「carbon efficiency」に関連した英語例文の一覧と使い方(11ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a carbon monoxide remover capable of maintaining a carbon monoxide selectively oxidizing catalyst approximately at a fixed temperature, consequently retaining a highly catalytic activity, suppressing the consumption of hydrogen to a minimum, cooling the catalyst in high heat conductivity, consequently being miniaturized, further effectively utilizing heat removed by the cooling, therefore raising the whole heat efficiency.例文帳に追加

一酸化炭素選択酸化触媒をほぼ一定温度に維持し、これにより、高い触媒活性を保持し、かつ水素の消耗を最小限に抑えることができ、 高い熱伝達率で触媒を冷却することができ、これにより小型化が可能となり、 更に冷却により除去した熱を有効活用することができ、これにより全体の熱効率を高めることができる、一酸化炭素除去器を提供する。 - 特許庁

The cooling sheet material 1 is composed such that high cooling efficiency can be obtained by a small refrigerant material amount by using a felt like sheet comprising carbon pitch based carbon fiber as a structural base material 2, impregnating and holding the refrigerant material mainly composed of sodium sulfate, and applying a cover film 3 in a form including them.例文帳に追加

炭素ピッチ系炭素繊維から成るフェルト状シートを構造基材とし硫酸ナトリウムを主成分とした冷媒材を含浸保持させた上にそれらを包含する形態でカバーフィルムを施す事により少ない冷媒材量で高い冷却効率を得る事が可能な冷却シート材が得られる。 - 特許庁

To suppress temperature rise of exhaust gas caused by the addition of solid material generating hydro-carbon and to secure the improvement of desulfurizing efficiency of molten iron with the hydro-carbon, when the desulfurizing treatment is applied to the molten iron by using a mechanical stirring type desulfurizing apparatus and adding the solid material generating the hydrocarbon from the upper part of a refining vessel so as to lay on the molten iron.例文帳に追加

機械攪拌式脱硫装置を用い、炭化水素を発生する固体物質を精錬容器の上方から溶銑に上置き添加して溶銑を脱硫処理する際に、炭化水素を発生する固体物質の添加に起因する排ガスの温度上昇を抑制すると同時に、炭化水素による溶銑の脱硫効率の向上を確保する。 - 特許庁

In an activation process for increasing an element current and an emission current by accumulating carbon or a carbon compound by impressing a voltage pulse between element electrodes of electron emitting elements for forming an electron emitting part in an organic substance atmosphere, electron emitting efficiency is uniformized by controlling the element current of the respective elements by changing activation time with every element in response to a distance from a spacer.例文帳に追加

有機物質雰囲気下において、電子放出部を形成した電子放出素子の素子電極間に電圧パルスを印加して該電子放出部に炭素或いは炭素化合物を堆積させることにより素子電流及び放出電流を増加せしめる活性化工程において、スペーサからの距離に対応して、素子毎に活性化時間を変えることによって、各素子の素子電流を制御し、電子放出効率を均一にする。 - 特許庁

To provide a processing method for carbon fiber affording sufficient surface activity that is free from problems relating to the reduction of mechanical strength of the processed carbon fiber, capable of continuously processing in good efficiency in an industrial scale in a vapor phase oxidation without requiring the use of ozone or plasma.例文帳に追加

オゾンやプラズマを使用する必要のない気相酸化法によって炭素繊維を処理する方法において、得られる炭素繊維の表面の活性化が十分であり、かつ得られる炭素繊維の機械的強度の低下の問題がなく、しかも効率の良い連続処理を工業的規模で行なうことが可能な処理方法を提供すること。 - 特許庁

To obtain a reduction method for fuel consumption amount due to a heat retaining material and device for an engine and combustion units in rated operation including an no-load operation, which reduces emission concentration of carbon dioxide, carbon monoxide and nitrogen oxides produced rated operation of the engine and combustion units no-load operation, for improving combustion efficiency.例文帳に追加

無負荷運転を含む定格運転中のエンジン及び燃焼機器の定格運転中に発生する二酸化炭素、一酸化炭素及び窒素酸化物の排出漂度を低減して燃焼効率を向上することを特徴とする、無負荷運定時を含む定格運転中のエンジン及び燃焼機器の保温処理材及び装置による燃料消費量の低減方法。 - 特許庁

