「halogen」に関連した英語例文の一覧と使い方(95ページ目) - Weblio英語例文検索

Movement of an element between the LED chip 2 and the cap 52 is controlled and reaction between a metal element within the LED chip 2 (a metal element included in a p-type electrode 25 and a heat conductive bonding agent 33), and sulfur or halogen element within the cap 52 is avoided.例文帳に追加

ＬＥＤチップ２とキャップ５２との間での元素の移動が抑制され、ＬＥＤチップ２内の金属元素（ｐ型電極２５および熱伝導性接着剤３３に含まれる金属元素）とキャップ５２内の硫黄またはハロゲン元素との反応が回避される。 - 特許庁

The member of manufacturing apparatus of a semiconductor or a liquid crystal is provided with a base material, and a ceramic film on the base material consists of at least any one kind selected from among Y_2O_3, Al_2O_3 and MgO, and includes a portion to be exposed to a halogen-based corrosion gas or its plasma.例文帳に追加

半導体または液晶製造装置部材は、基材と、その基材上に形成され、Ｙ_２Ｏ_３、Ａｌ_２Ｏ_３またはＭｇＯの少なくとも一種以上からなり、ハロゲン系腐食ガスまたはそのプラズマに曝される部位を含むセラミックス膜とを備えている。 - 特許庁

Then, the difference after the value of the fixing roll temperature information is subtracted from the value of the read ideal temperature information α is obtained, and the application of electric power to a halogen lamp is so controlled that the peripheral surface temperature of the fixing roll 31 is complemented by the temperature component as much as indicated by the difference.例文帳に追加

そして、読み出した理想温度情報αの値からその定着ロール温度情報の値を引いた差分を求め、その差分が示す温度分だけ定着ロール３１の周面温度が補完されるようにハロゲンランプへの通電を制御する。 - 特許庁

The filter medium includes at least two kinds of polyolefinic sheets thermally bonded to each other, with at least one kind of the sheet members comprising a non-halogen flame retardant in a ratio of 1.0 to 3.0 weight%, the flame retardant of which is a mixture of N-alkoxy-hindered-amine compound and a phosphazene compound.例文帳に追加

少なくとも２種類のポリオレフィン系シートが熱接着されており、かつ少なくとも１種類のシート部に、Ｎ−アルコキシヒンダードアミン系化合物とフォスファゼン系化合物の混合体である非ハロゲン系難燃剤を１．０〜３．０重量％含有している。 - 特許庁

The heat removal roller 31 is abutted to the paper non passing region which is a region outside the paper passing region of an A5 size paper which is the minimum size paper in the width direction among the regions on the surface of the pressurizing roller 21 corresponding to a halogen lamp 15a for A4 size width heating which is a heat source.例文帳に追加

除熱ローラ３１は、熱源であるＡ４サイズ幅加熱用ハロゲンランプ１５ａに対応する加圧ローラ２１表面の領域のうち、最小サイズ用紙であるＡ５サイズ用紙の通紙域の幅方向外側の領域である非通紙域に当接する。 - 特許庁

Subsequently, plasma of the primary reaction gas is generated in a low pressure secondary plasma space 42a and secondary reaction gas containing a reactive halogen based component such as fluorine radicals exhibiting reactivity to an article 90 to be treated is produced and brought into contact with the article 90 to be treated.例文帳に追加

この一次反応ガスをより低圧の二次プラズマ空間４２ａでプラズマ化し、被処理物９０との反応性を有するフッ素ラジカル等の反応性ハロゲン系成分を含む二次反応ガスを生成し、この二次反応ガスを被処理物９０に接触させる。 - 特許庁

To provide a primer composition for improving the adhesion, coating properties and printability to polyolefins which contains neither halogen compounds nor volatile components such as organic solvents for placing a load in the environment and does not cause the lowering of the surface wetted tension due to the change with time.例文帳に追加

環境に負荷を及ぼすハロゲン化合物や有機溶剤等の揮発成分を含まず、また経時変化による表面ぬれ張力の低下を引き起こさない、ポリオレフィンに対する接着性、塗装性、印刷性を改良するためのプライマー組成物を得る。 - 特許庁

