interlayerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 6425件
To provide a semiconductor device and its manufacturing method including a capacitance element (for instance, a MIM capacitance element) having a large margin for a leak current, and capable of easily leveling an interlayer insulating film by decreasing a step of the interlayer insulating film when forming the capacitance element.例文帳に追加
リーク電流に対するマージンが大きい静電容量素子(例えばMIM静電容量素子)を備え、静電容量素子を形成するときの層間絶縁膜の段差を低減して層間絶縁膜の平坦化を容易にできる半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
A conductive material of an index body 10 is filled and formed in a dent formed in an interlayer dielectric film 21 without penetrating the interlayer dielectric film 21 so as to positionally conform to under the wiring part 24 existing just over it (so as to be involved in the wiring part 24 in planar view).例文帳に追加
指標体10は、その直上に存する配線部24下に位置整合するように(平坦視では配線部24に内包されるように)、層間絶縁膜21内で当該層間絶縁膜21に非貫通で形成された窪み内に導電材料が充填されて形成されている。 - 特許庁
The nonvolatile memory element 10 is configured with an interlayer dielectric 11 with a contact hole 11a, a lower electrode 12 provided in the contact hole 11a, an adhesive layer 14 provided on the interlayer dielectric 11 in this order, the recording layer 15, and an upper electrode 16.例文帳に追加
不揮発性メモリ素子10は、コンタクトホール11aを有する層間絶縁膜11と、コンタクトホール11a内に設けられた下部電極12と、層間絶縁膜11上にこの順に設けられた接着層14、記録層15及び上部電極16とを備えて構成されている。 - 特許庁
The Al-Cu film 12 of a lower layer side wiring layer and the TiN film 13 of a barrier metal are formed on a silicon substrate 11 and the d-TEOS film 15 of an interlayer insulating film is formed thereon as an interlayer wiring layer 14 to bury W plugs 16a, 16b and flatten them.例文帳に追加
シリコン基板11上に下層側配線層のAl−Cu膜12、バリアメタルのTiN膜13を形成し、この上に層間配線層14として層間絶縁膜のd−TEOS膜15を形成してWプラグ16a,16bを埋め込み平坦化する。 - 特許庁
This trimming equipment 10 can enhance production efficiency and also can contemplate to shorten production lines because a process of laminating a first glass plate G1, a second glass plate G2 and an interlayer 16 and a process of cutting a piece of the interlayer can be performed at the same position (laminating position 12) in the production line.例文帳に追加
トリミング装置10は、第1のガラス板G1、第2のガラス板G2及び中間膜16の積層工程と膜片の切断工程とを生産ラインの同一ポジション(積層位置12)で実施するので、生産効率を高めるとともに生産ラインの短縮化を図ることができる。 - 特許庁
After forming the alumina mask 32a on the top of the interlayer insulation film 30 consisting of the SiOC film of a low dielectric constant through a cap insulating film 31, the cap insulating film 31 and the interlayer insulation film 30 are dry-etched with a photoresist film as a mask to form a via hole 37.例文帳に追加
低誘電率のSiOC膜からなる層間絶縁膜30の上部にキャップ絶縁膜31を介してアルミナマスク32aを形成した後、フォトレジスト膜をマスクにしてキャップ絶縁膜31と層間絶縁膜30とをドライエッチングすることによりビアホール37を形成する。 - 特許庁
An interlayer insulation film 13 is formed to cover the emitter electrode 12E and the base electrode 12B, and bonding pads 14E and 14B are formed on the upper layer of a device to be in contact with the emitter electrode 12E and the base electrode 12B respectively by means of the interlayer insulation film 13.例文帳に追加
そして、エミッタ電極12E及びベース電極12Bを被覆する層間絶縁膜13を形成し、層間絶縁膜13を介してエミッタ電極12E及びベース電極12Bとそれぞれコンタクトを取るためのボンディングパッド14E及び14Bをデバイスの上層に形成する。 - 特許庁
