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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > ガス発生速度に関連した英語例文

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ガス発生速度の部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 132



例文

真空環境に暴露されても、樹脂からのガス放出速度が小さく、また真空環境を汚染するガス発生が少なく、さらに渦電流による損失が少ない真空モータの提供。例文帳に追加

To provide a motor in vacuum, wherein the outgassing speed from its resin is made small even when it is exposed to a vacuous environment, and the generation of such a gas as to contaminate the vacuous environment is made small, and further, the loss caused by its eddy current is reduced. - 特許庁

着火手段41,42の作動時期や時間差を選択することで、発生圧力を変化させると共に第3圧力室13で混合燃焼するガスの組成変更も可能にし、ガス放出速度の制御の自由度を高めた。例文帳に追加

The generating pressure is changed by selecting the operating timing and a time difference of the ignition means 41 and 42, and the composition of the gas mixedly burnt in the third pressure chamber 13 can be changed, and a degree of freedom of control of a gas blowoff speed is enhanced. - 特許庁

制御手段14が、各ガスセンサ12で測定された可燃性ガスの濃度および速度に基づいて可燃性ガス発生量を求め、可燃性ガスが被制御室11の床面11bに沿って流れないよう、あらかじめ設定された可燃性ガス発生量と排気口22からの排気量との関係に従って排気手段13を制御可能に構成されている。例文帳に追加

A control unit 14 is configured to calculate the yield of the combustible gas based on the concentration and speed of the combustible gas measured by each gas sensor 12, and to control the exhaust unit 13 according to a relation between the preliminarily set generation amount of the combustible gas and exhaust amount from the exhaust port 22 so that the combustible gas can be prevented from flowing along a floor 11b of the controlled chamber 11. - 特許庁

着火速度が大きく、また粉砕性も良好なMg・Al合金粉末を含んだ着火薬と、この着火薬を有するイニシエータと、このイニシエータを備えてなるガス発生器と、このガス発生器を備えたエアバッグ装置及びシートベルト装置とを提供する。例文帳に追加

To provide an igniting powder containing Mg/Al alloy powder having a large ignition speed and good pulverizability, an initiator having the igniting powder, a gas generator equipped with the initiator, and an air bag unit and a seat belt unit equipped with the gas generator. - 特許庁

例文

適度な燃焼速度を有し、実質的に一酸化炭素を生成せず、感度が適正で取扱いが容易であるとともに、安価なガス発生剤組成物及びその成形物並びにガス発生剤成形物を所定形状に容易に、しかも効率良く製造することができるガス発生剤成形物の製造方法を提供する。例文帳に追加

To obtain an inexpensive gas generator composition having a proper combustion rate, substantially not forming carbon monoxide, having appropriate sensitivity and ready handling and a formed material of a gas generator and to provide a method for producing a gas generator formed material capable of readily forming a gas generator into a fixed shape and efficiently producing the formed material. - 特許庁


例文

最終的に形成されるガスセンサは、検知素子と補償素子で発生する熱をそれぞれ遮断でき、ガス感度が向上し、貫通孔によるガスの流動性向上により応答速度が向上し、また、各素子と導通を取る電極が表面に集約されることで実装が容易になる。例文帳に追加

A gas sensor in the final formation can insulate heat generated by the sensing element and the compensating element to improve gas sensitivity, improve response speed due to an improvement of gas flowability by the through holes, and facilitate implementation by integrating electrodes conductive to each element in the front surface. - 特許庁

ガス発生システム(30)は、水溶液の連続した流れからガスを生成するように構成された化学反応器(32,132)と、ガスの生成速度を制御するために、化学反応器(32,132)を通る水溶液の流れを制御するように構成されたポンプ(36,136,236)とを含む。例文帳に追加

The gas generation system (30) includes the chemical reactors (32 and 132) constituted so as to form the gas from the continuous flow of the aqueous solution and the pumps (36, 136 and 236) constituted so as to control the flow of the aqueous solution passing through the chemical reactors (32 and 132) in order to control the gas generating speed. - 特許庁

可燃ガス発生源近くに設置可能で、検出器自体の応答速度も速く、それでいて多大な費用を要することなく可燃ガスを検知して、可燃ガスの悪影響を防止可能な脱臭システムとこれに用いる脱臭方法を提供する。例文帳に追加

