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X-RADIATIONの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 878



例文

The X-ray tube in the form of an integrated metal envelope is provided with a protective device against radiation formed by a thickness of the envelope itself, a cooling device in the form of an air path for cooling the envelope, and an electric insulating device in the form of a ceramic connector.例文帳に追加

一体形金属製外囲体の形態のX線管は、外囲体それ自体の厚さによって形成された、放射線に対する防護装置と、外囲体を冷却する空気経路の形態の冷却装置と、セラミックコネクタの形態の電気絶縁装置とを備える。 - 特許庁

The sample placing part 15 of the sample stage 3 comes into contact with the X-ray tube 1 in a case that a perspective image of large magnifying power is obtained but the sample placing part 15 only comes into contact with the protective member 11 and does not come into direct contact with the sample radiation window 13.例文帳に追加

大きな拡大率の透視像を得る場合に試料ステージ3の試料載置部15がX線管1に接触するが、試料載置部15は保護部材11に接触するのみであって、試料放射窓13には直接的には接触しない。 - 特許庁

A colored radiation-sensitive composition contains (A) dye multimer, (B) polymerizable compound, (C) photoinitiator, and (D) organic solvent, in which a content of (X) inorganic metal salt without dye skeleton to a dye solid portion is equal to or less than 0.1 mass%.例文帳に追加

(A)色素多量体、(B)重合性化合物、(C)光重合開始剤、及び(D)有機溶剤を含有し、(X)色素骨格を含まない無機金属塩の染料固形分に対する含有量が0.1質量%以下である着色感放射線性組成物。 - 特許庁

To provide a method and an equipment for X-ray irradiation control, in which a radiation dose rate (input dose rate) applied to an object, which should be inspected regardless of a control curve and irradiation conditions, is restricted to the maximum value, that can be chosen.例文帳に追加

制御曲線及び照射条件とは無関係に検査されるべき対象に当てられる放射線量率(入力線量率)が選択可能な最大の値に制限されうるX線照射制御のための方法及び装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

例文

In deriving the optical flow expressing the movement of the same point for a next frame image, the respective search lines L passing enlarged focal points are set, and the optical flow is calculated using an angle θof radiation made between each set search line L and the X-axis.例文帳に追加

次フレーム画像について、同一点の動きを表わすオプティカルフローを導出する際に、拡大焦点を通る各探索ラインLが設定され、設定された各探索ラインLとX軸との成す放射角θを用いてオプティカルフローが計算される。 - 特許庁


例文

The window foil 4 is fixed on a window frame 5 and a synchrotron radiant light source 1 is provided, so that it can be scanned in the direction vertical with respect to the radiation track surface of the light source 1 by an X-ray window scanning driving unit 11 connected with the window frame 5 via a transfer means 12.例文帳に追加

X線窓箔4は窓枠5で固定され、窓枠5に伝達手段12を介して接続したX線窓走査駆動装置11により、シンクロトロン放射光源1の放射軌道面に対して垂直方向に走査可能になっている。 - 特許庁

To provide a photosensitive material having high sensitivity to high energy rays such as a far ultraviolet radiation, an electron beam, an X-ray, etc., capable of developing in an alkali aqueous solution, excellent in heat resistance, and useful for a chemical amplification positive type resist material which is suitable for micromachining technology, etc.例文帳に追加

遠紫外線、電子線、X線などの高エネルギー線に対して高い感度を有し、アルカリ水溶液で現像可能であり、耐熱性に優れかつ微細加工技術に適した化学増幅ポジ型レジスト材料等に有用な感光性材料を提供する。 - 特許庁

In the X-ray detector for generating signals by capturing and amplifying electrons that are discharged, when radiation is absorbed by gas, a collecting electrode for capturing electrons is divided into at least two, the radiation enters along the collecting electrode, and the collecting electrode at an incidence side is shorter than that at the rear side in the travelling direction of the radiation to the collecting electrode on the incidence side.例文帳に追加

