「清浄度」に関連した英語例文の一覧と使い方(10ページ目) - Weblio英語例文検索

建家Ｔの内部は、予め設定された所定の清浄度を必要とする陳列エリアＡＲ２と、この陳列エリアＡＲ２より低い清浄度が許容される前処理エリアＡＲ１及び出荷準備エリアＡＲ３とに分割されている。例文帳に追加

The inside of a building T is divided into a display area AR2 requiring prescribed cleanliness set in advance, and a preprocessing area AR1 and a shipment preparation area AR3, wherein lower cleanliness than in the display area AR2 is made allowable. - 特許庁

制御装置２１は、汚染物質濃度センサ１７が測定した化学汚染物質の濃度が所定値以下であると判定すると、クリーンルーム１０から取り込んだ清浄な空気をウェハ処理室１１及び清浄空気貯留タンク１９の両方に供給する。例文帳に追加

When a decision is made that the concentration of chemical contaminants measured by a contaminant concentration sensor 17 is not higher than a specified level, a controller 21 supplies clean air taken in from a clean room 10 to both a wafer processing chamber 11 and a clean air storage tank 19. - 特許庁

クリーンルーム１１内の複数箇所に設けられ、清浄度がクリーンルーム１１内の清浄度より高い作業領域１２の物品受渡し部１３間における物品の搬送を手動台車１４で搬送されるポッド１５に収容して行う。例文帳に追加

The apparatus is provided at a plurality of places in a clean room 11, and goods are conveyed in a goods delivery part 13 in a work area 12 of which cleanliness is higher than that of the clean room 11, by housing them in a pod 15 to be conveyed by a manual truck 14. - 特許庁

次いで、第二工程として、選出された円柱状素材１６のうちで、上記第一工程で清浄度を保証された部分であり、且つ、他の部分に比べて清浄度の高くなった部分のみから、外輪軌道１０、１０の表層部を形成する。例文帳に追加

In a second step, out of the selected columnar material 16, only a portion of which cleanliness is secured in the first step and is higher than that of the other part, is used for forming surface parts of outer ring raceways 10, 10. - 特許庁

密閉型機器の温度を監視して、温度が異常高温の場合には、除湿された圧縮空気を密閉型機器内の局所に導き、有効に冷却を行うと共に、密閉型機器内の局所の外表面の清浄化を図ることができる密閉型機器の冷却・清浄システムを提供する。例文帳に追加

To obtain the cooling/cleaning system of an enclosed apparatus which monitors the temperature of the enclosed apparatus, and if the temperature is unusually high, dehumidified compressed air is introduced to the high temperature part in the enclosed apparatus to cool the part efficiently, and further clean the outer surface of the part. - 特許庁

密閉容器中に高清浄度ガスを気流に用い、その中に清浄な濃縮治具を水平に置き、この治具表面に分析対象の薬液を滴下して、突沸しない程度に減圧乾燥することで容易に前処理可能で、要求される分解、濃縮仕様に対応できる。例文帳に追加

A high-cleanliness gas is used in a sealed vessel as a ventilating current; a clean condensation tool is horizontally disposed in it; a chemical solution of an analysis object can be easily subjected to a pretreatment by dripping it on a surface of the tool and by depressurizing and drying it to a level preventing its bumping to cope with the required decomposition/condensation specification. - 特許庁

また、制御装置２１は、汚染物質濃度センサ１７が測定した化学汚染物質の濃度が所定値を超えていると判定すると、清浄空気貯留タンク１９に貯留されている清浄な空気をウェハ処理室１１に供給する。例文帳に追加

When a decision is made that the concentration of chemical contaminants measured by the contaminant concentration sensor 17 exceeds the specified level, the controller 21 supplies clean air stored in the clean air storage tank 19 to the wafer processing chamber 11. - 特許庁

吸光度測定装置のフローセル内の投光用光学窓および受光用光学窓の近傍のみに清浄水を通水する、例えば純水タンクや水フィルタとポンプで構成するような清浄水通水手段とを備えることにより、光学窓の汚れを少なくし清掃を行うことなく長期間安定に吸光度を測定できる。例文帳に追加

The optical windows become less contaminated, enabling measuring the absorbance stably for a long time without cleaning. - 特許庁

