「dry processing」に関連した英語例文の一覧と使い方(9ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a hologram recording material which is applicable to a high-density optical recording medium, a three-dimensional display, a holographic optical element, etc., and can make high sensitivity, high diffraction efficiency, good preservable property and dry processing compatible with each other, and a hologram recording method.例文帳に追加

高密度光記録媒体、３次元ディスプレイ、ホログラフィック光学素子等への応用可能な高感度かつ高回折効率、良保存性、乾式処理を両立することができるホログラム記録材料、ホログラム記録材料及びホログラム記録方法を提供する。 - 特許庁

To provide the method of incineration processing of waste enabling the continuous and stable supply of combustible gas required for the operation of an engine in the case of supplying the combustible gas generated by the dry distillation of the waste to the engine as fuel.例文帳に追加

廃棄物の乾留により生じる可燃性ガスをエンジンの燃料として該エンジンに供給する場合に、エンジンの所望の運転に必要な可燃性ガスを継続的に安定してエンジンに供給することができる廃棄物の焼却処理方法を提供する。 - 特許庁

The fine processing method of a glassy carbon base material has a step for providing the glassy carbon base material and performing a heat treatment for 1-10 hours at a temperature not lower than 2,000°C and not higher than 2,500°C in an atmosphere of a halogen gas, and a step for performing a dry etching process after said step.例文帳に追加

本ガラス状カーボン基材の微細加工方法は、ガラス状カーボン基材を用意し、ハロゲンガス雰囲気、２０００℃以上２５００℃以下の温度で１〜１０時間の熱処理を行う工程と、この工程後にドライエッチング加工を行う工程を有する。 - 特許庁

To provide a hologram recording material which can achieve high sensitivity, high diffraction efficiency, preferable storage property, a low shrinkage degree, a dry processing and multiple recording characteristics (high recording density) which is applicable for a high-density optical recording medium, a three-dimensional display, a holographic optical element or the like.例文帳に追加

高密度光記録媒体、３次元ディスプレイ、ホログラフィック光学素子等への応用可能な高感度かつ高回折効率、良保存性、低収縮率、乾式処理、多重記録特性（高記録密度）を両立することができるホログラム記録材料を提供する。 - 特許庁

To provide a hologram recording method applicable to a high density optical recording medium, a three-dimensional display, a holographic optical element etc. and capable of making a high sensitivity, a high diffraction efficiency, a satisfactory storage property, a low shrinkage rate, a dry processing, and a multiplex recording property compatible with each other.例文帳に追加

高密度光記録媒体、３次元ディスプレイ、ホログラフィック光学素子等への応用可能な高感度かつ高回折効率、良保存性、低収縮率、乾式処理、多重記録特性を両立することができるホログラム記録方法を提供する。 - 特許庁

Since an IPA water vapor can be supplied in the chamber 5 or the chamber 5 can be decompressed, ozone treatment, surface treatment with a process liquid, and a dry process are carried out in a single chamber 5, resulting in a smaller footprint of the substrate processing equipment 1.例文帳に追加

さらに、チャンバ５内へのＩＰＡ蒸気供給やチャンバ５内の減圧を行うこともできるため、オゾン処理、処理液による表面処理、乾燥処理を一つのチャンバ５内にて行うことができ、基板処理装置１のフットプリントを小さくすることができる。 - 特許庁

To dry the surface of a substrate inexpensively while preventing a pattern formed thereon from collapsing in substrate processing equipment and method for drying the surface of a substrate wetted with liquid by using vapor of organic solvent such as IPA.例文帳に追加

ＩＰＡなどの有機溶剤の蒸気を用いて液体で濡れた基板表面を乾燥させる基板処理装置および基板処理方法において、基板表面に形成されたパターンの倒壊が発生するのを防止しながら、低コストで基板表面を良好に乾燥させる。 - 特許庁

To provide a hologram recording material capable of achieving all of the high sensitivity applicable to a high density optical recording medium, three-dimensional display, holographic optical element, etc., and high diffraction efficiency, satisfactory storage property, low shrinkage rate, dry processing and multiplex recording characteristics (high recording density).例文帳に追加

高密度光記録媒体、３次元ディスプレイ、ホログラフィック光学素子等への応用可能な高感度かつ高回折効率、良保存性、低収縮率、乾式処理、多重記録特性（高記録密度）を両立することができるホログラム記録材料を提供する。 - 特許庁

