が動作している状態でオフセット電圧を算出して、その値により制御を行うことにより、誤差をなくす。 - 特許庁

A diagnosis controller 20, based on the echo signals of diagnostic beams received in cooperation with the diagnostic beam controller 21, calculates diagnosis images, displacement distributions, temperature distributions, etc., of tissues, and displays the results on a display 25.例文帳に追加

診断制御部２０は、診断用ビーム制御部２１と連携して受信した診断用ビームのエコー信号を基に、診断画像や組織の変位分布、温度分布等を算出し、表示装置２５に表示する。 - 特許庁

A temperature (humidity) sensor 37 is connected to a printer controller 12, and the printer controller 12 is provided with an electrification bias determination table 12b having temperatures as an environmental condition and the potentials by electrification of a photoreceptor drum 13 as a table.例文帳に追加

プリンタコントローラ１２に温度（湿度）センサ３７が接続され、プリンタコントローラ１２は、環境条件としての温度と感光ドラム１３の帯電電位とをテーブルとして保有する帯電バイアス決定テーブル１２ｂを有する。 - 特許庁

The controller for controlling an apparatus having a coil measures the winding resistance of the coil in the apparatus under a state where operation of the apparatus is stopped, and calculates the temperature of the coil based on the temperature rise value obtained from the winding resistance and the ambient temperature.例文帳に追加

制御装置は、コイルを有する機器を制御するものであって、機器の運転を停止させた状態で、当該機器のコイルの巻線抵抗を測定し、この巻線抵抗から得られる温度上昇値と周囲温度とに基づいて当該コイルの温度を算出する。 - 特許庁

When garbage is decomposed in a decomposition vessel 2a, a controller 22 controls the temperature of the wall 2d of the decomposition vessel 2a not to exceed the temperature of a microorganism support 40, which is detected by a temperature sensor 72, by controlling the heat of an electric heater 71.例文帳に追加

分解槽２ａ内で生ごみを分解するときには、制御装置２２は、温度センサ７３が検出する分解槽２ａの槽壁２ｄの温度が温度センサ７２が検出する微生物担体４０の温度を超えないように電気ヒータ７１を発熱制御する。 - 特許庁

To provide a temperature controller which has no possibility of affecting the operation of an electronic circuit such as a communication circuit at a low temperature and can also make the electronic circuit such as the communication circuit stably operate within the operation guaranteed temperature of electronic parts for a long time.例文帳に追加

低温時において通信回路等の電子回路の動作に影響を与える虞が少なく、且つ通信回路等の電子回路を、電子部品の動作保証温度内で長期に亘って安定して動作させることができる温度制御装置を提供する。 - 特許庁

The controller 5 is provided with a knob 51 for temperature control so that the knob can be operated from outside, and a temperature control circuit which variably sets the temperature of the heat generation part 2 by controlling electric energy supplied to the heat generation part 2 through phase control is built in.例文帳に追加

コントローラ５には、温度調整用のつまみ５１が外部操作可能に設けられるとともに、位相制御により発熱部２へ供給する電力量を制御して発熱部２の温度を可変設定する温度制御回路が組み込まれている。 - 特許庁

A CPU of an electric controller prohibits the fuel cut when the catalyst temperature Tc sensed by a catalyst temperature sensor is at or over a threshold temperature Tcat1 calculated by a fuel cut prohibition judging Routine in case the fuel cut conditions are met.例文帳に追加

電気制御装置のＣＰＵは、燃料カット条件が成立した場合、触媒温度センサにより検出された触媒温度Ｔｃが、燃料カット禁止判定ルーチンにおいて算出された閾値温度Ｔｃａｔ１以上であれば、燃料カットを禁止する。 - 特許庁

A reticle temperature measuring unit 8 disposed closely to a reticle 6 conducts noncontact surface temperature measurement of the reticle 6 and a lens controller 9 controls the demagnification of a demagnification projection lens 7 based on the measurement results from the reticle temperature measuring unit 8.例文帳に追加

レチクル６の近傍に配設されたレチクル温度測定器８により、レチクル６の表面温度を非接触により測定し、レンズコントローラ９により、レチクル温度測定器８からの測定結果に基づき、縮小投影レンズ７の縮小倍率をコントロールするようにする。 - 特許庁

This controller determines whether operation of the gas temperature adjusting means for adjusting gas temperature in the combustion chamber such as a variable valve mechanism is normal or not (S118, S120, S122, S124) and inhibits switching from spark ignition operation to compression ignition operation when it is determined that the operation of the gas temperature adjusting means is not normal (S110).例文帳に追加

可変バルブ機構などの燃焼室内のガス温度を調整するガス温度調整手段の動作が正常か否か判定し（Ｓ１１８，Ｓ１２０，Ｓ１２２，Ｓ１２４）、正常ではないと判定されるとき、火花点火運転から圧縮着火運転への切り替えを禁止する（Ｓ１１０）。 - 特許庁