放射線が気体に吸収された際に放出される電子を補足及び増幅して信号を生成するX線検出器において、前記電子を補足する収集電極が少なくとも2つ以上に分割され、前記放射線が前記収集電極に沿って入射し、入射側の前記収集電極が、当該入射側の前記収集電極に対して前記放射線の進行方向の後ろ側の前記収集電極よりも短いことを特徴とするX線検出器を提供する。 - 特許庁

After the measurement of time by a timer T started for the application of bias voltage or radiation of radiation waves from an X-ray tube 1 via common electrodes, a control section 20 periodically checks the quantities of defective pixels shown as a physical quantity after a take-out member takes out electric signals, distinguishes the physical quantity changes, and decides that the physical quantities have become stabilized when the changes reduce to zero.例文帳に追加

共通電極を介してバイアス電圧を印加またはX線管1から放射線を放射し、タイマTにて時間計測を開始した後、取り出し部による取り出しに伴う物理量として欠損画素の数量を制御部20が周期的にチェックして数量の変化を判別し、この変化が無くなったときに予め設定した時間が経過した時点で数量の変化が安定化したことを判定する。 - 特許庁

例文

Radiation gets incident on the X-ray detector 1 of a semiconductor, a pulse signal thereof is amplified by a preamplifier 2, and a voltage waveform signal of a stepped shape is differentiated by the differentiating circuit 4 of a shaping amplifier to be amplified to a prescribed magnification by an amplifier 5 after a DC component is cut.例文帳に追加

放射線が半導体のX線検出器1に入射し、そのパルス信号がプリアンプ2によって増幅され、階段状の電圧波形信号が整形アンプの微分回路4で微分され、DC成分がカットされた後、所定の倍率に増幅器5で増幅される。 - 特許庁

例文

In a radiation image conversion panel having a stimulable phosphor layer on a support, at least one layer of the stimulable phosphor layer is formed with a gas phase method and a protection face of SiOx (x=1.3 to 1.7) is provided on the surface of the stimulable phosphor layer.例文帳に追加

支持体上に輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルにおいて、少なくとも1層の輝尽性蛍光体層が気相法により形成され、該輝尽性蛍光体層の表面にSiOx(x=1.3〜1.7)の保護相を設けることを特徴とする放射線画像変換パネル。 - 特許庁

The adhesive sheet 3 comprises a resin material and particles, the particles are made of a material having a larger X-ray absorption coefficient than the power transistor 1 and the heat radiation member 2 disposed on both sides of the adhesive sheet 3, and an organic molecule is chemically bonded to the surfaces of the particles.例文帳に追加

接着シート3は、樹脂材料と粒子とを有し、粒子は、接着シート3の両側に配置されるパワートランジスタ1および放熱部材2よりもX線吸収係数の大きな材料からなり、粒子の表面には有機分子が化学結合されている。 - 特許庁

The positive resist composition contains (A) a resin having a fluorine substituted structure in a principal chain and/or a side chain of a polymer skeleton, (B) a specified structure compound which generates an acid under the action of an actinic ray or a radiation, and (X) a non-polymer type dissolution inhibitor.例文帳に追加

(A)ポリマー骨格の主鎖及び/又は側鎖にフッ素原子が置換した構造を有する樹脂、(B)特定の構造をもつ活性光線又は放射線の作用により酸を発生する化合物、及び、(X)非ポリマー型溶解抑止剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 - 特許庁

To provide a rotary anode type X-ray tube device and a method for manufacturing the same, which enable the improvement of the radiation property of heat generated by an anode target, and the reduction in a rotation-driving power for rotating a vacuum envelope.例文帳に追加

陽極ターゲットが発生する熱の放出特性を向上させることができ、真空外囲器を回転させるための回転駆動パワーを低減させることが可能な回転陽極型X線管装置及び回転陽極型X線管装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