To provide a deodorizing system capable of being installed in the vicinity of a combustible gas generation source, having a detector having a high response speed and capable of detecting a combustible gas without requiring a considerable cost to prevent the adverse effect of the combustible gas, and a deodorizing method used therein. - 特許庁

制御装置8は、現在の回転速度Neに基づき、ガスタービンエンジン2が比較的高効率かつ低エミッションの運転が可能となる発生電力量Qoutを回転速度発生電力量マップから検索した後、要求電力量Qdemと発生電力量Qoutとの差Qdiffを算出する。例文帳に追加

Based on a current engine speed Ne, a control device 8 searches a generated electric energy Qout, where a gas turbine engine 2 can be operated with relatively high efficiency and low emission, from an engine speed-generated electric energy map, and then calculates a difference Qdiff between a required electric energy Qdem and generated electric energy Qout. - 特許庁

例文

単電極溶接で溶接速度80cm/分以上、2電極溶接で溶接速度150cm/分以上の条件においても、溶接ビード表面に気孔欠陥が発生せず、健全な溶接ビードを得ることができるガスシールドアーク溶接方法を提供する。例文帳に追加

To provide a gas shielded arc welding method, in which a sound welding bead is obtained without causing the defect of pores on the surface of a welding bead, even on condition that the welding speed is80 cm/min in single electrode welding and the welding speed is150 cm/min in two electrode welding. - 特許庁

例文

このガス導入室3aは、その中心軸3bとガス導入通路2の出口部2b付近でのガス状流体の最大速度ベクトル20の延長線20aとが所定の距離を離して交差する関係に設定されているので、ガス導入室3a内に渦流を発生させることが可能となり、排気ガス還流装置内へのデポジットの堆積が防止できる。例文帳に追加

Since an axis 3b of the gas introduction chamber 3a and an extended line 20a of the maximum speed vector 20 of gaseous fluid near an outlet part 2b of the gas introduction passage 2 are established in a relation crossing with a predetermined distance separated, a swirl can be generated in the gas introduction chamber 3a and accumulation of deposit on the inside of the exhaust gas recirculation device can be prevented. - 特許庁

燃焼速度と最大厚さをバランス良く調整することで燃焼完了時間の調整をすることができ、ミストをキャッチしやすいガス発生剤成形体の提供。例文帳に追加

To provide a gas generant molded article capable of controlling the combustion completion time by adjusting the combustion rate and the maximum thickness well-balanced and easily collecting generated mist. - 特許庁

耐熱性に優れて加熱時に発生するガスを低減でき、有機溶媒やアルカリに対する溶解速度が速く、しかもアルカリ現像性に優れた重合体を提供する。例文帳に追加

To provide a polymer which has an excellent heat stability, generates a reduced amount of gas when heated, and has a high rate of dissolution in organic solvents and alkalis and a superior alkali developability. - 特許庁

コリオリ力による気体流の偏向によって生じる温度変化を検知することにより角速度を検出するガスレートセンサにおいて、気体流を密閉された空間内の気体の一部を加熱することによって発生した。例文帳に追加

The gas rate sensor detects angular velocity by detecting temperature change, caused by the deflection of gas flow due to the Coriolis force, and in the gas rate sensor, gas flow is generated by heating a part of gas inside a sealed space. - 特許庁

マス重心から等位置に設けられた溝15に設置される、弾性を持つガスケット16は、マス12と加速度計筐体11の間で潰されているため、常に圧力が発生している。例文帳に追加

Since gaskets 16, with elasticity installed in grooves 15 provided at equal positions from a mass center of gravity, are crushed between a mass 12 and an accelerometer casing 11, pressure is generated at all times. - 特許庁

従って、容器11からは、シリコン基板21の分解反応に伴って発生する副生成ガスである二酸化窒素や、SiF_4が排出されることとなり、シリコン基板の分解速度の向上を図ることができる。例文帳に追加

Since by-product gas, e.g. nitrogen dioxide or SiF_4, being produced through decomposition reaction of the silicon substrate 21 is discharged from the container 11, decomposition rate of the silicon substrate can be enhanced. - 特許庁