To provide a solid state image sensor capable of covering an imaging region with an interlayer insulating film excellent in film thickness accuracy, suppressing sufficiently parasitic capacitance between wiring on the interlayer insulating film and a lower layer at a peripheral circuit region, and thus improving an imaging property.例文帳に追加
膜厚精度良好な層間絶縁膜で撮像領域を覆うとともに、周辺回路領域においては層間絶縁膜上の配線と下層との間の寄生容量を十分に抑えることができ、これにより撮像特性の向上が図られた固体撮像素子を提供する。 - 特許庁
After the second interlayer insulating film 108 and the first interlayer insulating film 107 are dry etched with a resist pattern 109 as a mask to form a contact hole 110, the resist pattern 109 is removed, and thereafter the contact hole 110 is cleaned by using a cleaning liquid containing a hydrofluoric acid.例文帳に追加
第2の層間絶縁膜108及び第1の層間絶縁膜107に対してレジストパターン109をマスクにドライエッチングを行なってコンタクトホール110を形成した後、レジストパターン109を除去し、その後、フッ酸を含む洗浄液を用いてコンタクトホール110を洗浄する。 - 特許庁
To provide an apparatus for cutting an interlayer which has a simple structure, is compact, can easily adjust each part, provides a simple motion of a cutter, can cut an interlayer of a laminated glass during transportation thereof, has a long cutter life, and can reduce breakage of a glass end, and to provide a method using the apparatus.例文帳に追加
単純な構造でコンパクトであり各部の調整が簡単で、カッターの動きが単純で搬送中の合わせガラスの中間膜も切断可能で、しかもカッター寿命が長く、ガラス端部の破損を削減することが可能な中間膜の切断装置及び切断方法を提供する。 - 特許庁
To provide a polishing liquid to be used for barrier metal chemical-mechanical polishing (CMP) for polishing a barrier layer and an interlayer insulating film, in particular, a polishing liquid capable of obtaining an excellent polishing speed with respect to the interlayer insulating film and simultaneously achieving reduction in corrosion on a surface after polishing and in organic residual.例文帳に追加
本発明は、バリア層と層間絶縁膜を研磨するバリアメタルCMPに用いられる研磨液であって、特に、層間絶縁膜に対する優れた研磨速度が得られ、且つ、研磨後表面のコロージョン、有機物残渣の低減を同時に実現し得る研磨液を提供することを目的とする。 - 特許庁
After a second interlayer insulating film 35 is formed, by causing the second interlayer insulating film 35 to self-align with the bit lines 29 and the insulating spacer 33, a fourth opening 37 for exposing the surface of the second pad layer 25b' is formed, and by filling the opening 37 with a conductive material, a storage electrode 39 is formed thereon.例文帳に追加
第2層間絶縁膜35を形成した後、ビットライン29と絶縁性スペーサ33に自己整合させて、第2パッド層25b’の表面を露出させるまでの第4開口部37を形成して、これを導電性物質で埋立て、その上にストレージ電極39を形成する。 - 特許庁
In a scribe line, a region where interlayer insulating films 2, 4 and 6 do not exist on both sides of the scribe line and a surface of a semiconductor substrate 1 is exposed is provided, and the interlayer insulting films 2, 4 and 6 are left at a middle position of the scribe line, namely in a region held between grooves T.例文帳に追加
スクライブライン内において、スクライブラインの両側では層間絶縁膜2、4、6が存在せず半導体基板1の表面が露出する領域を設け、スクライブラインの中央位置、つまり溝Tの間に挟まれた領域には層間絶縁膜2、4、6を残す。 - 特許庁
The carbon nanotube structure is constituted of a first wiring layer 21, an interlayer insulating film 22, and a second wiring layer 23 laminated sequentially; and a via 26 with the carbon nanotube bundle 25 formed to connect electrically the first wiring layer 21 to the second wiring layer 23 in a via hole 24 passing through the interlayer insulating film 22.例文帳に追加
第1配線層21、層間絶縁膜22、第2配線層23が順次積層され、層間絶縁膜22を貫通するビアホール24に、第1配線層21と第2配線層23を電気的に接続するカーボンナノチューブ束25が形成されてなるビア26から構成する。 - 特許庁
