「LOW-RATE」に関連した英語例文の一覧と使い方(69ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an exhaust emission control system capable of sufficiently possessing a fuel consumption effect by an oxygen-excess traveling, remarkably reducing unpurified HC and CO, having an excellent purification rate at low temperature, in particular, and performing purification of NOx with high efficiency just after the starting up to the steady traveling time.例文帳に追加

酸素過剰走行による燃費向上効果を十分に享有でき、未浄化のＨＣ及びＣＯを著しく低減し、特に低温時の浄化率に優れ、始動直後から定常走行時まで高効率でＮＯｘを浄化処理できる排気ガス浄化システムを提供すること。 - 特許庁

To provide an angular speed detection device having precision capable of measuring the angular speed (about 15°/h) of the rotation of the earth, in spite of using an MEMS gyro equal approximately to a rate gyro and a DTG, and having a constitution realizing low cost, small mass, and small dimensions being the special features of the MEMS gyro.例文帳に追加

レートジャイロやＤＴＧと同等程度のＭＥＭＳジャイロを用いて、地球自転角速度（約１５°／ｈ）が計測可能な精度を有し、かつＭＥＭＳジャイロの特質である低価格、小質量及び小寸法を実現した構成が得られる角速度検出装置の提供。 - 特許庁

In the case that a printing rate on the photoreceptor 22 is low, the conveyance speed Vp of the continuous paper 11 will be apt to change to the circumferential speed Vd of the photoreceptor 22 due to electrostatic attraction on the photoreceptor because toner printing is not formed in many charged parts on the photoreceptor 22.例文帳に追加

感光体２２上の印字率が低い場合には、感光体２２上のトナー印字が形成されていない帯電部分が多いため、感光体２２上の静電吸着により連続紙１１の搬送速度Ｖｐは感光体２２の周速度Ｖｄに引っ張れて変化しようとする。 - 特許庁

This suspension system having a rate changeover valve 70 allowing/cutting off the communication between suspension cylinders 30 and low-pressure accumulators 64 comprises longitudinal communication valves 154, 158 and lateral communication valves 144, 148, which allow/cut off the communication between the adjacent two suspension cylinders 30.例文帳に追加

懸架シリンダ３０と低圧アキュムレータ６４との間の連通を許容・遮断するレート切換弁７０とを含むサスペンションシステムに、互いに隣り合う２つの懸架シリンダ３０間の連通を許容・遮断する前後連通弁１５４，１５８、左右連通弁１４４，１４８を設ける。 - 特許庁

The switching control circuit 28 controls a switch 33 so as to select a second EDID (extended display identification data) circuit 32 holding format information of low resolution when the error rate is larger than a prescribed threshold, and transmits the selected format information to the signal generating device 1 through an interface 43.例文帳に追加

切換制御回路２８は、検出エラーレートが所定の閾値よりも大きい場合は低い解像度のフォーマット情報を保持する第二のＥＤＩＤ３２回路を選択するようスイッチ３３を制御し、選択されたフォーマット情報を、インタフェース４３を介して信号発生装置１に送信する。 - 特許庁

To provide a method and a device for image processing and a charged particle microscopical inspecting device which can extract a real difference part (real defective part) from a difference image of two images having irregular luminance variation while making the misetraction rate as low as possible.例文帳に追加

不規則な輝度変化の含まれた二つの画像の差分画像から真の相違部分（真の欠陥部分）を誤抽出率をできるだけ低くして抽出処理を可能にした画像処理方法およびその装置並びに荷電粒子顕微鏡検査装置を提供する。 - 特許庁

To stably diagnose the failure in opening a thermostat even in the case when a water temperature in starting is comparatively high, where the conventional failure determination can not be performed as a temperature rising rate of engine cooling water is high, and in a low-speed running driving mode free from running wind.例文帳に追加

機関冷却水の昇温割合が早く従来の故障判定を実施できないような、始動時水温が比較的高い場合や、走行風が得られない低速走行運転モードにおいても、安定したサーモスタットの開故障診断を抵抗することが出来る。 - 特許庁

To provide a plastisol composition for sealing having a notably low specific gravity, small change rate of specific gravity after pressurization, and being free from problems in the product appearance as a sealer, and further exhibiting performances (elongation, strength at break, etc.) equal to or more than existing body sealers of automobiles after curing.例文帳に追加

