「electron microscope method」に関連した英語例文の一覧と使い方(11ページ目) - Weblio英語例文検索

The pattern matching method and apparatus for carrying out pattern matching between design data and the image taken by a scanning electron microscope converts the design data into a bitmap, and carries out the matching between the bitmapped design data and the image taken by a scanning electron microscope.例文帳に追加

本発明は、設計データと走査型電子顕微鏡にて取得される画像との間でパターンマッチングを行うパターンマッチング方法及び装置であって、設計データをビットマップに変換して、当該ビットマップ化された設計データと、走査型電子顕微鏡によって取得された画像とのマッチングを行うことを特徴とする。 - 特許庁

The recipe preparation apparatus and method highly accurately measure the dimension without using the scanning electron microscope by rotating the design data of an oblique semiconductor element, changing an aspect ratio for the design data of an elongate semiconductor element and preparing the recipe in something other than the scanning electron microscope.例文帳に追加

本発明では、走査型電子顕微鏡以外で、斜めの半導体素子の設計データに対して回転，細長い半導体素子のデザインデータに対して縦横比を変えてレシピを作成することにより、走査型電子顕微鏡を使用しないで、高精度に寸法測定するレシピ作成装置及び方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for construction and processing of a three dimensional image in a transmission electron microscope TEM, which is simpler than before, concerning a technology associated with alignment of the method for construction and processing of the three dimensional image in the TEM.例文帳に追加

透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）三次元像構築画像処理方法のアライメントに関する技術において、従来よりも簡便なＴＥＭ三次元像構築画像処理方法を提供する。 - 特許庁

The particle suitably has an average primary particle diameter of from 20 nm to 1 μm measured by a transmission electron microscope method, and average particle diameter of from 20 nm to 3 μm measured by a dynamic light scattering method.例文帳に追加

その中空粒子としては透過型電子顕微鏡法による平均一次粒子径が２０ｎｍ〜１μｍ、動的光散乱法による平均粒子径が２０ｎｍ〜３μｍが好適である。 - 特許庁

To apply thin film processing by the other pre-processing method on a sample processed by a focused ion beam processing method or the like, and to observe and analyze it as it is by an electron microscope.例文帳に追加

本発明の目的は、集束イオンビーム加工法などにより加工した試料をさらに他の前処理法で薄膜加工し、そのまま電子顕微鏡により観察および分析することにある。 - 特許庁

To provide a pattern dimension measuring method capable of measuring a cross-sectional shape using a scanning charged particle microscope such as a STEM (Scanning Transmission Electron Microscope), as to a plurality of cross sections, by one time of sample preparation, and a system therefor.例文帳に追加

ＳＴＥＭ等の走査型荷電粒子顕微鏡を用いた断面形状計測を１回のサンプル作成で複数の断面について行うことができるようにしたパターン寸法計測方法及びそのシステムを提供することにある。 - 特許庁

This is an automatic focusing method of a scanning electron microscope 10 which acquires an image signal and forms a test piece image based on secondary charged particle beams from a test piece irradiated with charged particle beams.例文帳に追加

荷電粒子ビームが照射された試料からの２次荷粒子に基づいて画像信号を取得し試料像を形成する走査電子顕微鏡１０のオートフォーカス方法である。 - 特許庁

With the sample platform for the scanning electron microscope, a method is adopted to drop, dry and fix slurries by setting a patterned indented surface at a position where the slurries are to be dropped.例文帳に追加

走査電子顕微鏡の試料台において、懸濁液を滴下する位置の表面に凹凸形状を設けることにより、懸濁液をその上から滴下し乾燥，固定する手法を用いる。 - 特許庁

To provide an evaluation method of an optical fiber probe capable of measuring and evaluating the diameter of the leading end of a core by a simple constitution without using a scanning electron microscope.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡を用いることなく、簡易な構成によりコア先端の直径を測定、評価することのできる、光ファイバプローブの評価方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a three-dimensional image building method capable of obtaining a three-dimensional image with better image quality than that of a conventional one and reflecting precisely a test piece structure, and a transmission electron microscope.例文帳に追加

