「FORMATION PROCESS」に関連した英語例文の一覧と使い方(43ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide felt materials to be applied for such a photographic image formation process or various working equipment as an electronic copying machine, a laser beam printer and a facsimile machine for achieving the leakage prevention of toner and the scraping of residual toner by bringing it close contact with the peripheral faces of a photoreceptor drum, developing roller and fixing roller or the like.例文帳に追加

フェルト材として主に電子複写機、レーザビームプリンタ、ファクシミリのような写真画像形成プロセスまたは各種の作業機器に適用し、感光ドラム、現像ローラや定着ローラなどの周面に密接することにより、トナーの漏出防止および残トナーの掻き取りなどを達成する。 - 特許庁

To process a good pattern without remainders, while preventing precipitation of copper or silicon generated in a step of forming a film containing Al as a main component and containing at least Cu or Si, or in a thermal step of peeling off a defective resist pattern during pattern processing after the film formation.例文帳に追加

Ａｌを主成分とし、少なくともＣｕあるいはＳｉを含んだ膜の成膜時、あるいは成膜後におけるパターン加工時の不良レジストパターンの剥離時の熱工程時に発生する銅あるいはシリコンの析出を防ぎ、残渣のない良好なパターンを加工する。 - 特許庁

In order to make a resist pattern to be transferred or a substrate pattern to be formed via passing process have a desired size and form, the formation means (6) sets the position coordinates of the longitudinal direction of the four practical surface light sources to be made practically different from the position coordinates in the traversal direction.例文帳に追加

瞳形状形成手段は、転写されるレジストパターンまたはプロセスを経て形成される基板パターンを所望の大きさおよび形状とするために、４つの実質的な面光源の縦方向の位置座標と横方向の位置座標とが実質的に異なるように設定する。 - 特許庁

To provide a method of forming conductive pattern in which a high-resolution conductive pattern having a conductivity and durability can be obtained without requiring complicated process and an expensive apparatus, even when it is applied to the formation of an interconnection, etc. which is used for a plurality of different materials.例文帳に追加

複雑な工程や高価な装置を必要とせず、複数の異なる材料を用いた配線などの形成に適用した場合にも、導電性及び耐久性を有する高解像度な導電性パターンが得られる導電性パターン形成方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a developing device in which it is not necessary to dispose a contact member for triboelectrically charging toner existing on a developing roller, and which allows formation of a high quality toner image free of density unevenness in a low contrast image which follows an image partly having a solid image, and to provide a printer and an image forming process unit.例文帳に追加

現像ローラ上のトナーを摩擦帯電するための接触部材を設ける必要がなく、ベタ画像を部分的に有する画像に続く低コントラスト画像における濃度ムラのない高品質トナー像を形成できる現像装置、プリンタ及び画像形成プロセスユニットを提供する。 - 特許庁

To enable an ink jet printer executing so-called multi-path recording to simplify or speed up a formation process of a mask table and also to reduce a memory capacity for a head driving method such as a block dispersion driving which drives thinned positions only per each scanning (path).例文帳に追加

所謂マルチパス記録を行うインクジェット記録装置において、各走査（パス）毎に間引かれた位置だけを限定して駆動するブロック分散分割駆動などのヘッド駆動方式に対し、マスクテーブルの生成処理の簡略化ないし高速化とメモリ容量の削減とを可能にする。 - 特許庁

After an overall circumferential welded part B straddling a wear-resistant tip 33 and a tip fixing surface formation part 32c is formed along the circumferential surface of the tip, an annealing process is applied to an overlap assembly A wherein the wear-resistant tip 33 is overlaid on a tip fixing surface 32d.例文帳に追加

耐消耗性チップ３３とチップ被固着面形成部位３２ｃとに跨る全周溶接部Ｂをチップ外周面に沿って形成した後、チップ被固着面３２ｄに耐消耗性チップ３３を重ね合わせた重ね合せ組立体Ａに対し、焼鈍処理を施すこととした。 - 特許庁

To provide an electorphotographic photoreceptor which is good in sensitivity in spite of formation of a protective layer, is little in an increase of residual potential and small in potential fluctuation by environment at change and makes it possible obtain stable electrophotographic characteristics, a process cartridge having the electrophotographic photoreceptor and an electrophotographic device.例文帳に追加