In order for countries to advance the move towards sustainable low-carbon economies, international co-operation will be crucial in areas such as the development and diffusion of clean technologies, for example carbon capture and storage, renewable energy technologies, and application of green ICT for raising energy efficiency, and the development of an international market for environmental goods and services. 例文帳に追加

各国が持続可能な低炭素経済に向けて進むため、例えば、炭素回収・貯留、再生可能なエネルギー技術、エネルギー効率向上のためのグリーンICT利用といったクリーン技術の開発及び普及と、環境物品とサービスの国際的市場の発展といった分野における国際協力が極めて重要となるであろう。 - 経済産業省

The catalyst is more excellent in the efficiency of removing aromatic halogen compounds including dioxins and carbon monoxide than already existing catalysts and keeps the efficiency of removing nitrogen oxide as high as that of already existing catalyst for removing nitrogen oxide by selective catalytic reduction, so that the catalyst can effectively and simultaneously suppress air polluting substances contained in a flue gas.例文帳に追加

本発明に係る触媒は、ダイオキシンを含む芳香族ハロゲン化合物及び一酸化炭素の除去効率が既存の触媒の除去効率より優秀であり、本発明に係る触媒の窒素酸化物の除去効率も既存の選択的触媒還元法を利用した触媒と対等な除去効率を維持するので、排ガスに含まれている大気汚染物質を同時に効果的に制御することができる。 - 特許庁

These include the ICAO Assembly Resolution A37-19, which set a global goal of 2 percent annual fuel efficiency improvements through 2020 while laying a roadmap for measures to limit aviation emissions; the industry’s goal to keep the level of global net carbon emissions from international aviation the same after 2020; and the IMO’s recent efforts to address energy efficiency for ships. 例文帳に追加

航空からの排出を制限するための施策ロードマップを示しつつ、２０２０年まで毎年２％ずつ燃料効率を向上させるという国際目標を設定したＩＣＡＯ総会決議Ａ３７－１９、２０２０年以降の国際航空レベル由来の地球上の実質炭素排出量を維持するという産業界の目標、及びＩＭＯが最近採択した船舶のエネルギー効率化施策も同様に支持してきた。 - 経済産業省

To provide an underwater discharge device for exhaust gas from a ship absorbing carbon dioxide gas in the exhaust gas in the seawater, requiring no special device by effectively using energy of the exhaust gas and energy caused by sailing of the ship for obtaining propulsion of the ship by the exhaust gas mixed seawater and capable of increasing propelling efficiency of the ship and absorbing efficiency of the carbon dioxide gas by a simple and inexpensive means.例文帳に追加

排ガス中の炭酸ガスを海水に吸収させるとともに、前記排ガス混入海水により船舶の推進力を得るにあたり、排ガスのエネルギー及び船舶の航行に伴うエネルギーを有効利用することにより、格別な装置を必要とせず、簡単かつ低コストの手段で以って、船舶の推進効率及び炭酸ガスの吸収効率を上昇させ得る船舶における排ガスの水中排出装置を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus and a method for making alkali ion water, capable of efficiently removing carbon dioxide causing the deterioration of the making efficiency of the alkali ion water to obtain the alkali ion water with a desired pH at a low running cost.例文帳に追加

アルカリイオン水の生成効率を悪化させる原因となる二酸化炭素を水中から効率よく除去でき、希望するｐＨのアルカリイオン水を、小さなランニングコストで得ることができるアルカリイオン水生成装置及びその生成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a method for producing an alkylated compound having an asymmetric carbon atom from a β-ketoester in improved stereoselectivity and production efficiency by using an N-spiro-C_2-axis asymmetric quaternary ammonium salt as a catalyst.例文帳に追加

Ｎ−スピロＣ_２軸不斉四級アンモニウム塩を触媒として使用することにより、β−ケトエステルから、不斉炭素原子を有するアルキル化物を、より高い立体選択性で、より効率的に製造するための方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a system for utilizing a polymer hydrocarbon having good efficiency by burning the residues containing carbon and the other combustible material in polymer hydrocarbon raw materials and carrying out fractional recovery of a produced gas and a combustion gas by utilizing the combustion heat.例文帳に追加

