「electron-microscope」に関連した英語例文の一覧と使い方(33ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a sample setting method capable of setting a sample for a transmission electron microscope (TEM) in a sample holder without fixing it to an auxiliary plate and facilitated in fixing of insertion length of the TEM sample.例文帳に追加

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）用試料を、補助板などに装着固定することなく試料ホルダーへの装着を行うことが出来、かつＴＥＭ試料の挿入長を一定にすることが容易な試料装着方法を提供する。 - 特許庁

In a scanning electron microscope in which a lubricant is coated on a sliding portion of a movable member that moves inside a vacuum chamber, a substance from which low molecular components were removed is used as the lubricant.例文帳に追加

以上のような目的を達成するために、真空室内にて移動する移動部材の摺動部分に潤滑剤を塗布した走査型電子顕微鏡において、当該潤滑剤として、低分子成分が除去されたものを採用する。 - 特許庁

To provide a charged particle beam device allowing observation by an electron microscope to be rapidly carried out by correctly detecting a foreign substance in a film without causing LMIS pollution; a sample processing method; and a semiconductor inspection device.例文帳に追加

ＬＭＩＳ汚染を発生させることなく、膜中の異物を正確に検出し電子顕微鏡による観察を迅速に行うことができる荷電粒子線装置、試料加工方法及び半導体検査装置を提供する。 - 特許庁

To provide a resolution-evaluating method of an electron microscope, a program and an information storage medium, by which the resolution can be evaluated with high accuracy even in case that a picked-up image involves a factor degrading the accuracy of evaluation.例文帳に追加

撮像画像に評価精度を悪化させる要因がある場合であっても、高精度に分解能を評価することが可能な、電子顕微鏡の分解能評価方法、プログラム、及び情報記憶媒体を提供すること。 - 特許庁

In this electron microscope, the electrons are applied to a sample on the basis of the predetermined image observing condition, and a desired position of the sample can be observed with a desired observing magnification by detecting the secondary electrons or reflected electrons.例文帳に追加

電子顕微鏡は、所定の像観察条件に基づいて電子を試料に照射し、二次電子または反射電子を検出することで、試料の所望の位置を所望の観察倍率にて像観察することが可能である。 - 特許庁

In this scanning type charged particle beam microscope using an electron beam etc., when a scanning image is taken-in in a memory device synchronizing with a scanning signal, a delay of the electronic circuit is corrected and taken-in by a shift registor having variable number of steps.例文帳に追加

電子線等を使用した走査型荷電粒子ビーム顕微鏡において、走査信号に同期して走査画像を記憶装置に取り込む際に、電子回路の遅延を可変段数のシフトレジスタにより補正して取り込む。 - 特許庁

In this manner, the lens barrel is directly mounted to the observation target, and therefore, even the observation target that cannot be housed in the sample chamber of a conventional electron microscope can be observed as it is without processing it.例文帳に追加

こうして鏡筒を観察対象物に対し直接マウントすることで、従来では試料室に入りきらない観察対象物であっても加工を施すことなく現状状態そのままで観察を行うことができるようになる。 - 特許庁

To provide an electron microscope which reduces a sample damage without depending on a measurement magnification or a sample and with the minimized illumination beam, and makes astigmatism correction automatically.例文帳に追加

本発明の目的は、測定倍率や試料に依存しないで、また、できる限り照射ビームを少なくして試料損傷低減を図り、自動的に非点収差補正を行うことができる電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁

Further as one embodiment, the scanning electron microscope includes a function to correct conditions and the like in an apparatus such as magnification, focus, measuring coordinate and the like varied in accordance with a sample electrification, based on the measured sample height and the sample electrification.例文帳に追加

また、その一態様として、測定された試料高さや試料電位に基づいて、試料帯電によって変動する装置条件（例えば倍率，フォーカス，観察座標等）を補正する走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

To evade failure in X-ray analysis caused by coming-out from a sample position where an X-ray is efficiently taken in, when executing the X-ray analysis following to sample observation by a scanning electron microscope.例文帳に追加

走査電子顕微鏡による試料観察に引き続いてＸ線分析を実行する場合に、試料の位置がＸ線を効率良く取り込める位置から外れていることでＸ線分析が失敗してしまうことを回避する。 - 特許庁