A multilayer wiring structure is formed on a substrate 2, which comprises an interlayer insulating film where fluorinated arylene films 6, 16, and 26 which do not contain vacancy as an organic film and SiC films 8, 14, 18, 24, and 28 as an inorganic film are laminated, and wirings 12 and 32 formed in the interlayer insulating film.例文帳に追加
基板2上に、空孔を含まない有機膜としてのフッ素化アリレン膜6,16,26と無機膜としてのSiC膜8,14,18,24,28とを積層してなる層間絶縁膜と、この層間絶縁膜内に形成された配線12,32とを有する多層配線構造を形成する。 - 特許庁
A black layer 32 is formed on a surface outside of a conductive layer 12, a hole is made in an interlayer insulating layer 21 covering the black layer 32, and the conductive layer 12 is etched through the hole to form a hole pattern 31 having holes made through the conductive layer 12 and the interlayer insulating layer 21.例文帳に追加
導体層12の外向きの面に黒化層32を形成し,黒化層32を覆う層間絶縁層21にレーザ加工により穴を開け,この穴を通して導体層12をエッチングし,導体層12および層間絶縁層21を貫通する穴パターン31を形成する。 - 特許庁
The invention relates to the multilayer paperboard comprising at least a surface layer, a back layer and an interlayer composed of a layer or a plurality of layers installed between the surface layer and the back layer, wherein the surface layer and the back layer have water and oil absorbing property and the interlayer has at least a layer having the oil and water resistant property.例文帳に追加
少なくとも表層、裏層、及び表層と裏層との間に配置される1層又は複数層から成る中間層を有する多層抄き板紙であって、表層及び裏層は吸水・吸油性を有し、中間層は少なくとも耐油・耐水性を有する層を有する。 - 特許庁
To prevent separation between an interlayer insulating film and a phase transformation film which constituts a memory layer of a phase transformation memory, and to prevent such a malfunction as the diffusion of constituent atoms of an adhesive layer interposed between the interlayer insulating film, and the diffusion of the phase transformation film in the phase transformation film to fluctuate characteristics of the phase transformation film.例文帳に追加
相変化メモリの記憶層を構成する相変化膜と層間絶縁膜との剥がれを防止すると共に、層間絶縁膜と相変化膜との間に介在する接着層の構成原子が相変化膜内に拡散して相変化膜の特性を変動させる不具合を防止する。 - 特許庁
To provide a semiconductor device and a manufacturing method thereof, an electrooptic apparatus and a manufacturing method thereof, and an electronic apparatus capable of avoiding part of interlayer insulating films in the vicinity of the boundary face from being hollowed out in the case of forming a contact hole penetrated through the interlayer insulating films of at least two layers or over.例文帳に追加
少なくとも2層以上の層間絶縁膜を貫通するコンタクトホールを形成する際に、界面付近で発生するえぐれを解消することができる半導体装置及びその製造方法、電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器を提供すること。 - 特許庁
The compound metal foil is used which is obtained by a method wherein a rolling compound metal foil in which strength of adhesive bonding (interlayer strength) between a copper layer and an aluminum layer is smaller than 3 N/cm is heated at 180-350°C under non-pressurizing condition and the interlayer strength is made at least 6 N/cm.例文帳に追加
銅層とアルミニウム層との接着強度(層間強度)が3N/cm未満の圧延複合金属箔を、無加圧条件下180〜350℃で加熱することにより前記層間強度を6N/cm以上とする方法で得られた、複合金属箔を用いる。 - 特許庁
A movable electrode 20 is formed on a sacrifice layer 15 formed on a silicon substrate 1, and a wiring laminated part where a first interlayer insulation film 16, a first wiring layer 23, a second interlayer insulation layer 17, and a second wiring layer 24 are laminated in this order while partially patterning.例文帳に追加
シリコン基板1上に形成された犠牲層15上に可動電極20を形成し、可動電極20上に、第一層間絶縁膜16、第一配線層23、第二層間絶縁膜17、第二配線層24を、この順に一部をパターニングしながら積層させた配線積層部を形成する。 - 特許庁