顕著に低比重であり、かつ、加圧後の比重変化率も低く、またシーラーとして製品外観に問題なく、さらに、硬化後に従来の自動車のボディーシーラーと同等以上の性能（伸び、破断強度等）を発揮するシーリング用プラスチゾル組成物を提供すること。 - 特許庁

According to this configuration, refrigerant density at the suction port 2c on low pressure side of the two step compressor 2 is increased, refrigerant flow rate of the evaporator 9 for the freezing chamber is increased, and liquid return into the suction port 2b on intermediate pressure side and dew condensation in the suction pipe 7 for the refrigerating chamber is prevented.例文帳に追加

この構成によれば、２段圧縮コンプレッサ２の低圧側吸込口２ｃの冷媒密度を大きくすることができて、冷凍室用蒸発器９の冷媒流量を増加させることができ、また、中間圧側吸込口２ｂへの液戻りや冷蔵室用サクションパイプ７の結露を防止できる。 - 特許庁

It is also possible to restrain local temperature rise of the existing heat transfer tube groups 4, 5 while restraining temperature rise of the heat transfer tube groups 14, 15 by adjusting temperature and a flow rate of the tube fluid so that tube surface temperature of the heat transfer tube groups 14, 15 becomes sufficiently low.例文帳に追加

また、熱遮蔽用伝熱管群１４、１５の管表面温度が十分低くなるように、管内流体温度、管内流体流量を調整することで、該伝熱管群１４、１５の温度上昇を抑えつつ、既設伝熱管群４、５の局所的な温度上昇も抑えられる。 - 特許庁

Consequently, it is possible to secure sufficient size of gradient of the opposing force P_1 while securing a sufficient flow rate concerning both of the low and high differential pressures and accordingly, it is possible to secure the balanced point with the suction force and to carry out smooth braking work in the required opposing force (fluid force).例文帳に追加

これにより、低高差圧の両者において、十分な流量を確保しつつ、対抗力Ｐ_１勾配の十分な大きさを確保できるため、所要の対抗力（流体力）において、吸引力との釣り合い点を確保できて、円滑なブレーキ作用を行うことができる。 - 特許庁

The present invention utilizes hierarchical coding data transfer, divides video data into a full-time reception layer of low bit rate and a layer-added-on-viewing for improving video quality, and distributes data of a required minimum layer for video configuration as the full-time reception layer to an all channel receiver.例文帳に追加

本発明は、階層符号化データ転送を利用し、映像データを低ビットレートの常時受信階層と、映像品質を向上させる視聴時追加階層に分割し、常時受信階層として、映像構成に必要最低限の階層のデータを、全チャネル受信装置まで配信する。 - 特許庁

The OLT 1 determines that flowing traffic has a high possibility of low-rate sporadic traffic to which sleep is efficient if the number of successive sleeps is large or the number of arriving frames is small, and it makes the sleep determination threshold value relative to the frame arrival interval small to make it easy to shift to sleep.例文帳に追加

スリープ連続回数が多い場合には、又は到着フレーム数が少ない場合には、流れているトラヒックはスリープが有効に効く低レートの散発的なトラヒックである可能性が高いと判断し、フレーム到着間隔に対するスリープ判断閾値を小さくすることでスリープに入りやすくする。 - 特許庁

To obtain a biaxially oriented polyester film that reduces a dimensional change by the environmental change of temperature and humidity and preservation in formation of magnetic recording medium, has a low error rate and produces a high-density magnetic recording medium having little shaving of magnetic head and magnetic tape and excellent running durability.例文帳に追加

磁気記録媒体とした際に温度や湿度の環境変化や保存による寸法変化を小さくすることができ、エラーレートが少なく、かつ、磁気ヘッドや磁気テープの削れが少なく走行耐久性に優れた高密度磁気記録媒体とすることができる二軸配向ポリエステルフィルムを提供する。 - 特許庁

To provide a useful seawater desalination device which uses a small flexible system in comparison with conventional methods to realize seawater desalination with a sufficient flow rate at a low cost, arbitrarily performs and stops continuous operation, requires no extra additive, has simple operation processes, and is easily maintained.例文帳に追加

