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electron microscope methodの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 634件
To provide a CDSEM (Scanning Electron Microscope) capable of highly accurately evaluating and presenting the length measurement reproducibility of the device without being affected by fluctuations of a fine shape, which tend to increase with the miniaturization of semiconductor patterns, and provide a reproducibility evaluation method as a device.例文帳に追加
半導体パターンの微細化に伴なって増加傾向にある微細形状揺らぎに影響されずに、装置の測長再現性能を高精度で評価して提示することができるCDSEM(走査型電子顕微鏡装置)及び装置としての再現性能評価方法を提供することにある。 - 特許庁
The method for evaluating the fatigue of a solder junction containing Sn as a main component includes the steps of enlarging a cut section of the junction by an electron microscope, measuring a phase size (d) of an Sn phase 20 and an Ag_3Sn phase 22, and biquadrating the measured value (d) to a phase growth evaluating parameter S.例文帳に追加
Snを主成分とするはんだの接合部の疲労評価方法において、はんだ接合部の切断面を電子顕微鏡により拡大して、Sn相20やAg_3Sn相22の相寸法dを測定し、この測定値dを4乗して相成長評価パラメータSとする。 - 特許庁
To provide a method for efficiently cleaning a desired cleaning spot on the inner surface of a vacuum device without giving damage to the inner surface of a vacuum chamber nor heating resin components disposed outside the vacuum chamber more than required, with respect to the vacuum device represented by an electron microscope.例文帳に追加
電子顕微鏡などに代表される真空装置に対して、真空チャンバ内面にダメージを与えず、また真空装置外部に配置された樹脂部品を必要以上に加熱せず、真空装置内面のクリーニングしたい箇所を効率的にクリーニングする方法を提供する。 - 特許庁
To enhance processing speed in an analysis method of an energy loss spectroscopic device and a transmission electron microscope, equipped with the energy loss spectroscopic device.例文帳に追加
本発明はエネルギー損失分光装置の分析方法及びエネルギー損失分光装置を備えた透過電子顕微鏡に関し、処理速度を向上させることができるエネルギー損失分光装置の分析方法及びエネルギー損失分光装置を備えた透過電子顕微鏡を提供することを目的としている。 - 特許庁
In this method of preparing the sample for direct observation in the transmission electron microscope, of an interface between the iron oxide and solid carbon for analyzing the reduction process of the iron oxide by the solid carbon, the iron oxide which is an observation object is broken and carbon is deposited on the broken face.例文帳に追加
酸化鉄の固体炭素による還元過程を解析するために酸化鉄と固体炭素の界面を透過電子顕微鏡内で直接観察する試料の作製方法であって、観察対象物である酸化鉄を破断しその破断面に炭素を蒸着することとする。 - 特許庁
To provide a scanning electron microscope device having a function to produce precisely and rapidly an imaging recipe having an equal or better performance than an imaging recipe produced manually by SEM operators based on their own unique know-how, and to provide an imaging method using the same.例文帳に追加
SEMオペレータが独自のノウハウに基づきマニュアルで生成した撮像レシピと同等あるいはそれ以上の性能をもつ撮像レシピを正確にかつ高速に生成する機能を備えた走査型電子顕微鏡装置ならびにそれを用いた撮像方法を提供する。 - 特許庁
To provide a mask for manufacturing an observation sample of an electron microscope which surely controls the etching quantity of a member having an observed region or easily searches the observed region, and a manufacturing method and a manufacturing apparatus of the observation sample using the mask.例文帳に追加
観察対象領域を有する部材のエッチング量を確実に制御でき、あるいは、観察対象領域を容易に探すことができる電子顕微鏡の観察用試料作製用マスク、並びに、このマスクを用いた観察用試料の作製方法および作製装置を提供すること。 - 特許庁
To provide an observation method of an FIB-processed sample by an electron microscope, which enables the identification of a processed part of the sample that is processed into a thin film for a short time by FIB (focused ion beam) and enables the reduction of the time duration from setting of the processed sample to observation of the processed position.例文帳に追加
