| 意味 | 例文 |
alignment-markの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1590件
The position of the alignment mark on the substrate excluding the deformation component and the shot offset component is obtained (step 306) to check whether or not the obtained position is within an allowable range from the position of the alignment mark on the mask after alignment (step 307).例文帳に追加
変形成分及びショットオフセット成分を除外した基板のアライメントマークの位置を求め(ステップ306)、求めた位置が位置合わせ後のマスクのアライメントマークの位置から許容範囲内にあるか確認する(ステップ307)。 - 特許庁
An image processing device 50 compares images of the alignment mark captured by respective image capturing devices with an image of a predetermined alignment mark to perform image recognition and detects an image recognition rate, a sharpness value and a contrast value of each image of the alignment mark captured by respective image capturing devices.例文帳に追加
画像処理装置50は、各画像取得装置により取得されたアライメントマークの画像と予め用意したアライメントマークの画像とを比較して画像認識を行い、各画像取得装置により取得されたアライメントマークの画像の画像認識率、シャープネス値、及びコントラスト値を検出する。 - 特許庁
By looking at the mark part 130 with the alignment part 162 as though in a sighting device, when the mark part 130 is aligned in this way, the mark part 130 is located on the extension line in the extending direction of the alignment part 162 without fail, dislocation of alignment position due to the viewing angle is prevented.例文帳に追加
このように合わせると、位置合わせ部162をあたかも照準器のようにして、マーク部130に視線を合わせれば、必ず、位置合わせ部162の延設方向の延長線上にマーク部130が位置するので、見る角度によって合わせる位置が狂うことがない。 - 特許庁
When press-fitting the mold 3 to a transfer object substrate 1, position coordinates of an alignment mark 8 arranged on the mold 3, are measured by an alignment mark detector 12, and a strain quantity of a transfer pattern area on the mold 3 is calculated by performing a recursive analysis from a displacement quantity of the alignment mark 8 in press-fitting.例文帳に追加
被転写基板1にモールド3を圧着させる際に、モールド3上に設けたアラインメントマーク8の位置座標をアラインメントマーク検出器12により測定し、圧着時のアラインメントマーク8変位量から回帰解析を行いモールド3上の転写パターン領域の歪み量を算出する。 - 特許庁
Subsequently, the photomask 4 is set on the printed substrate 6, a mask alignment mark 5 is photographed and is compared with the stored position of the alignment mark 7 of printed board, a platen 8 is moved so as to make the deviation of the position zero and the positioning between the mask alignment mark 5 and the printed board 6 is performed.例文帳に追加
次にフォトマスク4をプリント基板6上に設定し、マスクアライメントマーク5を撮像して、記憶したプリント基板アライメントマーク7の位置と比較し、その位置ずれが0に成るようにプラテン8を移動させてマスクアライメントマーク5とプリント基板6の位置合わせを行う。 - 特許庁
A foreign matter inspection device including analysis means which can measure the pattern width and can acquire the luminance distribution for image data of an alignment mark, and image processing means which enables integration processing, subtraction processing, binarization processing, expansion processing and contraction processing includes processing the image data to make the alignment mark clear, and then pattern-matching the alignment mark.例文帳に追加
アライメントマークの画像データのパターン幅計測、輝度分布取得が可能な解析手段と、積算処理、減算処理、2値化処理、膨張処理、収縮処理が可能な画像処理手段を備え、画像データに処理を加えて、アライメントマークを明瞭にした後にパターンマッチングを行うようにする。 - 特許庁
In the case of the alignment, when the work mark does not exist inside either of the visual fields of the two alignment microscopes, an alignment mark detecting means 21 provided on a control part 20 spirally moves the work W, and detects the work mark.例文帳に追加
上記アライメントに際し、2個のアライメント顕微鏡のうちのいずれの顕微鏡の視野内にもワークマークWAMが入らないとき、制御部20に設けられたアライメントマーク検出手段21により、ワークWを渦巻き状に移動させワークマークWAMを検出する。 - 特許庁
A method includes the steps of laminating a new interlayer film 3C on an interlayer film 3A on the undersurface, of which an alignment mark 2B is formed, subjecting the top surface to planarization, and forming a new alignment mark 2C in a portion 32, located directly above the alignment mark 2B of the top surface of the interlayer film 3C.例文帳に追加
下面にアライメントマーク2Bが形成された層間膜3Aの上に、新たな層間膜3Cを積層してその上面を平坦化処理し、層間膜3Cの上面のうち、上記アライメントマーク2Bの直上に位置する部分32に新たなアライメントマーク2Cを形成する。 - 特許庁