在来方式に比べ僅かで小回りのきく設備を用いて低コストかつ流量がこなせる海水淡水化を実現させ、連続稼慟も中断も任意であり、余分な添加材等も必要とせず、操作工程もシンプルでメンテナンスも容易な真に実用価値のある海水淡水化装置を提供する。 - 特許庁

To provide a monitoring system capable of recording an accurate video image of an invader or issuing a caution at a low wrong caution rate by accurately detecting the invader and performing accurate angle control or zooming control even in an unmanned monitoring state in a system for monitoring a predetermined area.例文帳に追加

所定領域を監視するシステムにおいて、侵入者を的確に検知し、無人監視状態であっても、的確なアングル制御やズーミング制御を行ない、侵入者の的確な映像の録画や、低い誤報率で警報を発することの可能な監視システムを提供する。 - 特許庁

In the case when the exhaust gas flow rate is low, not only the probability that the exhaust gas meets with the discharge but also the exhaust gas purifying efficiency are not changed so much even if the generating ratio of the discharge is lowered by thinning out the pulse of the AC high voltage since the flow velocity of the exhaust gas passing between the discharge electrodes is lowered.例文帳に追加

排気ガス流量が少ないときは、放電電極間を流れる排気ガスの流速が低下するため、交流高電圧のパルスを間引いて放電の発生率が低下しても、排気ガスが放電に遭遇する確率、ひいては排気浄化効率はそれほど変化しない。 - 特許庁

In this case, any one of the velocity-importance algorithm in which emphasis is placed on the image recognition velocity and the stability-importance algorithm, in which image recognition velocity is rather slow but an error rate is rather low, is selected on the basis of the component data stored in a component data memory 53, corresponding to the electronic component 1.例文帳に追加

この際に、画像認識速度が速い速度重視のアルゴリズムと、画像認識速度は遅いがエラーとなる確率の低い安定性重視のアルゴリズムとのうちの一方を電子部品１に対応して部品データメモリ５３に記憶された部品データに基づいて選択する。 - 特許庁

To provide an engine cooling device capable of suppressing increase in size of a motor-driven water pump, securing maximum required cooling water flow rate in an operation range at low vehicle speed and heavy load, and preventing wasted output loss even if engine rotation speed is increased during light load operation.例文帳に追加

電動ウォーターポンプの大型化を抑制できる上に、低車速高負荷運転域での最大要求冷却水流量を確保でき、低負荷運転時にエンジン回転数が上昇しても無駄な出力損失を防止できるエンジン冷却装置を提供することにある。 - 特許庁

To provide a low-cost nonaqueous electrolyte secondary battery high in energy density, excelling in a high rate characteristic, and exhibiting an excellent cycle characteristic even at high temperature, in a nonaqueous electrolyte secondary battery containing iron lithium phosphate and graphite as a positive electrode active material and a negative electrode active material, respectively.例文帳に追加

本発明は、リン酸鉄リチウムを正極活物質、黒鉛を負極活物質とする非水電解質二次電池において、低コスト、高エネルギー密度で、ハイレート特性に優れ、また高温においても良好なサイクル特性を示す非水電解質二次電池を提供することを目的とする。 - 特許庁

As one example, a processing mode 1 for performing transfer by a low order layer 11 and a processing mode 2 for performing transfer by a high order layer are changed, depending on whether an information transmission rate in a transmission-side wireless section is larger or smaller than a predetermined threshold.例文帳に追加

一例として、送信側の無線区間における情報伝送速度が予め定められた閾値と比べて大きいか或いは小さいかに応じて、下位レイヤ１１により転送を行う処理モード１と、上位レイヤ１２により転送を行う処理モード２とを切り替える。 - 特許庁

To provide a technology and equipment for efficient high-volume manufacturing of unit cell laminated bodies, so as to establish a high-volume manufacturing technology for laminated lithium ion cells; and to provide laminated lithium ion cells which ensure the high-volume manufacturing, inexpensive cost, low self-discharge rate, and high quality.例文帳に追加

積層型リチウムイオン電池の大量生産技術を確立するため、単電池積層体を大量に効率よく製造する技術及び製造装置の提供、並びに大量生産が可能でコストが安く、自己放電率が低く品質のよい積層型リチウムイオン電池の提供。 - 特許庁

To provide a method FOR MANUFACTURING a plasma display panel that improves the blasting process with reduced damage of the substrate by eliminating charging of the substrate generated during sandblast, and yield rate, and produces a partition of high quality and precision at low cost.例文帳に追加