３つの測定清浄度レベルＭＡ〜ＭＣと３つの要求清浄度レベルＲＡ〜ＲＣとの間の対応関係に基づいて、要求レベルに応じて処理ユニット１〜４のいずれかが選択され、選択された処理ユニットで基板Ｗが処理される。例文帳に追加

Based on a relationship between the three measured cleanliness levels MA-MC and the three required cleanliness levels RA-RC, either one of the treatment units 1-4 is selected according to the required level, and the substrate W is treated by the selected treatment unit. - 特許庁

例えば金、白金、パラジウムなどの貴金属を主成分とするめっき液の清浄化に適用し、該めっき液中に含まれる貴金属濃度を実質的に低下させることなく、不純金属イオンを効率よく除去して清浄化できる技術を確立すること。例文帳に追加

To provide a method for purifying a plating solution containing noble metals such as gold, platinum and palladium as the main components by removing impure metal ions efficiently, without substantially reducing the concentration of the noble metals contained in the plating solution. - 特許庁

2〜20範囲のTBNを有し、(A) 潤滑粘度を有するオイル；（B）95以下のTBNを有するサリチル酸塩清浄剤；（C）250よりも大きいTBNを有する清浄剤；（D）無灰分分散剤；および(E) 耐摩耗添加剤を含むガス燃料型エンジン潤滑油組成物。例文帳に追加

This gas fuel type engine lubricating oil composition has 2-20 range TBN, and contains (A) an oil having a lubricating viscosity, (B) a salicylic acid salt cleaning agent having ≤95 TBN, (C) a cleaning agent having ≥250 TBN, (D) a non-ash content dispersing agent and (E) an abrasion resistant additive. - 特許庁

本発明は、各種分野における、清浄化域を必要とする装置の空気環境を外部汚染環境から遮断し、必要とする清浄度空間を低コスト・使用材料低減・メンテナンスの容易性を高めたクリーンブースを提供する。例文帳に追加

To provide a clean booth capable of providing a space having necessary cleanness at low costs while reducing use materials and simplifying its maintenance, by blocking off air environment of a device needing a clean area from external contaminated environment in various fields. - 特許庁

不純物含有量１０ｐｐｂ程度の高清浄乾燥空気と、従来から使用されている乾燥空気とを効率よく、かつ、安定的に供給することができる高清浄乾燥空気と乾燥空気の製造方法及び装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method and a device for producing highly cleaned dry air and dry air by which the highly cleaned air contg. about 10 ppb impurities and the dry air to be used as before are supplied efficiently and stably. - 特許庁

半導体式ガスセンサを搭載した空気清浄装置を複合化した温風暖房機において、燃焼ガスの室内への排出により湿度が変化しても空気の汚染を正確に検出できる空気清浄装置付き温風暖房機を提供する。例文帳に追加

To provide a hot air type heater with air cleaners for accurately detecting the contamination of air even if moisture changes due t the discharge of a combustion gas into a room in the hot air type heater where an air cleaner mounting a semiconductor type gas sensor is integrated. - 特許庁

空気中の種々の悪臭成分を効率良く浄化するとともに、空気浄化機能を高度に維持するためのメンテナンスを容易にし、かつ空気清浄機の容積を極限まで縮小するように形成した空気清浄機を提供する。例文帳に追加

To provide an air cleaner that cleans efficiently a variety of malodorous components in the air, eases maintenance for maintaining the air cleaning function at a high level, and is formed so as to reduce the volume of the air cleaner to the limit. - 特許庁

空気清浄部の運転時の集塵性能と脱臭性能を高めるため、フィルターの面積の拡大を図り、また、年間を通して使用頻度の高い空気清浄部を温風暖房部と併用する場合、その操作性において使用勝手の向上を図る。例文帳に追加

To expand the area of a filter for improving dust collecting properties and deodorizing performance upon operation time of an air cleaning unit and contrive the improvement of handling convenience in the operability of the device when the air-cleaning unit, high in the using frequency of the same throughout the year, is used in parallel with a warm-air heating unit. - 特許庁

励起光が照射された被測定部から発せられた蛍光に基づいて被測定部の組織性状を識別する際に、粘液や残渣等の妨害因子が付着している非清浄組織と、清浄な病変組織との誤識別を低減し、組織性状の識別精度を向上する。例文帳に追加