保護層を形成しても感度が良好であり、残留電位の上昇が少なく、環境変化による電位変動が小さく、安定した電子写真特性が得られる電子写真感光体、その電子写真感光体を有するプロセスカートリッジ及び電子写真装置を提供することにある。 - 特許庁

A projection part formation step for forming a projection part on a rear side face of the substrate, and an electron element forming step for forming the electron element on the surface of the substrate while the substrate is supported by the projection part are included in a process for forming the semiconductor device, in which the electron element is formed on the surface of the substrate.例文帳に追加

基板の表面上に電子素子が設けられた半導体装置を製造する工程中に、基板の裏面側に凸部を形成する凸部形成ステップと、凸部により基板を支持した状態で、基板の表面上に電子素子を形成する電子素子形成ステップとを設けた。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device which can attain improvement of a capacitance equivalent thickness and a leakage current characteristic through the formation of an amorphous high-dielectric insulating film with a high density using a precursor which can be vapor-deposited by means of an atomic layer vapor-deposition process at a temperature of 400°C or higher.例文帳に追加

400℃以上の温度で原子層蒸着法により蒸着が可能な前駆体を用いて高密度を有する非晶質の高誘電絶縁膜形成を通じてキャパシタンス等価厚及び漏洩電流特性を向上させることができる半導体素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of two-component developer for suppressing creation of a bound substance of a water molecule and a discharge product generated on the surface of a photoreceptor through an image formation process, and producing a resin coat carrier that stably maintains charging characteristics of the surface of a photoreceptor for a long period.例文帳に追加

画像形成により感光体表面に発生する放電生成物と水分子の結合物の生成を抑えて、感光体表面の帯電性を長期にわたり安定維持させる樹脂コートキャリアを作製する二成分現像剤の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a developing device which is easily made into a state in which image formation is possible when a connection port sealing member which seals a connection port for connecting a developer housing part and a developer carrier housing part is forgotten to be removed, a process cartridge and an image forming apparatus having the same.例文帳に追加

現像剤収容部と現像剤担持体収容部とを連通する連通口を封止する連通口封止部材を除去し忘れた際に、簡単に画像形成可能な状態とすることができる現像装置、並びにこれを備えたプロセスカートリッジ及び画像形成装置を提供する。 - 特許庁

When the electrophotographic photoreceptor drum is carrying out image formation, a notification indicating part 37a of a spring member butts against a restricting part and its tension force is loosened, and a notification displaying part 37a of a spring member maintains a state of indication which indicates that the displayed process cartridge has not reached the end of the service life.例文帳に追加

電子写真感光体ドラムの画像形成時には、ばね部材の報知表示部３７ａが規制部に突き当たって緊迫力が緩められ、バネ部材の報知表示部３７ａが表示されたプロセスカートリッジが寿命未到達であることを示す表示状態を維持する。 - 特許庁

To provide a method for preventing the polymerization of an alkali metal (meth)acrylate solution by which the oligomerization of a solution and the formation of a polymer in piping are prevented, and, as a result, the production process can be stabilized because the polymerizability of the solution is reduced, and the treatment can safely be carried out.例文帳に追加

溶液のオリゴマー化及び配管内のポリマーの生成がなく、その結果として溶液の重合性が小さくなることにより製造工程において安定となり、安全に取り扱うことを可能とする（メタ）アクリル酸アルカリ金属塩溶液の重合防止方法を提供する。 - 特許庁

In the process for forming the mask for exposure, correction is performed as necessary so as to allow the widths of mask patterns 153, 154 arranged at least at either one of formation planning positions among a plurality of line patterns 53 for grounding and a plurality of line patterns 54 for a power source, to be set to a size being not more than a design value.例文帳に追加

露光用マスク作成工程では、複数のグランド用ラインパターン５３及び複数の電源用ラインパターン５４のうちの少なくともいずれかの形成予定位置に配置されるマスクパターン１５３，１５４の幅を設計値以下の大きさに設定する補正を、必要に応じて実施する。 - 特許庁

The formation process of this dispersion comprises steps of preparing zinc oxide composite particles which are obtained by coating the surface of each of the particles of fine particulate zinc oxide with at least one compound selected from oxides/hydroxides of Al, Si, Zr and Sn and have a ≤0.1 μm average particle diameter, and dispersing the prepared composite zinc oxide particles in a dispersion medium.例文帳に追加