サンドブラスト時に発生する基板への帯電を解消することにより、基板へのダメージ軽減とブラスド性の向上を可能とし、高歩留りで高品質及び高精度な隔壁を形成することができ、低コストで高品位な表示を可能とするプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することにある。 - 特許庁

Low pressure air of a variable blowing rate fed from a variable-rotating speed rotary blower 42 is fed from a blowing pipeline to a mixing pipe 38, and grinding material discharged from an grinding material tank 23 is supplied to the mixing pipe 38 while the supply quantity thereof being controlled by a grinding material picking device 31.例文帳に追加

回転速度可変に構成されたロータリーブロア４２から送風量可変に送給される低圧空気を送風管路から混合管３８に送り、研掃材タンク２３から排出される研掃材を研掃材切出し装置３１により供給量を調節して混合管３８に供給する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device which uses a crystalline semiconductor film whose quality is so high as to be comparable to that of a single crystal by enhancing orientation rate of the crystalline semiconductor film obtained by crystallizing an amorphous semiconductor film, which uses even a low heat- resistant material such as glass or the like for the substrate.例文帳に追加

ガラスなどの耐熱性の低い材料を基板として用いながらも、非晶質半導体膜を結晶化して得られる結晶質半導体膜の配向率を高め、単結晶に匹敵する高品質の結晶質半導体膜を用いた半導体装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

In a P mode, the microprocessor 101 outputs a command to the pulse interval generating circuit 102 to set the interval (rate) of the pulse light to High (20000 pps), while outputing a command to the laser drive circuit 104 to set the peak power of the pulse light to Low (3W).例文帳に追加

Ｐモードにおいて、マイクロプロセッサ１０１は、パルス間隔生成回路１０２に指令を出力してパルス光の間隔（レート）をＨｉｇｈ（２００００ ｐｐｓ）にセットするとともに、レーザ駆動回路１０４に指令を出力してパルス光のピークパワーをＬｏｗ（３Ｗ）にセットする。 - 特許庁

To provide an engine cooling device, capable of properly controlling a cooling water flow rate to a cylinder block and a cylinder head according to an engine load, avoiding supercooling of the cylinder block in a low load, reducing the friction loss of a cylinder liner inner face, and reducing specific fuel consumption.例文帳に追加

エンジン負荷に応じてシリンダブロック及びシリンダヘッドへの冷却水流量を適切に制御し、低負荷時におけるシリンダブロックの過冷却を回避して、シリンダライナ内面の摩擦損失を低減し、燃料消費率の低減をなし得るエンジンの冷却装置を提供する。 - 特許庁

Actual pump head of the pump 1 with a front guide vane 6 is detected and rotation speed of an impeller 2 is controlled based on detection of the actual pump head to move the unstable zone to a high pump head low flow rate side and to control output of axial output of the pump to a constant set value.例文帳に追加

不安定領域を高揚程で小流量側に移動させて、ポンプの軸動力が予め設定された一定の設定値に出力を制御するために、前置案内羽根６付のポンプ１の実揚程を検知し、この実揚程の検知に基づき、羽根車２の回転速度を制御する。 - 特許庁

By this method, the quality of the seedlings can be maintained for a long period without lowering the rate of photosynthesis while limiting power consumption to low levels compared to the case with constant light irradiation, also enabling the initial investment of illuminating utensils for seedling storage to be limited without needing any sensor or the like.例文帳に追加

これにより、一定光照射の場合よりも、消費電力量を低く抑えつつ、光合成速度が低下することなく苗質を長期間維持することができ、また、センサなどを必要とせず貯蔵における照明器具の初期投資を抑えることが可能となる。 - 特許庁

In the period (t2), the catalytic activity deteriorated by the poisoning due to the deposited carbon is recovered even in a low temperature operation to improve the average value of conversion rate to hydrogen from the fuel by increasing the partial pressure of the oxidizing agent to oxidize and remove the deposition carbon.例文帳に追加

期間ｔ２で、酸化剤分圧を向上させ、析出炭素を酸化除去することにより、低温運転時でも析出炭素の被毒により低下した触媒活性を回復させることができ、燃料から水素への転化率の平均値を向上させることができる。 - 特許庁