Further, a laser radiation part including a laser head 40 and a condenser lens 24 is driven in directions of X, Y, Z and θ by the control of a control part 50, the wafer 13 is irradiated with a laser beam P over the expanding tape 15, and the inside or front surface of the wafer 13 is modified.例文帳に追加

さらに、レーザーヘッド40及びコンデンスレンズ24を含むレーザー照射部を、制御部50の制御によってXYZθ方向へ駆動させ、ウェハ13に対してエキスパンドテープ15越しにレーザー光Pを照射して、該ウェハ13の内部又は表面の改質を行う。 - 特許庁

To obtain an X-ray measurement apparatus which attain improvement in the spatial intensity distribution of the flux, alignment of an energy distribution and radiation doses of flux of the intensities in peripheral sections, with those in the center section and the decrease in measurement errors caused by measurement positions, while restraining occurrence of beam hardening.例文帳に追加

ビームハードニングの発生を抑制しつつ、フラックスの空間的な強度分布を改善し、中央部と周辺強度のフラックスのエネルギー分布と線量を揃え、測定位置に起因する測定誤差を低減することを可能とするX線測定装置を実現する。 - 特許庁

A rechargeable battery 54 for operation for making the portable radiation imaging apparatus 10 operate has the same shape and the same performance as a rechargeable battery 58 for operation for making the portable X-ray source 70 operate, wherein the rechargeable battery 54 for operation and the rechargeable battery 58 for operation have compatibility.例文帳に追加

可搬型放射線撮影装置10を稼働させる稼働用充電池54は、可搬型X線源70を稼働させる稼働用充電池58に対して同一形状及び同一特性とされており、稼働用充電池54と稼働用充電池58とは互換性を有している。 - 特許庁

This target 1 for an X-ray tube has, for example, an electron beam irradiation part 2; a supporting part 4 arranged so as to support the electron beam irradiation part 2 and made of a reinforcing type molybdenum alloy containing reinforcement; and a heat radiation part 5 joined to the supporting part 4 and made of pure molybdenum.例文帳に追加

X線管用ターゲット1は、例えば電子線照射部2と、この電子線照射部2を支持するように配置され、かつ強化材を含有する強化型モリブデン合金からなる支持部4と、支持部4に接合され、純モリブデンからなる熱放出部5とを具備している。 - 特許庁

To provide a radiation image conversion panel which is free from any cracks in an evaporation layer due to plasma treatment as the surface treatment of a stimulable phosphor layer after evaporation, has good X-ray resistance and makes it possible to obtain highly sensitive properties easily in a short time, and to provide a method for manufacturing the panel.例文帳に追加

蒸着後の輝尽性蛍光体層の表面処理として、プラズマ処理による蒸着層のクラックが無く、X線耐久性も良好で、簡便かつ短時間で高感度特性が得られる放射線画像変換パネル及び放射線画像変換パネルの製造方法の提供。 - 特許庁

The cassette 24 constitutes a mobile station, and transmits the radiation image information stored in the cassette 24 to a server 121 via a transmission/receiving terminal 28, an in-hospital mobile communication network 104 and an in-hospital LAN 100 while the cassette 24 (the mobile X-ray capturing apparatus 12) is moving.例文帳に追加

カセッテ24は、移動局を構成し、カセッテ24(移動型X線撮影装置12)の移動中に、カセッテ24に記憶されている放射線画像情報をカセッテ24、送受信端末28、院内移動通信網104及び院内LAN100を介してサーバ121に送信する。 - 特許庁

The positive photosensitive composition contains a compound which generates a sulfonic acid of formula (X) when irradiated with active light or radiation and a resin having a mono- or polycyclic alicyclic hydrocarbon structure and having solubility in an alkali developing solution increased when decomposed by the action of the acid.例文帳に追加

活性光線又は放射線の照射により式(X)のスルホン酸を発生する化合物と、単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂とを含有するポジ型感光性組成物。 - 特許庁

