「電気的負性」に関連した英語例文の一覧と使い方(3ページ目) - Weblio英語例文検索

本発明は、生産性の向上を図り、かつ、バッテリから供給される電力を複数の負荷に供給するために互いに接続される複数のバスバ同士の電気的な接続の信頼性の向上を図ったバスバユニットを提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a bus bar unit of which productivity is improved, and reliability in electrical connection between a plurality of bus bars which are mutually connected for supplying electric power supplied from a battery to a plurality of loads, is improved. - 特許庁

感光層形成用塗布液の安定性が高く、電気的特性に優れ、しかも機械的強度が高く、トナーによる現像、紙との摩擦、クリーニング部材（ブレード）による摩擦など実用上の負荷によっても表面が摩耗し難く、傷つき難い、電子写真感光体を提供する。例文帳に追加

To provide an electrophotographic photoreceptor which provides high stability to coating liquid for forming a photosensitive layer thereon, has excellent electric characteristics and high mechanical strength, and has a surface hardly wearing and hardly being scratched even under practical load such as development with toner, friction with paper or friction with a cleaning member (blade). - 特許庁

本発明は、二次電池用電極の製造のために圧着工程を行っても二次電池の電気化学的特性が劣化しない物性パラメータ値を持つ炭素材料系負極活物質とその製造方法等を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a carbon material based negative electrode active material having a physical property parameter value in which electrochemical characteristics of a secondary battery are not deteriorated even if a crimping process is conducted in order to manufacture an electrode for the secondary battery, and to provide a method of manufacturing the same or the like. - 特許庁

電気二重層を生じる正負の分極性電極と、分極性電極間を電気的に絶縁するセパレータと、分極性電極から電荷を引き出す金属からなる集電極２とからなり、集電極２のリード部４の束を電極端子４０に超音波溶接で接続するキャパシタの製造方法である。例文帳に追加

The method of manufacturing a capacitor composed of a positive and negative polarizable electrodes for growing an electric double layer, separators for electrically insulating the polarizable electrodes and metal collecting electrodes 2 for drawing charges out of the polarizable electrodes, comprises ultrasonically bonding a bundle of leads 4 of the collecting electrodes 2 to an electrode terminal 40. - 特許庁

本発明に係るキャパシタは、少なくとも、金属多孔体に活性炭を主体とした正極活物質を充填した正極と、金属箔にリチウムイオンを吸蔵脱離できる炭素材料を主体とした負極活物質を塗布した負極と、リチウム塩を含む非水電解液を備え、負極にリチウムイオンを化学的あるいは電気化学的手法で吸蔵させたことを特徴とする。例文帳に追加

The capacitor includes at least a positive electrode formed by charging a positive active material composed principally of active carbon in a metal porous body, a negative electrode formed by coating a metal foil with a negative active material composed principally of a carbon material capable of storing and desorbing lithium ions, and a nonaqueous electrolyte containing lithium salt, the negative electrode being made to store lithium ions by a chemical or electrochemical technique. - 特許庁

実際に画像形成装置に用いても高い機械特性を有し、抵抗の面内バラツキが小さく、電気的な負荷や経時による抵抗低下が小さく、形状精度が良好で、特に表面摩擦抵抗が小さく、耐ストレスクラッキング性も良好な半導電性ベルトを提供すること。例文帳に追加

To provide a semiconductive belt which has high mechanical characteristics in spite of actual use for an image forming apparatus, and has the decreased intra-surface variations of resistance, the lessened degradation in resistance due to an electrical load or lapse of time, good shape accuracy, and particularly, lower surface friction resistance, and good stress-cracking-resistance. - 特許庁

この荷重センサ素子４５は、負荷荷重に対し実質的に弾性変形しない特性のものが使用され、好ましくは、電気絶縁性セラミックス材料によりなるマトリックスに圧力抵抗効果もしくは磁気抵抗効果を有する材料を分散してなる複合材料により構成される。例文帳に追加

The load sensor element 45 has a characteristic that the element is not substantially elastic-deformed by an applied load, and is preferably formed of a composite material dispersing a material having a pressure resistance effect or a magnetic resistance effect in a matrix of an electric insulation ceramic material. - 特許庁