When characterization of the tip of a diamond probe 1 for machining is needed, a high resolution scanning electron microscope observation at a high accelerating voltage is performed for the tip of the diamond probe 1 in use for machining under a water vapor atmosphere.例文帳に追加

加工用ダイヤモンド探針１の先端のキャラクタリゼーションが必要なときは使用している加工用ダイヤモンド探針1の先端を水蒸気雰囲気下での高加速電圧の高分解能走査電子顕微鏡観察を行う。 - 特許庁

In this chemical bonding condition analyzing method for elements in tungsten and its compound, the chemical bonding condition of the measuring material is analyzed by analyzing the characteristic X-ray wavelength provided from the electron microscope.例文帳に追加

タングステンおよびその化合物における元素の化学結合状態分析方法において、測定用材料を電子顕微鏡から取得される特性Ｘ線波長を解析することによって、化学結合状態を分析する。 - 特許庁

To realize an electron microscope which has adopted for it a normally available exhaust system such as a turbo molecular pump, an ion pump or a rotary pump and which can safely execute observation or adsorption of a highly scarce object.例文帳に追加

ターボ分子ポンプやイオンポンプ、あるいはロータリーポンプなどといった通常入手できる排気系を採用した電子顕微鏡において、希少性の高い対象物の観察または吸着を安全に実行できる装置を実現する。 - 特許庁

A display control device 22 displays an image photographed by a TV camera 21, on a monitor 24 and makes a superimposed display of an inclined axis pattern on the monitor 24 on the basis of inclined axis information from an electron microscope body control part 30.例文帳に追加

表示制御装置２２は、ＴＶカメラ２１で撮像した画像をモニタ２４に表示すると共に、電子顕微鏡本体制御部３０からの傾斜軸情報に基づいて傾斜軸パターンをモニタ２４に重畳表示する。 - 特許庁

First, a review is carried out by an electron microscope unit 2, and only when a first determining section 3 recognizes that a defect exists in a recognized defect part, is related defect information output to a defect information classifying section 6.例文帳に追加

先ず電子顕微鏡ユニット２によるレビュー結果に基づき、第１の判定部３により認定欠陥部位に欠陥が有ると認められる場合のみ、その旨の欠陥情報が欠陥情報分類部６に出力される。 - 特許庁

The standard sample for the charged particle beam containing different two samples for magnification or dimension calibration, and the charged particle beam device using the standard sample are formed, in a TEM, an STEM (scanning transmission electron microscope), or an SEM for observing a sample by using electrons transmitted through it.例文帳に追加

本発明では、上記目的を達成するために、倍率、或いは寸法校正のための異なる２つの試料が含まれている荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

A specimen transfer system S used for a semiconductor scanning electron microscope is equipped with a specimen chamber 1, a specimen replacing chamber 2, a loading board 11, a specimen transfer path, a transfer means of the specimens 13, and a control device of controlling the transfer means.例文帳に追加

半導体用走査電子顕微鏡用の試料搬送システムＳは、試料室１、試料交換室２、ロードポート１１、試料搬送経路、試料１３の搬送手段、搬送手段を制御する制御装置を備えている。 - 特許庁

As for formation of a buried plug in formation of a wiring contact part, a buried plug is formed by using a conductive material and inspection of burying height by means of a scanning electron microscope is made possible by electrical conductivity of the buried plug.例文帳に追加

配線コンタクト部の形成における埋め込みプラグの形成について、導電性材料を用いて埋め込みプラグを形成し、埋め込みプラグの導電性によって走査型電子顕微鏡による埋め込み高さの検査を可能とする。 - 特許庁

Particles of a heteropoly acid salt catalyst of formula (1) are observed with an electron microscope, the diameters of the individual particles in a photograph in a randomly extracted visual field are measured, and the arithmetic mean of the diameters is adopted as the average particle diameter.例文帳に追加

すなわち、電子顕微鏡で式（１）のヘテロポリ酸塩触媒粒子を観察して、無作為に抽出した視野の写真から粒子１つ１つの直径を測定して、その直径の相加平均を平均粒子径とする。 - 特許庁

To provide a mapping type electron microscope capable of controlling the charge-up amount of a sample between the minimum amount required for observing images and the maximum amount not damaging the sample itself and capturing observed images with less distortion.例文帳に追加