微粒子酸化亜鉛の粒子表面にＡｌ、Ｓｉ、Ｚｒ或いはＳｎの酸化物もしくは水酸化物のうちの１種或いは複数種を被覆してなる、平均粒子径が 0.1μｍ以下の複合酸化亜鉛を分散媒体中に分散するように構成する。 - 特許庁

A process means 90 for image formation is made into a unit containing a rotating member 9b and is constituted to have a transmitted gear 9e of the rotating member 9b engaged to a transmission gear 26 provided in a driving part 22 of the main body 1a when attached to an image forming apparatus main body 1a.例文帳に追加

画像形成の為のプロセス手段９０は、回転部材９ｂを含んでユニット化され、画像形成装置本体１ａに装着した時には、該本体１ａの駆動部２２に設けられた伝達ギヤ２６に、上記回転部材９ｂの被伝達ギヤ９ｅが噛み合うよう構成される。 - 特許庁

When the protective member 21 for protecting the photoreceptive drum 1 is attached and the process cartridge 11 is loaded into a device main body 19, one end of the protective member 21 engages with an automatic take-up mechanism 24 provided on the device main body 19, and it is automatically taken up, so that image formation is allowed.例文帳に追加

感光ドラム１を保護する保護部材１１を取り付け、プロセスカートリッジ１１を装置本体１９に装着したときに、保護部材１１の一端が装置本体１９に設けた自動巻き取り機構２４と噛み合い、自動的に巻き取られて画像形成可能状態となる。 - 特許庁

This manufacturing method of the paste for the thick film formation is equipped with a process wherein a dispersed paste which contains a solid component and organic vehicles and which has a viscosity within the range of 1 to 50 Pa.s is filtered with a filter having an aperture of 1 to 20 μm, and the filter is made of sintered nonwoven fabric.例文帳に追加

本発明の厚膜形成用ペーストの製造方法は、固形分と有機ビヒクルとを含む、粘度が１〜５０Ｐａ・ｓの範囲にある分散ペーストを、目開きが１〜２０μｍのフィルタで濾過する工程を備え、フィルタは焼結不織布フィルタであることを特徴とする。 - 特許庁

The production method involves compositely applying the mechanical cavitation action excellent in mixing/reacting action, and reaction-promoting and coagulating/separating action caused by the formation of an electric field to a BDF (biodiesel fuel)-producing process to promote the reaction rate, to achieve low cost and to produce the high-purity BDF.例文帳に追加

混合・反応作用に優れたメカニカルキャビテーション作用と、電場の形成による反応促進及び凝集・分離作用をＢＤＦ（バイオディーゼル燃料）製造工程に複合的に適用し、反応速度を速め、低コスト化を実現するとともに、高純度のＢＤＦを製造する。 - 特許庁

To provide an electrophotographic photoreceptor which excels in resistance to external light, hardly generates a ghost even after long-term repeated use, and allows high-quality image formation over a long period of time, and a process cartridge, an image forming apparatus and an image forming method using the same.例文帳に追加

外部光に対する耐性に優れるとともに長期間繰り返し使用されてもゴーストが発生しにくく、長期に亘って高品質の画像形成を可能とする電子写真感光体、並びに、それを用いたプロセスカートリッジ、画像形成装置及び画像形成方法を提供すること。 - 特許庁

Multilayer film patterns comprising the laminate of a scan line, a gate insulating layer, and a semiconductor layer is formed, and spaces between multilayer film patterns are filled with a photosensitive inorganic insulating layer to insulate side faces of the scan line, whereby simultaneous formation of the scan line and the semiconductor layer is made possible to achieve the 3-mask process.例文帳に追加

走査線とゲート絶縁層と半導体層との積層よりなる多層膜パターンを形成し、多層膜パターン間を感光性無機絶縁層で埋めて走査線の側面を絶縁化することで、走査線と半導体層の同時形成を行うことができ、３枚マスク・プロセスを実現する。 - 特許庁

In the first resist buried pedestal formation process, a first resist plating die 10 is removed (Fig.5C), and a first resist buried pedestal 14 is formed (Fig.5D) by using new resist without absorbing moisture and the method of removing bubbles in the resist body set to conditions differing from conventional ones.例文帳に追加