イオン透過性のセパレータを挟んで、集電体と炭素材とからなる炭素材電極の一対を対向させ充放電させる電気二重層キャパシタであって、正極は黒鉛を除く光学的異方性炭素質物を賦活処理した活物質と集電体とが一体化してなり、負極はリチウムを吸蔵、脱離しうる活物質と集電体とが一体化してなることを特徴とする電気二重層キャパシタに関する。例文帳に追加

The positive electrode is constituted by integrating an active material obtained by activating an optically-anisotropic carbonaceous material excluding graphite and the current collecting material, and the negative electrode is constituted by integrating an active material which can occlude and discharge lithium and the current collecting material. - 特許庁

これによって、外的負荷および／または長期保存によるヒュームドシリカの凝集がほとんど起こることがないので、研磨後の半導体デバイス表面の研磨傷の数が顕著に減少し、電気的な接続信頼性に優れる高品質の半導体デバイスを歩留り良く製造できる。例文帳に追加

Since aggregation of the fumed silica, caused by an external load and/or long-term preservation, hardly occurs, the high-quality semiconductor device which is superior in electrical connection reliability can be manufactured with a high yield by markedly reducing the number of polishing marks formed on the surface of the semiconductor device after polishing. - 特許庁

リチウム二次電池において、正極導出端子51及び負極導出端子81の機械的強度を増大させ、電池と外部回路との間の電気的接続の確実性を向上させると共に、両端子における酸化被膜の形成を抑制し、電池の放電電圧の低下を抑制する。例文帳に追加

To increase mechanical strength of a positive electrode taking out terminal and a negative electrode taking out terminal, ensure electrical connection between a battery and an outer circuit, retard the formation of an oxide film in the both terminals, and retard drop in discharge voltage in the lithium secondary battery. - 特許庁

正極に活性炭を主体とする分極性電極、負極にＳｉＬｉｘ膜を使用したＬｉイオンを可逆的に吸蔵しうるファラデー電極を用い、電解液にＬｉ塩を含む非水系電解液を用いた非対称型電気二重層キャパシタとする。例文帳に追加

Disclosed is an asymmetrical electrical double layer capacitor which uses a polarizing electrode made principally of active carbon as a positive electrode and a Faraday electrode using an SiLix film and capable of reversibly absorbing Li ions as a negative electrode, and uses a non-aqueous electrolyte containing Li salt as an electrolyte. - 特許庁

クリーニング時にクリーニングローラに負極性の電圧を印加する際に、トナーをクリーニングローラから感光体に向けて電気的に付勢するよう感光体の表面を帯電させるために、転写ローラに正極性の電圧を印加する。例文帳に追加

In applying the negative-polarity voltage on the cleaning roller in cleaning, a positive-polarity voltage is applied on the transfer roller in order to charge the surface of the photoreceptor so as to electrically energize the toner from the cleaning roller toward the photoreceptor. - 特許庁

リチウムイオンキャパシタの負極用集電体である孔あき銅箔に代えて使用して孔あき銅箔と遜色ない電気的特性を示し、しかも、その孔あき銅箔と比べて格段に軽量で且つ経済性が良好な孔あき導電箔を製造する。例文帳に追加

To produce a perforated conductive foil which is used in place of a perforated copper foil, i.e. a collector for the negative electrode of a lithium ion capacitor, and exhibits electrical characteristics comparable to those of the perforated copper foil and yet much more lighter and economical than the perforated copper foil. - 特許庁

電気光学装置１において、共通電極電位ＬＣｃｏｍをフリッカーが視認されないレベルに設定することによって初期的なフリッカーを低減し、正極性電圧印加時と負極性電圧印加時の印加時間比を適切な値に設定する。例文帳に追加

In an electro-optical device 1, a common electrode potential LCcom is set to a level with which a flicker is not visible, resulting in that an initial flicker is reduced, and an application time ratio of positive voltage application time to negative voltage application time is set to an appropriate value. - 特許庁

環境負荷の大きい水銀を本質的には用いないで、水銀を封入したものとほぼ同等の電気特性および発光特性を有するメタルハライドランプ、これを備えたメタルハライドランプ点灯装置および照明装置を提供する。例文帳に追加

To provide a metal halide lamp that does not essentially use mercury which has a large environmental burden and has nearly equal electric property and luminous property to those lamps which are filled with mercury, and a metal halide lamp lighting device and an illumination device having the same. - 特許庁