To provide a content distribution system in which characters displayed in video content can be sharply displayed and presented to a user at a receiving-side display terminal even for the video content distributed at a low bit rate from a distribution server to the display terminal of the user.例文帳に追加

配信サーバから利用者の表示端末に低ビットレートで配信される映像コンテンツにおいても、受信側の表示端末において映像コンテンツ中に表示される文字を明瞭に表示して利用者に提示することのできるコンテンツ配信システムを提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing an organic thin film capacitor which can obtain an inexpensive organic thin film capacitor having a high electrical performance in usual or higher throughput even when an organic thin film having a low curing rate is used.例文帳に追加

有機薄膜コンデンサの製造工程において、有機材料の硬化反応速度は、生産スループットに大きく関係するものであり、硬化速度の遅い材料ジビニル有機材料を用いたい場合も従来と同等以上のスループットを有する材料反応形態を維持することが必要である。 - 特許庁

At the same time, by setting the β transformation temperature of the β titanium alloy to 780°C or higher, the precipitation of an α phase is accelerated during aging heat treatment, and the variation of hardness distribution in a cross section can be reduced even when the rod wire is drawn at the low drawing rate and heat-treated for a short period of time.例文帳に追加

且つβ型チタン合金のβ変態点を７８０℃以上とすることによって、時効熱処理時のα相の析出を速くして、伸線率が小さく短時間の時効熱処理でも断面内の硬さ分布のばらつきを小さく抑えることができる。 - 特許庁

To provide a radio data transmission system in which data transmission is achieved via a wide band channel which achieves, selects, sets up, monitors, and maintains access and mediation at a low information rate via a narrow band channel particularly with respect to a data transmission network.例文帳に追加

本発明は、データ送信ネットワークに関し、特に、アクセスと仲介（ｍｅｄｉａｔｉｏｎ） が狭帯域チャネルを介して遅い情報速度で達成され、狭帯域チャネルにより選択され、セットアップされ、監視され、維持されている広帯域チャネルを介してデータ送信が達成されている無線データ送信システムに関する。 - 特許庁

As to this invention, the concentration of Mn in austenite is controlled to ≥1.2 times td the concentration of Mn in ferrite, and even at a low cooling rate of ≤15°C/sec., a high strength steel sheet composed of ferrite, bainite and retained austenite of ≥3% by volume and good in formability can be obtained.例文帳に追加

本発明は、オーステナイト中のＭｎ濃度をフェライト中のＭｎ濃度に対し１．２倍以上とし、１５℃/sec. 以下の冷却速度でもフェライト、ベイナイト及び体積率で３％以上の残留オーステナイトからなる成形性良好な高強度鋼板を得るものである。 - 特許庁

To provide a transmission circuit, a reception circuit, a differential interface device and a display controller that can obtain with low power consumption a transfer rate capable of accommodating an increase in display data volume caused by, for example, a future increase in the screen size of a liquid crystal panel, and a display unit and an electronic device using them.例文帳に追加

将来の液晶パネルの画面サイズの拡大等による表示データ量の増加に対応可能な転送レートを低消費電力で実現することができる送信回路、受信回路、差動インタフェース装置、表示コントローラ、これを用いた表示ユニット及び電子機器を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing oil and fat containing oil and fat having a high melting point of 50°C or higher in a starting material and performing 1,3-position specific transesterification by an enzyme, capable of keeping the isomerization rate the fatty acid composition at the 2-position low even by using an inexpensive enzyme, and also having a short production time.例文帳に追加

出発原料に５０℃以上の高い融点を持つ油脂を含み、酵素による１、３位特異的なエステル交換を行う油脂の製造において、安価な酵素を用いても、２位の脂肪酸組成の異性化率を低く保ち、しかも製造時間が短かい方法を提供する。 - 特許庁

To enable video contents of a low bit rate to be viewed on a terminal with small network throughput, to also provide a means enabling high-quality video contents to be viewed on the terminal with small network throughput by taking planty of time as needed, and to switch the contents seamlessly at a maximum without causing a user to be conscious of the switching.例文帳に追加

ネットワークのスループットが小さい端末では低いビットレートの映像コンテンツを見ることが可能で、かつ、時間をかけて高品質の映像コンテンツを見ることも必要に応じて提供し、それらを最大限シームレスに、利用者が意識することなく切り替える。 - 特許庁

