| 意味 | 例文 |
Pattern Defectの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1125件
PHOTOMASK DEFECT CORRECTION METHOD, PHOTOMASK MANUFACTURING METHOD, PHASE SHIFT MASK MANUFACTURING METHOD, PHOTOMASK, PHASE SHIFT MASK, PHOTOMASK SET, AND PATTERN TRANSFER METHOD例文帳に追加
フォトマスクの欠陥修正方法、フォトマスクの製造方法、位相シフトマスクの製造方法、フォトマスク、位相シフトマスク、フォトマスクセット及びパターン転写方法 - 特許庁
To provide a light source device of superior quality which is free of a decrease in luminance and further free of a defect of outward appearance such as a black stripe, an interference pattern, etc.例文帳に追加
輝度の低下を招くことなく、黒筋や干渉模様などの外観上の欠陥のない品位に優れた光源装置を提供する。 - 特許庁
The defect inspection apparatus is characterized by the direction of a pattern; the direction of the projection of illumination light to a sample, and the polarization of the illumination light.例文帳に追加
本発明の特徴は、パターンの方向と、照明光の試料への射影の方向と照明光の偏光に着目したことにある。 - 特許庁
To obtain fail pattern data in a spare area on a must repair line without spending much time in the process of the defect relief and analysis processing of a memory.例文帳に追加
メモリの不良救済解析処理の過程において、マストリペアライン上のスペア領域のフェイルパターンデータを時間を掛けることなく取得する。 - 特許庁
To provide a magnetic transfer apparatus and a method by which a magnetic pattern of a master disk can be accurately transferred to a slave disk without causing defect or the like.例文帳に追加
マスターディスクの磁気パターンを欠陥等を生じずに、正確にスレーブディスクに転写できる磁気転写装置及び方法を提供する。 - 特許庁
To provide an automatic focusing method and an automatic focusing device that prevent a defect in focusing that a pattern, which is not defective is measured as defective.例文帳に追加
不良ではないパターンを不良として測定するフォーカス不良を防止する自動フォーカシング方法および自動フォーカシング装置を提供する。 - 特許庁
To obtain an ink jet recording material having high ink absorptivity, no problem such as a surface defect such as a craze, a wave-like pattern made on and by wind or the like and high gloss.例文帳に追加
インク吸収性が高く、ひび割れ、風紋等の表面欠陥の問題の無い、高光沢のインクジェット用記録材料が得られる。 - 特許庁
To carry out the evaluation of the defect inspection or the like of a test piece having a pattern of a minimum line width of 0.2 μ or less by using a multiple beam at high throughput.例文帳に追加
最小線幅0.2ミクロン以下のパターンを有する試料の欠陥検査等の評価を、マルチビームを用いて高スループットで行なう。 - 特許庁
To provide a pattern inspecting device capable of preventing the occurrence of a pseudo defect by complementing the difference between fine design data and sensor data.例文帳に追加
微細な設計データとセンサデータとの差異を補完することで、擬似欠陥の発生を防止することができるパターン検査装置を提供すること。 - 特許庁
To easily detect a defect that occurs when a desired pattern formed in a mold is transferred to a molding material to form a molded article.例文帳に追加
モールドに形成された所望のパターンを被成形材料へ転写して被成形物を形成する際に発生する欠陥を容易に検出する。 - 特許庁
In addition, the resist composition obtains a high resolution pattern since the dissolution speed is remarkably improved and can prevent substrate defect formation such as development inferiority.例文帳に追加
また、溶解速度が著しく向上することから高解像度なパターンが得られ、現像不良などの基板欠陥形成を防止できる。 - 特許庁
METHOD AND SYSTEM FOR INSPECTING/ANALYZING DEFECT AND INSPECTION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE PATTERN例文帳に追加
半導体デバイスパターンの欠陥検査・不良解析方法、半導体デバイスパターンの欠陥検査・不良解析システム、および、半導体デバイスパターンの検査装置 - 特許庁
This inspection method has a process S3 for extracting reference pattern information of an inspection object, a process S4 for forming a two-dimensional Fourier transform filter for canceling the reference pattern information based on the reference pattern information, and a process S5 for inspecting a defect pattern other than a reference pattern of the inspection object by using the two-dimensional Fourier transform filter.例文帳に追加