The semiconductor device is configured such that an opening size of an interlayer film of a portion closest to a bottom of a contact hole is larger than that of a semiconductor layer, and that a step part between the interlayer film and the semiconductor layer produced by a difference between the sizes of the openings is filled with an insulating film.例文帳に追加
本発明の半導体装置は、コンタクトホールの底部にもっとも近い部分の層間膜の開口径より半導体層の開口径が大きく、その開口径の差で生じる層間膜と半導体層との間の段差部を絶縁膜で埋める構成を有している。 - 特許庁
To provide a method for forming a multilayer wiring and an electronic device by which no special step is conducted to flat a substrate by forming an interlayer insulating film through liquid-phase film formation, and a step can be simplified by such elimination of a separate step to form a contact hole in the interlayer insulating film.例文帳に追加
液相成膜で層間絶縁膜を形成することで、特殊な工程を用いずに基板の平坦化が可能となり、層間絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程が別途不要なので、工程の簡素化が実現できる多層配線の形成方法および電子デバイスを提供すること。 - 特許庁
Erosion is generated in a comparatively dense contact hole forming area by forming a comparatively dense contact hole in one region in the interlayer insulating film, forming a comparatively coarse contact hole in the other region, and implementing CMP to the surface of the interlayer insulating film.例文帳に追加
層間絶縁膜中の一方領域においてコンタクトホールを比較的密に形成し、他方領域においてはコンタクトホールを比較的疎に形成して、層間絶縁膜の表面にCMPを施すことにより、比較的密なコンタクトホールの形成部分にエロージョンを発生させる。 - 特許庁
Consequently, there are discharged a by-product staying on an interface between an upper protective film 6 and a low dielectric interlayer insulating film 5 and a by-product staying on an interface between the etching stopper film 4 and the low dielectric interlayer insulating film 5, and hence it is possible to reduce the remaining amount of such by-products.例文帳に追加
これにより上部保護膜6と低誘電率層間絶縁膜5との界面に滞留した副生成物、およびエッチングストッパ膜4と低誘電率層間絶縁膜5との界面に滞留した副生成物が放出され、副生成物の残留量を減少させることができる。 - 特許庁
On a substrate 1, a lower mask 7 composed of an inorganic interlayer film 5, an organic interlayer film 6 and a silicon oxide film and an upper mask 8 composed of a silicon nitride film are formed and a cover mask 10 composed of a silicon oxide nitride film in a thickness of 20 to 100 nm is formed on the upper mask 8.例文帳に追加
基板1上に無機層間膜5、有機層間膜6、シリコン酸化膜からなる下部マスク7、シリコン窒化膜からなる上部マスク8を形成し、上部マスク8上にシリコン酸化窒化膜からなり膜厚が20乃至100nmであるカバーマスク10を形成する。 - 特許庁
A second conductive layer 13 of a ground potential is formed via a first interlayer insulating film 12 on a semiconductor substrate 11 of low resistance, such as the Si substrate and first and second conductive patterns 15 and 16 are formed via a thick (4.7 μm, for instance) second interlayer insulating film 14 on it.例文帳に追加
Si基板等の低抵抗の半導体基板11上に第1の層間絶縁膜12を介してグランド電位の第2の導電層13を形成し、その上に厚い(例えば4.7μm)第2の層間絶縁膜14を介して第1、第2の導電パターン15、16を形成する。 - 特許庁
On the entire surface of the TMR element 5 as well as on the upper surface of the TMR lower electrode 28, an interlayer insulating film 30 formed of LT-SiN is formed, with an interlayer insulating film 32 of LT-SiN formed to cover the entire surface including the side surface of the TMR lower electrode 28.例文帳に追加
TMR素子5の全面及びTMR下部電極28の上面上にLT−SiNより形成される層間絶縁膜30が形成され、TMR下部電極28の側面を含む全面を覆ってLT−SiNよりなる層間絶縁膜32が形成される。 - 特許庁
A semiconductor device has a first wiring layer 13, an interlayer insulating layer 15 made on the first wiring layer 13, a via plug 16a made inside the interlayer insulating film 15 and made on the first wiring laeyr 13, and second wiring layers 17 and 19 connected with the via plug 16a.例文帳に追加