To improve identification precision of tissue characteristic by reducing erroneous discrimination between no-clean tissues stuck with an interference factor such as viscous fluid or leftovers, and clean lesioned tissues in the case of identifying the tissue characteristic of a part to be measured based on fluorescence emitted from the part to be measured irradiated with exciting light. - 特許庁

絵画面から空気を吸入して清浄化し、絵画面に図形や文字を浮き出させて汚れの程度を知らせ、濾材の交換が簡単で額縁を跳ね上げて、新しい絵画面を引き出して常に性能を維持でき、昼夜の環境の変化に対応している絵画面を濾材とした空気清浄機を得る。例文帳に追加

To obtain an air cleaner having a picture surface used as a filter medium sucking air from the picture surface to clean the same, embossing a figure or a character on the picture surface to display a degree of contamination, simply replacing the filter medium, drawing out a new picture surface by raising a frame to alway keep capacity and corresponding to a change of environment of day and night. - 特許庁

本発明は、酸性またはアルカリ性からなる処理液に気液接触させて汚染物質を溶解除去する空気清浄機で、温度調節を可能とすることで汚染物質の溶解除去効率を維持できる空気清浄機を提供することを課題とする。例文帳に追加

To provide an air cleaner in which a contaminant is removed by dissolving it in an acid or alkaline treating liquid by a gas-liquid contacting method and the contaminant dissolving/removing efficiency of which can be kept by adjusting the temperature of the treating liquid. - 特許庁

汚染された室内空気を取り込み、浄化した空気を室内に放出する空気清浄装置において、室内に再度放出されやすい揮発性の空気汚染物質に対して除去効率の向上を図った空気清浄装置を提供する。例文帳に追加

To provide an air cleaning apparatus which takes in contaminated air in the room and emits the cleaned air to the room and whose removal efficiency of a volatile contaminant apt to be emitted again to the room is improved. - 特許庁

高清浄度を必要とする空間はごく限られた部分であり、大体積の清浄エア７の確保は必要とせずファンフィルターユニット６の能力も小さいもので済むことから、設備は簡潔且つ容易な手段のものとなり得る。例文帳に追加

The space necessitating a high cleanness is a limited part and the securing of the clean air 7 of a large volume is not required while the capacity of the fan filter 6 can be small whereby equipment can be a simple and easy means. - 特許庁

ジプロピルベンゼン類、ブチルベンゼン類、ｎが１または２の−（ＣＨ_２）_ｎＯＨ基で置換されたベンゼン類、及びＣ_５〜Ｃ_７のシクロアルキル基で置換されたベンゼン類の群から選ばれる１種以上の物質を主要成分とする、物品の清浄度評価のための紫外分光光度法の標準物質、及びそれを用いた清浄度評価方法を提供する。例文帳に追加

The present invention provides the standard material for the ultraviolet spectrophotometric analysis for evaluating the cleanness of the article having, as a main component, one kind or more of materials selected from a group comprising dipropyl benzenes, butyl benzenes, benzenes substituted with -(CH_2)OH group where n is 1 or 2, and benzenes substituted with 5-6C cycloalkyl group, and the cleanness evaluation method using the standard material. - 特許庁

近年の清浄度の高い半導体基板であっても、清浄度評価を製造過程においてＳＰＶ法によって行うことによって、先端デバイスに最適な半導体基板を供給することができるようなウェーハ選別工程が組み込まれたシリコン単結晶からなる半導体基板の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method of manufacturing a semiconductor substrate, made of silicon single crystals, which includes a wafer sorting process that allows optimal semiconductor substrates to be supplied to a tip device by execution of cleanliness evaluation by the SPV method in a manufacturing process even if being recent semiconductor substrates having high cleanliness. - 特許庁

室内の壁、床、天井等に菌やカビが付着するのを防止することができ、したがって、室内の清浄度の低下を防止することができ、しかも、定期的に清掃作業を行う必要がなく、運転再開後、室内の清浄度を短時間で規定のレベルまで復帰させることができるクリーンルームを提供する。例文帳に追加

To provide a clean room wherein bacteria and mold can be prevented from adhering to walls, a floor, and a ceiling in a room, and hence cleanliness in the room can be prevented from being deteriorated, and further the room is cleaned again in a short time up to a specified level after reopening an operation without the need of a routine cleaning work. - 特許庁