To provide an image forming method capable of obtaining a high- sensitivity and high-contrast image by using a light source in a visible area from blue to red or an infrared laser in a perfect dry processing system, fixing the image at high speed, and making a device simple and inexpensive.例文帳に追加

完全ドライの処理系で、青色〜赤色の可視領域の光源や赤外レーザを使用して高感度で高コントラストな画像が得られると共に、画像の定着を高速に行え、かつ装置を簡易化、低コスト化しうる画像形成方法を提供する。 - 特許庁

To reduce variation in pattern size due to density dependency of a pattern to be formed during dry etching processing on a light shield film as compared with a case wherein a conventional photomask blank having a light shield film is used, and to manufacture a mask with higher precision.例文帳に追加

遮光膜のドライエッチング加工時において、従来の遮光膜をもつフォトマスクブランクを用いた場合と比較して、形成するパターンの粗密依存性により生じるパターンサイズ変動を小さくすることができ、より高精度のマスクを製造することが可能になる。 - 特許庁

Under the conditions, a TMR film is anisotropically dry-etched using the polycrystalline silicon films PS1, PS2 for the processing mask and the sidewall spacers SWL, SWR as the mask to part the TMR film, thereby forming a gap SPC smaller than the size 1F in the TMR film.例文帳に追加

この条件下で加工マスク用多結晶シリコン膜ＰＳ１、ＰＳ２および側壁スペーサＳＷＬ、ＳＷＲをマスクとしてＴＭＲ膜を異方的にドライエッチングしてＴＭＲ膜を分断し、ＴＭＲ膜に寸法１Ｆ未満の隙間ＳＰＣを形成する。 - 特許庁

To provide a recorder which can fully dry a recording medium passed through recording processing using a liquid by a recording means, by the heat of a heating means, and also which can control adverse effects by the heat of the heating means to the recording means.例文帳に追加

記録手段によって液体を用いて記録処理が施された記録媒体を加熱手段の熱によって十分に乾燥することができるとともに、該加熱手段の熱による記録手段への悪影響を抑制することが可能な記録装置を提供する。 - 特許庁

In the gloves the adhesive strength is high and subsequent processing is readily carried out since the flexibility of the base material is not changed by making an ultrathin film of the metal closely adhere to fibers or films by composing the gloves in the manner or making the metal closely adhere to the base material by the dry plating method.例文帳に追加

このように構成することにより、金属の極薄膜が繊維やフィルムに密着し、またドライメッキ法で金属を密着させることにより、密着強度が高く、且つ基材の柔軟性を変えない為、後の加工がし易いという特徴がある。 - 特許庁

To obtain a polylactic acid-based nonwoven fabric which mainly comprises a biodegradable polylactic acid, is decomposed and treated with an organism after use, has a low dry-heat shrinkage percentage and is effectively used for processing, treatment, combination, etc., followed by heating.例文帳に追加

生分解性のポリ乳酸を主体としていて使用後に生物によって分解させて処理することができ、しかも乾熱収縮率が小さくて、加熱を伴う加工、処理、複合化などに有効に利用することのできるポリ乳酸系不織布の提供。 - 特許庁

The packaging bag packages an item to be freeze vacuum dried in freeze vacuum dry processing, wherein the average hole diameter of the bag is 10 μm-3 mm, and the ratio of the opening area is 2×10^-6 to 8×10^-2%.例文帳に追加

凍結真空乾燥処理される際に被凍結真空乾燥物を包装する包装袋であり、前記包装袋の平均孔径が１０μｍ〜３ｍｍ、かつ開孔面積比率が２×１０^−６〜８×１０^−２％である凍結真空乾燥用包装袋である。 - 特許庁

To provide a machining method of a leader tape tip part by which various processing such as medicine application, washing, dry can be omitted and shortening a process time and reducing a cost can be performed, also junction strength is improved and durability is obtained.例文帳に追加

薬品処理のときに行っていた薬品塗布、洗浄、乾燥等の各種工程を省略できて加工時間の短縮化、コスト削減を図ることができ、しかも接合強度が向上し、耐久力が得られるリーダーテープ先端部分の加工方法を提供する。 - 特許庁