To provide a target for ion plating for producing a zinc oxide-based thin film having extremely low specific resistance, extremely small rate of change of the specific resistance after a wet heat resistance test, and excellent wet heat resistance, and the zinc oxide-based transparent conductive thin film produced by using the target.例文帳に追加

比抵抗が非常に低く、耐湿熱性試験後の比抵抗の変化率が極めて小さくて耐湿熱性に優れた酸化亜鉛系薄膜製造用のイオンプレーティング用ターゲット及びこれを用いて製造した透明導電性酸化亜鉛系薄膜を提供する。 - 特許庁

According to the heat resistant alloy, a dense chromium oxide film is formed on the surface even when used for a long time in a high temperature atmosphere, thus the internal diffusion of oxygen can be cut off, the oxidative consumption of W can be suppressed, the mass change rate in the heat resistant alloy is extremely low, and further, collapse is not caused therein.例文帳に追加

本発明の耐熱合金によれば、高温大気中で長時間使用しても、表面に緻密な酸化クロム被膜を形成するため、酸素の内方拡散を遮断し、Wの酸化消耗を抑えることができ、耐熱合金の質量変化率がごく小さく、しかも崩壊することがない。 - 特許庁

To provide expandable styrenic resin particles with a small amount of a residual styrene monomer capable of attaining low VOC, being suitable for building material use for which countermeasure to a sick house syndrome is performed, having a sufficient fusion property, sufficient appearance and a small dimension change rate with time and being suitable for an expansion ratio of 5-40.例文帳に追加

残存スチレンモノマーが少なく低ＶＯＣ化が可能で、シックハウス症候群への対応がなされた建材用途に適し、また融着性がよく、外観が良好であり、経時による寸法変化率の小さい発泡倍率５〜４０倍に適した発泡性スチレン系樹脂粒子を得る。 - 特許庁

To provide expandable styrenic resin particles with a small amount of a residual styrene monomer capable of attaining low VOC, being suitable for building material use for which countermeasure to a sick house syndrome is performed, having a sufficient fusion property, sufficient appearance and a small dimension change rate with time and being suitable for an expansion ratio of 5-40.例文帳に追加

残存スチレンモノマーが少なく低ＶＯＣ化が可能で、シックハウス症候群への対応がなされた建材用途、また融着性がよく、外観が良好であり、経時による寸法変化率の小さい発泡倍率５〜４０倍に適した発泡性スチレン系樹脂粒子を得る。 - 特許庁

To provide a treated copper foil which provides high peeling strength with an insulating resin substrate although it has a low roughness, and after moisture absorption treatment, has the small deterioration rate of the peeling strength after immersion in an activation processing liquid and the small penetration amount after immersion in the activation processing liquid, and which is excellent in etching property.例文帳に追加

低粗度でありながら絶縁性樹脂基材と強固な引きはがし強さが得られ、吸湿処理後、活性処理液浸漬後に引きはがし強さの劣化率が小さく、活性処理液浸漬後にしみ込み量が少なく、エッチング性に優れた処理銅箔を提供すること。 - 特許庁

To provide a light-weighted sound absorption panel capable of enhancing a sound absorption rate of about 500 Hz or less of low-frequency range, capable of thinning a thickness, capable of generating hardly end face separation, and capable of attaching-fixing a required part by a nail/screw tightening.例文帳に追加

５００Ｈｚ前後以下の低周波数域の吸音率を高くすることができ、かつ厚みを薄くすることができると共に端面剥離を生じに難くすることができ、しかも必要な箇所を釘・ねじ留めなどにて取り付け固定が可能にできる軽量な吸音パネルの提供を目的とする。 - 特許庁

To provide an abrasive composition for CMP (chemical mechanical polishing) work having a high selectivity, that is, high in abrasion rate of copper but low in that of tantalum, and also excellent in the smoothness of the copper film surface, in the CMP work process of a semiconductor device having a copper film and a tantalum compound.例文帳に追加

銅膜とタンタル化合物を有する半導体デバイスのＣＭＰ加工プロセスにおいて、銅の研磨レートは大きいがタンタル化合物の研磨レートが小さいという選択性の高い研磨用組成物であり、銅膜表面の平滑性にも優れたＣＭＰ加工用の研磨用組成物を提供する。 - 特許庁