本発明は、所定の清浄度の環境３８に水平に配置された半導体ウェハＷの表面に沿って清浄空気を、当該半導体ウェハの表面に対して所定の相対速度にて流すことにより、当該半導体ウェハの表面上の全域にわたり層流境界層ないしは乱流境界層を形成することとしたを特徴としている。例文帳に追加

A laminar flow boundary layer or a turbulent flow boundary layer is formed over the whole area on the surface of the semiconductor wafer W by making clean air flow along the surface of the wafer W arranged horizontally in the environment 38 having a prescribed cleanliness at a prescribed speed relative to the surface of the wafer W. - 特許庁

重金属とカーボン質有機汚染物を含有する汚染土壌からカーボン質有機汚染物を除去し、かつ、金属精錬で処理可能な程度に重金属を濃縮させた土壌粒子を効率よく回収でき、その上で、元土の汚染土壌を再利用可能な程度に清浄化された清浄化土壌が得られる、経済性に優れた土壌の浄化方法を提供する。例文帳に追加

To provide an economical method for cleaning soil containing heavy metals and the carbonaceous organic pollutants, wherein carbonaceous organic pollutants are removed and soil particles in which the heavy metals are concentrated to a degree treatable by metal refining are efficiently recovered, and the soil is cleaned to such a degree that the original contaminated soil can be recycled. - 特許庁

空気清浄機１では、制御部６が、ホコリセンサー２４、ニオイセンサー２５及び湿度センサー２６の値に基づいて、送風機５の除湿ユニット３又は加湿ユニット４への送風量を制御するので、設定湿度に沿った運転だけでなく、空気の汚れに沿った運転をし、清浄な空気で除湿又は加湿することができる。例文帳に追加

In the air cleaner 1, a control section 6 controls the amount of air sent to a dehumidifier unit 3 or a humidifier unit 4 of an air blower 5 based on the values of a dust sensor 24, a smell sensor 25 and a humidity sensor 26, so that dehumidification or humidification is possible with clean air by performing operation depending on both a set humidity and air pollution. - 特許庁

また、本発明に係る鋼材の製造方法は、本発明に係る鋼中非金属介在物検査方法を適用して鋼鋳片及び／又は鋼材の清浄度を調査し、該調査結果に基づいて製造条件を調整する及び／又は鋼材を分別することにより、要求清浄度に合致する鋼材を製造することを特徴とする。例文帳に追加

Further, in the manufacturing method of the steel material, the cleanness of a steel cast piece and/or the steel material is investigated by adapting the inspection method of the nonmetal inclusion in steel and a manufacturing condition is adjusted and/or the steel material is classified on the basis of the investigation result to manufacture the steel material coinciding with required cleanness. - 特許庁

Ｎタイプシリコンウエハを、ＲＣＡ洗浄法において用いられるＳＣ−１液で処理した後、樹脂製ウエハケース内に収納し、２０〜３０℃で５日間以上保管し、その後に表面光電圧測定により、ウエハの清浄度評価を行うことを特徴とするシリコンウエハの清浄度評価方法を用いる。例文帳に追加

The method for evaluating the cleanness of the silicon wafer comprises the steps of treating the N-type silicon wafer with an SC-1 liquid used in an RCA cleaning method, then housing the wafer in a wafer case made of resin, preserving the wafer at 20 to 30°C for 5 days or more, thereafter evaluating the cleanness of the wafer by measuring the surface photoelectric voltage. - 特許庁

換気ユニットと、空気清浄ユニットと、室内空気の汚染濃度を感知するためのセンサと、前記センサによって感知された室内空気の汚染濃度に応じて複数の運転モードのいずれか一つを決定し、決定された運転モードにしたがって前記換気ユニット及び前記空気清浄ユニットを制御するコントローラとを含む。例文帳に追加

This air cleaning system comprises a ventilating unit, an air cleaning unit, a sensor for detecting the concentration of contamination of the indoor air, and a controller for deciding one of a plurality of operation modes in accordance with the concentration of contamination of the indoor air detected by the sensor, and controlling the ventilating unit and the air cleaning unit in accordance with the decided operation mode. - 特許庁