第１レジスト埋込台座形成工程では、第１レジストめっき型１０を除去し（図５Ｃ）、水分を吸湿していない新規レジストおよび従来と異なる条件に設定された本発明のレジスト体の気泡除去方法を用いて第１レジスト埋込台座１４を形成する（図５Ｄ）。 - 特許庁

To reduce the amount of shrinkage at the process of the hardening shrinkage by controlling the cellular form of foam at foaming by a simple structure allowing the foaming on the high temperature side of an under roof or on the back side of a wall giving a certain degree of resistance in the formation of an insulation layer at site.例文帳に追加

現場発泡により断熱層を形成するにあたり、天井裏や壁裏の高温側における発泡を、ある程度の抵抗を与えながら許すようにして、簡単な構成で発泡時の気泡形状を制御し、硬化収縮過程での収縮量を少なくする。 - 特許庁

To provide a packaging substrate structure applicable to fine pitch formation of the packaging substrate structure and quality improvement of an under filling process, capable of solving a connection failure caused by nonuniform solder bumps, and of improving reliability of a product, and manufacturable at economical cost; and a method for manufacturing the same.例文帳に追加

実装基板構造物のファインピッチ化とアンダーフィリング・プロセスの品質向上に適用可能とし、かつ、不均一なはんだバンプにより発生する接続不良を解決し、製品の信頼性を向上させ、経済的なコストで製造可能な実装基板構造物及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a multilayered coating film forming method by which the formation of a mixed layer of an intermediate film with a base coating film is prevented and a coating film free from yellowing and having excellent appearance is formed in a 3-wet coating system aiming the reduction of coating process, cost saving and the decrease of environmental load.例文帳に追加

塗装工程短縮、コスト削減及び環境負荷低減を目指す３ウエット塗装システムにおいて、中塗り塗膜とベース塗膜との間の混層を防止し、黄変することなく、優れた外観を有する塗膜を形成することができる多層塗膜形成方法を提供する。 - 特許庁

In the patterning process of the gate, a polycrystalline silicon film 16a which constitutes the floating gate 6 is left in the element formation area 12, and besides in condition that the element isolation film 14 is exposed, the etching is stopped once, and a groove is made in the surface of the element isolating and insulating film 14.例文帳に追加

ゲート部のパターニング工程では、浮遊ゲート６を構成する多結晶シリコン膜１６ａが素子形成領域１２に残され、且つ素子分離絶縁膜１４が露出した状態で一旦エッチングを止めて、素子分離絶縁膜１４の表面に溝２３を加工する。 - 特許庁

In this forming method of an Al wiring, a TiN film 4 which is nitrified by including N2 gas into process gas during the formation of the Ti film 2 on the semiconductor substrate 1 is formed on the Ti film 2, and thereafter the Al wiring film 3 is formed and made to reflow through the use of high- temperature sputtering.例文帳に追加

また、半導体基板１上へのＴｉ膜２の形成時にプロセスガスの中にＮ_2 ガスを混入して窒化させたＴｉＮ膜４をＴｉ膜２上に成膜させ、その後、Ａｌ配線膜３を高温スパッタリングを用いて成膜・リフローさせて成膜するＡｌ配線の形成方法である。 - 特許庁

To provide a green photosensitive coloring composition for a color filter having high luminance, enabling suppression of brightness reduction in color filter formation process, being excellent in heat resistance and allowing a good pattern shape of a filter segment; and a color filter using this, which has high luminance and high definition.例文帳に追加

高輝度であって、カラーフィルタの形成工程においても明度の低下を抑制することができ、耐熱性に優れ、フィルタセグメントのパターン形状についても良好なカラーフィルタ用緑色感光性着色組成物、及びこれを用いた高輝度及び高精細のカラーフィルタを提供すること。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin laminate having good resolution and also having very good dry peelability in a dry peeling process by a means such as a peeling tape without using a peeling liquid when a resist material used in copper planting or bump formation on a substrate such as a wafer is peeled.例文帳に追加

ウエハ上などの基材上に銅めっきやバンプ形成に用いられるレジスト材料を剥離する際に、剥離用液体を用いないで、剥離テープなどの方法によるドライ剥離法において、極めてドライ剥離性が良好であり、かつ解像度が良い感光性樹脂積層体を提供する。 - 特許庁