高分子炭化水素原料中の炭素を含む残渣やその他の可燃物などを燃焼し、その燃焼熱を利用し、生成ガスと燃焼ガスを分別回収することで、より効率のよい高分子炭化水素の利用システムを提供する。 - 特許庁

To use a Cu-Sn-P alloy as a working electrode for producing, with high current efficiency, hydrocarbon gases relatively insoluble in aqueous solution, such as methane and ethylene, as substitutes for petroleum in electrochemical reduction of carbon dioxides.例文帳に追加

二酸化炭素の電気化学的還元において石油代替物であるメタンやエチレンなど水溶液に比較的不溶性な炭化水素ガスを高電流効率に製造するために作用電極としてＣｕ／Ｓｎ／Ｐ合金を使用する事を提共する。 - 特許庁

To provide a negative electrode carbon material for a nonaqueous solvent secondary battery such as lithium ion secondary battery capable of accomplishing a high discharge capacity and high charge-discharge efficiency stably, heightening the degree of electrode filling, and securing excellent electrode structure.例文帳に追加

安定した高い放電容量と高充放電効率を実現し、かつ電極充填性を高めると同時に良好な電極構造の確保を可能にするリチウムイオン二次電池等の非水溶媒二次電池負極用炭素材料を提供する。 - 特許庁

To refine carbon nanowalls and to enhance the power generation efficiency of a fuel cell by improving the contact of hydrogen molecules and oxygen molecules which take part in a reaction with a metal catalyst and an electrolyte in the fuel cell to sufficiently form a three-phase interface.例文帳に追加

カーボンナノウォールの精製を目的とするとともに、燃料電池において、反応に関与する水素分子及び酸素分子と、金属触媒及び電解質との接触を向上させ、三相界面の形成を充分として、燃料電池の発電効率を高めることを目的とする。 - 特許庁

For the purpose of producing hydrocarbon gases relatively insoluble in aqueous solution, such as methane and ethylene, with high current efficiency in the electrochemical reduction of carbon dioxides, it is necessary to allow the adsorption of CO to occur simultaneously with the generation of hydrogen by water electrolysis on an electrode used.例文帳に追加

二酸化炭素の電気化学的還元においてメタンやエチレンなど水溶液に比較的不溶性な炭化水素ガスを高電流効率に製造するためには使用する電極上にＣＯの吸着と水の電気分解による水素の発生が同時に起こることが必要である。 - 特許庁

To provide a solid-polymer fuel cell in which electrode reaction is efficiently progressed by MEA that improves catalyst efficiency, by holding an enough three phase interface in a carbon nanohorn where a reaction gas, a catalyst, and an electrolyte are associated.例文帳に追加

カーボンナノホーン中に、反応ガス、触媒、電解質が会合する三相界面を十分に確保し、触媒効率を向上させるＭＥＡにより、電極反応を効率的に進行させることのできる固体高分子型燃料電池を提供する。 - 特許庁

To provide a method and equipment for manufacturing a toner capable of realizing formation of high quality image, and a method and equipment for manufacturing toner which exhibit high energy consumption efficiency and enable emission of carbon dioxide gas can to be controlled.例文帳に追加

高画質な画像を形成することのできるトナーを製造する方法およびトナー製造装置、エネルギー消費効率が高く、炭酸ガス排出量を制御することができるトナーの製造方法およびトナー製造装置を提供することにある。 - 特許庁

To provide a gasification system that can control decline in thermal efficiency of the gasification system even if ammonium chloride deposits on the surface of a shift reaction catalyst when a gas generated by gasification of a carbon-based material is introduced directly into the shift reactor.例文帳に追加

炭素系燃料をガス化して得られた生成ガスをシフト反応器に直接供給した場合に、シフト反応触媒の表面に塩化アンモニウムが析出してもシフト反応触媒を容易に再生し、ガス化システムにおける熱効率の低下を抑制する。 - 特許庁

The additive, when mixed with the internal combustion engine lubricating oil, keeps friction loss low and improves combustion efficiency, thereby extensively removing dangerous substances out of exhaust gas, such as carbon monoxide, hydrocarbons, and nitrogen oxides.例文帳に追加

そこで、長時間の使用後も内燃機関用潤滑油の摩擦損失を低く維持することにより燃焼効率を向上させ省燃費化を図ることができ、且つ、有害物質を含む排出ガスの大幅な浄化をしうる潤滑油添加剤を提供すること。 - 特許庁