配合・混練工程、成形工程、洗浄工程、乾燥工程、及び最終検査工程をこの順に経て医薬・医療品用ゴム栓を製造する方法において、成形工程以降の工程を空気清浄度が段階的に高レベルとなる工程雰囲気下に実施することを特徴とする高度に清浄な医薬・医療品用ゴム栓を製造する方法。例文帳に追加

In the method for manufacturing the rubber stopper for medicine/medical goods, in which the rubber stopper is produced through processes of mixing and kneading, molding, cleaning, drying and final inspection in this order, the molding process and the processes after it are performed under the atmosphere stepwisely raised level of air cleanliness. - 特許庁

フォトマスクの清浄度を著しく向上させ、フォトマスクの異物や汚れに起因した、パターンの黒欠陥、白欠陥、及び規格外のパターンの発生などを回避するために行っている、清浄なフォトマスクへの交換頻度を減少させることのできるカラーフィルタ用フォトマスクの洗浄装置を提供する。例文帳に追加

To provide a device for cleaning a photomask for a color filter, which can improve the degree of cleaning of the photomask and reduce the frequency of exchange to a clean photomask, that is carried out to avoid the occurrence of black or white defects in a pattern and an out-of-standard pattern caused by foreign matters or stains of the photomask. - 特許庁

純度や清浄度を高度に維持・管理された流体を各ユースポイントに安定して供給することができる流体供給システム、とくに超臨界流体供給システムを提供する。例文帳に追加

To provide a fluid supply system capable of stably supplying a fluid kept and controlled to a high purity and cleanness, to individual using points, in particular, a supercritical fluid supply system. - 特許庁

イオンビーム加工中の試料温度を任意の温度に保ちながらイオンビームエネルギーによる試料の温度上昇を抑制して、試料構造変化などのダメージを抑制して清浄な断面作製を実現する。例文帳に追加

To achieve fabrication of a clean cross-section by suppressing damage such as specimen structural change suppressing a temperature rise of a specimen due to ion beam energy while maintaining a specimen temperature at an arbitrary temperature during ion beam processing. - 特許庁

対象エリアの環境を所定レベルの清浄度や均一な温度分布及び気流分布に保持し、イニシャルコストとランニングコストの低減化を図ると共に、空間を使用する際の自由度やフレキシビリティの向上を図る。例文帳に追加

To reduce initial cost and running cost and to improve versatility and flexibility in using space by holding the environment of an object area to a predetermined level of cleanliness and to uniform temperature distribution and air current distribution. - 特許庁

加工ステーションと環境分離されたクリーンルーム内に複数のレーザ発生装置を設置し、温度、湿度、振動、清浄度等をセンサで検出し、表示する。例文帳に追加

A plurality of laser generating devices are installed in a clean room environmentally separated from a machining station, with temperature, humidity, vibration, cleanliness, etc., detected by sensors and displayed. - 特許庁

研磨後の基板表面の平滑度を維持しつつ、清浄度の向上を図ることができ、高密度記録化に対応することが可能な高品質の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a manufacturing method for a high quality glass substrate for an information recording medium allowing improvement of a degree of cleanliness while maintaining smoothness of a surface of the substrate after polishing it and allowing correspondence to high density recording. - 特許庁

空気乾燥器４５は空気イオン濃度測定清浄制御部Ｇの中央制御回路（ＣＰＵ）からの信号により外ケース（外筒）２５内の湿度が上昇したとき動作させ、その湿度を下げる働きをする。例文帳に追加

An air dryer 45 is operated, when the humidity in the outer case (outer cylinder) 25 is raised by the signal from the central control circuit (CPU) of an air ion concentration measuring and cleaning control part G and acts to lower the humidity in the outer case (outer cylinder) 25. - 特許庁

（Ａ）従来よりもアルキレンオキサイド付加モル分布の狭い末端封鎖型ノニオン界面活性剤と、（Ｂ）炭素数１〜４のアルコールと、（Ｃ）炭素数５〜１８の炭化水素並びに炭素数５〜１８のアルコール及びそのエステルからなる群より選ばれる１種以上とを配合することにより、拭き染みの原因となる成分を含まずとも満足できる清浄力を備え、且つ適度な泡安定性を有するエアゾール型水性清浄剤組成物を提供する。例文帳に追加