水が共存しても水素などのガス発生を防止し、しかも脱酸素速度が速く、短時間で脱酸素が可能な脱酸素剤およびその包装体の提供。例文帳に追加

To provide a deoxidant capable of preventing gases such as hydrogen from generating even in the case of coexistence of water, having a high deoxidation rate and deoxidizing in a short time, and its packaging material. - 特許庁

蒸留塔の塔底液のポリテトラメチレンエーテルグリコールの濃度が60重量%以上で、かつ塔底液からのメタノールガス発生速度が10m^3/m^2・分以下となるように蒸留塔を操作する。例文帳に追加

The distillation tower is operated in such conditions that the concentration of the polytetramethylene ether glycol in the bottom liquid of the distillation tower becomes60 wt.% and the speed of the generation of methanol gas from the bottom liquid becomes10 m^3/m^2.min. - 特許庁

負荷に応じて、ガスタービン2の最適な回転速度を選定し、コンバータ19が発生する発電機3の端子電圧の周波数を制御する。例文帳に追加

The optimum rotational speed of the gas turbine 2 is selected, and the frequency of the terminal voltage of the generator 3 generated by the inverter 19 is controlled corresponding to a load. - 特許庁

この発明は、狭い範囲でアークに高圧力部分を発生させ、アークの流れの加速度を高めることで、その冷却を促進させ、遮断性能を向上させることができるパッファ形ガス遮断器を得る。例文帳に追加

To obtain a buffer type gas-blast circuit breaker which expedites its cooling and improve breaking performance by heightening acceleration of arc flow through generation of high-pressure part in the arc in a narrow range. - 特許庁

耐熱性良好であるが、燃焼性、又は摩擦感度に問題のあるBHTのアンモニウム類を用い、摩擦感度が低く、着火性、燃焼速度が良好なガス発生剤組成物用燃料混合物を提供すること。例文帳に追加

To provide a fuel mixture for a gas generating agent component which is low in friction sensitivity and is good in ignitability and combustion rate by using ammoniums of BHT which is good in heat resistance but has a problem in combustibility or the friction sensitivity. - 特許庁

特に、従来優れた燃料改質性能を達成することが困難であった、LHSV>30h^−1という高空間速度条件下においても優れた改質性能が得られ、効率的に水素ガス発生しうる。例文帳に追加

The excellent reforming performance is attained in particular even under the high space velocity condition of LHSV>30 h^-1 where it has been difficult up to now to attain the excellent fuel reforming performance and gaseous hydrogen is efficiently produced. - 特許庁

油圧作業機の作動力や作動速度を大きくしようとするときでもエンジンの出力を大きくする必要がなく、騒音や排ガス発生を低減し得る構成の架装作業車を提供する。例文帳に追加

To provide an equipment-mounted working vehicle with a constitution eliminating the need to increase an output of an engine even if trying to increase operating forces or operation speeds of hydraulic working machines, for reducing the generation of noise or exhaust gas. - 特許庁

溶湯へのガスの巻き込みが発生しないように溶湯の鋳込速度を制御しつつ、全体としては高速に鋳込むことを可能とした竪型鋳造装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a vertical type casting apparatus with which as the whole, molten metal can be cast at high speed while controlling the casting speed of the molten metal so as not to cause the entrapment of gas into the molten metal. - 特許庁

また、有効排気速度を小さくしないとともに、真空チャンバー内から発生する異物のガスを効率良く除去することができ、排気手段であるポンプの汚染を防止することもできる。例文帳に追加

It also allows efficiently removing the foreign gas generated from inside the vacuum chamber without decreasing the effective exhaust rate and preventing contaminating of a pump as the exhaust means. - 特許庁

いま、ストリーマ放電進展速度をv_s、電極間における放電の発生頻度をfとすると、このプラズマ排ガス処理設備Pは、5^-1(d/v_s)≦τ≦5(d/v_s)及びf≦1kppsなる条件を満たした状態で運用される。例文帳に追加

When streamer propagation velocity is represented by Vs and discharge occurrence frequency between the electrodes is represented by f, then the plasma waste gas treatment facility P is put into operation that satisfies the conditions of 5-1 (d/vs)≤τ≤5(d/vs) and f≤1 kpps. - 特許庁

含窒排水の処理を高速度化し、且つ温暖化ガス発生を抑制し得る、硝化用・脱窒用金属担持微生物固定化担体、これらを用いた排水処理方法、及び特定金属を利用する排水処理方法を提供すること。例文帳に追加