In the general Formulas (1) and (2), X and Y represent a 1-4C alkyl group or halogen group, k and i represent a positive integer of 0 or 1-4, R_1 and R_2 represent a 1-8C alkyl group, n represents a positive integer of 3-7, and A represents an acid component.例文帳に追加

（一般式〔１〕及び〔２〕式中、Ｘ及びＹは、炭素数１〜４のアルキル基またはハロゲン基を、ｋ及びｉは、０または１〜４の正整数を、Ｒ_１及びＲ_２は炭素数１〜８のアルキル基を、ｎは、３〜７の正整数を、Ａは酸成分をそれぞれ表す。） - 特許庁

To provide a flame retardant that is free of halogen, has good solubility and causes neither deterioration of characteristics inherently possessed by a resin such as mechanical characteristics, molding processability and the like nor whitening when added to a resin and to provide a flame-retardant resin composition using the flame retardant that meets the UL standard (VTM-0).例文帳に追加

ハロゲンを含まず、溶解性が良く、樹脂添加時に機械的特性、成形加工性等の樹脂本来の特性を低下させず、白化を起こさない難燃剤、また、これを用いたＵＬ規格（ＶＴＭ−０）を満たす難燃性樹脂組成物を提供。 - 特許庁

In the second invention, metal, a metal compound, an organic-based gas, or the like exists when removing a deposit film that is deposited in the reaction tank of the semiconductor- manufacturing apparatus for forming a CVD film or the like by the cleaning gas containing at least halogen gas, such as ClF_3.例文帳に追加

第２の発明はＣＶＤ膜などを形成する半導体製造装置の反応槽内に堆積した堆積膜を少なくともＣｌＦ_3ガスなどのハロゲンガスを含むクリーニングガスによって除去する際に金属、金属化合物、有機物系ガスなどを存在させる。 - 特許庁

To increase solubility, to remove granules and foreign materials which cause defects, and to improve surface properties when a cellulose acylate is used as a base material, and a solution is prepared by using a cellulose acylate raw material recovered from the base material having complex composition and a halogen-free organic solvent.例文帳に追加

セルロースアシレートを基材とし、複雑な構成をもつ基材から回収されたセルロースアシレート原料を非ハロゲン系有機溶媒で溶液を調製する場合に、溶解性を更に改良し、欠陥となるブツ、異物を除去し、その面状を改善する。 - 特許庁

In the formula, X is a substituent group selected from among a bromine atom, substituted peroxy group, mercapto group, substituted thio group and substituted sulfonyl group; Y is -CN or -COZ; and Z is a group linked to the carbonyl group via a heteroatom, or a halogen atom.例文帳に追加

上記課題は、（ａ）全インク組成物量に対して０．０１〜４．５質量％の下記一般式（Ｉ）で表される重合性化合物、（ｂ）（ａ）以外の重合性化合物、（ｃ）重合開始剤、及び（ｄ）着色剤、を含有するインク組成物、により達成される。 - 特許庁

To obtain a polyester-based resin composition that uses neither a flame retardant such as a halogen-based, phosphorus-based or antimony-based flame retardant nor a flame-retardant auxiliary and has flame retardance of UL94V-2 and excellent antistatic performance without impairing appearance, coloring performance and toughness.例文帳に追加

本発明は、ハロゲン系、リン系、アンチモン系等の難燃剤および難燃助剤を使用することなく、ＵＬ９４Ｖ−２の難燃性を具備し、さらに外観、着色性能、靭性を損なわず、帯電防止性能に優れたポリエステル系樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To obtain an epoxy resin molding material for sealing, free from a halogen and antimony, and having good flame retardancy without reducing the reliability such as moldability, resistance to solder-reflow, moisture resistance and characteristics after being left at high temperatures, and further to provide an electronic part device having an element sealed with the molding material.例文帳に追加

ノンハロゲンかつノンアンチモンで、成形性、耐リフロー性、耐湿性及び高温放置特性等の信頼性を低下させずに難燃性が良好な封止用エポキシ樹脂材料、及びこれにより封止した素子を備えた電子部品装置を提供する。 - 特許庁

To provide a flame retardant electroconductive thermoplastic resin which is a non-halogen-based one, has high degree of flame retardancy and electroconductivity and presenting molding products suppressed in bleed-out of a flame retardant even when the molded products are exposed under the high temperature environment, and maintaining initial characteristics.例文帳に追加