The hot-water supply system is provided with the heat storage tank 20 storing a heated heating medium, hot-water supply temperature adjusting means 22 and 24 for adjusting a temperature of hot water sent out from the heat storage tank 20, and a controller 21 controlling the hot-water supply temperature adjusting means 22 and 24.例文帳に追加

給湯システム１０は、加熱された熱媒体を貯める蓄熱槽２０と、蓄熱槽２０から送り出された温水の温度を調整する給湯温度調整手段２２、２４と、給湯温度調整手段２２、２４を制御するコントローラ２１を備えている。 - 特許庁

When the hydraulic oil temperature (AT oil temperature) satisfies TMIN≤AT oil temperature ≤ TMAX, a motor-driven oil pump is actuated upon automatic engine shutdown for the oil pressure in an oil pressure controller to be kept at the prescribed level PX for the prevention of shock to follow the re-engagement of frictional engagement elements.例文帳に追加

作動油の油温（ＡＴ油温）がＴ_MIN≦ＡＴ油温≦Ｔ_MAXのとき、エンジンの自動停止時に電動オイルポンプが駆動されて油圧制御装置の油圧が所定油圧Ｐ_Xに維持され、摩擦係合要素の係合によるショックの発生を防止できる。 - 特許庁

The PWM controller 71 newly sets the duty cycle of the PWM signal so as to make the temperature of the temperature-dependent resistance heater 11 to a setting temperature, based on signals from the differential amplifier 55 and the ADC 56, when the PWM signal is on.例文帳に追加

ＰＷＭコントローラ７１は、ＰＷＭ信号がオン状態の場合における差動増幅器５５及びＡＤＣ５６の信号に基づき、温度依存性抵抗ヒータ１１の温度を設定温度に近づけるようにＰＷＭ信号のデューティ比を新たに設定する。 - 特許庁

The temperature of exhaust gas related to the first selective reduction type catalyst 21 is detected by a first temperature sensor 41, and a controller 38 is configured to control the liquid injection amount regulating valve 31 based on detection output of the first temperature sensor 41.例文帳に追加

第１選択還元型触媒２１に関係する排ガスの温度が第１温度センサ４１により検出され、第１温度センサ４１の検出出力に基づいてコントローラ３８が液体噴射量調整弁３１を制御するように構成される。 - 特許庁

In a period when the image forming apparatus 10 performs printing (printing period), a controller 76 performs feedback control that heaters 90 and 92 are turned on or off according to the result of detection by a temperature sensor 104 so that the temperature of a heating roll 82 may become printing feasible temperature.例文帳に追加

画像形成装置１０が印刷を行う期間（印刷期間）中には、制御装置７６は、加熱ロール８２が印刷可能温度になるように、温度センサ１０４の検出結果に応じてヒータ９０，９２をオン又はオフするフィードバック制御を行う。 - 特許庁

A controller 30 controls, based on temperature Tv of the preheated fuel,the heating heater 110 to raise the temperature by the difference of Tc-Tv so that the fuel is heated to temperature Tc where it is laid in the supercritical state by the heating heater 110 within the injector.例文帳に追加

コントローラ３０は予熱された燃料の温度Ｔｖに基づいて、インジェクタ内の加熱ヒータ１１０で超臨界状態となる温度Ｔｃまで燃料を加熱するように、Ｔｃ−Ｔｖの差分だけ昇温させるよう加熱ヒータ１１０を制御する。 - 特許庁

When a detection value of the oil temperature sensor 15 is higher than a predetermined temperature, a boost command signal is output to the solenoid selector valve 14 from the controller 4, and when the detection value is lower than the predetermined temperature, the boost command signal is not outputted to the solenoid selector valve 14.例文帳に追加

そして、油温センサ１５の検出値が所定温度よりも高い時は、コントローラ４から電磁切換弁１４に昇圧指令信号を出力するが、所定温度よりも低い時は昇圧指令信号を電磁切換弁１４に出力しない。 - 特許庁

Or the stroboscope controller has a detection means to detect the white balance gain of the subject, and a correction means to detect the color temperature, based on the result of detection by the detection means, and correct the emitted light quantity of the electronic flash light or the color temperature of the electronic flash light, based on the detected color temperature.例文帳に追加

または、被写体のホワイトバランスゲインを検出する検出手段と、この検出手段の検出結果に基づいて色温度を検出し、検出した色温度に基づいてストロボ光の発光量またはストロボ光の色温度を補正する。 - 特許庁

The arrangement further includes a thermistor type temperature sensor 20 as a temperature presuming means to presume the surface temperature of the rotor and a controller 202 as an electromagnet type controlling means for controlling the position in the axial direction of the rotor by regulating the exciting current to be fed to the electromagnets of the magnetic bearings 21 and 22 on the basis of the surface temperature presumed by the temperature sensor 20.例文帳に追加

ロータの表面温度を推定する温度推定手段としてのサーミスタ温度センサ２０と、該温度センサ２０によって推定された表面温度に基づき、前記アキシャル磁気軸受２１，２２の各電磁石に通電する励磁電流を調節することでロータの軸方向の位置を制御する電磁石制御手段としてのコントローラ２０２をさらに備えている。 - 特許庁