従来よりも像質が良く、試料構造を正確に反映した３次元像を得ることができる３次元像構築方法および透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide an aberration correction device of a scanning transmission electron microscope, which can correct defocus and astigmatism during observation and can obtain atomic resolution; and to provide an aberration correction method thereof.例文帳に追加

デフォーカス及び非点収差を観察中に補正可能で、且つ原子分解能が得られる走査型透過電子顕微鏡の収差補正装置及び収差補正方法を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope (SEM) capable of shortening a time for length measuring inspection at a deficiency analysis time by a manual work or the like, and its image display method.例文帳に追加

手作業による不具合解析時などにおける測長検査の時間短縮を図ることが可能な走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）およびその画像表示方法を提供する。 - 特許庁

To provide a remote control method and a remote control system for an electron microscope capable of moving a sample to an intended position even if an environment of network line is bad.例文帳に追加

ネットワーク回線の環境が悪い場合でも、所望の位置に試料を移動させることができる電子顕微鏡の遠隔制御方法及び遠隔制御システムを実現する。 - 特許庁

To provide a preparation method of a sample observed by a transmission electron microscope and reduced in the change in the vicinity of the surface of the original sample.例文帳に追加

透過型電子顕微鏡で観察するための試料の作製方法に関し、元のサンプルの表面近くの変化が少ない透過型電子顕微鏡用の試料の作製方法を提供する。 - 特許庁

To provide a TEM (transmitance electron microscope) sample preparation method capable of preparing a sample changing the TEM observation direction, and improving the workability of the sample preparation.例文帳に追加

この発明は、ＴＥＭ観察方向を変えた試料作製を可能にし、かつ試料作製における作業性を向上させたＴＥＭ試料作製方法を提供することを課題とする。 - 特許庁

To provide a recipe preparation apparatus and method for preparing a recipe for highly accurately measuring the dimension of an oblique or elongate pattern without using a scanning electron microscope.例文帳に追加

本発明は、斜めや細長いパターンを高精度に寸法測定するレシピを、走査型電子顕微鏡を使用しないで作成するレシピ作成装置及び方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide an abnormality detection method in a physicochemical apparatus, such as a scanning electron microscope capable of detecting the abnormality of a device and of immediately taking appropriate measures according to the abnormality.例文帳に追加

装置の異常を検知し、その異常に応じて適切な対応を速やかに取ることを可能とする走査電子顕微鏡等の理化学機器における異常検知方式を実現する。 - 特許庁

To provide a transmission electron microscope observation sample forming method for a magnetic material which minimizes magnetic field turbulence, accompanying the sample shape and allowing observation and analysis with high precision.例文帳に追加

試料形状に伴う磁場の乱れを最小限にし、より高い精度で観察や分析が可能な、磁性材料の透過電子顕微鏡観察用試料作製方法の提供。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a thin sample for a transmission type electron microscope in which a coat layer is unlikely to be released from a particle surface and there is no damage in the inside of particles and the coat layers, and an observation method of the thin sample.例文帳に追加

粒子表面からコート層が剥がれ難く、粒子内部とコート層に損傷のない透過式の電子顕微鏡用薄片試料の作製方法と薄片試料の観察方法を提供する。 - 特許庁

To realize a method of manufacturing a membrane sample for a scanning transmission electron microscope which is suitable for being used in the inspection of a multilayer structure in a semiconductor device and which is handled easily, and to realize an observation method for the membrane sam ple.例文帳に追加

半導体デバイスの多層構造の検査に用いて好適であり、取り扱いが容易な走査透過電子顕微鏡用薄膜試料作製方法および薄膜試料の観察方法を実現する。 - 特許庁

This method is to adjust the multi-pole lenses of the electron spectrometer having a plurality of the multi-pole lenses attached to a transmission electron microscope, and optimum conditions are found by simulation using a parameter design method using the exciting currents of the multi-pole lenses as parameters in this lens adjusting method.例文帳に追加