試料のチャージアップ量を、像観察に必要な最低量と、試料自身を損傷させることなく、かつ、歪みの少ない観察画像を得られる最大量の間になるように制御の可能な写像型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To damp the vibration by converting vibration energy into heat energy when a constituent member of a microscopic analysis device such as an electron microscope is vibrated in a natural vibration mode by the input of ambient vibration, sound.例文帳に追加

周囲の振動、音響の入力により、電子顕微鏡等の顕微分析装置の構成部材がそれぞれの固有振動モードにて振動するとき、その振動エネルギを熱エネルギに変換して前記振動を減衰させること。 - 特許庁

To provide a scanning transmission electron microscope capable of obtaining a scanning transmission image having a specified resolution by deciding an aberration coefficient from Ronchigram and applying feedback of signals correcting each aberration to a device.例文帳に追加

ロンチグラムから収差係数を決定し各収差を補正する信号を装置にフィードバックすることにより、指定した分解能を有する走査透過像を得ることができることを特徴とした走査透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which can effectively detect ions excited by primary electrons, reflecting electrons, secondary electrons generated due to bias electrode electric field or the like to obtain an absorption current.例文帳に追加

一次電子励起のイオンや反射電子励起のイオン、バイアス電極電界により生じた二次電子励起のイオンなどのイオンを効率よく検出し、吸収電流を得ることができる走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁

A transmission electron microscope comprises a means for calculating an deviation amount in visual field among a plurality of sample permeation images, a means for changing an electric current given in a deflector for deflecting an electron beam or moving a sample to automatically correct the deviations in visual field, and a control means for repeating this operation means to decrease the deviations in the visual field.例文帳に追加

透過型電子顕微鏡において、複数の試料透過像間の視野ずれの量を計算する手段と、電子線を偏向させる偏向器に与える電流をかえて、または試料を移動させて視野ずれを自動的に補正する手段と、以上の手段の動作を繰り返して視野ずれを減少させる制御手段とを備える。 - 特許庁

The mapping type electron microscope includes an illuminating system which irradiates a primary electron beam onto a sample, and the projection imaging optical system 24 which guides a secondary beam irradiated from the sample to a detection system, and the projection imaging optical system 24 is provided with the transfer lens system 24b, having a first zooming lens 6a and a second zooming lens 6b.例文帳に追加

試料を照射する１次電子ビームを放出する照射系と、試料から放出された２次電子ビームを検出系へ導く投影結像光学系２４とを備える写像型電子顕微鏡の投影結像光学系２４は、第１のズームレンズ６ａと第２のズームレンズ６ｂとを有するトランスファー・レンズ系２４ｂを備える。 - 特許庁

The scanning electron microscope for two-dimensionally scanning an electron beam on a sample to form an image with signals obtained from the sample and sent to display means comprises a means for controlling pressure in a sample cell and a means for sending signals obtained from the sample to the display means by controlling in accordance with the pressure in the sample cell.例文帳に追加

試料上で電子線を２次元的に走査し試料から得られる信号を表示手段に送って像を形成する走査電子顕微鏡において、試料室の圧力を制御する手段と、前記試料から得られる信号を前記試料室の圧力に応じて制御して表示手段に送る手段とを備えたことを特徴とする。 - 特許庁

In the discharge electron detection value estimation method, an electromagnetic field distribution EM of the electronic optical system 4 in an electron microscope body 1 is calculated, while detection values of first emitted electrons 50 from a sample 5 in the electromagnetic field distribution EM and second emitted electrons 52 emitted from the electronic optical system by collision with the first emitted electrons are calculated by a Monte Carlo method.例文帳に追加

電子顕微鏡本体１内の電子光学系４の電磁場分布ＥＭを算出し、当該電磁場分布ＥＭにおける試料５からの第１放出電子５０及び第１放出電子の衝突によって電子光学系から放出される第２放出電子５２の検出値をモンテカルロ法によって算出する。 - 特許庁

In the inspection apparatus using an electron microscope which senses the defects present on the pattern of a sample based on the sensed signal of secondary charged particles generated by a scanning electron beam, there is provided such a function that the informations obtained by its ADC function are so fed back to its inspection function in the form of an inspection/non-inspection region as to improve its inspection and ADC performances.例文帳に追加