式Ｉの化合物を少なくとも１種類と、式Ｉ^＊の化合物を少なくとも１種類とを含み、負の誘電異方性を有する極性化合物の混合物を基礎とする液晶媒体、特に、ＥＣＢ効果に基づいてパッシブマトリクスアドレッシングを備える電気光学的ディスプレイ。例文帳に追加

The invention relates to the liquid-crystalline medium based on a mixture of polar compounds having negative dielectric anisotropy, which contains at least one compound of formula I and at least one compound of formula I^*, and relates to an electrooptical display especially provided with a passive matrix addressing based on ECB (electrically controlled birefringence) effects. - 特許庁

負極端子２２は、導電性ベース部２４と、その上面を覆うように配置された接触端子部２５との間にサーマルプロテクタ２６を備えて、このサーマルプロテクタ２６を介して導電性ベース部２４と接触端子部２５とが電気的に接続されるよう構成されている。例文帳に追加

A negative electrode terminal 22 is provided with an electroconductive base part 24 and a thermal protector 26 between a contact terminal part 25 arranged so as to cover the upper face of the electroconductive base part 24, and is constituted so that the electroconductive base part 24 and the contact terminal part 25 are electrically connected via this thermal protector 26. - 特許庁

環境負荷の大きい水銀を本質的には用いないで、水銀を封入したものとほぼ同等の電気特性を有し、より優れた色度立上り特性を有するメタルハライドランプ、これを備えたメタルハライドランプ点灯装置および照明装置を提供する。例文帳に追加

To provide a metal halide lamp which has electrical characteristics almost equale to a lamp with mercury enclosed and has superior chromatic rising characteristics, with no mercury of higher environmental load essentially used, a lighting unit and a lighting device using the lamp. - 特許庁

環境負荷の大きい水銀を本質的には用いないで所要のランプ電圧が形成されて、水銀を封入したメタルハライド放電ランプとほぼ同等の電気特性および発光特性を有するメタルハライド放電ランプを提供する。例文帳に追加

To provide a metal halide discharge lamp forming a required lamp voltage without substantially using mercury which causes a high environmental load and having an electric characteristic and a light emission characteristic approximately equivalent to those of a metal halide discharge lamp filled with mercury. - 特許庁

環境負荷の大きい水銀を本質的には用いないで、水銀を封入したものとほぼ同等の電気特性を有し、より優れた色度立ち上がり特性を有するメタルハライドランプ、これを備えたメタルハライドランプ点灯装置および照明装置を提供する。例文帳に追加

To provide a metal halide lamp which has electrical characteristics almost equal to a lamp with mercury enclosed and has superior chromatic rising characteristics, with no mercury of higher environmental load essentially used, a lighting device for a metal halide lamp and an illuminating apparatus equipped with the halide lamp. - 特許庁

正極１と負極５とを積層または捲回した極板群をもつリチウム二次電池において、正極と負極とを電気的に絶縁するものとしてフィラーおよび結着剤からなる耐熱性絶縁層３が多孔質層４上に形成され、さらに多孔質層が正極または負極と一体化されている。例文帳に追加

In this lithium secondary battery having a group of electrodes formed by laminating or winding a positive electrode 1 and a negative electrode 5, a heat resistant insulating layer 3 composed of a filler and a binding agent is formed on a porous layer 4 as an object to electrically insulating the positive electrode from the negative electrode, and the porous layer is integrated with the positive electrode or the negative electrode. - 特許庁

本発明の充電式リチウム電気化学電池は、非水溶媒に溶解されたリチウム塩を含む電解質と、少なくとも１つの正電極と、フッ素を含まないポリマーであるバインダー及びリチウムイオンを挿入するのに適した炭素化合物である電気化学的に活性な活物質を含む少なくとも１つのペースト式負電極とを備えている。例文帳に追加

A rechargeable lithium electrochemical battery is composed of an electrolyte containing lithium salt dissolved in a non-aqueous solvent, at least one positive electrode, a binder consisting of polymer not containing fluorine, and at least one paste-form negative electrode containing an active material consisting of a carbon compound suitable for implantation of lithium ions and active in electrochemical terms. - 特許庁

リチウムイオンの反応性の高さから、プレドープ時において負極の炭素材料の表面官能基とリチウムイオンと駆動用電解液とが反応することによって炭素材料のそれぞれの粒子表面に形成される皮膜の生成を抑制した電気化学キャパシタを提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide an electrochemical capacitor which suppresses generation of a coat formed in each surface of particles of carbon material through reaction among surface functional radicals of the carbon material of a negative electrode, lithium ion, and electrolyte for driving because of high reactivity of the lithium ion in pre-doping. - 特許庁