This dry etching device for applying etching processing to a wafer WF by arranging the wafer WF in a processing chamber and converting an introduced reaction gas to plasma includes: an annular first ring 110 arranged in the outside to surround the wafer WF and formed of a conductive material; and an annular second ring 120 arranged in the outside to surround the first ring 110 and formed of an insulating material.例文帳に追加

処理室内にウエハーＷＦが置かれ、導入される反応ガスをプラズマ化してウエハーＷＦにエッチング処理を施すドライエッチング装置であって、ウエハーＷＦを取り囲むように外側に配置され、導電性材料からなる環状の第１リング１１０と、第１リング１１０を取り囲むように外側に配置され、絶縁性材料からなる環状の第２リング１２０と、を備えた。 - 特許庁

To provide a method for accurately performing line-shaped groove processing, such as dicing of a substrate and groove processing of a solar cell, by a simple masking method, since in a conventionally performed pattern cutting by sandblasting, a method using a photosensitive dry film as masking, and a method including printing masking ink by screen printing and performing masking, are costly and time consuming.例文帳に追加

従来から行われてきたサンドブラストによりパターン切削加工に於いて、マスキングとして感光性ドライフィルムを使用する方法やマスキングインクをスクリーン印刷にて印刷してマスキングを行う方法ではコストと時間がかかり、簡単なマスキング方法で基板のダイシングや太陽電池の溝加工等ライン形状の溝加工を精度良く行える方法が望まれている。 - 特許庁

To provide a production method of a gallium nitride-based compound semiconductor capable of forming an unevenness without performing a post-processing such as a dry or wet etching of the gallium nitride-based compound semiconductor after removing a substrate from the gallium nitride-based compound semiconductor and capable of suppressing largely a damage caused by the post-processing for preventing the gallium nitride-based compound semiconductor from being directly processed.例文帳に追加

窒化ガリウム系化合物半導体から基板を除去した後、窒化ガリウム系化合物半導体にドライまたはウェットエッチング等の後加工を施すこと無しに凹凸を形成可能とし、窒化ガリウム系化合物半導体に直接加工をしないために、後加工によるダメージを大幅に抑えることができる窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a dry type sewage processing device capable of decomposing excrement or crushed garbage by crushed wood pieces mixed with at least one sort of bacteria, installable in a region having little water resource, or having no sewage treating facility, and a toilet facility utilizing this.例文帳に追加

排泄物や粉砕生ゴミを、少なくとも１種類以上のバクテリアが混入された粉砕木片により、分解することができ、また、水資源に乏しい地域や、下水処理施設のない地域等に設置できる乾式汚物処理装置とこれを利用したトイレ設備を提供する。 - 特許庁

To surely prevent generation of dry spots and to achieve high quality in cleaning and drying in a cleaning/drying apparatus and a cleaning/drying method wherein a cleaning/drying target is placed in a vapor area of an organic solvent to perform cleaning and drying processing.例文帳に追加

本発明は被洗浄乾燥物を有機溶剤の蒸気エリア内に設置して洗浄及び乾燥処理を行う洗浄乾燥装置及び洗浄乾燥方法に関し、乾燥じみの発生を確実に防止し高い洗浄及び乾燥品質を実現することを課題とする。 - 特許庁

The dry distillation, gasification and incineration processing device comprises carbonization furnaces 2a, 2b, 2c; a combustion furnace 4; a combustion temperature detection means 18 for detecting the combustion temperature of flammable gas in the combustion furnace 4; and an oxygen supply means 5 for supplying oxygen required for burning the waste to the carbonization furnaces 2a, 2b, 2c.例文帳に追加

乾留炉２ａ，２ｂ，２ｃと、燃焼炉４と、燃焼炉４における該可燃性ガスの燃焼温度を検知する燃焼温度検知手段１８と、該廃棄物の燃焼に必要な酸素を乾留炉２ａ，２ｂ，２ｃに供給する酸素供給手段５とを備える。 - 特許庁

The water content of the insulating paper used for the tape shaped insulating material structuring the insulating layer is made to be not more than 20wt.%, so that the electrical property of the cable is not affected, and vacuum dry processing at the time of manufacturing an OF cable or the like can be omitted.例文帳に追加