Such an inspecting mark is narrower in the monitoring range than the conventional inspecting mark, and an accurate alignment can be performed with high accuracy and with small aberration.例文帳に追加
このような検査マークは従来の検査マークより、モニター範囲が狭くなり、収差が小さく高精度な位置合わせができる。 - 特許庁
In the semiconductor chip constituting an LCD driver, a mark MK1 is formed in an alignment mark forming area on a semiconductor substrate 1S.例文帳に追加
LCDドライバを構成する半導体チップにおいて、半導体基板1S上のアライメントマーク形成領域にマークMK1を形成する。 - 特許庁
An alignment mark structure having a protective dummy pattern for production of semiconductor is provided wherein the alignment mark on a wafer is protected such that the mark is not damaged definite quality is not deteriorated visually by chemical mechanical polishing(CMP).例文帳に追加
保護ダミーパターンを有する半導体製造用アライメントマーク構造が提供され、ウェハ上のアライメントマークを保護し、該マークが損なわれることなくかつ化学機械研磨(CMP)によって視覚的に明瞭な品質が劣化しないようにする。 - 特許庁
In order to inspect a plate to be inspected, an inspection apparatus photographs with a camera the alignment mark on the surface of the plate to be inspected and matches the alignment mark and a standard mark for aligning the plate to be inspected.例文帳に追加
検査対象板を検査するために、カメラで前記検査対象板の表面のアライメントマークを撮影し当該アライメントマークと基準マークとを整合させて前記検査対象板の位置合わせを行う検査装置である。 - 特許庁
No fluctuation in position of the alignment mark 5a between at the time of alignment of the substrate 5 and the mask 6, and at the time of close contact of the substrate 5 and the mask 6 after the alignment, improve the alignment accuracy.例文帳に追加
基板5とマスク6の位置合わせを行うときと、位置合わせ後に基板5とマスク6を密着させたときとで、アライメントマーク5aの位置変動が生じないようにすることで、位置合わせ精度を向上させる。 - 特許庁
The alignment mark of the mask and the alignment mark of the panel to be attached are detected while being shifted timewise without moving the position of an alignment microscope in the XYθ directions and, as the result, the mask and the panel are relatively moved such that the detected both alignment marks comes to a prescribed positional relation.例文帳に追加
マスクのアライメントマークと貼り合せを行なうパネルのアライメントマークとを、アライメント顕微鏡の位置をXYθ方向には移動させないで時間的にずらして検出し、検出した両アライメントマークが所定の位置関係になるように、マスクとパネルとを相対的に移動させる。 - 特許庁
The alignment mark 31 is arranged on a surface of a transparent substrate 21 in a color filter substrate 3.例文帳に追加
カラーフィルタ基板3において、透明基板21の表面上にアライメントマーク31を設ける。 - 特許庁
To satisfactorily read an image such as an alignment mark in a variety of evaluation objects.例文帳に追加
種々の評価対象においてアライメントマーク等の画像を良好に読み取ることを可能にする。 - 特許庁
A mother sealing sheet 400 and a mother element board 100 are adhered by using an alignment mark +.例文帳に追加
マザー封止シート400とマザー素子基板100を目合わせマーク+を用いて接着する。 - 特許庁
The alignment mark 16 is provided at a position opposing to a region where the semiconductor chip 12 is mounted.例文帳に追加
アライメントマーク16は、半導体チップ12搭載領域に対向する位置に設けられてなる。 - 特許庁
Outside a lens area set in a lens base material 11, a mark for alignment is formed.例文帳に追加
レンズ基材11に設定されたレンズ領域の外側に、位置合わせ用のマークを形成する。 - 特許庁
METHOD AND LITHOGRAPHY FOR DECIDING CONDITION OF POSITION DETECTION FOR ALIGNMENT MARK, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
アライメントマークの位置検出の条件を決定する方法、露光装置及びデバイスの製造方法 - 特許庁
To reduce the size of a thermal head substrate by providing an alignment mark for mounting an integrated circuit on a heat generating region.例文帳に追加
IC実装用のアライメントマークを発熱部領域に設け、サーマルヘッド基板の小型化を図る。 - 特許庁
To provide a position measurement apparatus with an advantage in which time for measuring a position of an alignment mark is short.例文帳に追加
アライメントマークの位置を計測する時間の短さの点で有利な位置計測装置の提供。 - 特許庁
On a silicon substrate 2, a memory cell area 70 and an alignment mark area 80 are set.例文帳に追加
シリコン基板2には、メモリセル領域70およびアライメントマーク領域80が設定されている。 - 特許庁
An alignment mark 12 made from a metal film is formed in one blank region 6.例文帳に追加
1つのブランク領域6には、金属膜で形成されたアライメントマーク12が形成されている。 - 特許庁
Then, an alignment mark 10 is formed by so forming a carbon film 3 as to cover the groove portion with it.例文帳に追加
そして、溝部を覆うようにカーボン膜3を形成してアライメントマーク10を形成する。 - 特許庁
As a result, the alignment mark can be detected in an optical method and an electronic line scanning method.例文帳に追加
よって、光学式でも電子線走査方式でも、アライメントマークを検出することができる。 - 特許庁