透過型電子顕微鏡に付随している複数個の多重極子レンズを有する電子分光器の多重極子レンズを調整する方法であって、多重極子レンズの励磁電流をパラメータとしたパラメータ設計手法を用いたシミュレーションにより最適条件を求めるレンズ調整方法を提供する。 - 特許庁

To realize a computing means which can optimize an amount of focal gap in STEM and which can erase a virtual image and receive a feedback of a condition by substantially shortening the period of time to obtain a computed image and by comparing an image of an electron microscope to the computed image right after observation in an observation method and an observation equipment by a scanning transmission electron microscope.例文帳に追加

走査透過型電子顕微鏡に依る観察方法及び観察装置に関し、ＳＴＥＭに於ける焦点ずれ量の最適化や虚像の消去を可能にする計算手段を実現し、そして、計算像を得る為の時間を大幅に短縮して電子顕微鏡像を観察直後に計算像と比較して条件をフィードバックできるようにする。 - 特許庁

To provide a method for preparing a sample to be observed under an electron microscope, by which a sample for electron microscope is easily prepared with high alignment accuracy for a prescribed region, without having to cleave a wafer to analyze planar shape profile, and obtained data is combined to also analyze a three-dimensional shape profile.例文帳に追加

ウェハを劈開せず、特定領域に対して高い位置合わせ精度で、より簡便に、電子顕微鏡用試料を作成して平面形状プロファイルを解析することができ、得られたデータを合成して三次元の形状プロファイルをも解析することができる電子顕微鏡観察用試料の作成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a defect evaluation method capable of precisely and rapidly preparing a flaky sample for electron microscope observation by a converged ion beam sample preparing device in relation to a semiconductor crystal including an internal defect used as an observation object and capable of evaluating the crystalline defect in detail by observing the flaky sample with an electron microscope.例文帳に追加

観察対象とする内部欠陥を含む半導体結晶に対し、収束イオンビーム試料作製装置による電子顕微鏡観察用薄片試料の作製を高精度かつ短時間で行うことができ、該薄片試料を電子顕微鏡で観察することによって詳細に結晶欠陥の評価を行うことができる欠陥評価方法を提供する。 - 特許庁

The sample observation method using the electron microscope includes a fixing process for placing the sample 1 on a sample stand 2 and heating the metal joining material 3 while subjecting the same to ultrasonic vibration not only to join and fix the sample 1 and the sample stand 2 but also to electrically connect both of them and the sample 1 is observed using the electron microscope as it remains fixed on the sample stand 2.例文帳に追加

試料台２上に試料１を載置し、金属接合材３を超音波振動させながら加熱することで試料１と試料台２とを金属接合材３により接合して固定すると共に電気的に接続する固定工程を備え、試料台２上に試料１を固定した状態で電子顕微鏡を用いた観察を行う。 - 特許庁

To provide a stereoscopic shape measuring method by a scanning electron microscope (SEM) and its device capable of highly-accurate stereoscopic shape measurement even in the case of a flat surface or a nearly vertical surface, by utilizing tilt angle dependency of a secondary electron image signal quantity.例文帳に追加

ＳＥＭの２次電子画像信号量の傾斜角依存性を利用して平坦な面や垂直に近い面についても高精度な立体形状計測を可能にしたＳＥＭによる立体形状計測方法およびその装置を提供することにある。 - 特許庁

The amorphous silica has a primary particle size of 18 to 50 nm as measured by a small angle X-ray scattering method, and each particle of the amorphous silica has a circularity of 0.70 to 0.85 as observed with an electron microscope.例文帳に追加

Ｘ線小角散乱法で測定した一次粒子径が１８乃至５０ｎｍであり、電子顕微鏡で観察した個々の粒子の円形度が０．７０乃至０．８５であることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of providing a high-resolution image even if a sample is tilted when a surface of the sample is observed by a retarding method for applying a negative voltage to the sample.例文帳に追加