短時間にFIBで薄膜状に加工された試料の加工部分を見出し、電子顕微鏡への加工済み試料のセットから加工位置の観察までの時間を短縮することができるFIBによる加工試料の電子顕微鏡による観察方法を実現する。 - 特許庁
To determine steps or unevenness formed on a sample by a simple technique or obtain three-dimensional information by using a charge particle beam device such as a scanning electron microscope, and particularly to provide a determination method or its device suitable for unevenness determination of a line and space pattern formed on a sample.例文帳に追加
走査電子顕微鏡等の荷電粒子線装置で、簡単な手法で試料上に形成された段差及び凹凸の判定、或いは3次元情報を得ることにあり、特に試料上に形成されたライン&スペースパターンの凹凸判定に好適な判定方法、及び装置を提供する。 - 特許庁
This new method for forming a MOS structure having a GaAs base 140 includes the steps of ion implanting after formation of an oxide and thereafter performing slow heating and cooling operations, in such a manner that an interface defect detectable by a high-resolution transmission electron microscope essentially will not be generated.例文帳に追加
GaAsを基本とするMOS構造を形成する新しい方法は、酸化物形成後のイオン注入及び高分解透過電子顕微鏡によって検出できる界面欠陥が本質的に形成されないように行われるその後のゆっくりした加熱及び冷却を含む。 - 特許庁
To provide an apparatus and method of measuring crystallographic orientation relationship of adjacent crystal grains using the goniometer of a transmission electron microscope capable of accurately observing the orientation relationship of two crystal grains and characteristics of their grain boundary in real time.例文帳に追加
2つの結晶の方位関係と結晶粒界の特性をリアルタイムで正確に確認できることを特徴とし、透過電子顕微鏡のゴニオメ−タを利用した隣り合う結晶粒の結晶学的方位関係と結晶粒界の特性を測定する測定装置及びその測定方法を提示する。 - 特許庁
Similarly in correcting a black defect, an etching source material in a liquid state is supplied from the probe of a scanning probe microscope onto only the black defect region by a similar method to Dip-Pen Nanolithography, and an ion beam or an electron beam is supplied to etch to correct the black defect.例文帳に追加
黒欠陥修正の場合も同様に、走査プローブ顕微鏡の探針から液体状のエッチング原料をDip−Pen Nanolithographyと同様な方法で黒欠陥領域上のみに供給し、イオンビームや電子ビームを供給してエッチングを行い黒欠陥を修正する。 - 特許庁
To provide a method corresponding to the subject related to a sample holding stand, sample pretreatment and a sample holder for analyzing a structure, a composition and an electronic state in a device operated state by applying external voltage to a sample to be observed in a sample analyzer inclusive of a transmission electron microscope, and a sample analyzing method.例文帳に追加
透過電子顕微鏡をはじめとする試料分析装置において、観察しようとする試料に外部電圧を印加し、デバイスが動作状態のまま構造、組成、電子状態を分析するための、試料保持台、試料の前処理および試料ホルダに関する課題に対応する方法、および、当該試料の分析を行う方法を提供する。 - 特許庁
The measurement on the plurality of items is performed, in which the AMP (auto measurement parameter) registration is performed for the setting of the parameters regarding the preparation of a line profile from a SEM (scanning electron microscope) image, as the common condition to all measurement items, and in which the plurality of AMP registrations for the edge detection method and the distance measurement value calculation method are performed.例文帳に追加
本発明においては、SEM画像からラインプロファイルを作成するときに関わるパラメータの設定を全測定項目において共通の条件としてAMP登録を行い、また、エッジ検出方法と測長値算出方法を複数のAMP登録を行うことによって、複数項目の測定を行うようにした。 - 特許庁
The aluminum alloy sheet is subjected to cold rolling at a working ratio of 30 to 60%, the average crystal grain size obtained by a cutting method is ≤30 μm, and the area occupancy ratio of intermetallic compounds on the surface obtained by the image analysis of an observed picture in a scanning type electron microscope is 1.0 to 5.0%.例文帳に追加