To provide a structure for lump electrode and a lump electrode forming method by which the manufacturing cost of a lump electrode can be reduced by reducing the number of steps in the manufacturing process of the lump electrode, by eliminating the duplex formation of an insulating film and, at the same time, not using an expensive solder resist-applied tape.例文帳に追加

絶縁膜の二重形成をなくすと共に、高価格のソルダレジスト塗布加工済みテープを使用しないことにより、突起電極の製造工程における工程数を削減し、製造コスト低減を図ることができる突起電極構造および突起電極形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a composition for forming an acid transfer resin film, the composition giving an acid transfer resin film excellent in selectivity of acid diffusion; and to provide an acid transfer resin film formed by using the composition, and a pattern forming method allowing pattern formation by a conventional photolithographic process using the acid transfer resin film.例文帳に追加

酸の拡散の選択性に優れた酸転写樹脂膜を得ることができる酸転写樹脂膜形成用組成物、これを用いてなる酸転写樹脂膜、及びこの酸転写樹脂膜を用いて既存のフォトリソプロセスによりパターン形成できるパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of simply manufacturing an easy-to-unseal packaging sack which enables easy formation of a pouring hole having excellent pouring properties shown by opening with fingers and which is prevented from being broken in a packaging process or in a stage of distribution and also is excellent in sanitation.例文帳に追加

手指で開封することにより良好な注出性を有する注出口を容易に形成することができ、包装工程や流通段階での破袋を防止するとともに、衛生性にも優れた易開封性包装袋を簡単に製造する方法を提供する。 - 特許庁

To provide: a multilayer body facilitating a formation of a solar cell module, capable of eliminating a crosslinking process, and also suitably used as a solar cell sealing material excellent in transparency, moistureproof properties, sealability, handleability or the like; and a solar cell module produced using the multilayer body.例文帳に追加

太陽電池モジュールの形成が容易で、架橋工程が省略可能でかつ透明性、防湿性、封止性およびハンドリング性等に優れた太陽電池封止材として好適に用いられる太陽電池用多層体及びそれを用いて作製された太陽電池モジュールを得る。 - 特許庁

To provide an electrophotographic printed wiring board solution which is capable of forming a photoconductive layer keeping it high in productivity, uniform in thickness, and free from stripes or mottles applying a roll application method to the formation of the photoconductive layer in a process where an electrophotography printed wiring board is manufactured.例文帳に追加

電子写真プリント配線板の作製に於いて、ロール塗布法を光導電層の形成に適用し、高生産性で、筋や斑のない膜厚均一な光導電層を形成することが可能な電子写真プリント配線板用塗液を提供することを目的とする。 - 特許庁

The reaction of the non-silicone substance with the silicone substance in the presence of the crosslinker may be initiated with a process of mixing the composition, or of injection molding the composition (formation of the first half shell of and the second half shell of the golf ball), or of compression molding their shells above the central part of the golf ball.例文帳に追加

架橋剤の存在下での非シリコーン物質とシリコーン物質の反応は、組成物の混合、組成物の射出成形（ゴルフボールの第一ハーフシェルと第二ハーフシェルを形成）、またはゴルフボールの中心部分の上でのそれらシェルの圧縮成形の工程によって開始されてもよい。 - 特許庁

In a process of forming the well region, a part of a part (silicon oxide film 51) which is formed in the formation scheduled region A2 of the MOS transistor 4 of the silicon oxide film 31 is removed by wet etching and after that, the first ion implantation is performed by using the silicon oxide film 31 as a mask.例文帳に追加

ウェル領域を形成する工程では、シリコン酸化膜３１のうちＭＯＳトランジスタ４の形成予定領域Ａ２に形成されている部分（シリコン酸化膜５１）の一部をウェットエッチングにより除去してから、シリコン酸化膜３１をマスクとして第１のイオン注入を行う。 - 特許庁

This radiation-sensitive resin composition is used for forming a resist film for use in a resist pattern formation method including a liquid dipping exposure process using bicyclohexyl as a liquid for liquid dipping exposure, and the static contact angle of a formed resist film to the hydroxyl is 30-90°.例文帳に追加