試料に負電圧を印加するリターディング法により試料表面の観察を行う際に、試料を傾斜させても高分解能像を得ることを可能にする走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a confocal scanning transmission type electron microscope device and a three-dimensional tomographic observation method such that atom arrays of a thin-layer sample at different depths are observed through one image.例文帳に追加

共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び３次元断層像観察方法に関し、薄層状試料における異なった深さにおける原子配列を一画像で観察可能にする。 - 特許庁

To provide a mold for optical imprint which can be observed with an SEM (Scanning Electron Microscope), can be inspected with high throughput, and can form high-definition pattern, and to provide an optical imprint method using the same.例文帳に追加

ＳＥＭ観察が可能であり高スループットで検査を行うことができ、かつ、高精細なパターン形成が可能な光インプリント用のモールドと、これを用いた光インプリント方法を提供する。 - 特許庁

To provide a sample holder capable of continuously observing a sample even if the sample is heated and reducing a temperature difference between the sample and a heater, in a transmission electron microscope, and a sample observation method.例文帳に追加

透過型電子顕微鏡において、加熱しても試料を連続観察することができ、かつ試料とヒーターの温度差を減らすことができる試料ホルダーおよび試料観察方法を提供する。 - 特許庁

To provide an observation method of intercellular microstructure of stratum corneum using a transmission electron microscope enabling a whole detail of intercellular microstructure of stratum corneum being easily and clearly observed.例文帳に追加

透過型電子顕微鏡を用いて角層細胞間の微細構造の全体の詳細を簡便かつ明瞭に観察することができる角層細胞間の微細構造の観察方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method and a device for controlling and monitoring a position of a holding element which is provided to hold a sample to be examined, in particular by a beam device such as an electron microscope.例文帳に追加

とくには電子顕微鏡などのビーム装置によって検査される試料を保持するために設けられた保持部材の位置を制御および監視するための方法および装置を提供する。 - 特許庁

To provide a test piece observation method capable of allocating an observation field of vision selectively to a portion required for observation of the test piece that is an observation object, and to provide an electron microscope.例文帳に追加

本発明は、観察対象となる試料の観察に要する個所に対し、選択的に観察視野を割り当てることが可能な試料観察方法、及び電子顕微鏡の提供を目的とする。 - 特許庁

To provide a method capable of performing observation of an arbitrary sample or detection of charge-up at a measuring section in a scanning electron microscope without requiring modification of a hardware.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡において任意のサンプルの観察あるいは測定部位におけるチャージアップの検出を、ハードウェアの改造を必要とせずに、実施できる方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a method appropriate for wafer edge observation using an electron microscope for investigating generation factors of foreign substances or the like, when these foreign substances or defects are discovered in wafer inspection.例文帳に追加

ウェハ検査において異物や欠陥を見つけた場合に、これら異物等の発生原因を探求するための電子顕微鏡を用いたウェハエッジ観察に関する好適な方法を提供する。 - 特許庁

To provide an observation method for a microstructure of a polymeric material capable of analyzing a phase separation structure, a lamellar structure and an oriented state of a crystal of the polymeric material by a scanning electron microscope.例文帳に追加

走査型電子顕微鏡により高分子材料の相分離構造、ラメラ構造および結晶の配向状態を解析することが可能な高分子材料の微細構造の観察方法を提供する。 - 特許庁

To provide a sample image observation method, an image processing device, and a charged particle beam device suitable for selecting an image region to be acquired by the charged particle beam device represented by an electron microscope based on an image obtained by an optical microscope.例文帳に追加

本発明は、光学顕微鏡によって取得された像に基づいて、電子顕微鏡に代表される荷電粒子線装置にて取得すべき画像領域を選択するのに好適な試料像観察方法，画像処理装置、及び荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。 - 特許庁