本発明の半導体装置は、第1配線層13と、第1配線層13上に形成された層間絶縁膜15と、層間絶縁膜15内に形成され第1配線層13上に形成されたビアプラグ16aと、ビアプラグ16aと接続する第2配線層17、19とを有する。 - 特許庁
A region overlapping the conductive material layer 20 between the interlayer insulating layer 26 and the gate insulating layer 22, and the conductive material layer 20 are irradiated with a laser beam, thereby forming a via hole 28 piercing the interlayer insulating layer 26 and the gate insulating layer 22 but not piercing the conductive material layer 20.例文帳に追加
層間絶縁層26とゲート絶縁層22との導電材料層20にオーバーラップする領域と、導電材料層20とにレーザ光を照射し、層間絶縁層26とゲート絶縁層22とは貫通するが、導電材料層20は貫通しないビアホール28を形成する。 - 特許庁
The pieces of the electrode wiring 19a and 19b connected electrically to the lower electrode 6a or the upper electrode 6c upward of the capacity element 6 from among each wiring 12, 19a and 19b are provided in an n+1-th layer interlayer insulating film 15 provided on the interlayer insulating film 8.例文帳に追加
各配線12,19a,19bのうち、容量素子6の上方で下部電極6aまたは上部電極6cに電気的に接続された電極用配線19a,19bは、層間絶縁膜8の上に設けられた第n+1層目の層間絶縁膜15内に設けられている。 - 特許庁
Since in such a case, the first and second polymeric layers have poor interlayer adhesion in the absence of a boron-containing compound, the improvement comprises the inclusion of at least one boron-containing compound in one or both of the first and second polymeric layers in an amount sufficient to improve the interlayer adhesion therebetween.例文帳に追加
改良点は、該第一および第二重合体層の一方または両方に、該第一重合体層と該第二重合体層との間の層間接着性を向上させるのに十分な量で、少なくとも1種のホウ素含有化合物を含有させることを包含することにある。 - 特許庁
This semiconductor device is equipped with a lower conductive layer 124 formed on a semiconductor substrate 100, an interlayer dielectric layer 150 that covers the lower conductive layer 124, contact holes 160-164 formed inside the interlayer dielectric layer 150, and contact plugs 170-174 that embed the contact holes 160-164.例文帳に追加
半導体基板100上に形成された下部導電層124、下部導電層124を覆う層間絶縁膜150、層間絶縁膜150内に形成されるコンタクトホール160〜164、及びコンタクトホール160〜164を埋めるコンタクトプラグ170〜174を備える。 - 特許庁
When the interlayer insulating film 22D is made of a negative type material, the predetermined region is exposed with an exposure amount larger than the exposure sensitivity and the region of the interlayer insulating film 22D except the predetermined region is exposed with an exposure amount larger than the exposure amount larger than the exposure sensitivity.例文帳に追加
一方、層間絶縁膜22Dがネガ型の材料からなる場合には、露光感度よりも高い露光量で上記所定の領域を露光すると共にその露光量よりも高い露光量で層間絶縁膜22Dのうち上記所定の領域を除く領域を露光する。 - 特許庁
To provide a manufacturing method where an interlayer insulating resin and the barrier metal of a plated wiring uppermost layer can obtain high adhesiveness, for a method for obtaining the adhesiveness between a fine wiring surface and the interlayer insulating resin especially in the wiring transfer method of a multilayer interconnection board.例文帳に追加
多層配線板の、特に配線転写工法における微細配線表面と層間絶縁樹脂の密着性を得る方法に関する問題に鑑み、層間絶縁樹脂とメッキ配線最上層のバリアメタルとが高い密着性を得ることができる製造方法を提供する。 - 特許庁
This device contains a silicon substrate 10 on which a MOS element 14 and an element-isolation region 12 are formed, a first interlayer insulation layer 20 formed on the silicon substrate 10, and a metallic wiring layer 30 (and 50) formed on the first interlayer insulation layer 20.例文帳に追加