絶縁層を構成するテープ状絶縁材料の絶縁紙部分の含有水分を２０重量％以下とすることで、ケーブルの電気特性に影響を与えることがなく、かつＯＦケーブルなどの製造時における真空乾燥処理を省略することができる。 - 特許庁

To provide a hologram recording material and hologram recording system which can realize high sensitivity, high diffraction efficiency, good preservable property, low shrinkage degree, and dry processing and which are applicable to a high-density recording medium, three-dimensional display, holographic optical element, etc.例文帳に追加

高密度光記録媒体、３次元ディスプレイ、ホログラフィック光学素子等への応用可能な高感度かつ高回折効率、良保存性、低収縮率、乾式処理、多重記録特性を両立することができるホログラム記録材料及びホログラム記録方法を提供する。 - 特許庁

To provide a photosensitive composition for recording hologram which is excellent in processibility, enables dry processing and gives a highly sensitive hologram, a recording medium using the same, a method for recording hologram, a method for forming hologram, a hologram and a method for reproducing hologram.例文帳に追加

本発明の目的は、加工性がよく、乾式処理が可能で、かつ高感度なホログラムを与えるホログラム記録用感光性組成物、およびそれを用いたホログラム記録媒体、ホログラム記録方法、ホログラムの形成方法、ホログラム及びホログラムの再生方法を提供することである。 - 特許庁

To provide a polyurethane adhesive composition for a dry laminate, which does not cause yellowing and whitening when using a ferric chloride solution and a sodium hydroxide solution at etching processing, and has sufficient adhesiveness when laminating a PET film and copper foil; and to provide a laminated film using the composition.例文帳に追加

エッチング加工時に塩化第二鉄溶液や水酸化ナトリウム溶液にて，黄変したり白化したりすることがなく，ＰＥＴフィルムと銅箔をラミネートするにあたって十分な接着性を有するドライラミネート用ポリウレタン接着剤組成物およびこれを使用した積層フィルムを提供することにある。 - 特許庁

The means is to spray heated and vaporized functional water, which is ozone water obtained by forcing ozone gas be contained in deionized water, or which is ozone water obtained by electrolyzing deionized water onto the substrate after the dry etching, and to execute plasma processing to remove the photoresist film on the substrate surface.例文帳に追加

その手段は機能水としてオゾンガスを超純水に含有させて成るオゾン水や超純水を電気分解して得たオゾン水を用い、加熱・水蒸気化したものを前記ドライエッチング後の基板に噴霧、プラズマ処理することで、基板表面のフォトレジスト膜を除去するものである。 - 特許庁

To provide an ethylene-vinyl acetate-crosslinking monomer copolymer having high reactivity and excellent dry and wet strength in the field of nonwoven fabric and paper processing and producible without using a large amount of a paper-strengthening monomer, etc., for the improvement of the properties.例文帳に追加

不織布、紙加工の分野において優れた乾燥時及び湿潤時の強度を持ち、かつその性能向上の為、大量の紙力増強用モノマー等を使用せずに作製される反応性良好なエチレン−酢酸ビニル−架橋性モノマー系共重合体樹脂の提供。 - 特許庁

A control means 19 of the wireless remote controller 3 executes communication confirmation processing for measuring the radio field intensity by a radio field intensity measuring means 17, and displaying the measured radio field intensity by a display means 6 in starting power distribution by connection of a dry battery of the wireless remote controller 3.例文帳に追加

無線リモコン３の乾電池接続による通電開始時に、無線リモコン３の制御手段１９は、電波強度測定手段１７による電波強度の測定を行うと共に、測定した電波強度を表示手段６により表示させる通信確認処理を行う。 - 特許庁

The fixing agent for processing a silver halide photographic dry plate having at least one silver halide emulsion layer on a glass supporting body is characterized by containing an oxidizer which is capable of dissolving metallic silver or a chelate metal salt respectively.例文帳に追加

ガラス支持体上に少なくとも１層のハロゲン化銀乳剤層を有するハロゲン化銀写真乾板を処理するための定着剤が、各々、金属銀を溶解可能な酸化剤またはキレート金属塩を含有することを特徴とするハロゲン化銀写真乾板用定着剤。 - 特許庁

An SOI substrate 20 is placed on the projections 3b, etching gas is introduced into the processing chamber 2, high-frequency power is applied to the lower electrode 3 to generate plasma, and an oxide film is dry-etched, in a state in which the surface of the SOI substrate facing the lower electrode 3 is exposed to the plasma.例文帳に追加