The radiation detector module 9 is provided with a scintillation layer 10 made of a scintillation material for converting the X-ray 8 into a light, and a photodetection unit 13 coupled with the scintillation layer 10 to detect the light, and the photodetection unit 13 includes a plurality of silicon photomultipliers 15.例文帳に追加

放射線検出器モジュール(9)は、X線(8)を光に変換するためにシンチレーション材料から作られたシンチレーション層(10)と、光を検出するためにシンチレーション層(10)に結合された光検出ユニット(13)とを備え、光検出ユニット(13)が複数のシリコンフォトマルチプライヤ(15)を含む。 - 特許庁

To provide an oxide glass emitting long afterglow and stimulable luminescence, capable of being excited with radiation such as α-rays, X-rays or UV light to store energy, continuously emitting the light for a long period also after the excitation is stopped, and further emitting stimulable luminescence by the irradiation of visible light and IR light.例文帳に追加

γ線、X線、紫外線等の放射線励起によりエネルギーを蓄え、励起をやめた後も長時間発光が続き、さらに、可視光線や赤外線照射により輝尽発光を呈する、長残光および輝尽発光を呈する酸化物ガラスを提供すること。 - 特許庁

A spectral section 22 arranges the light beams BR, BG and BB reflected on the original P in a radiation order at the prescribed interval D being the product of the prescribed time T and the prescribed speed V from a negative direction side in the x-axis direction to a positive direction side and injects them in parallel to the equal-magnification lens 24.例文帳に追加

分光部22は、原稿Pで反射した光BR,BG,BBを、x軸方向の負方向側から正方向側へと所定時間Tと所定速度Vとの積である所定間隔Dで放射順に並べて等倍レンズ24に対して平行に入射させる。 - 特許庁

To provide an actinic ray- or radiation-sensitive resin composition which simultaneously satisfies sensitivity, resolution, pattern shape, line edge roughness and dry etching resistance, in lithography especially using an electron beam, an X-ray or an EUV ray, and to provide a resist-film and pattern formation method utilizing the same.例文帳に追加

特に電子線、X線又はEUV光を用いるリソグラフィーにおいて、感度、解像力、パターン形状、及びラインエッジラフネス、ドライエッチング耐性を同時に満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

On the other hand, when a wet foreign matter 411b exists on the surface of the optical low-pass filter 401, the foreign matter 411b is conveyed in the advance direction (an arrow X in the figure) of the surface acoustic wave 410 by the radiation pressure of the surface acoustic wave 410, and caught by a water absorption member 409.例文帳に追加

一方、光学ローパスフィルタ401の表面に水分の異物411bが存在する場合、表面弾性波410の放射圧によって異物411bは表面弾性波410の進行方向(図中矢印X)に搬送され、吸水部材409で捕集される。 - 特許庁

Since the X-ray L2 advancing straight from the collimator holes 16a is made incident and the scattered beams are hardly made incident on the radiation detector 20, the information of the scattered beams is not included in the transmission image information D2 and thus, the three-dimensional image information D3 not including the information on the scattered beams is obtained.例文帳に追加

放射線検出器20にはコリメータホール16aから直進してくるX線L2が入射し、散乱線は殆ど入射しないので、透過画像情報D2には散乱線の情報が含まれず、よって散乱線の情報を含まない3次元画像情報D3が求められる。 - 特許庁

As for particularly a dihydrochloride hydrate of the compound, a pharmaceutical comprising the crystal exhibiting main peaks at spacings of 17, 7.1, 4.9, 4.3, 3.9 and 3.5 Å in a powder X-ray diffraction pattern obtained by exposure to Kα radiation of copper as the active ingredient is preferable.例文帳に追加

特に、該化合物の二塩酸塩水和物では、銅のKα線の照射で得られる粉末X線回折図において、面間隔が17、7.1、4.9、4.3、3.9、および、3.5オングストロームに主要なピークを示す結晶を有効成分として含有する医薬が好ましい。 - 特許庁