The mask is obtained by providing a mask material with carbon fine particles having excellent adsorption efficiency of gas molecules and anatase type titania fine particles having photocatalytic function, decomposes an organic substance, adsorbs a decomposition product occurring in the decomposition process of an organic substance and has antistatic function and minus ion-producing function.例文帳に追加

ガス分子の吸着効率の優れたカーボン微粒子と光触媒機能を有するアナターゼ型微粒子をマスク素材に含蓄せしめ、有機物の分解、有機物を分解する過程で生じる分解生成物の吸着、除電機能、マイナスイオン生成機能を持たせたマスク。 - 特許庁

To provide a carbon nanotube field emission element, capable of improving discharge efficiency by forming an auxiliary electrode on the same plane as and parallel to a cathode, and separated from the cathode by a predetermined distance on one side of the cathode, and to provide its driving method.例文帳に追加

本発明は、カソード電極の一方側に所定距離だけ離隔されて同一平面上に前記カソード電極に平行した補助電極(Auxiliary Electrode)を形成することで、放電効率を向上し得る炭素ナノチューブ電界放出素子及びその駆動方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

Since carbon dioxide generated by reaction of methanol with water in the fuel chamber 31 can be exhausted by the gas liquid separating membrane 9, a contact area of a methanol aqueous solution with an anode electrode 3 can favorably be ensured, and reaction efficiency can be enhanced.例文帳に追加

燃料室３１内でメタノールと水との反応により発生した二酸化炭素を気液分離膜９で排出できるので、メタノール水溶液とアノード電極３との接触面積を良好に確保でき、反応効率を高めることができる。 - 特許庁

In a method for producing a polyalkylene carbonate from raw materials of a cyclic ether and carbon dioxide, a method using a zinc oxide-amino acid mixed catalyst, which has never known before, has found to produce a polymer having a high molecular weight with high efficiency.例文帳に追加

環状エーテルと二酸化炭素を原料からポリアルキレンカーボネートの製造法において、これまで知られていない酸化亜鉛−アミノ酸混合物触媒を用いることによる高効率でかつ分子量の高いポリマーを製造する方法を見出した。 - 特許庁

The lithium secondary battery has a positive electrode, a negative electrode and non-aqueous electrolyte containing lithium salt, wherein the negative electrode includes a carbon material whose discharging capacity is 370 (mAh/g) or more and charging and discharging efficiency is 85.8% or more.例文帳に追加

正極と、負極と、リチウム塩を含む非水電解液とを有し、前記負極は炭素材料を有し、該炭素材料１ｇ当たりの放電容量が３７０（ｍＡｈ／ｇ）以上及び充放電効率が８５．８％以上であるリチウム二次電池。 - 特許庁

The catalyst can oxidize and convert formaldehyde even in a thin concentration of 1 ppm or lower to carbon dioxide and water and at the same time maintain the removal efficiency for a long time and keep a room in comfortable environmental state by decreasing the formaldehyde concentration.例文帳に追加

室温において、１ｐｐｍ以下の希薄なホルムアルデヒドであっても効率良く酸化させて二酸化炭素と水とに転化することができるとともに、長期間に亘ってその除去率を維持することができ、ホルムアルデヒド濃度を低下させることにより室内を快適な環境に保持できる。 - 特許庁

To provide a method for operating an electric furnace by which melting treatment can be performed at high efficiency even when carbon and hydrogen in charged raw material are increased due to use of raw material containing a large quantity of combustible content obtained by pressing abandoned automobiles without being shredded after scrapped.例文帳に追加

廃棄自動車を解体後シュレッダー処理を施さずにプレス処理した可燃分を多量に含む原料を用いて装入原料中の炭素および水素が増加しても、高効率で溶解処理を行うことができる電気炉の操業方法を提供すること。 - 特許庁

To suppress temperature rise of activated carbon which becomes cause of ignition or lowering factor, etc., of adsorption efficiency by rapidly radiating heat even when any heat evolution occurred in purifying treatment of discharged gas in combustion and occlusion and release treatment of natural gas.例文帳に追加

燃焼排ガスの浄化処理や天然ガスの吸蔵・放出処理時に、何らかの発熱原因が生じた場合においても、速やかに熱放散して発火原因や吸着効率の低下要因などとなる活性炭の温度上昇を抑制する。 - 特許庁