このアルミニウム合金板は、加工率が30乃至60%の冷間圧延が施され、切断法により求めた平均結晶粒径が30μm以下であり、走査型電子顕微鏡の観察画面像の画像解析により求めた表面における金属間化合物の面積占有率が1.0乃至5.0%である。 - 特許庁
The method for producing the carbon black comprises subjecting a raw material of the carbon black having 0.5-0.8 μm mode diameter in the size distribution curve drawn by using the structure lengths measured by the transmission electron microscope, and ≥1 μm half width thereof to a heat treatment in a gas flow containing hydrogen to remove an acidic functional group.例文帳に追加
透過型電子顕微鏡によって測定されたストラクチャー長さを用いて描かれた粒度分布曲線の最大頻度径が0.5〜0.8μmで、その半値幅が1μm以上であるカーボンブラック原料を、水素を含む気流中、加熱処理して酸性官能基を脱離させることを特徴とするカーボンブラックの製造方法。 - 特許庁
This information acquiring method acquires information about material in the solvent and comprises processes to hold the material in the solvent, to make the solvent as an amorphous solid phase, and to acquire information about the material held by the amorphous solvent by using an electron microscope.例文帳に追加
溶媒中における物質に関する情報の取得方法であって、前記物質を溶媒中で保持する工程と、前記溶媒を非晶質な固相状態にする工程と、前記非晶質の溶媒に保持された物質に関する情報を電子顕微鏡を用いて取得する工程とを有する情報取得方法。 - 特許庁
There are provided a method for correcting magnification and position and a system for correcting magnification and position, both of which can correct measurement magnification and measurement position of a spectral image with high efficiency and with high accuracy using an electronic spectroscope and a transmission electron microscope, regarding the spectral image formed with two axes where the amount of energy loss and the measurement position information are orthogonal to each other.例文帳に追加
電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と測定位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の測定倍率および測定位置を高効率かつ高精度に補正可能な倍率・位置補正方法および倍率・位置補正システムを提供する。 - 特許庁
To provide an inspection system with a scanning electron microscope for performing an inspection for the purpose of detecting a defect on a substrate with a circuit pattern of a semiconductor device, a liquid crystal, or the like formed thereon which allows the easy identification of a minute defect and a pseudo one which have been hard to identify, and an inspection method thereof.例文帳に追加
半導体装置や液晶などの回路パターンが形成された基板上の欠陥を検出する目的で検査を行う走査電子顕微鏡を搭載した検査装置において、困難となっている微細欠陥と擬似の識別を容易に実施できる検査装置及びその検査方法を提供する。 - 特許庁
In this method, based on position coordinates of the defect detected by defect detecting means, marking is made in the vicinity of the defect by using an ion beam, etc., sample is monitored with transmission electron microscope to specify the defective section from relative positional relationship between the marking and the defect, and then sample including the target defective section will surely be prepared.例文帳に追加
欠陥検出手段で検出した欠陥の位置座標を基準にして、その近傍にイオンビームなどによってマーキングし、試料を透過型電子顕微鏡で観察して、マーキングと欠陥との相対位置関係から、欠陥部を特定し、目的とする欠陥部を含む試料を確実に作製する。 - 特許庁
To hold an observation desired portion stably on a sample holder, when extracting surely the observation desired portion from a large sample substrate and performing finishing process for preparing a thin-film sample, in a method for preparing the thin-film sample for performing observation by a transmission electron microscope by using a focused ion beam.例文帳に追加
集束イオンビームを用いて透過型電子顕微鏡で観察をおこなうための薄膜試料を作製する方法において、大きな試料基板から観察所望部位を確実に抽出し、薄膜試料作製のための仕上げ加工を行なう際に、観察所望部位を試料ホルダに安定して保持することができるようにする。 - 特許庁