When the alignment mark of a work piece W is detected, the work stage 3 shifts to the location of the drawing.例文帳に追加
ワークWのアライメントマークを検出する際は、ワークステージ3が図示の位置に移動する。 - 特許庁
To provide a method, an apparatus, and the like, which form an alignment mark precise and good in quality on a substrate.例文帳に追加
正確で高品質のアラインメントマークを基板に設ける方法及び装置などを提供する。 - 特許庁
To provide a slit plate in which a time required to draw an alignment mark is short, and a manufacturing cost is low.例文帳に追加
アライメントマークを描画する時間が短く、製造コストの低いスリット板を提供する。 - 特許庁
The alignment mark is a cross the center of which is punched as a positioning reference.例文帳に追加
また、アライメントマークは、真中が位置決め基準部として抜かれた十字形状を呈したものとする。 - 特許庁
The void 3 formed in the n^+-type substrate 1 can be used as the alignment mark.例文帳に追加
このN^+型基板1に形成したボイド3をアライメントマークとして利用することが可能となる。 - 特許庁
The pattern image of the work mark is imaged by an alignment microscope and the image is transmitted to a control unit.例文帳に追加
アライメント顕微鏡によりワークマークのパターンの画像を受像し、この画像を制御部に送る。 - 特許庁
To reduce interruptions in an exposure process by successfully recognizing an image of an alignment mark with high probability.例文帳に追加
アライメントマークの画像認識を高い確率で成功させて、露光処理の中断を少なくする。 - 特許庁
To provide means for reducing epitaxial layer corrosion in an alignment mark formation step.例文帳に追加
アライメントマーク形成工程時のエピタキシャル層の侵食を低減させる手段を提供すること。 - 特許庁
An undercladding layer 1, a core 2, and an alignment mark 1a are formed on a surface of a metallic substrate 10.例文帳に追加
金属製基板10表面にアンダークラッド層1,コア2,アライメントマーク1aを形成する。 - 特許庁
OVERLAY MARK, METHOD FOR MEASURING OVERLAY ACCURACY AND ALIGNMENT METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
重ね合わせ用マーク、重ね合わせ精度測定方法およびアライメント方法、並びに半導体装置 - 特許庁
The resist formed as the alignment mark 20C is baked to impart solvent resistance.例文帳に追加
アライメントマーク20Cとして形成されたレジストに対しては、焼成処理によって耐溶剤性を与える。 - 特許庁
A blackened layer is formed on a wiring layer, except an alignment mark part in the multi-layer printed wiring board.例文帳に追加
配線層がアライメントマーク部分を除き黒化処理層が形成された多層プリント配線板。 - 特許庁
In this case, the tungsten silicide film 10 has been eliminated at the contact part 14 and the alignment mark part 16.例文帳に追加
コンタクト部14及びアライメントマーク部16では、タングステンシリサイド膜10が除去されている。 - 特許庁
At least one alignment mark 40 is arranged on each one of the array shot regions 30.例文帳に追加
1個のアレイショット領域30には、少なくとも1個のアライメントマーク40が設けられている。 - 特許庁
This allows a manufacturing step of the semiconductor element to be simplified using the alignment mark.例文帳に追加
このため、アライメントマークを用いた半導体素子の製造工程を簡略化することができる。 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING MACROMOLECULAR OPTICAL WAVEGUIDE WITH ALIGNMENT MARK AND LAMINATED TYPE MACROMOLECULAR OPTICAL WAVEGUIDE例文帳に追加
アライメントマーク付き高分子光導波路及び積層型高分子光導波路の製造方法 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a semiconductor laser element capable of accurately recognizing an alignment mark during a formation of a waveguide structure.例文帳に追加
導波路構造を形成する際にアライメントマークを正確に認識することを可能にする。 - 特許庁
A part of the first nitride gallium layer 6 is etched down to such a depth as not to reach the alignment mark 4.例文帳に追加
次に、第1の窒化ガリウム層6の一部をアライメントマーク4に達しない深さまでエッチングする。 - 特許庁
A first opening 2a is formed on the first interlayer insulation film 2, and this alignment mark M1 is constituted.例文帳に追加
第1の層間絶縁膜2に第1の開口2aを形成し、アライメントマークM_1を構成する。 - 特許庁
In a cell outside a display region 100, a bus alignment mark 50 is formed on a bus electrode 12.例文帳に追加
表示領域100外のセルにおいて、バス電極12にバスアライメントマーク50を形成する。 - 特許庁
The new mark image is compared with a reference image, prespecified from alignment marks prior to the process.例文帳に追加
新しいマークイメージを工程前の整列マークから予め設定された基準イメージと比較する。 - 特許庁
A mask position computing section 18h creates mask position information based on information of the alignment mark.例文帳に追加
マスク位置演算部18hは、アライメントマークの情報に基づいてマスク位置情報を生成する。 - 特許庁
The alignment mark 3 may be a combination of parallelepiped patterns shown in Figures a, b.例文帳に追加
図2(a),(b)に示す平行四辺形のパターン3を組み合わせたものをアライメントマーク3としてもよい。 - 特許庁
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