To improve detergency and bubble stability of an aerosol type aqueous detergent composition by comprising a terminal blocking type nonionic surfactant, an alcohol and a hydrocarbon. - 特許庁

クリーンルーム内に局所的清浄環境を形成することで、クリーンルーム全体の高清浄度化を不要とし、コスト削減や省エネルギー化等を可能にするとともに、その場合であってもケミカルフィルタの寿命を十分に確保することかでき、半導体装置等の製造の長期的な安定化と信頼性向上を図れるようにする。例文帳に追加

To sufficiently secure the lives of chemical filters and actualize longer stablility and higher reliability in manufacture of semiconductor devices while reducing cost and saving energy by forming local clean environment in a clean room to eliminate the need for high cleanliness of the whole clean room. - 特許庁

ａ）未精製米ぬか油を周囲温度において５％未満の沸騰水によって処理し、そして形成されたスラッジを分離して清浄化された油を得ること、 ｂ）このようにして得た清浄化された油を、モノ−、ジ−、もしくはトリエタノールアミンからなる群より選ばれる０．５〜１０％の試薬によって処理して、リン含有分の低い（＜１０ｐｐｍ）米ぬか油を製造する方法。例文帳に追加

The process for preparing the low-phosphorus rice bran oil (<10 ppm) comprises (a) treating the crude rice bran oil at ambient temperature with <5% boiling water and separating the sludge formed to obtain a clarified oil and (b) treating the clarified oil thus obtained with 0.5-10% reagent selected from the group consisting of mono-, di- or triethanol-amines to obtain the low phosphorus oil. - 特許庁

（Ａ）多量の、潤滑粘度を有するベースストック；及び（Ｂ）少量の、複合体形態の油溶性過塩基化金属清浄剤添加剤であって、該清浄剤の塩基性材料が１種より多くの界面活性剤により安定化されている添加剤を含む又は混合することにより製造される２ストローククロスヘッド船舶用圧縮点火（ディーゼル）エンジン用潤滑油組成物。例文帳に追加

The lubricating oil composition for a two-stroke cross-head marine compression-ignition (diesel) engine, is prepared by containing or mixing: (A) a major amount of a base stock having lubricating viscosity; and (B) a minor amount of an oil-soluble overbased metal detergent additive in the form of a complex wherein the basic material of the detergent is stabilized by more than one surfactant. - 特許庁

本発明は静電気を利用した濾過式集塵装置において濾過フィルターによる濾過後の清浄空間側にコロナ始発レベル以上の電界を形成し生成イオン風による濾過フィルターへの押しこみ効果及び清浄空間側からの安定した電荷供給により低濾過圧損、高い濾過速度による集塵を可能とした装置に関するものである。例文帳に追加

To provide a filtration type dust collecting device using static electricity capable of collecting dust with a low filtration pressure loss and at a high filtration velocity by an effect of pressuring into a filtration filter with an ion wind generated by forming an electric field of the same or higher level than a corona starting level in a clean space side after the filtration with the filtration filter and by supplying a stable electric charge from the clean space side. - 特許庁

非常に狭い粒度分布を有すると同時に、低い磨耗傾向、少ない粉塵発生量、好ましい流動性並びに洗濯及び清浄プロセスの間に良好な溶解性を有する、ランドリー洗剤または清浄剤中に使用するための漂白活性化剤を高含有量で含む筒状乃至球状押出物を製造すること。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a cylindrical or spherical extruded product containing a high content of a bleaching activation agent to be used in a laundry detergent or a cleaning agent, which has very narrow particle distribution, and at the same time, has low abrasion tendency, less amount of dust generation, preferable fluidity and good solubility during laundring and cleaning processes. - 特許庁

これにより、清浄領域４には天井プレナムチャンバー１７内の調整空気と通常領域２内の温度上昇した内部空気とがチャンバー７から送り込まれるので、天井プレナムチャンバー１７内の調整空気のみを送り込む場合に比べ、清浄領域４の室温の低下を抑制することができるようになる。例文帳に追加

Hereby, the conditioned air in the ceiling plenum chamber 17 and the internal air raised in temperature in the ordinary region 2 are sent into a clean region 4, so that a lowering of room temperature in the clean region 4 can be more restricted than in the case where only the conditioned air in the ceiling plenum chamber 17 is sent. - 特許庁