To improve an existing wastewater treatment process by performing sludge solubilizing treatment and forming a carbon source or a precursor substance for biological dephosphorization for the purpose of stabilizing the biological dephosphorization, achieving the recovery efficiency of phosphorus resources and reducing the discharge amount of excess sludge.例文帳に追加

汚泥の可溶化処理を行い、生物学的リン除去のための炭素源あるいはその前駆物質を生成することで、生物学的リン除去の安定化ならびにリン資源回収の効率化が図れるとともに、余剰汚泥の排出量も削減が可能となる既存廃水処理プロセスの改善を目的とする。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for producing reformed hydrocarbons of good quality (high-octane) while efficiently generating hydrogen and, simultaneously, suppressing the formation of carbon, a fuel cell-mounted engine which utilizes them and further has improved energy efficiency, and an energy station.例文帳に追加

効率的に水素を発生するとともにカーボン発生を押さえつつ良質な（高オクタン価な）改質炭化水素を製造することができる方法と装置、及びこれらを利用しさらにエネルギー効率を向上させた燃料電池搭載型エンジン、並びにエネルギーステーションを提供する。 - 特許庁

To realize a fuel cell system with high-efficiency power generation performance stably obtained through dissolution of a gas blending condition formed by air remaining in a fuel gas diffusion layer and hydrogen diffused from a fuel gas flow channel, and through restraint of corrosion of a platinum-supported carbon carrier.例文帳に追加

燃料ガス拡散層内に残存している空気と燃料ガス流路から拡散してきた水素により形成されるガス混合状態を解消し、白金担持カーボン担体の腐食を抑制して安定して高効率な発電性能が得られる燃料電池システムを実現する。 - 特許庁

To provide a lithium secondary battery which has a large discharge capacity, excels in coulomb efficiency and cycle characteristics, and contains an electrode material for batteries with a small irreversible capacity, thereby solving a problem encountered when high crystallinity graphite is used and a problem encountered when an amorphous carbon layer is included.例文帳に追加

高結晶性黒鉛を用いた場合の問題点及び非晶質炭素層を設けた場合の問題点を解消した、放電容量が大きく、クーロン効率、サイクル特性に優れ、不可逆容量の小さい電池用電極材料を含むリチウム二次電池を提供すること。 - 特許庁

To provide a carbon material for a negative electrode suitable for a lithium secondary battery with high capacity, high first-time charge/discharge efficiency, excellent cycle characteristic and rapid charging characteristic, and to provide a manufacturing method therefor, a lithium secondary battery negative electrode and a lithium secondary battery.例文帳に追加

高容量で初回充放電効率が高く、サイクル特性、急速充電特性に優れたリチウム二次電池に好適な負極用炭素材料及びその製造法、リチウム二次電池負極並びにリチウム二次電池を提供する。 - 特許庁

The carbon fibers to radiate infrared rays at high efficiency is used as the exothermic resistor, and by arranging the reflecting layer at a side to face a heated body, radiation amount of the infrared rays is increased substantially, and heated body can be heated efficiently.例文帳に追加

高効率で赤外線を放射する炭素繊維を発熱抵抗体として用いるとともに、被加熱体と対向する側に反射層を配置することにより、赤外線の放射量を実質的に増加し、効率的に被加熱体を加熱することができる。 - 特許庁

To provide a fuel cell system capable of enhancing utilization efficiency of energy by burning hydrogen in an exhaust gas without releasing it to the atmosphere to effectively use it for removal of carbon dioxide, and by increasing hydrogen concentration supplied to an anode electrode of a fuel cell to improve output density of the fuel cell.例文帳に追加

排出ガス中の水素を大気に放出させず、燃焼させ、二酸化炭素の除去に有効利用し、燃料電池のアノード極に供給する水素濃度を上げることで燃料電池の出力密度を向上し、エネルギーの利用効率を高めた燃料電池システムを提供すること。 - 特許庁

To provide an apparatus and a method for producing hydrogen by developing a simple method of a cycle of absorption/release of carbon dioxide, which is capable of enhancing a hydrogen production efficiency as a whole system together with the contribution to simplification and low-cost manufacture of the apparatus.例文帳に追加