To provide nitrifying/denitrifying metal supported microorganism-immobilized carriers which increase the treatment speed of nitrogen-containing wastewater and suppress the generation of a warming gas, a wastewater treatment method using them and a wastewater treatment method utilizing a specific metal. - 特許庁

さらにまた燃料の発電部2における化学反応に伴って発生するガスを燃料タンク1の加圧に用いないので、発電部2における燃料の化学反応速度が低下することを防止あるいは抑制することができる。例文帳に追加

Further, since gas generated due to a chemical reaction of the fuel in the power generation part 2 is not used for pressurization of the fuel tank 1, therefore, it prevents or inhibits a reduction in chemical-reaction speed of the fuel in the power generation part 2. - 特許庁

車両の衝突速度が所定値以上である場合等には、ガス発生器58が作動し、ロッド32がスリーブ36から抜出し、エアバッグ14と共に延長片20,22も膨張する。例文帳に追加

When a collision speed of a vehicle is a prescribed value or more, a gas generator is actuated, and a rod 32 slips off from a sleeve 36, so as to inflate the air bag 14 together with the extension pieces 20, 22. - 特許庁

燃焼速度は速いが、着火性が悪いPSAN−BHT・アンモニウム系のガス発生剤の、着火性を良好にする成形物の混合物の提供。例文帳に追加

To provide a mixture of moldings which improves the ignitability of a phase stabilized ammonium nitrate(PSAN) and 5,5'-bi-1H-tetrazole(BHT) ammonium-based gas generating agent of which the combustion rate is high but the ignitability is inferior. - 特許庁

連絡孔27aの大きさは、例えば連絡孔27a内を上から下に流れるガスの流速が下側空間で発生する汚染物質の実効的な移動速度よりも速くなるように設定される。例文帳に追加

A size of the connection opening 27a is set so that flow velocity of gas flowing in the connection opening 27a from an upper part to a lower part becomes faster than valid moving speed of contaminant generated in lower space, for example. - 特許庁

陽極板表面に対しエッチング液を撹拌しつつ均一に接触させて反応速度を一様にし、塩素ガス発生を抑制しつつ、電極板間に対する印加電圧を高くする。例文帳に追加

To uniformly bring the surface of an anode plate with an etching soln. while the etching soln, is stirred, to uniformize the reaction rate and to increase the applying voltage to a space between the electrode plates while the generation of gaseous chlorine is suppressed. - 特許庁

大気温度で水と急速に反応して引火性/可燃性ガスの最大発生速度が20L/時/kg以上であり、かつ区分1に該当しない物質または混合物例文帳に追加

Substances or mixtures (other than those classified as Category 1) that react rapidly with water at ambient temperatures and are liable to emit flammable gases, or whose maximum generation rates of flammable gases exceed 20 liter/min/kg. - 経済産業省

大気温度で水と穏やかに反応して引火性/可燃性ガスの最大発生速度が1L/時/kg以上であり、かつ区分1、区分2に該当しない物質または混合物例文帳に追加

Substances or mixtures (other than those classified as Category 1 or 2) that react slowly with water at ambient temperatures and are liable to emit flammable gases, or whose maximum generation rates of flammable gases exceed 1 liter/min/kg. - 経済産業省

錯金属水素化物を加水分解させて水素を発生させるに際して十分な水素発生速度及び水素発生量を達成することが可能であり、また、空気中のアルデヒド類やチオール類、排ガス中のNOx等といった有害ガスを常温あるいは従来よりも低温においてより確実に浄化することが可能な触媒及びその製造方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a composite catalyst and its production method capable of generating a sufficient amount of hydrogen at an appropriate generating rate in the generation of hydrogen by hydrolysis of a complex metal hydride and capable of steadily purging harmful gases such as aldehydes and thiols in the air and NOx in exhaust gas at a temperature lower than room or conventional temperatures. - 特許庁

高圧アシストガスで加工するレ−ザ加工において、プラズマ光発生による不良切断時に、単に切断速度を低下したり、軸を停止するのでなく、能動的にプラズマ光の発生を抑制して即座に不良切断をなくするようにする。例文帳に追加