また、検査方法において、検査対象物の基準パターン情報を抽出する工程(S3)と、基準パターン情報に基づき、この基準パターン情報をキャンセリングする二次元フーリエ変換フィルタを形成する工程(S4)と、二次元フーリエ変換フィルタを使用し、検査対象物の基準パターン以外の欠陥パターンを検査する工程(S5)とを備える。 - 特許庁
A means 44 is provided for comparing a fatal region pattern 34 which is generated from design data for forming a wiring pattern and shows necessary indispensable regions corresponding to the center of the wiring pattern with an inspected pattern obtained from wiring patterns on an object under test, thereby detecting the defect from the non-coincidence of both patterns.例文帳に追加
配線パターンを形成するための設計データから生成され前記配線パターンの中心部に対応する必要不可欠な領域を示す致命領域パターンと、前記被検査物上の配線パターンから得た検査パターンとを比較して、両パターンの不一致により欠陥を検出する比較手段44を有する。 - 特許庁
To provide a correcting method and a correcting device for a pattern, capable of correcting a pattern defect with high accuracy and capable of suppressing deterioration of, in particular, a non-rectangular pattern shape, in the case of pattern correction of a photomask, a wafer, or the like, used in a semiconductor manufacturing process.例文帳に追加
本発明は、半導体製造工程で使用されるフォトマスクやウエハ等のパターン修正処理において、パターン欠陥を高精度に修正することができるとともに、特に非矩形形状のパターン形状の劣化を抑制することができるパターンの修正方法及び修正装置を提供することを課題とする。 - 特許庁
In the circuit pattern inspection system, when a semiconductor wafer having a plurality of chip areas (dies) having the same circuit pattern is inspected, a detection image for each chip area is displayed on a monitor, and a circuit pattern defect is inspected based on the detection image for each chip area.例文帳に追加
回路パターン検査装置では、同一の回路パターンを有する複数のチップ領域(ダイ)を有する半導体ウエハを検査するとき、チップ領域毎の検出用画像をモニタに表示し、チップ領域毎の検出用画像から、回路パターンの欠陥を検査する。 - 特許庁
To make detectable defects in a fine pattern on a transparent layer insulating film and on the same layer with high sensitivity while detecting the defects of a lower layer pattern and the same pattern in the defocused state to detect only the defect of a process to be originally inspected.例文帳に追加
透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。 - 特許庁
To provide a method for forming an exposure pattern capable of detecting the connection failure of an exposure pattern unique to electron beam exposure technology with high accuracy in a Die to Die defect inspection just like a pattern failure caused by a process other than an exposure process.例文帳に追加
Die to Dieの欠陥検査において、電子線露光技術特有の露光パターンの接続不良を、露光プロセス以外のプロセスに起因するパターン不良と同様に精度良く検出することができる露光パターンの形成方法及び電子線露光装置の提供。 - 特許庁
In the manufacture of the defective mask for inspecting a defect in a pattern transfer mask used in a semiconductor lithography process, the mask pattern 4 that is the same as a pattern transfer mask to be inspected is formed on a mask substrate that becomes the base of the defective mask.例文帳に追加
半導体体リソグラフィ工程にて用いられるパターン転写マスクの欠陥を検査するための欠陥マスクを製造するのにあたり、その欠陥マスクの基となるマスク基板上に、検査対象となるパターン転写マスクと同一のマスクパターン4を形成する。 - 特許庁
To provide a screen printing apparatus and a screen printing method which prevent a printing defect resulting from the drying of paste in a pattern hole.例文帳に追加
パターン孔内のペーストの乾燥に起因する印刷不良を防止することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供すること。 - 特許庁
To manufacture a rugged sheet, on the surface of which a regular minute protrusion/recess pattern is formed, with high quality and high productivity at a high line speed without any defect.例文帳に追加
表面に規則的な微細凹凸パターンが形成された凹凸状シートを、欠陥なく高品質で、かつ高ラインスピードで生産性よく製造する。 - 特許庁
Image data of a pattern, etc., which is continuously present are erased by differentiating the image data in the fixed direction to detect only an image of the defect.例文帳に追加