The Si dispersed vitreous carbon material is provided with structural performance that a crystalline structure except graphite structure does not exist practically in the structure, the diffraction line attributed to metal Si or an Si compound is not detected in an X-ray diffraction method and granular structure is not discriminated by the observation by a transmission electron microscope(TEM).例文帳に追加
また、その組織中には実質的に黒鉛構造以外の結晶構造が存在せず、X線回折法により金属SiおよびSi化合物に帰属する回折線が検出されず、透過型電子顕微鏡(TEM)の観察によって粒状組織が識別できない組織性状を備えている。 - 特許庁
Particularly, a preferable example is the powder having rare earth elements (Sc, Y can be treated as rare earth elements)on the particle surfaces, such as having an average long axis length of 10-200 nm when measured in the image photographed by using transmission electron microscope and a specific surface area of 30-200 m^2/g by the BET method.例文帳に追加
特に、粒子表面に希土類元素(Sc、Yも希土類元素として扱う)を有するものが挙げられ、透過型電子顕微鏡写真より計測される平均長軸長が10〜200nm、BET法による比表面積が30〜200m^2/gであるものが好適な対象となる。 - 特許庁
In this method, based on position coordinate of the defect detected by defect detecting means, marking through ion beam, etc. is provided around the position coordinate, sample is observed with a transmission electron microscope to identify the defective area from relative positional relationship between the marking and the defect, reliably preparing sample which contains the target defective area.例文帳に追加
欠陥検出手段で検出した欠陥の位置座標を基準にして、その近傍にイオンビームなどによってマーキングし、試料を透過型電子顕微鏡で観察して、マーキングと欠陥との相対位置関係から、欠陥部を特定し、目的とする欠陥部を含む試料を確実に作製する。 - 特許庁
The conductive electroless plating powder in which a nickel film is formed by an electroless plating method on the surface of the core member powder is characterized in that grain boundaries are not admitted at the section in the thickness direction of the nickel film when the section is observed by a scanning electron microscope at magnifying power up to 100,000 times.例文帳に追加
本発明の芯材粉体の表面に無電解めっき法によってニッケル皮膜を形成した導電性無電解めっき粉体は、前記ニッケル皮膜の厚さ方向断面を、走査型電子顕微鏡によって100000倍迄の拡大倍率で観察したときに、該断面に結晶粒界が認められないことを特徴とする。 - 特許庁
In the evaluation method of the co-flocculation capacity of bacteria, external force is applied to a capsule 11 for submerged observation containing at least two kinds of bacteria becoming an evaluation target, the co-flocculation states of bacteria before and after external force is applied is observed by a scanning electron microscope and the co-flocculation capacity of bacteria is evaluated on the basis of the observation result.例文帳に追加
本発明の細菌の共凝集能の評価方法は、評価対象となる二種以上の細菌を含む液中観察用カプセル11に外力を加え、外力を加える前と加えた後の前記細菌の共凝集状態を走査型電子顕微鏡により観察し、その観察結果に基づいて前記細菌の共凝集能を評価する。 - 特許庁
In the method for analyzing the materials in the microcapsule of the sample for observation containing the microcapsule by the transmission electron microscope, the sample for observation is used as the sample for observation containing the microcapsule, where the microcapsule including monomer capable of photopolymerization is irradiated with light.例文帳に追加
マイクロカプセルを含む観察用試料のマイクロカプセル内の材料を透過型電子顕微鏡により解析する方法であって、該マイクロカプセルを含む観察用試料として、光重合可能なモノマーが内包されたマイクロカプセルに光照射をした観察用試料を用いることを特徴とする、マイクロカプセル内の材料を透過型電子顕微鏡により解析する方法。 - 特許庁
This manufacturing method of a sample for a transmission type electron microscope includes a process for forming a protective film of an amorphous structure to the observation cross section of the specific place of a semiconductor device, a process for removing the periphery of the observation cross section to which the protective film is formed and a process for forming the region containing the protective film into a thin film state.例文帳に追加