To provide a beam position monitor capable of measuring highly accurately the center position of a high energy beam such as a large-output synchrotron radiation, excimer laser light and an X-ray, and operating stably for a long period, and manufacturable at lower cost than a conventional one, and a beam position measuring method.例文帳に追加

大出力の放射光、エキシマレーザ光及びX線等の高エネルギービームの中心位置を高精度で測定することができ、長期間安定して動作すると共に、従来品よりも低コストで製造することができるビーム位置モニタ及びビーム位置測定方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method and a device for relaxing the difference in heating occurring between an illumination part and a nonillumination part, accordingly, a stress difference, when forming the image of the pattern of a mask on a resist layer by electrons, ions or radiation such as an X ray or an ultraviolet ray, using a lithography projector.例文帳に追加

リソグラフィ投影装置で、マスクのパターンを電子、イオン、X線または紫外線のような放射線によってレジスト層上に結像する際、照射部と非照射部の間に生ずる加熱差、従って応力差を緩和するための方法および装置を提供すること。 - 特許庁

This relates to a vacuum tube (1) for power process or conversion, for instance, an X-ray tube or a traveling wave tube having at least one surface that is cooled during operation by heat radiation together with a getter that is useful for avoiding undesirable pressure increase.例文帳に追加

本発明は、電力の処理又は転換のための真空管(1)に関し、例えば、望ましくない圧力増加を回避するために役立つゲッターと同様に、操作中に熱の放射によって冷却される、少なくとも一つの表面を含むX線管又は移動する波の管に関する。 - 特許庁

The apparatus includes a source 112 producing a beam of radiation, a surface 120 to support a subset of the plurality of regions of interest A, B and C, and an X-ray detector 130 located to simultaneously receive portions of the beam that have passed through the subset of the plurality of regions of interest.例文帳に追加

本装置は、放射線ビームを生成する源(112)と、複数の関心領域(A、B、C)のサブセットをサポートする面(120)と、前記複数の関心領域のサブセットを通過したビームの部分を同時に受け取るように配置されたX線検出器(130)とを含んでいる。 - 特許庁

The method and device for improving angiography images are used with a radiation imaging device (100) which is provided with an X-ray source (103), a device (102) for recording images and a test object (200) positioned in such a way that an interested area (104) of an object of imaging is presented.例文帳に追加

X線源(103)と、画像を記録するためのデバイス(102)と、撮像対象の関心領域(104)を提示するように位置決めした被検体(200)とを備える放射線撮像デバイス(100)と共に使用される、アンギオグラフィ画像を改善させるための方法及び装置である。 - 特許庁

The composition contains one or more kinds of resist compounds expressed by general formula (1) or (2) and one or more kinds of acid generating agents which directly or indirectly generate an acid by irradiation with any radiation selected from visible rays, UV rays, excimer laser light, electron beams, X rays and ion beams.例文帳に追加

下記一般式(I)又は(II)で表されるレジスト化合物を一種以上と、可視光線、紫外線、エキシマレーザー、電子線、X線およびイオンビームから選ばれるいずれかの放射線の照射により直接的又は間接的に酸を発生する酸発生剤を一種以上含む。 - 特許庁

A drive processing circuit board 28 is arranged in the downward inclination part 22b of a support member 22 within a casing 21, whereby the direct radiation of the X-ray incident from above to an electronic part on the drive processing circuit board 28 can be eliminated to prevent the deterioration or malfunction of the electronic part.例文帳に追加

筐体21内の支持部材22の下方を向く傾斜部22bに駆動処理回路基板28を配置することにより、上方から入射したX線が駆動処理回路基板28上の電子部品を直接照射することがなくなり、電子部品の劣化や誤動作が防止される。 - 特許庁

To remove an influence of a change with the lapse of time of a focal position in a radiation such as an X-ray emitted to a specimen, by simple constitution, and to enhance fineness of an internal structure data calculated by reconstitution calculation.例文帳に追加