負極活物質としての金属マグネシウムの優れた特性を十分に引き出すことができ、且つドライルームなどの一般的な製造環境で製造することができるマグネシウムイオン含有非水電解液、及びその製造方法、並びにこの電解液を用いた電気化学デバイスを提供すること。例文帳に追加

To provide a magnesium ion containing nonaqueous electrolyte capable of extracting excellent characteristics of metal magnesium as a negative electrode active material, and capable of being manufactured in general manufacturing environments such as in a dry room, as well as a manufacturing method thereof and an electrochemical device using the electrolyte. - 特許庁

導電性粒子を含有し、外的負荷に伴い生ずる歪により引き起こされる電気抵抗の変化を計測して、該歪を検出することが可能な歪検出用ゴム組成物が、加硫後にオイルで膨潤されてなるゴム物品用歪センサーである。例文帳に追加

In the distortion sensor for rubber articles, a rubber composition containing electrically conductive particles and capable of measuring changes in electric resistance caused by distortions which occur with external loads and detecting the distortions is swollen by oil after vulcanization. - 特許庁

発振回路の周波数を選択可能な帰還ループに、インダクタンスＬとバリキャップダイオードＣ３とを直列に接続した周波数選択回路１０を設け、バリキャップダイオードＣ３の容量を電気的に制御することにより、負性抵抗を調整する発振器である。例文帳に追加

The oscillator is provided with a frequency selecting circuit 10, having an inductance L and a varicap diode C3 connected in series, in a feedback loop capable of selecting the frequency of an oscillation circuit, and the negative resistance is adjusted by electrically controlling the capacity of the varicap diode C3. - 特許庁

半導体装置の小型化を図りつつ、積層した半導体装置間の電気的接続の検査においてプローブの押し込みに起因する不良の見落としや半導体装置への圧力負荷ダメージの発生を防止することにより良否判定の精度及び信頼性の向上を図る。例文帳に追加

To enhance the accuracy and reliability of acceptance/rejection by preventing oversight of a failure caused by pushing a probe or pressure load damage on a semiconductor device in the inspection of electrical connection between stacked semiconductor devices while downsizing the semiconductor device. - 特許庁

負の温度係数を示す高電圧抵抗器と、この高電圧抵抗器の両端に電気的に接続された端子と、端子のうち一方の端子の周囲に設けられたガード電極とを熱硬化性樹脂で一体にモールドして抵抗素子を製作する。例文帳に追加

The resistive element is manufactured by integrally molding a high-voltage resistor showing a negative temperature coefficient, a terminal electrically connected to both ends of the high-voltage resistor, and a guard electrode provided around one of the terminals, using a thermosetting resin. - 特許庁

装置（１００、２１０）は、導電性添加物を内部分散させたポリマーを含んでおり、これによって本装置はＭＲＩシステム（１０）の試験及び較正のためにＲＦコイル（５６、１４４）に対して必要な電気的負荷を提供する一方で液体を含んでいない。例文帳に追加

The apparatus (100 and 210) includes a polymer interdispersed with an electrically conductive additive such that the apparatus provides the necessary electrical loading to the RF coils (56 and 144) for testing and calibration of the MRI system (10) but is free of liquid. - 特許庁

計測システムは、電源１０２と負荷１０７との間に結合可能な計器バスを含む計器ベースと、計器バス内の電力の電気的特性を決定する複数のセンサ１０４、１０６と、少なくとも１つのコードセグメントを実行するように構成されたプロセッサ３１６とを含む。例文帳に追加

A measuring system comprises an instrument base including an instrument bus that can be connected between a power source 102 and a load 107, a plurality of sensors 104 and 106 that determine the electrical characteristics of power in the instrument bus, and a processor 316 so configured as to execute at least one code segment. - 特許庁

巻き方向が互いに逆向き第１のループ部４ａおよび第２のループ部４ｂを設けたことにより、開閉時にフレキシブル基板４に印加される応力負荷を低減できて、大型化を回避しながらフレキシブル基板４による電気的接続の経時安定性を向上できる。例文帳に追加

Since the first loop 4a and the second loop 4b are provided in which winding directions are opposite each other, a stress load applied to the flexible board 4 in opening/closing can be reduced and stability with time in electrical connection by the flexible board 4 can be improved while avoiding an increase in size. - 特許庁