そして、突出部３ｂ上にＳＯＩ基板２０を配置して、処理室２内にエッチングガスを導入すると共に、下部電極３に高周波電力を印加することでプラズマを発生させ、ＳＯＩ基板２０の下部電極３側の面もプラズマに曝した状態で、酸化膜をドライエッチングする。 - 特許庁

This method for processing the purple sweet potatoes comprises a preliminary treatment for soaking the purple sweet potatoes in an ascorbic acid treating solution at a temperature at the vicinity of the gelatinization temperature of starch contained in the purple sweet potatoes, a steaming process for steaming the purple sweet potatoes after going through the preliminary treatment, and a dry process for drying the steamed purple sweet potatoes.例文帳に追加

紫いもに含まれる澱粉の糊化温度近傍で、紫いもをアスコルビン酸処理液に浸漬処理する前処理行程を行った後、前処理行程を経た紫いもを、蒸煮する蒸煮工程を行い、その蒸煮された紫いもを乾燥する乾燥工程を行う。 - 特許庁

To provide a method and a device for dry processing a fine structure capable of uniformly drying the fine structure in a short period of time by preventing the drying during a conveyance and further preventing a falling down of a pattern for a substrate having a large diameter on which surface a fine pattern is formed.例文帳に追加

本発明の目的は、搬送中の乾燥を防止し、更に、表面に微細なパターンを形成した大口径基板に対してパターン倒れがなく、短時間で均一に乾燥させることができる微細構造乾燥処理方法及びその装置を提供することにある。 - 特許庁

To obtain acrylic false-twisted blend yarns free from non-cohesion of yarns in post-processing such as dyeing, knitting or the like excellent in converging property having appropriate crispness, dry feeling, firm texture, low temperature finish setting property characteristic in acrylic fiber and an elegant gloss.例文帳に追加

染色、編成等の後工程での糸条のばらけのない集束性の良好な、かつ適度なシャリ感、ドライ感、張り腰と、アクリル繊維の特徴である低温での仕上セット性、優雅な光沢感を併せ持つアクリル仮撚複合糸を提供し、またかかるアクリル仮撚複合糸を仮撚加工により得る。 - 特許庁

To provide a dry etching method processing an etching object layer into a shape of a desired rugged pattern with a high precision, a magnetic recording medium manufacturing method utilizing the same, and a magnetic recording medium which has a recording layer formed into a rugged pattern and allows good magnetic characteristics to be surely obtained.例文帳に追加

被エッチング層を所望の凹凸パターンの形状に高精度で加工できるドライエッチング方法、これを利用した磁気記録媒体の製造方法及び記録層が凹凸パターンで形成され、良好な磁気特性が確実に得られる磁気記録媒体を提供する。 - 特許庁

To obtain a lumber processing method which can process lumber easily in a short time, dry lumber from thinning, old lumber, waste lumber, bamboo, etc., process lumber to be dark red, rosewood-like, or ebony-like, and improve the commercial value of lumber.例文帳に追加

本発明は加工が容易で、短時間に行なうことができるとともに、間伐材、古木材、廃木材、竹等の木材の乾燥は勿論、えんじ色、紫檀あるいは黒檀状になるように加工して、商品価値の向上を図ることができる木材の加工方法を得るにある。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a semiconductor device, for suppressing contamination caused by metal in a treatment chamber and damage of quartz members while suppressing a decrease in film forming speed in a thin film forming step immediately after dry cleaning in the treatment chamber, and improving an apparatus operation rate, and to provide a substrate processing apparatus.例文帳に追加

処理室内のドライクリーニング直後の薄膜形成工程における成膜速度の低下を抑制しつつ、処理室内の金属汚染や石英部材の破損を抑制すると共に、装置稼働率を向上させる半導体装置の製造方法及び基板処理装置を提供する。 - 特許庁

The dry processing apparatus includes an air knife 80 for a gap part for jetting air from a blow-off port into a gap between the first substrate 10 and the second substrate from the first substrate 10 side of the liquid crystal display panel 100 toward the second substrate 20 and a holding mechanism 71 for holding the air knife 80 for the gap.例文帳に追加