簡単な構成で被検査体に照射されるX線等の放射線の焦点位置の経時変化の影響を取り除き、再構成計算によって算出される内部構造データの精細度の向上を実現するコンピュータ断層撮像方法及び装置を提案する。 - 特許庁

To provide a high-voltage power limiting circuit which is capable of canceling high voltage stabilizing action with reliability, when a high-voltage load current exceeds a specified value, thus enabling reduction for the maximum power of equipment, improvement in the reliability of components, and prevention of X-ray radiation from an image picture tube.例文帳に追加

高圧負荷電流が所定値を超えた時、確実に高圧安定化作用を解除する事が出来るので、機器の最大電力の削減、構成部品の信頼性の向上、受像管からのX線放射の防止等ができる高圧電力制限回路を提供する。 - 特許庁

The porous film is formed by using a compound (X) having a functional group a portion of which is eliminated to generate a volatile component by heating, irradiation with light, irradiation with a radiation or a combination thereof and the hollow hole showing the maximum peak in a hollow hole distribution curve has ≤5 nm diameter.例文帳に追加

多孔質膜は、加熱、光照射、放射線照射またはそれらの組み合わせにより、その一部が脱離して揮発性成分を生じる官能基を有する化合物(X)を用いて形成され、空孔分布曲線における最大ピークを示す空孔直径が5nm以下である。 - 特許庁

An X-ray L2 transmitted through the subjected 9 is detected by a radiation detecting element and a focal surface image forming means 31 obtains focal surface image data D2 on each of a plurality of focal surfaces existing between a radiating detector 20 and the holes 17.例文帳に追加

被写体9を透過したX線L2を放射線検出素子21で検出するとともに、焦点面画像形成手段31が、放射線検出器20とコリメータホール17間に存在する複数の焦点面の夫々における焦点面画像データD2を求める。 - 特許庁

To provide a method for generating X-rays or EUV radiation via laser plasma emission, in which at least one target (17) is generated in a chamber, and at least one pulsed laser beam (3) is focused on the target (17) in the chamber.例文帳に追加

レーザプラズマ放射によりX線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法であって、少なくとも1つのターゲット(17)をチャンバ内で発生させるとともに、少なくとも1つのパルスレーザビーム(3)をチャンバ内でターゲット(17)に集光させる方法を提供する。 - 特許庁

Since the lid body 17 surely closes the opening 11a of the housing 11 because of having the radiation fin 18 on the upper surface and having the transfer plate 19a and the sink fin 19b in addition to it, the sealing reliability is improved and leakage of the insulating oil and the X-ray can be prevented.例文帳に追加

また、蓋体17が、上面に放熱フィン18を有し、これと別に底面に熱伝板19a および吸熱フィン19b を有しているため確実に筐体11の開口11a を閉塞するため、密閉の信頼性を向上し、絶縁油の漏れや、X線の漏洩を防止することができる。 - 特許庁

The radiation detector 31 has a scintillator 33 for converting incident X rays into light, a photodiode 34 for converting the light obtained by the scintillator 33 into an electric signal, a silicon substrate 34 connected to the photodiode 34 and comprising wires L1 with pitches of 50 microns or less, and a reinforcement substrate 35 for reinforcing the silicon substrate.例文帳に追加

放射線検出器(31)は、入射されるX線を光に変換するシンチレータ(33)と、シンチレータ(33)で変換された光を電気信号に変換するフォトダイオード(34)と、フォトダイオード(34)に接続され50ミクロンピッチ以下の配線(L1)を有するシリコン基板(34)と、シリコン基板を補強する補強基板(35)と、を有する。 - 特許庁

The resin composition has a feature that the cured products thereof have the scattering profile having at least one singular point structure within a range of 0.02-1 [nm^-1] scattering vector q size, when obtaining the scattering profile by small angle X-ray scattering using synchrotron radiation.例文帳に追加