この発明の課題はリード板と二次電池の側部との間に電気的絶縁性のある絶縁材を適当な寸法或いは形状に選定して形成し、これを介在配置して負極と正極とが短絡する危惧が無いようにしたリード板取り付け構造を提供するものである。例文帳に追加

To provide lead plate fitting structure eliminating a fear of short circuit between a positive electrode and a negative electrode by forming and placing an electrically insulating material in a suitable dimension or shape between the lead plate and the side part of a secondary battery. - 特許庁

大電流を通電することが可能な優れた電気的特性を持ち、また耳ばりやまくれが発生せず、エネルギーロスおよび発熱による損傷を防止できる正極リードおよび負極リードを備えることにより、小型化および高エネルギー密度化を実現できる電池を提供する。例文帳に追加

To realize compactness and high energy density of a battery by providing a positive electrode lead and a negative electrode lead with excellent electric characteristics capable of passing large current which are free from an edge burr or a ride up and can prevent damages due to energy loss or heat generation. - 特許庁

正極箔と負極箔とをセパレータを介して巻回し、電解液を含浸してなる電気エネルギー蓄積素子において、低抵抗で機械的信頼性に優れ、製造工数の点でも有利な電極取り出し部の構成を明らかにする。例文帳に追加

To clarify the structure of an electrode tapping part that has low resistance, is excellent in mechanical reliability, and is advantageous in terms of manufacturing manhours in relation to an electric energy storing element composed by winding positive electrode foil and negative electrode foil interposing a separator and by impregnating an electrolyte. - 特許庁

基板間に挟持された負の誘電率異方性を有する液晶層を具備し、画素電極２７Ａ、２７Ｂ上部及び共通電極１１の上部に、各々電気的に容量を形成するために対向して設けられた第１の誘電体層２０および第２の誘電体層２１からなる。例文帳に追加

The liquid crystal display element is provided with a liquid crystal layer interposed between substrates and having negative dielectric constant anisotropy and comprises first and second dielectric layers 20 and 21 provided on an upper part of pixel electrodes 27A and 27B and an upper part of a common electrode 11 to be opposed to each other for electrically forming capacitance. - 特許庁

また太陽電池１の正極４１及び負極４２に電気的に接続されループ状になされた導電性のケーブル３により、太陽電池によって発電された電力がケーブル３に導通されて磁界が発生し、その磁界により人体の血行を促進すること例文帳に追加

By a conductive cable 3 electrically connected to a positive electrode 41 and a negative electrode 42 of the solar cell 1, and formed into a loop-like shape, power generated by the solar cell is supplied to the cable 3 to generate a magnetic field, and blood circulation of a human body is facilitated by the magnetic field. - 特許庁

リチウム含有複合酸化物を活物質とする正極と、リチウムイオンを電気化学的に吸蔵、放出が可能な炭素材料からなる負極とセパレータと非水電解液からなるリチウム二次電池において、低温特性を改善する。例文帳に追加

To improve a low-temperature property in a lithium secondary battery that is constituted from a positive electrode in which lithium containing complex oxide is used as an active material, a negative electrode which is composed of carbonaceous materials wherein occlusion and emission of lithium ion is electrochemically possible, a separator, and a nonaqueous electrolytic solution. - 特許庁

本発明による携帯用電子装置は、バッテリ（１１２）と、少なくとも１つの前記揮発性メモリ装置（１００）を含む装置に電気的に結合されるように構成された正のノード（１０４）及び負のノード（１０６）を含む非永久接点とを備える。例文帳に追加

This portable electronic device is provided with a battery (112) and impermanent contacts including a positive node (104) and a negative node (106) constituted so as to be electrically connected to a device including at least one volatile memory device (100). - 特許庁

少なくとも一方の端部に電極が形成された２個以上の筒状の電池（円筒形電池２２）と、電極と電気的に接続され、かつ、平板を折り返して少なくとも一部が波形状に形成された導電性の端子プレート（正極端子プレート３０、負極端子プレート４０）と、を備えている。例文帳に追加

A battery unit includes: two or more cylindrical batteries (cylindrical batteries 22), in which electrodes are formed in at least one end parts; and conductive terminal plates (a positive terminal plate 30 and a negative terminal plate 40) which electrically connect with the electrodes and are plates folded to at least partially form wave shapes. - 特許庁