非ハロゲン系であり、かつ、高度な燃焼性、導電性を有し、成形体が高温環境下に曝されても難燃剤のブリードアウトが抑制され、初期特性を維持できる成形体が得られる難燃性導電性熱可塑性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

The peroxisome proliferator-activated receptor(PPAR)-α ligand agent comprises a 2-pyrone derivative of formula (1) (wherein, R is an alkyl; R_1, R_2, R_3 and R_4 are each H, methyl, phenyl or a halogen atom; and n_1 is an integer of 1 or 2) as the active ingredient.例文帳に追加

下記式（１）〔式（１）中、Rはアルキル基でR_1、R_2、R_3及びR_4は水素、メチル基、フェニル基、又はハロゲンから選ばれ、n_1は１又は２の整数を示す〕で表される２−ピロン誘導体を有効成分とするペルオキシゾーム増殖剤応答性受容体（ＰＰＡＲ）αのリガンド剤。 - 特許庁

In the formula (15), R^2 is an aryl group, each of R^3 to R^7 and R^9 to R^13 is any one of hydrogen, a halogen atom, an acyl group, an alkyl group, an alkoxyl group, an aryl group, a cyano group and a heterocyclic ring residue, and M is one of an element of Group 9 and an element of Group 10.例文帳に追加

（式中、Ｒ^２はアリール基、Ｒ^３〜Ｒ^７、Ｒ^９〜Ｒ^１３は水素、ハロゲン原子、アシル基、アルキル基、アルコキシル基、アリール基、シアノ基、複素環残基のいずれかを表す。また、Ｍは第９族元素または第１０族元素を表す。） - 特許庁

To provide an yttria ceramic sintered body which has an excellent corrosion resistance to halogen-based corrosive gases, plasma or the like and can be suitably used as a member in manufacturing apparatuses for semiconductor and liquid crystal devices, particularly in a plasma process apparatus, and to provide a method for manufacturing the same.例文帳に追加

ハロゲン系腐食性ガス、プラズマ等に対する耐食性に優れており、半導体・液晶製造装置等、特に、プラズマ処理装置用の部材として好適に使用することができるイットリアセラミックス焼結体およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

Metal gallium particles or gallium alloy particles of 0.01-30 mass% and carbon particles of 0.01-20 mass% are contained as an additive raw material for lowering coefficient of friction in synthetic resin, which is a base raw material, and additive raw material containing halogen is contained therein.例文帳に追加

ベース素材である合成樹脂中に、摩擦係数を低くする添加素材として、金属ガリウム粒子またはガリウム合金粒子０．０１〜３０質量％と、炭素粒子０．０１〜２０質量％を含有させるとともに、ハロゲンを含む添加素材を含有させる。 - 特許庁

Further, by mixing with an oxygen-containing gas or a halogen-contaning gas as the second gas, or an inert gas as the third gas, the process window can be expanded significantly, and the agent can also accommodate processing requiring a high aspect ratio without special substrate excitation operation or the like.例文帳に追加

さらに、第二のガスとして、含酸素ガス、含ハロゲンガス、あるいは第三のガスとして不活性ガスと混合することで、飛躍的にプロセスウインドウを広げることができ、特殊な基板の励起操作等なしに高アスペクト比が要求される加工にも対応できる。 - 特許庁

This polyamide composition contains (A) a polyamide obtained by polymerizing (a) a dicarboxylic acid containing at least 50 mol% alicyclic dicarboxylic acid with (b) a diamine containing at least 50 mol% diamine having a substituting group branched from its main chain, and (B) a halogen-based flame retardant.例文帳に追加

（Ａ）（ａ）少なくとも５０モル％の脂環族ジカルボン酸を含むジカルボン酸と、（ｂ）少なくとも５０モル％の、主鎖から分岐した置換基を持つジアミンを含むジアミンと、を重合させたポリアミドと、（Ｂ）ハロゲン系難燃剤と、を含有するポリアミド組成物。 - 特許庁

In a dehalogenation method of the epoxy resin, a halogen-containing epoxy resin is dissolved or dispersed in a treatment solution containing an alkali metal compound and a solvent and treated for a prescribed time, the solvent is subsequently removed, and the obtained solid content is heated to recover the alkali metal halide.例文帳に追加