そして、この樹脂組成物は、その硬化物について、シンクロトロン放射光を用いた小角X線散乱による散乱プロファイルを取得したとき、散乱プロファイルが、散乱ベクトルqの大きさが0.02〜1[nm^−1]の範囲内に少なくとも1つの特異点構造を有しているという特徴を有するものである。 - 特許庁

To provide an active light-sensitive or radiation-sensitive resin composition that simultaneously satisfies sensitivity, resolution, a pattern form, line edge roughness, resist temporal stability, and dry etching resistance, especially in lithography using electron beam, X-ray, or EUV light as a source of exposure light; and also to provide a pattern forming method using the same.例文帳に追加

特に露光光源として電子線、X線またはEUV光を用いるリソグラフィーにおいて、感度、解像性、パターン形状、及びラインエッジラフネズ、レジスト経時安定性、ドライエッチング耐性を同時に満足する感活性光線性または感放射線性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供。 - 特許庁

To provide an active ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition having excellent sensitivity while maintaining storage stability in a level suitable for practical use, and in particular, to provide a positive resist composition for electron beams, X-rays or EUV light, and a resist film formed of the composition and a pattern forming method using the composition.例文帳に追加

保存安定性について実用レベルを損なうことなく、優れた感度を有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、特には電子線、X線又はEUV光用ポジ型レジスト組成物、該組成物を用いてなるレジスト膜及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition for exposure by x-ray, electron beam or EUV light that is excellent in pattern collapse margin and bridge margin with no residue of a resist composition on a substrate and excellent in resistance to scattered (flare) light, and a resist film and a pattern forming method using the composition.例文帳に追加

パターン倒れマージンやブリッジマージンに優れ、かつ基板上にレジスト組成物の残渣が残らず、更には散乱(フレア)光に対する耐性に優れた、X線、電子線又はEUV光露光用の感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物並びに該組成物を用いたレジスト膜及びパターン形成方法の提供。 - 特許庁

To provide an active ray sensitive or radiation sensitive resin composition for forming a pattern having excellent roughness characteristics and dry etching resistance when an ArF excimer laser, an electron beam, an X-ray, an EUV and the like are used as an exposure light source, and also to provide a pattern forming method using the composition.例文帳に追加

特にArFエキシマレーザー、電子線、X線、EUV等を露光光源とする場合に、ラフネス特性及びドライエッチング耐性に優れたパターンを形成することが可能な感活性光線性または感放射線性樹脂樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a negative resist composition which satisfies such properties as high sensitivity, high resolution, a good pattern shape and a good margin for light exposure in microfabrication particularly when KrF excimer laser, X-radiation, an electron beam or an ion beam is used.例文帳に追加

半導体素子の微細加工における性能向上技術における課題を解決することであり、特にKrFエキシマレーザー、X線、電子線又はイオンビームの使用に対して高感度、高解像性、良好なパターン形状、良好な露光量マージンの特性を同時に満足するネガ型レジスト組成物を提供する。 - 特許庁

An imaging optical system is arranged between a solid-state image pickup element 101 and a wavelength conversion body, and radiation, such as X rays, which is converted by the wavelength converter to a wavelength range to be sensed by the solid-state image pickup element is guided to the imaging optical system (lens array) 30 and converted into an electric signal by optical sensors.例文帳に追加

固体撮像素子101と波長変換体との間に結像光学系を配し、波長変換体で固体撮像素子の感度波長域に変換されたX線などの放射線を結像光学系301によって導いて放射線を複数の光センサによって電気信号に変換する。 - 特許庁

例文

To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition simultaneously satisfying sensibility, high resolution, a pattern profile, line edge roughness and dry etching resistance, particularly in lithography using an electron beam, an X-ray or EUV light as an exposure light source, as well as a resist film and a patterning method using the composition.例文帳に追加

特に露光光源として電子線、X線又はEUV光を用いるリソグラフィーにおいて、感度、高解像性、パターン形状、及びラインエッジラフネス、ドライエッチング耐性を同時に満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物並びにそれを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。 - 特許庁




  
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