多層配線構造を有する半導体装置は、MOS素子14および素子分離領域12が形成されたシリコン基板10、シリコン基板の上に形成された第1の層間絶縁層20、および第1の層間絶縁層より上に形成された金属配線層30(および50)を含む。 - 特許庁
A gate electrode 17 is disposed in a gate trench 15 formed on a silicon substrate 10, a top surface of the gate electrode 17 is coated with an interlayer dielectric 20, and the source electrodes 21 are disposed on the top surface of the interlayer dielectric 20 and above a top surface of the silicon substrate 10.例文帳に追加
シリコン基板10に形成されたゲートトレンチ15内にゲート電極17が配置され、ゲート電極17の上面が層間絶縁膜20で被覆され、ソース電極21が層間絶縁膜20の上面およびシリコン基板10の上面に配置されている。 - 特許庁
After an interlayer insulating film 3 is formed on a semiconductor substrate 1, a contact hole 3a is formed on the interlayer insulating film 3, and a barrier metal layer 4 composed of a titanium (Ti) layer 4a and a nitride titanium (TiN) layer 4b is formed in a bottom part and the side wall of the contact hole 3a.例文帳に追加
半導体基板1上に層間絶縁膜3を形成し、層間絶縁膜3にコンタクトホール3aを形成した後に、コンタクトホール3aの底部および側壁に、チタン(Ti)層4aおよび窒化チタン(TiN)層4bからなるバリアメタル層4を形成する。 - 特許庁
Therefore, since several kinds of interference type filter layers are respectively arranged on the different layer through the interlayer film, the interlayer film being foundation functions as an etching stopper or an etching buffer in the case of patterning the filter layers, and dry etching can be performed to realize the scale-down of the color filter.例文帳に追加
したがって、複数種類の干渉型フィルタ層が層間膜を介してそれぞれ別々の層に配置されているため、各フィルタ層をパターニングする際に、下地の層間膜画エッチングストッパ若しくはエッチングバッファとして機能し、ドライエッチングが可能となりカラーフィルタの微細化が可能となる。 - 特許庁
To provide a roughening method for Cu plating wiring which provides a higher firm sticking property of fine wiring and interlayer insulating layer relating to a method of obtaining the firm sticking property of the fine wiring and the interlayer insulating resin in manufacturing of a multilayered wiring board and satisfies electric characteristics.例文帳に追加
多層配線板の製造における微細配線と層間絶縁樹脂の密着性を得る方法に関する問題に鑑み、さらなる微細配線と層間絶縁層が高い密着性を得るとともに電気特性も満足するCuメッキ配線の粗化方法を提供する。 - 特許庁
Also, a Locos oxide film 12 is formed on the element region by thermal oxidation treatment, an interlayer insulation film 13 is formed on the Locos oxide layer 12, and a collector electrode 14, a base electrode 15, and an emitter electrode 16 through the interlayer insulation film 13 are connected.例文帳に追加
また、素子領域の上には、熱酸化処理によってLocos酸化膜12が形成されており、このLocos酸化層12の上には層間絶縁膜13が形成され、層間絶縁膜13を貫通するコレクタ電極14、ベース電極15、エミッタ電極16が接続されている。 - 特許庁
To provide a highly durable transparent hard coating film which can assure interlayer adhesive properties even when a hard coating layer is laminated in order to solve problems which cannot assure a working easiness, which are further difficult to stabilize a surface modifying effect, and which do not hence stabilize the interlayer adhesive properties.例文帳に追加
作業容易性を確保できず、さらに表面改質効果を安定させることも困難であり、ひいては層間密着性が安定しない、という問題点を克服すべく、ハードコート層を積層しても層間密着性を確保可能とした、高耐久性透明ハードコートフィルムを提供する。 - 特許庁
The semiconductor device has stacked-layer gate electrodes (1 to 7) formed on a semiconductor substrate (1), and an interlayer insulating film (10A) formed on the semiconductor substrate (1) so as to embed itself between the stacked-layer gate electrodes (1 to 7), wherein the impurity concentration within the interlayer insulating film (10A) is nonuniform in the thickness direction.例文帳に追加