画像データを一定方向に微分計算することにより、連続的に存在するパターン等の画像データを消去して、欠陥の画像のみを検出できる。 - 特許庁
To clarify the defect of a driving system by eliminating color variation in a low density imaging area and adjusting an apparatus with a corrected test pattern.例文帳に追加
低濃度の画像形成領域の色変動をなくし、補正されたテストパターンで装置を調整して、駆動系の持つ不具合を明確にするようにする。 - 特許庁
To provide a proximity correction mask with high accuracy and no defect in a short period of time while keeping a process margin in a complicated LSI pattern.例文帳に追加
複雑なLSIパターンにおいて、プロセス余裕度を保ちながら欠陥の無い高精度な近接効果補正マスクを短時間で提供することを課題とする。 - 特許庁
To provide a speedy circuit pattern inspection method and a device thereof which have short inspection preparation time and can perform defect determination by image detection for one die.例文帳に追加
検査準備時間が短く、1ダイの画像検出のみで欠陥判定のできる高速な回路パターン検査方式とその装置を提供する。 - 特許庁
To provide a defect determination method capable of enhancing a yield of a substrate formed with an electrode pattern or the like, and capable of reducing a production loss cost.例文帳に追加
電極パターン等が形成された基板の歩留まりを向上させ、製造ロスコストを低減することが可能な欠陥判定方法を提供する。 - 特許庁
To provide an apparatus and method for defect inspection, capable of reliably detecting defects regardless of the kind of the defects, and to provide a method of manufacturing a pattern substrate.例文帳に追加
欠陥の種別によらず、確実に欠陥を検出する欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法を提供すること。 - 特許庁
To introduce a structural defect by developing a portion in the pattern of the periodic array structure exposed with high precision by an interference exposure method.例文帳に追加
干渉露光法で精度高く露光した周期的配列構造のパターン中の一部分が現像されるようにして、構造欠陥を導入すること。 - 特許庁
The pattern formation defect region is calculated by performing convolution operation of the correspondence relation on the layout used for forming the step portion.例文帳に追加
前記パターン形成不良領域は、前記段差部の形成に用いたレイアウトに対して前記対応関係の畳み込み演算を行うことによって算出される。 - 特許庁
To provide a letterpress plate for letterpress printing, preventing a print defect, minimizing foreign matters sticking to the plate surface, and allowing printing of a high definition pattern with high accuracy.例文帳に追加
印刷不良を防ぎ、版表面に付着する異物を限りなく減らし、高精細パターンを高精度で印刷できる印刷用凸版を提供する。 - 特許庁
An image processing section 140 carries out the EBR/EEW inspection on the substrate based on the first image, and carries out the pattern defect inspection and the reticle error inspection based on the second image.例文帳に追加
イメージ処理部140は第1イメージから基板のEBR/EEW検査を実施し、第2イメージからパターンの欠陥検査及びレティクルエラー検査を実施する。 - 特許庁
To suppress effectively generation of pseudo-defects, in defect detection for detecting pattern defects on a sample surface, by inspecting a photographed image on the sample surface.例文帳に追加
試料表面の撮像画像を検査して試料表面のパターンの欠陥を検出する欠陥検出において疑似欠陥の発生を効果的に抑制する。 - 特許庁
The undercoat of the light shielding layer is subjected to a third etching process by using the light shielding layer and the resist pattern for correction as a mask to correct the excess defect.例文帳に追加
遮光層及び修正用レジストパターンをマスクにして遮光層の下層に対して第3のエッチング処理を施し余剰欠陥箇所を修正する。 - 特許庁
To provide an integrated substrate inspection apparatus which is automated and carries out all of EBR/EEW inspection, pattern defect inspection, and reticle error inspection on a substrate.例文帳に追加
基板のEBR/EEW検査、パターンの欠陥検査及びレティクルエラー検査を全部実施することができる自動化された統合基板検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide a pattern modifying apparatus which can modify a disconnected electrode with a thin line that has a size of about 10 μm, having less contamination at the peripheries of defect parts.例文帳に追加