透過型電子顕微鏡用の試料の作製方法において、半導体デバイスの特定箇所の観察断面に非晶質構造の保護膜を形成する工程と;前記保護膜が形成された観察断面の周囲を除去する工程と;少なくとも前記保護膜を含む領域を薄膜化する工程とを含むことを特徴とする。 - 特許庁
In the formation of the transmission electron microscope observation sample for a magnetic material by means of a convergent ion beam machining method, machining is carried out so that a width w1 of the thin piece machined part for observation and a sample thickness t in the part adjacent to the machined part satisfy the relation t<3×w1.例文帳に追加
磁性材料の透過電子顕微鏡観察用試料を集束イオンビーム加工法で作製するにあたり、観察をおこなう薄片加工部の幅w_1 とそれに隣接した部分の試料厚みtとの間に、t<3×w_1 なる関係が成り立つように加工することを特徴とする磁性材料の透過電子顕微鏡観察用試料作製方法。 - 特許庁
To provide a liquid medium for sample observation by an electron microscope and a sample observation method using the liquid medium, capable of preventing charge of a sample observation surface by a simple means, suppressing deformation caused by contraction or the like even after being dried, in a biosample or the like, and restraining an original image of the sample from being obstructed by partial remaining of ion liquid on a contraction impression.例文帳に追加
試料観察面の帯電を簡易な手段で防止でき、生体試料等において、乾燥後も収縮等の変形を抑制でき、さらに収縮痕へのイオン液体の部分的な残留により試料本来の像が妨げられることを抑制できる電子顕微鏡による試料観察用の液状媒体とそれを用いた試料観察方法を提供する。 - 特許庁
(b) an average primary particle size of the silica particles measured by a nitrogen adsorption method is 5-100 nm and a coefficient of variation CV value of a particle size of the silica particles measured by an image analysis of a photograph obtained by using a transmission electron microscope is 0-15%; and (c) the polyethylene glycol has a number-average molecular weight of 200-15,000.例文帳に追加
(a):前記シリカ粒子の形状係数SF1が1.00〜1.20であること(b):前記シリカ粒子の窒素吸着法により求められる平均一次粒子径が5〜100nmであって、且つ透過型電子顕微鏡写真の画像解析から求められる粒子径変動係数CV値が0〜15%であること(c):前記ポリエチレングリコールは、数平均分子量が200〜15000であること - 特許庁
The silica-titania composite oxide particle produced by a vapor deposition method has a titania content of 50 wt.% or more, a BET specific surface area of 100 m^2/g or less, a containing rate of a silica single particle and a titania single particle by electron microscope observation of 10% or less, favorably 5% or less, and a hydrophobic surface.例文帳に追加
気相法によって製造されたシリカ・チタニア複合酸化物粒子であって、チタニアの含有量が50重量%以上、BET比表面積が100m^2/g以下、電子顕微鏡観察下においてシリカ単独粒子およびチタニア単独粒子の割合が10%以下、好ましくは5%以下であり、表面が疎水化されているシリカ・チタニア複合酸化物粒子。 - 特許庁
In this analysis method using the electron microscope for analyzing the material distribution condition of the material inside the capsule of the observation sample including the capsule, the observation sample including the capsule is prepared by irradiating the capsule storing a compound having a polymerizing group with ultrasonic waves.例文帳に追加
カプセルを含む観察用試料のカプセル内の材料の分布状態を電子顕微鏡により解析する方法であって、前記カプセルを含む観察用試料として、重合性基を有する化合物が内包されたカプセルに超音波を照射した観察用試料を用いることを特徴とするカプセル内の材料の分布状態を電子顕微鏡により解析する方法。 - 特許庁
The evaluation method of the formation of the serum protein composite to the biometal includes a process <1> for incubating the biometal in serum, a process <2> for washing the biometal with a buffer solution, a process <3> for washing the biometal with refined water and a process <4> for observing the presence of the formation of the serum protein composite to the biometal by a scanning electron microscope.例文帳に追加
生体用金属に対する血清タンパク質複合体形成の評価方法であって、少なくとも、<1>生体用金属を血清中でインキュベーションする工程、<2>緩衝液で洗浄する工程、<3>精製水で洗浄する工程、および、<4>生体用金属に対しての血清タンパク質複合体形成の有無を走査型電子顕微鏡で観察する工程を含むことを特徴とする。 - 特許庁
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