To provide radial clusters of sharp-ended multiwalled carbon nanotubes, which are new carbon nanostructures useful as a probe for STM (scanning tunneling microscope) or AFM (atomic force microscope), a field emission electron source of a display element, a display, or the like, and to provide a method for preparing the radial clusters.例文帳に追加

ＳＴＭやＡＦＭ用探針、表示素子、ディスプレイ等の電界放出電子源などとして有用な、新規なカーボンナノ構造物である鋭端多層カーボンナノチューブ放射状集合体とその製造方法鋭端多層カーボンナノチューブ放射状集合体とその製造方法を提供する。 - 特許庁

This is an electrostatic charge measuring method and a focus adjustment method, or a scanning electron microscope to measure the charge amount or to control an impressing voltage on the test piece by moving the scanning place of the electron beams on the test piece, and changing the impressing voltage on an energy filter.例文帳に追加

上記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、試料上の電子ビームの走査個所を移動しつつ、エネルギーフィルタへの印加電圧を変化させることで、帯電量を測定、或いは試料への印加電圧を制御する帯電測定方法、焦点調整方法、或いは走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

To provide a transmission electron microscope apparatus, a sample holder, a sample stage and a method for acquiring a spectral image, capable of acquiring the spectral image from a plurality of pieces of samples simultaneously, and measuring a chemical shift of high precision from an electron energy loss spectrum extracted from the spectral image.例文帳に追加

複数個の試料から同時にスペクトル像を取得し、スペクトル像より抽出された電子エネルギー損失スペクトルから、高精度のケミカルシフトを測定することが可能な透過型電子顕微鏡装置，試料ホルダ，試料台及びスペクトル像の取得方法を提供する。 - 特許庁

In this length measuring method by the scanning electron microscope, the scanning electron microscope is auto-focused with a measuring point, using an output from a sensor for detecting a distance from an objective lens to the sample, and a change of a sample signal emitted from the sample is monitored while changing an excitation current of the objective lens, to detect the excitation current ΔIobj of the objective lens corresponding to a focus shift.例文帳に追加

本発明の走査形電子顕微鏡による測長方法は、対物レンズから試料までの距離を検出するセンサの出力を用いて走査形電子顕微鏡を測定ポイントにオートフォーカスさせ、対物レンズの励磁電流を変化させながら試料から放出された試料信号の変化をモニターしてフォーカスずれに相当する対物レンズの励磁電流ΔIobjを検出する。 - 特許庁

In a method that an image is formed by utilizing a secondary electron amplification by residual gas around a sample in a low vacuum scanning electron microscope(SEM) and an absorption current, the observation with high resolution and good image quality is enabled by an electric field in which an electrode acts with the comparatively reduced number of parts and a design taking scattering of a first electron beam into consideration.例文帳に追加

低真空SEMにおける試料周辺の残留ガス分子による二次電子増幅法と吸収電流を利用して画像を形成する方式に於いて、比較的少ない部品数で電極が作用する電界や１次電子ビームの散乱を考慮した設計によって、低真空における高分解能・良好な像質での観察を可能とする。 - 特許庁

To provide an electron microscope device in which analysis of spacial configuration is made possible by applying a CT method (computerized tomography method) without segmentizing the test piece and application of the CT method is possible in a general case.例文帳に追加

ＣＴ法を応用することにより試料を切片化することなしに立体構造の解析を可能とし、電子顕微鏡装置に特有の問題を解決して、一般的なケースにおいてＣＴ法の応用が可能である電子顕微鏡装置を提供する - 特許庁

To provide a micro-grid structure for holding specimens of an electron microscope which can reduce the possibility of breakage of a specimen holding film as well as easily discriminable between such as the front and back surfaces of a specimen, and to provide a manufacturing method of the specimens.例文帳に追加

マイクログリッドが有する試料を載置するための支持膜の破損の可能性を低減し、また、試料の表裏等の区別を容易にできるマイクログリッド及び電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。 - 特許庁