10μm前後の細線で電極断線部などを修正することができ、かつ、欠陥部周辺の汚染が小さなパターン修正装置を提供する。 - 特許庁
Then, the cluster affected by the same defect from an appearance pattern of past defective cluster is predicted and the data to be recorded on the cluster is alternated.例文帳に追加
そこで過去の欠陥クラスタの出現パターンから同じ欠陥の影響を受けるクラスタを予測し、そのクラスタに記録されるべきデータを交替させる。 - 特許庁
A detection part 6 detects defect of a wiring pattern 11 based on the image data acquired by imaging the printed board 1 using an imaging part 4.例文帳に追加
そして、プリント基板1を撮像部4により撮像して得られた画像データに基づいて検出部6によって配線パターン11の欠陥を検出する。 - 特許庁
To improve merchantability of a ball by forming a pattern with the sense of depth on the ball while suppressing the molding defect of the ball.例文帳に追加
ボールの成形不良を抑制しながら、ボールに奥行き感や深み感のある模様を形成できるようにしてボールの商品性を向上させる。 - 特許庁
Accordingly, defect inspection can be performed in the state where a pattern of a polycrystal is not reflected on the image and a density image can be acquired only from a defective spot.例文帳に追加
このことにより、多結晶体の模様が画像に映ることがないようにし、欠陥個所のみ濃淡のある画像を得ることにより欠陥検査を行う。 - 特許庁
To avoid a transfer defect caused by a seam part of a flat plate-shaped metal mold when servo pattern layers are continuously manufactured using a roll-shaped stamper.例文帳に追加
ロール状スタンパを使用して連続してサーボパターン層を製造する場合に、平板状金型の継ぎ目部に起因する転写欠陥を回避する。 - 特許庁
The defect of a wiring pattern of a lead of the film carrier tape for electronic component mounting is detected by transmitting transmission light to a film carrier tape for electronic component mounting.例文帳に追加
電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、透過光を透過させて、電子部品実装用フィルムキャリアテープのリードの配線パターンの不良を検知する。 - 特許庁
To detect simply and surely a failure of a circuit pattern such as a defect or a minute flaw, concerning a printed circuit board having a trend of miniaturization and densification.例文帳に追加
小型化・高密度化が進むプリント基板において、回路パターンの瑕疵や微細な傷等の不良を簡単且つ確実に検出することができるようにする。 - 特許庁
To provide a photoresist composition to be used for the manufacture a semiconductor, superior in uniform coating and small in pattern defect after development and wide in focal depth.例文帳に追加
半導体製造に使用されるフォトレジストであって、塗布均一性に優れ、現像後のパターン欠陥が少なく、且つ焦点深度の広い組成物を提供する。 - 特許庁
To produce an undulated sheet having a fine regular pattern of concavities and convexities formed on the surface, with high quality without defect, and with sufficient productivity and high line speed.例文帳に追加
表面に規則的な微細凹凸パターンが形成された凹凸状シートを、欠陥なく高品質で、かつ高ラインスピードで生産性よく製造する。 - 特許庁
To provide a defect inspection device capable of replenishing the learning pattern of a neural network and capable of enhancing the recognition ratio to non-learned data.例文帳に追加
ニューラルネットワークの学習用パターンの不足を補い、また、未学習データに対する認識率を高めることができる欠陥検査装置を提供すること。 - 特許庁
The inspection unit 2 comprises a complement electrode pair 22 that detects a defect against a conductive pattern portion that faces an electrode of an inspection electrode pair 21.例文帳に追加
検査部2は、検査電極対21の電極が対向する導電パターン部分に対して欠陥を検出する補完電極対22とで構成される。 - 特許庁
To provide a defect inspecting device that embodies high resolution and a fast inspection speed for a technique for inspecting a pattern on a wafer by using an electron beam.例文帳に追加
電子ビームを用いたウェハ上パターンを検査する技術において、高分解能で、かつ検査速度の高速化を実現する欠陥検査装置を提供する。 - 特許庁
To provide an edge defect detecting method for accurately detecting edge defects whose density difference between a pattern is minute without use of a reference image.例文帳に追加
基準画像を用いずに、パターンとの濃度差が微小なエッジ欠陥をも精度よく検出することができるエッジ欠陥検出方法の提供。 - 特許庁
| 意味 | 例文 |
| Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|