半導体基板(1)上に形成された積層ゲート電極(1〜7)と、半導体基板(1)上に、積層ゲート電極(1〜7)間を埋め込むように形成された層間絶縁膜(10A)とを備えた半導体装置であって、層間絶縁膜(10A)中の不純物濃度が、膜厚方向において不均一である。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing an interlayer capable of forming a range which almost does not have coloration without depending on its shape, freely and without forming distortion, at a colored part of an interlayer for a laminated glass for vehicle having a colored part for forming a shade band.例文帳に追加
本発明は、シェードバンド形成のための着色部を有する車両合わせガラス用中間膜の着色部に、その形状によらずに自在にかつ歪を生じさせずに着色の殆どない領域を形成させることが可能な該中間膜の製造方法を提供することを課題とする。 - 特許庁
A tungsten film 7a is formed inside a connection hole 5 reaching the lower wiring layer 3 and on the surface of an interlayer insulating film 4 through a barrier metal layer (TiN film/Ti film) 6, and an etching back process is performed on the whole surface to form the tungsten plug 7 and to expose the barrier metal layer 6 on the interlayer insulating film 4.例文帳に追加
下層配線層3に達する接続孔5内および層間絶縁膜4表面にバリアメタル層(TiN膜/Ti膜)6を介してタングステン膜7aを成膜し、全面エッチバックによりタングステンプラグ7を形成して層間絶縁膜4上のバリアメタル層6を露出させる。 - 特許庁
A groove portion 10 is formed on an interlayer insulating film 4 formed on a substrate, a barrier/seed film 6 is formed on an interlayer insulating film 3 including the inner wall of the groove portion 10, and a copper 7 is embedded in the groove portion 10 by an electrolytic method, with the barrier/seed film 6 used as an electrode.例文帳に追加
基板上に形成された層間絶縁膜4に溝部10を形成した後、溝部10の内壁を含む層間絶縁膜3上にバリアシード膜6を形成し、バリアシード膜6を電極として、電解メッキ法により溝部10内に銅7を埋め込む。 - 特許庁
As an ultraviolet absorber according to this invention, an interlayer insulating resin including fullerene is used thereby causing no deactivation of the ultraviolet absorber, while they pass through the heating step in the steps of usual drying and hardening and can obtain the interlayer insulating resin having the UV-laser processability.例文帳に追加
本発明の紫外線吸収剤としてフラーレンを含んでなる層間絶縁樹脂を用いることにより、通常、乾燥、硬化させる際に、加熱工程を通ることにより、紫外線吸収剤が失活せずに、UVレーザーの加工性をもつ層間絶縁樹脂を得ることができる。 - 特許庁
In the organic electric field light-emitting element having an organic layer that includes first and second electron transport layers between an anode and cathode and an interlayer between the first and second electron transport layers, the interlayer includes non-metal complex.例文帳に追加
陽極及び陰極の間に、第一の電子輸送層、第二の電子輸送層、及び前記第一の電子輸送層と前記第二の電子輸送層の間に中間層を含む有機層を有してなり、前記中間層が、金属非含有錯体を含有する有機電界発光素子である。 - 特許庁
On a semiconductor substrate 7 forming the substrate of the semiconductor chip 1, a first wiring layer 8, a first interlayer film 9, a second wiring layer 10, a second interlayer film 11, a third wiring layer 12, and an uppermost layer wiring coating film 15 are laminated from the side of the semiconductor substrate 7 in this order.例文帳に追加
半導体チップ1の基体をなす半導体基板7上には、第1配線層8、第1層間膜9、第2配線層10、第2層間膜11、第3配線層12および最上層配線被覆膜15が半導体基板7側からこの順に積層されている。 - 特許庁
The layer (80) consists of a light shielding electrically conductive film and includes a second capacitive electrode which are placed opposite to a first capacitive electrode that is a portion of the capacitive line across the interlayer insulation film and a light shielding section that at least covers the scanning line partially from the top through the interlayer insulation film.例文帳に追加
中間導電層は、遮光性の導電膜からなり、容量線の一部である第1容量電極に層間絶縁膜を介して対向する第2容量電極を含むと共に走査線を少なくとも部分的に層間絶縁膜を介して上方から覆う遮光部を含む。 - 特許庁
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