そして、液晶表示パネル１００の第１基板１０側から第２基板２０に向けて、吹き出し口から第１基板１０と第２基板２０との隙間に気体を噴射させる隙間部用エアーナイフ８０と、隙間部用エアーナイフ８０を保持する保持機構７１とを有するものである。 - 特許庁

In this manufacture of microfiltration filter cartridge which is composed of a microporous filter membrane, a membrane support, a core, an outer peripheral cover and an end plate and in which all of the constituents are made of polysulfone type polymer, the end plate is subjected to dry processing beforehand and, thereafter, is subjected to thermal melt-sticking.例文帳に追加

微孔性ろ過膜、膜サポート、コアー、外周カバー及びエンドプレートにより構成されており、上記構成要素の全てがポリスルホン系ポリマーでできている精密ろ過フィルターカートリッジを製造するに当たり、上記エンドプレートを予め乾燥処理した後に熱溶着に付す。 - 特許庁

To provide a recording material capable of high sensitivity image recording using not only ultraviolet light but also visible light to infrared light in a thoroughly dry processing system in which the use of a developing solution, etc., is not necessary and no waste is generated and capable of forming a clear high-contrast black-and-white or color image.例文帳に追加

現像液等の使用が不要で、且つ、廃棄物の発生のない完全ドライの処理系において、紫外光のみならず、可視光〜赤外光を用いた高感度な画像記録が可能で、鮮明で、高コントラストな白黒又はカラーの画像を形成し得る記録材料を提供する。 - 特許庁

To obtain an image forming material which forms an image under visible light, does not require the use of a developer or the like, produces no waste, gives a high resistance image in a perfectly dry processing system, can easily attain multi-color image formation at a low cost and also enables fixation and to provide an image forming method using the image forming material.例文帳に追加

現像液等の使用が不要で、廃棄物の発生がなく、完全ドライの処理系で、耐性の高い画像が得られ、多色化が容易かつ低コストで実現でき、更に定着も可能な可視光による画像形成材料および画像形成方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a hologram recording material that is applicable to a high-density optical recording medium, a three-dimensional display, a holographic optical element or the like and achieving all of high sensitivity, high diffraction efficiency, proper storage property, a low shrinkage rate, dry processing properties and multiple recording characteristics (high recording density).例文帳に追加

高密度光記録媒体、３次元ディスプレイ、ホログラフィック光学素子等への応用可能な高感度かつ高回折効率、良保存性、低収縮率、乾式処理、多重記録特性（高記録密度）を両立することができるホログラム記録材料を提供する。 - 特許庁

To provide a combined filament yarn having different shrinkage, which is excellent in hand feelings such as bulky, soft, repulsive, dry and light feelings, capable of making a fabric having specific appearance such as transparency and having good passing properties through a higher order processing step such as knitting weaving.例文帳に追加

ふくらみ感、ソフト感、反発感、ドライ感、軽量感といった風合いに優れ、更に透明感といった独特な外観をなす布帛を形成でき、製編織などの高次加工工程での通過性が良好な収縮差混繊糸およびそれの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a thermoplastic synthetic polymer multifilament yarn, by which the multifilament yarn having a large single filament fineness and a good quality or a high multifilament yarn comprising many filaments and having a high quality is also efficiently obtained under good processing conditions by a wet spinning method or a semi-dry, semi-wet spinning method without causing the deterioration in productivity.例文帳に追加

湿式または半乾半湿式紡糸法により、単繊維繊度の太いマルチフィラメント糸やフィラメント数の多いハイマルチフィラメント糸であっても、生産性の低下を招くことなく、良好な工程調子の下に高品質なものを効率よく得る方法を提供すること。 - 特許庁

The photoresist compositions exhibit both acceptable resistance to dry etching processing and light transmittance suitable for use with various light sources such as KrF excimer lasers, ArF excimer lasers or F_2 excimer lasers, in a photolithography process to produce fine photoresist patterns.例文帳に追加

ドライエッチング工程で許容可能な耐性を提供し、微細なフォトレジストパターンを形成するためのフォトリソグラフィ工程において、ＫｒＦエキシマーレーザー、ＡｒＦエキシマーレーザー、またはＦ_２エキシマーレーザーのように多様な光源の使用に適した光透過度を提供するフォトレジスト組成物。 - 特許庁