To provide a laserprocessing method and device which not only decreases the cutting speed and stops the shaft but also positively prevent generation of plasma rays and eliminate a promptly defective cutting in a defective cutting due to generation of plasma rays in a laser processing device performing a laser processing on a work W with high pressure assist gas. - 特許庁

プラズマアーク溶接において、シールドガス中に酸素を含ませることで、酸化熱による穴開け速度の向上や爆飛発生の抑制等といった効果が得られるようにしつつ、溶接部にブローホールやスラグが発生するのを抑制する。例文帳に追加

To suppress the occurrence of a blowhole and slag in a weld zone while allowing such an effect as an increase in a perforating speed by the heat of oxidation and suppression of the occurrence of an explosion to be obtained by including oxygen into shielding gas in plasma arc welding. - 特許庁

機体の円周方向に8つのスラスタノズル2を設け、旋回加速度発生方向と逆方向にある2つのノズルから、その方向に対して斜め方向にガスを噴射することにより、空力干渉による悪影響が小さく抑えつつ、それらの推力の合力によって所望の旋回加速度発生させる。例文帳に追加

Eight thruster nozzles 2 are provided in a circumferential direction of the body, and by jetting gas in directions oblique to the turning acceleration generating direction from two nozzles in opposite directions to the turning acceleration generating direction, the desired turning acceleration is generated by resultant force of their thrusts while minimizing an adverse effect by aerodynamic interference. - 特許庁

廃棄物から有価金属を回収する廃棄物処理方法において,廃棄物を燃焼させ,有価金属を含有した残渣物を回収し,前記燃焼によって発生したガスを完全燃焼させ,前記完全燃焼させたガスをダイオキシン類の再合成が生じない冷却速度で冷却することとした。例文帳に追加

In this waste disposal method for recovering the valuable metals from waste, the residues containing the valuable metal are recovered by burning the waste, while gas generated by combustion is completely burnt, and then, cooled down at a cooling speed causing no recomposition of dioxin and the like. - 特許庁

廃棄処理として焼却などするときに塩化水素ガス等の有毒なガス発生がなく、後加工性に適した適度な柔軟性を有し、高速度で貼合せを行っても貼合せ面にエアーが残ることなく、意匠性に優れた化粧シートの製造方法を提供することにある。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a decorative sheet having excellent design properties without retaining air on a laminating surface even by laminating at a high speed by incorporating suitable flexibility adapted to post workability without generating a toxic gas such as a hydrogen chloride when incinerated as a discarding treatment. - 特許庁

ガスバブルを液体浴の基部で均一に発生させることができ、またガスバブルの流れを調整することで鋳造物の構造上の差異に起因する冷却速度の違いに対応できる軽金属鋳造物の焼き入れ方法および装置を提供する。例文帳に追加

To provide a quenching apparatus for light metal casting with which gas bubbles can uniformly be developed at the base part of a liquid bath and which can respond to the difference in cooling speed caused by the difference in the structures of the castings, by adjusting the flow of the gas bubbles, and a quenching method used therefor. - 特許庁

これにより、パルス管3に流入する作動ガス速度分布が一様になり、パルス管の高温側を下にして設置したときの作動ガスの自然対流や渦の発生を最小限に抑えて性能の低下を低減することができる。例文帳に追加

Whereby a distribution of a speed of the working gas flowing into the pulse pipe 3 is unified, the generation of the natural convection and vortex of the working gas in a case of keeping the high-temperature side of the pulse pipe down, can be minimized, and the impairing of the performance can be reduced. - 特許庁

ガス発生率よりも大きなガス透過率を有すると同時に、化学物質が分解する速度に応じた、液剤から生じる所定量の蒸気を透過する蒸気透過率を有するプラスチックフィルムにより容器を構成する。例文帳に追加

The container is constituted of a plastic film which simultaneously has a gas permeability larger than a gas generating ratio and has a vapor permeability which enables a specified amount of vapor generated from the liquid agent to permeate into the film in accordance with a decomposition rate of the chemical substance. - 特許庁