二酸化炭素の吸収・放出のサイクルを簡易な方法で実現し，装置の簡素化・低コスト化に寄与するとともに，システム全体としての水素製造効率を上昇させることのできる水素製造装置およびその方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a direct type fuel cell system capable of restraining the complication of the fuel cell system, an increase of size, the lowering of energy conversion efficiency caused by catalyst poisoning and cross-over of fuel, and the exhaustion of carbon dioxide.例文帳に追加

改質器を備えたことによる燃料電池システムの複雑化・大型化や、触媒被毒や燃料のクロスオーバーによるエネルギー変換効率の低下、さらには、二酸化炭素の排出を抑えることのできる直接型燃料電池システムを提供する。 - 特許庁

To provide a composit carbon material for lithium ion secondary battery negative electrode that has a large charge and discharge capacity, high initial charge and discharge efficiency, and is superior in charge and discharge cycle characteristics, and its manufacturing method, and a lithium secondary battery negative electrode as well as a lithium secondary battery.例文帳に追加

充放電容量が大きく、初期充放電効率が高く、かつ充放電サイクル特性に優れたリチウム二次電池負極用複合炭素材料およびその製造方法を提供し、また、このような負極用材料を具備してなるリチウム二次電池負極およびリチウム二次電池を提供すること。 - 特許庁

By conducting the roasting step ST10, organic carbon, such as plastic components, which impairs the stability of the oxidation step ST20, is removed in advance prior to the oxidation step ST20, and the efficiency of slag/alloy separation can be improved.例文帳に追加

焙焼工程ＳＴ１０を設けることにより、酸化工程ＳＴ２０に先駈けてプラスチック成分等、酸化工程ＳＴ２０の安定性を阻害する有機性炭素を予め除去して、スラグと合金との分離効率を向上することができる。 - 特許庁

To inhibit increase of consumption of an airtight gas used in an airtight test performed in field work to prevent degradation of working efficiency in the field work, in a separate-type air conditioner using carbon dioxide as a refrigerant sealed in a refrigerant circuit.例文帳に追加

冷媒回路内に封入される冷媒として二酸化炭素を使用するセパレート型の空気調和装置において、現地工事の際に行われる気密試験に使用される気密ガスの消費量の増加を抑え、現地工事の作業性が損なわれにくくする。 - 特許庁

To provide a textile fiber material to be used for clothing and industry by a method with low environmental burden by using resources disposed of or incinerated without being used or resources with poor use efficiency, among carbon-neutral plant resources.例文帳に追加

カーボンニュートラルな植物資源のうち、利用されることなく廃棄又は焼却されている資源、あるいは利用効率の悪い資源を用いて、環境に対する負荷の少ない方法で衣料用、産業用に使用される繊維素材を提供する。 - 特許庁

To provide a conveyance system capable of efficiently and rapidly executing a cooling process of a processing object after recovering a vacuum evaporant, and thereby remarkably improving production efficiency of metal for reuse; and to provide a tray and a carbon rail.例文帳に追加

真空蒸発物回収後の処理品の冷却処理を効率よく短時間の内に行うことができ、以て再利用のための金属の生産効率を大幅に向上させることができる搬送システム、トレー及びカーボンレールを提供することを課題とする。 - 特許庁

To provide an ink which is suitable for use in electrode-forming material of a biosensor or the like, and which is excellent in productivity, economical efficiency and convenience and excellent in selectivity against measurement interfering substances using a nanocarbon material with high catalytic activity such as a carbon nanotube.例文帳に追加

触媒活性の高いカーボンナノチューブなどのナノカーボン材料を用いて、測定妨害物質に対する選択性にすぐれるとともに、生産性、経済性、利便性にもすぐれたバイオセンサの電極形成材料などに好適に用いられるインクを提供する。 - 特許庁

To provide a cleaning method wherein cleaning capability and cleaning efficiency are improved by prolonging the ozone half life of super-purity ozone water which is manufactured by using ultrapure water whose total organic carbon content is reduced as raw material or solvent, in a cleaning method of a semiconductor substrate or element which uses ozone water.例文帳に追加

オゾン水を用いた半導体基板又は素子の洗浄方法において、総有機炭素量を低減させた超純水を原料や溶媒として製造した超純度オゾン水のオゾン半減期を延長して、洗浄能力と洗浄効率の向上を図った洗浄方法の提供。 - 特許庁