本発明の非水電解質二次電池は、負極と導電性ケースを電気的に接続する金属リードタブ材が銅或いは銅合金の第１層を含む多層構造を有し、前記多層構造は負極端子を兼ねる前記導電性ケースと接触する第２層がニッケル或いはニッケル合金である事を特徴とする。例文帳に追加

A nonaqueous electrolyte secondary battery comprises: a metal lead tab electrically connecting an anode and a conducive case has a multilayer structure comprising copper or a copper alloy, and the multilayer structure comprises nickel or a nickel alloy as the second layer being in contact with the conductive case working as an anode terminal. - 特許庁

半導体基体１０２のメサ部１１１の傾斜側面を皮覆するシリコン酸化膜１ａが、鉛や亜鉛を添加せずとも、Ａｌイオンを含むことで固定的な負電荷を帯びることにより、電気特性の安定と信頼性を確保しつつ環境負荷物質を含む要素を除外可能なメサ型半導体素子１００を実現する。例文帳に追加

The mesa semiconductor element 100 capable of excluding the factors, containing the environmentally hazardous substances while securing stability and reliability in electrical characteristics, is obtained by allowing a silicon oxide film 1a coating a slanted side in the mesa section 111 of a semiconductor substrate 102 to contain an Al ions to be charged fixedly and negatively, even if lead or zinc is not doped to the film. - 特許庁

上記の課題は、ａ）リチウムをインターカレーションまたはインサーションできる負電極、ｂ）アノードと機能的に関連付けられる正電極、およびｃ）負電極および正電極を活性化する非水性電解液からなり、正電極は、酸化コバルトリチウム（Ｌｉ_x ＣｏＯ_2 ）および酸化コバルトニッケルリチウム（Ｌｉ_x Ｎｉ_y Ｃｏ_1-y Ｏ_2 ）の化合物からなることを特徴とする電気化学電池とすることによって解決される。例文帳に追加

This electrochemical battery comprises (a) a negative electrode capable of intercalating or inserting lithium, (b) a positive electrode connected functionally to an anode, and (c) a nonaqueous electrolyte for activating the negative electrode and the positive electrode, and the positive electrode compises a compound of lithium cobalt oxide (LixCoO2) and nickel lithium cobalt oxide (LixNiyCo1-yO2). - 特許庁

圧電体１１の電極面１３から外部電極への電気的接続を半田付けで行わず、導電性を有する弾性体１６を用いることにより、圧電体１１への熱的負荷による周波数特性の変動が低減できるため、特性の均一な超音波送受波器を得ることができ、一対の超音波送受波器を用いる超音波流量計の計測精度を向上させることができる。例文帳に追加

Electric connection from an electrode face 13 of a piezoelectric body 11 to an external electrode is not soldered but executed using a conductive elastic body 16 so as to reduce fluctuation of a frequency characteristic caused by thermal load to the piezoelectric body 11, and an ultrasonic transceiver of uniform characteristics is provided thereby, so as to enhance measuring precision for an ultrasonic flowmeter using a pair of ultrasonic transceivers. - 特許庁

可燃性粒子を捕集する場合、負荷電流を計測し火花放電の有無を判定する火花放電検出回路それ自体が異常となると火花放電を検出できなくなり、火花放電が連続的に発生し着火に至るの可能性があったが、この連続的な火花放電の発生を防ぐことができる電気集塵装置を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide an electric dust collector capable of preventing occurrence of continuous spark discharge while the spark discharge cannot be detected when a spark discharge detection circuit for measuring a load current and determining the presence/no presence of the spark discharge itself becomes abnormal, and the spark discharge is continuously caused and there is the possibility of ignition in the case of collecting combustible particles. - 特許庁

設備費用などのコストの削減および環境への負荷の低減を実現でき、さらに、被洗浄物である基板が導電性であるか絶縁性であるかという電気的特性に関係なく、洗浄対象物も有機物であるか無機物であるかに関係なく、洗浄することができる基板表面の洗浄方法およびこの方法を用いた洗浄装置を提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a method for cleaning a substrate surface that can be cleaned regardless of electrical characteristics in which the substrate to be cleaned is conductive or insulated and regardless of whether a target to be cleaned is an organic matter or an inorganic matter while reducing costs, such as facility costs, and a burden exerted on the environment, and to provide a cleaning apparatus using the cleaning method. - 特許庁