電子線を走査して発生する二次荷電粒子の検出信号に基づいて試料のパターン上の欠陥を検出する電子顕微鏡を用いた検査装置において、ＡＤＣ機能で得られた情報を検査／非検査領域という形で検査機能にフィードバックさせ、検査性能、ＡＤＣ性能の向上を図る機能を備える。 - 特許庁

To provide a preparation method of a specimen for observing a defective part of a semiconductor device substrate, which enables the fine defective part of the semiconductor device substrate to be easily specified in a short time, so that a thin specimen suitable for transmission electron microscope observation can be made.例文帳に追加

短時間で容易に、半導体デバイス基板の微小な欠陥部を特定でき、透過形電子顕微鏡観察に適した薄片試料とすることが可能な半導体デバイス基板の欠陥部観察用試料の作製方法を提供すること。 - 特許庁

The colloidal silica is produced from active silicic acid as an original material in the presence of an alcohol, and contains the alcohol and a group of silica particles in various nonspherical shapes wherein a ratio of long length diameter/short length diameter observed by a transmission electron microscope is 1.2-6.例文帳に追加

アルコールの存在下で活性珪酸を原料として製造されるコロイダルシリカであって、アルコールを含有し、透過型電子顕微鏡観察による長径／短径比が１．２〜６である非球状の異形シリカ粒子群を含有するコロイダルシリカである。 - 特許庁

There is provided a moon grid 100 specialized for three-dimensional observation by a transmission electron microscope, and its manufacturing method, wherein the moon grid includes a sheet mesh 110 for protecting an upper structure, and a support film 120 equipped on the sheet mesh 110 and containing nanoparticles 130 dispersed.例文帳に追加

上部構造を保護するシートメッシュ１１０と、シートメッシュ１１０上に具備されてナノ粒子１３０が分散している支持膜１２０とを含む、透過電子顕微鏡３次元観察専用ムーングリッド１００とその製造方法を提供する。 - 特許庁

On the silver paste consisting of silver powder as a filler, an organic agent and a solvent, the silver powder with an average particle diameter D_IA of primary particles obtained by image analysis of a scanning electron microscope image of 0.6 μm or less, is adopted.例文帳に追加

フィラーとしての銀粉と有機剤と溶剤とからなる銀ペーストにおいて、前記銀粉は、走査型電子顕微鏡像の画像解析により得られる一次粒子の平均粒径Ｄ_ＩＡが０．６μｍ以下である銀ペーストを採用する。 - 特許庁

To provide a tension and compression holder mechanism of an electron microscope which can accurately detect a tensile force and in which a tensile direction does not vary in an observation of an image.例文帳に追加

本発明は電子顕微鏡の引っ張り・圧縮ホルダ機構に関し、像観察中に引っ張り方向が変わらず、引っ張り力を精度よく検出することができる電子顕微鏡の引っ張り・圧縮ホルダ機構を提供することを目的としている。 - 特許庁

The perovskite type compound oxide particle consists of a single crystal particle of a perovskite type compound oxide, has 5-50 nm average particle size, which is calculated by using the results measured by using a transmission electron microscope, and contains a noble metal in a crystal lattice of the single crystal particle.例文帳に追加

ペロブスカイト型複合酸化物の単結晶粒子からなり、透過型電子顕微鏡の観測結果から求めた平均粒子径が５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、その結晶格子中に貴金属元素が含まれている構成とする。 - 特許庁

The manufacturing method is used for a micro grid 1 that includes a grid mesh 10 that is used for sample support when observed by an electron microscope and a thin film 20 placed on the grid mesh 10 that has pores 21.例文帳に追加

本発明の製造方法は、電子顕微鏡による観察の際に試料支持用として用いられる、グリッドメッシュ１０と、グリッドメッシュ１０上に設けられた、孔部２１を有する薄膜２０と、を備えたマイクログリッド１の製造方法である。 - 特許庁

The system is equipped with a scanning electron microscope 30 for measuring a pattern line width in a vacuum chamber 20 for dry etching so as to carry out intermediate length measurement of a pattern line width while a dry-etched photomask substrate 10 is mounted in the vacuum chamber for dry etching.例文帳に追加