高温環境下での鋳型造型用粘結剤組成物の粘度上昇を抑制し、かつ鋳造時における二酸化硫黄ガス、塩化水素ガス、及びホルムアルデヒドガス発生を抑制できる上、鋳型用組成物の硬化速度の低下を抑制でき、更には、調製時の水酸化カルシウムの溶解性を向上できる鋳型造型用粘結剤組成物と、これを用いた鋳型用組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a binder composition for mold molding, along with a composition for a mold using the same, capable of suppressing a rise in viscosity of a binder composition for molding a mold under a high temperature environment, suppressing occurrence of sulfur dioxide gas, hydrogen chloride gas, and formaldehyde gas at the time of molding, suppressing a drop in solidification speed of the composition of a mold, and improving solubility of calcium hydroxide during preparation. - 特許庁

立形ガスタービン12と、該立形ガスタービン12の回転速度を減速する立形減速機14とを有し、該立形減速機14の鉛直方向に延びる出力軸60を、非接触シールの隙間にガスタービン12で発生した圧縮空気を導入するようにしたシール装置68でシールした。例文帳に追加

A vertical gas turbine device has a vertical gas turbine 12 and a vertical speed reducer 14 for reducing the rotational speed of the vertical gas turbine 12, and an output shaft 60 extending in the vertical direction of the vertical speed reducer 14 is sealed by a seal device 68 for introducing compressed air generated in the gas turbine 12 into a clearance of a non-contact seal. - 特許庁

セラミック体の多孔質性により処理用ガスを分散して拡散導入することができ、容器体内の処理用ガスの均一化を図ることができ、処理用ガスの均一化により容器体内に発生するプラズマのプラズマ密度の均一化を図ることができ、基板表面の処理むらを抑制して処理品質を高めることができると共に処理速度を高めて作業性を向上することができる。例文帳に追加

To diffusibly introduce processing gas while dispersing the gas, by making use of the porousness of a ceramic body, homogenize the processing gas in a vessel, homogenize the density of plasma generated in a vessel by the homogenization of the processing gas in the vessel, reduce processing unevenness on the surface of a substrate for raising processing quality, and improve workability by enhancing processing speed. - 特許庁

該方法ではプラズマアークトーチ12を通してかつ加工片に向けてプラズマガスを差し向け、アークが加工片を切断するようにアークを電極から加工片に発生させるために電極に電流を供給し、トーチが決定可能の角速度をもつようにトーチを予定の切断経路に沿って予定の直線進行速度で移動させ、直線進行速度と、トーチの角速度に比例した制御パラメータの両者の関数として電極に供給された電流を調整することを含む。例文帳に追加

The current to be fed to the torch is adjusted as the function of both the straight traveling speed and the angular velocity of the torch. - 特許庁

過酸化硫酸塩を主剤とするエッチング液に、硫酸塩、硫酸水素塩およびアゾール類、さらに炭酸塩を含有することで、不快なガスなどの発生も無く、作業環境性が良く、取り扱いも簡単で,垂直方向へのエッチング速度と左右方向へのエッチング速度の比(エッチファクター)が大きく、エッチング精度が向上する銅および銅合金のエッチング液。例文帳に追加

Sulfate, hydrogen sulfate, azoles and carbonate are incorporated into an etching solution comprising sulfate peroxide as the main agent, so that the easily treatable etching solution for copper and copper alloys free from the occurrence of unpleasant gas, having satisfactory work environmental properties, a high ratio (etching factor) between the etching rates in vertical and in horizontal directions and improved etching accuracy is prepared. - 特許庁

酸性リン酸カルシウム塩及びプロテアーゼを含む粉末部と、炭酸水素ナトリウム等の炭酸塩及びガス発生速度を調節するポリカルボン酸のモノアルカリ金属塩等を含む粘液部で構成した用時調製型化粧品。例文帳に追加

The cosmetic to be prepared in use is composed of a powdery part containing acidic calcium phosphate and a protease and a viscous liquid part containing a carbonate such as sodium bicarbonate and a polycarboxylic acid mono-alkali metal salt, etc., for controlling the generation rate of the gas. - 特許庁

例文

プラズマ分布の均一性確保とプラズマ処理空間からプラズマ発生空間へのガス流入阻止の両立が図れるうえ、プラズマ成分比率の制御性がよいことに加えて、イオン種の直進速度も独立に制御可能となる。例文帳に追加

This will enable the plasma distribution uniformity to be secured and the gas inflow from the plasma processing space into the plasma generation space to be stopped, and the forthright speed of the ion species to be independently controlled, moreover satisfactory controllability for the plasma component ratio. - 特許庁

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