The controller being adapted to adjust the power supplied by the power supply means to the heating means to obtain a target temperature in the transfer zone, in response to the signal indicative of the sensed basis temperature and based on a pre-established relationship between the power supplied to the heating means and a temperature difference between a temperature in the transfer zone and the basis temperature.例文帳に追加

コントローラは、検知された基準温度を表す信号に応答して、かつ加熱手段に供給された電力と、転写領域の温度と基準温度の温度差との間の予め設定された関係に基づいて、転写領域の目標温度を得るために電力供給手段によって加熱手段に供給される電力を調整するように構成される。 - 特許庁

The controller 70 increases the evaporating pressure of the coolant in the direct expansion type cooling plate by reducing the valve opening of the regulating valve when the temperature of a work detected by a temperature sensor is lower than a preset temperature, and decreases the evaporating pressure of the coolant in the direct expansion type cooling plate by enlarging the valve opening of the regulating valve when the temperature of the work is higher than the preset temperature.例文帳に追加

コントローラは、温度センサにより検出したワークの温度が設定温度よりも低いときには調整弁の弁開度を小さくして直膨式冷却プレート内における冷媒の蒸発圧力を上昇させ、ワークの温度が設定温度よりも高いときには調整弁の弁開度を大きくして直膨式冷却プレート内における冷媒の蒸発圧力を低下させる。 - 特許庁

A vacuum carburizing device 1 includes: a preheater 40 for preheating the carburizing gas obtained by evaporating a liquid hydrocarbon and supplied in a vacuum carburizing furnace 30; a temperature sensor 50 for measuring the temperature of the carburizing gas preheated by the preheater 40; and a controller 60 for controlling the preheater 40 based on the temperature measured by the temperature sensor 50, and maintaining the temperature of the carburizing gas within a predetermined range.例文帳に追加

真空浸炭装置１は、液体炭化水素を気化して真空浸炭炉３０内に供給される浸炭ガスを予熱する予熱部４０と、予熱部４０により予熱された浸炭ガスの温度を測定する温度センサ５０と、温度センサ５０により測定された温度に基づいて予熱部４０を制御して、浸炭ガスの温度を所定範囲に保持する制御部６０とを備えている。 - 特許庁

Upon receiving a current room temperature indication command from the remote controller 6, the wireless remote control transmitting/ receiving circuit 5 accepts analog information from the indoor temperature sensor 13 in an indoor unit at the indoor control circuit 3.例文帳に追加

冷房、暖房運転が完了し、吐出口が上下風向板で閉塞されている場合、ファンを回転させ、室内機内にこもっている熱を強制的の上下風向板の隙間から押し出すようにした。 - 特許庁

Dot-shifting of a plurality of LED elements involved in the 1st LPH 7a and the 2nd LPH 7b and the light quantity of the LED element are controlled by a controller 41 in accordance with the temperature measured by the temperature sensor 43.例文帳に追加

コントローラ４１は、温度センサ４３で測定した温度に応じて、第１ＬＰＨ７ａ及び第２ＬＰＨ７ｂに内包される複数のＬＥＤ素子のドットシフト及びＬＥＤ素子の光量を制御する。 - 特許庁

A controller 50 governing the operation of the snow melting system renews or holds memory of outside temperature stored data Sg based on a control flow constituted of an outside temperature operation block E and a right and wrong deciding block H.例文帳に追加

融雪装置の動作を司る制御装置５０は、外気温演算ブロックＥと正誤判定ブロックＨとから構成される制御フローに則って外気温格納データＳｇを記憶更新あるいは記憶保持する。 - 特許庁

After the room temperature arrives at the set temperature, outputs of driving the pump and the motor 10 are lowered by the controller 16, and a radiant heat having a relatively small heating amount is slowly radiated forward.例文帳に追加

室温が設定温度に達した後は、前記制御装置１６により前記電磁ポンプ２２およびファンモータ１０の駆動の出力を下げて、発熱量の比較的小さな輻射熱をゆっくりと前方へ放射する。 - 特許庁

To obtain a temperature controller for an image forming apparatus with which exact life judgement is possible and which can be designed under required minimum compensation regarding a device of a temperature control system including a switching element for performing on/off control of a heat source of a fixing part.例文帳に追加

定着部の加熱源をオン・オフ制御するためのスイッチング素子を含む、温度制御系のデバイスに関して、正確な寿命判定が可能であり、必要最小限の補償の下で設計する。 - 特許庁

A gas composition adjusting device 12 for inside reaction chamber keeps the concentration of the resulted product of the etching in the reaction chamber 1 fixed to the equilibrium vapor pressure of a solid 14 in the resulting product through temperature control by means of a temperature controller 13.例文帳に追加

反応室内ガス組成調整装置１２は温度制御装置１３による温度制御で反応室１内のエッチング生成物濃度をエッチング生成物の固体１４の平衡蒸気圧に一定に保つ。 - 特許庁