液浸露光用液体としてビシクロヘキシルを用いた液浸露光工程を含むレジストパターン形成方法で使用されるレジスト膜の形成に用いられ、形成されたレジスト膜の、ビシクロヘキシルに対する静的接触角が３０〜９０°である感放射線性樹脂組成物。 - 特許庁

To obtain the subject food which is a calcium-enriched food based on a technique capable of stably adding calcium to food, has good palate feeling, and is stable without causing precipitation of calcium salt, and precipitate formation or flocculation through reaction between e.g. calcium and protein during its production process or the like.例文帳に追加

カルシウムを食品に安定的に添加しうる技術に基づき、カルシウムを強化した食品において製造工程中等のカルシウム塩の沈殿や、カルシウムと蛋白質等との反応による沈殿生成や凝集を起こさない安定で食感の良好なカルシウム強化食品を提供する。 - 特許庁

To provide a conducting sheet laminate which exhibits a sufficient anchor effect by mitigating or eliminating an adverse effect of a significant residual stress attributed to the formation of a brittle alloy layer in a joint interface resulting from a high temperature process and a high rolling ratio joint and a part using the conducting sheet laminate.例文帳に追加

高温プロセスに伴う接合界面での脆弱合金層の形成や、高圧延率接合に伴う大きな残留応力などの悪影響を軽減もしくは排除し、充分なアンカー効果を発現可能な導電板積層体および導電板積層体を用いた部品の提供。 - 特許庁

To provide an acid transfer resin film-forming composition which obtains an acid transfer resin film superior in the selectivity of acid diffusion and in removability, and to provide an acid transfer resin film formed that uses the composition, and a pattern forming method which enables pattern formation by an existing photolithography process that uses the acid transfer resin film.例文帳に追加

酸の拡散の選択性及び除去性に優れた酸転写樹脂膜が得られる酸転写樹脂膜形成用組成物、これを用いてなる酸転写樹脂膜、及びこの酸転写樹脂膜を用いて既存のフォトリソプロセスによりパターン形成できるパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide an element organization support system which can form the organization of performance elements in cooperation with a job request by reflecting the intention of the job request side while solving a problem that the intention of the job request side is not easily reflected in the formation of a work process in a conventional case.例文帳に追加

従来のワークプロセスの形成では、業務依頼側の意図が反映されにくいという問題点があったが、本発明では、業務依頼側の意図を反映しつつスムーズに連携可能な実行要素の編成を形成できる要素編成支援システムを提供する。 - 特許庁

To solve the problem in which crack, or the like, is generated in the surface of an alumite layer by heat, or the like, generated during a wiring electrode formation process when a wiring electrode is formed after the alumite layer is formed on the upper surface of an aluminum substrate, and affects adversely on the insulation characteristics of a circuit board.例文帳に追加

アルミニウム基板の上面にアルマイト層を形成した後、配線電極形成を行った場合、配線電極形成のプロセス時に発生する熱等によりアルマイト層の表面にクラック等が発生し、回路基板の絶縁性特性に対して悪影響が生じる。 - 特許庁

This plating sheet 1 has an elastic layer 20 of an open-cell foamed sponge as a center, a thin film plating layer 10 formed by a sputtering method on one skin layer 20a created during the formation process of the elastic layer 20 and a film layer 30 of PET film that is bonded to the other skin layer 20a.例文帳に追加

メッキシート１は、連続発泡スポンジである弾性層２０を中心に、弾性層２０の形成過程で生成される一方のスキン層２０ａにスパッタリング法によって薄膜のメッキ層１０を形成し、他方のスキン層２０ａにＰＥＴフィルムであるフィルム層３０を接着した。 - 特許庁

To provide a copper damassin structure wherein the mismatch of dynamical characteristics between inorganic insulating layers used for a copper diffusion prevention insulating layer, a wiring layer, and a via layer is eliminated, and troubles such as exfoliation and cracking ocurring in a CMP process in damascene formation and upon a heat cycle are solved.例文帳に追加

銅拡散防止用絶縁層と配線層、ビア層に用いられる無機絶縁層間の力学特性のミスマッチを解消し、ダマシン形成におけるＣＭＰ工程やヒートサイクル時に生じる剥離、亀裂発生などの問題点を解決する銅ダマシン構造体を提供する。 - 特許庁