ドライエッチング用真空チャンバー２０にパターン線幅を測長する走査型電子顕微鏡３０を備え、ドライエッチングしたフォトマスク基板１０をドライエッチング用真空チャンバー内に載置した状態でパターン線幅を中間測長する。 - 特許庁

To provide a movable diaphragm position control method and a device of an electron microscope enabled in carrying out intuitive operation in the case of moving a diaphragm.例文帳に追加

本発明は電子顕微鏡の可動絞り位置制御方法及び装置に関し、絞りを移動させる場合に直感的な操作を行なうことができるようにした電子顕微鏡の可動絞り位置制御方法及び装置を提供することを目的としている。 - 特許庁

To obtain a transmission electron microscope which measures and indicates an amount and directions deviations in a visual field of a reference image recorded after an arbitrary set time relative to a recorded image in a real time and a high degree of accuracy and automatically corrects for the deviations in visual field.例文帳に追加

記録した登録画像に対し、任意の設定時間後に記録した参照画像の２つの画像間の視野ずれ量および方向をリアルタイムで高精度に計測，表示し、視野ずれを自動的に補正する透過型電子顕微鏡を得る。 - 特許庁

To provide an electron microscope holder having high X-ray detection efficiency even in an EDX analysis by an X-ray analyzer of a low angle for extracting a sample for TEM observation in cross section produced by the FIB processing and to provide a spacer for use therefor.例文帳に追加

ＦＩＢ加工により作製した断面ＴＥＭ観察用試料の、低取り出し角のＸ線分析器によるＥＤＸ分析においても、高いＸ線検出効率を有する電子顕微鏡ホルダー及びこれに用いるスペーサーを提供する。 - 特許庁

To provide a sample transfer method for a transmission electron microscope with operability improved by transferring a sample smoothly to a next mesh position when it approaches a grid part.例文帳に追加

本発明は透過電子顕微鏡の試料移動方法に関し、グリッド部分にさしかかった時にスムーズに次のメッシュ位置まで移動することで、操作性を向上させることができる透過電子顕微鏡の試料移動方法を提供することを目的としている。 - 特許庁

To correct measurement magnification and measurement position of a spectral image with high efficiency and with high accuracy using an electronic spectroscope and a transmission electron microscope, regarding the spectral image formed with two axes where an amount of energy loss and a measurement position information are orthogonal to each other.例文帳に追加

電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と測定位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の測定倍率および測定位置を高効率かつ高精度に行う。 - 特許庁

To provide a transmission electron microscope having an analysis system with high adaptability, which has an incident image surface and an incident pupil surface and can perform one or more kinds of analysis methods as an analysis method for electrons passing through samples.例文帳に追加

入射像面および入射瞳面を有し、試料を通過した電子の分析方法として１種類またはそれ以上の種類の分析方法を実施可能とする、適応性の高い分析系を備える透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁

A scanning electron microscope 1 having an automatic focusing function is provided with a coordinate navigation function which allows setting measurement points arbitrarily and an output function for plotting thickness distribution based on the measured data, for measuring flatness of a wafer.例文帳に追加

オートフォーカス機能を有する走査型電子顕微鏡１に測定箇所を任意に設定可能な座標ナビゲーション機能と、計測したデータに基づいて厚さ分布を描画する出力機能を搭載することによりウェーハの平坦度の測定する。 - 特許庁

To provide a sample support stage for observing a three-dimensional structure of high versatility with a sample constitution while adopting a constitution capable of always holding a sample in the visual field center of an electron microscope, a protractor and a three-dimensional structure observing method.例文帳に追加

試料を常に電子顕微鏡の視野中心で保持可能な構成を採用しながら、簡素な構成で汎用性の高い３次元構造観察用の試料支持台及び分度器、並びに３次元構造観察方法を提供する。 - 特許庁

The particulate black composite oxide particles comprise 60 to 80 mass% cobalt and 0.1 to 5 mass% manganese and has an average primary particle diameter of 0.05 to 0.3 μm (as measured by observation with a scanning electron microscope (SEM)).例文帳に追加

６０質量％〜８０質量％のコバルトおよび０．１質量％〜５質量％のマンガンを含有し、ＳＥＭ観察で測定した一次粒子平均径が０．０５μｍ〜０．３μｍであることを特徴とする粒状黒色複合酸化物粒子。 - 特許庁