アルカリ金属化合物と溶媒を含む処理液中に、ハロゲン含有エポキシ樹脂を溶解または分散させて一定時間処理した後、溶媒を除去して得た固形分を加熱して、アルカリ金属ハロゲン化物を回収するエポキシ樹脂の脱ハロゲン化方法。 - 特許庁

In the halogen metal vapor lamp having a ceramic casing (2) and the current lead-in part (3) arranged in the ceramic casing (2), a glass covering part of the current lead-in part (3) is formed of a P-doped niobium alloy.例文帳に追加

セラミックケーシング（２）と、このセラミックケーシング（２）に配置される電流引き込み部（３）とを有するハロゲン金属蒸気ランプにおいて、上記の電流引き込み部（３）のガラス被覆部は、リンがドーピングされたニオブ合金であることを特徴とするハロゲン金属蒸気ランプを提供する。 - 特許庁

To provide an yttria ceramic sintered body which has an excellent corrosion resistance to halogen-based corrosive gases, plasma or the like and can be suitably used as a member in manufacturing apparatuses for semiconductor and liquid crystal devices, particularly in a plasma process apparatus; and a method for manufacturing the same.例文帳に追加

ハロゲン系腐食性ガス、プラズマ等に対する耐食性に優れており、半導体・液晶製造装置等、特に、プラズマ処理装置用の部材として好適に使用することができるイットリアセラミックス焼結体およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an ultrahigh-pressure mercury lamp having a long lifetime without lowering radiation intensity of light caused by blackening of inner wall of the luminescent bulb even when a halogen is introduced into an extremely small luminescent bulb in the form of an organic halide, and its manufacturing method.例文帳に追加

極めて小さな発光管内にハロゲンを有機ハロゲン化物の形態で封入しても、発光管内壁の黒化によって光の放射強度が低下することがなく、ランプ寿命の長い超高圧水銀ランプおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁

In the formula, X1 is a -CR13R14- group (each of R13 and R14 being H atom or a trifluoromethyl group or the like) or a cycloalkylidene or -O- or -S- group or the like or a single bond; and each of R1-R12 is H or a halogen atom or an alkyl group or the like.例文帳に追加

（式中、Ｘ^１は−ＣＲ^１３Ｒ^１４−｛ただしＲ^１３及びＲ^１４は水素原子、トリフルオロメチル基などである｝、シクロアルキリデン基、単結合、−Ｏ−、−Ｓ−などである。また、Ｒ^１〜Ｒ^１２は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基などである） - 特許庁

The fine processing method of a glassy carbon base material has a step for providing the glassy carbon base material and performing a heat treatment for 1-10 hours at a temperature not lower than 2,000°C and not higher than 2,500°C in an atmosphere of a halogen gas, and a step for performing a dry etching process after said step.例文帳に追加

本ガラス状カーボン基材の微細加工方法は、ガラス状カーボン基材を用意し、ハロゲンガス雰囲気、２０００℃以上２５００℃以下の温度で１〜１０時間の熱処理を行う工程と、この工程後にドライエッチング加工を行う工程を有する。 - 特許庁

(In the formula, n is an integer equal to or more than three; R_1 and R_2 are each an alkyl in which a part or all of the hydrogen atoms thereof are substituted by fluorine atoms; and R_3 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group, an ether group, a carboxylic acid ester group, a carbonic acid ester group or a halogen atom).例文帳に追加

（式中、ｎは３以上の整数、Ｒ_1及びＲ_2は一部又は全ての水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基、Ｒ_3は、それぞれ独立して水素原子、アルキル基、エーテル基、カルボン酸エステル基、炭酸エステル基又はハロゲン原子を表す。） - 特許庁

To provide a molding useful as a machine part, an electrical/electronic component, or an automotive part by obtaining a molding having high flame retardancy and excellent injection moldability, mechanical properties, and heat resistance by using a polyethylene terephthalate and a non-halogen flame retardant.例文帳に追加

ポリエチレンテレフタレート樹脂に、非ハロゲン系難燃剤を用いて、高度な難燃性、視野出成形性、機械特性、および耐熱性に優れる成形品を得ることを目的とし、機械機構部品、電気・電子部品、自動車部品に有用な成形品を提供することを課題とする。 - 特許庁

This organic silicon compound is a compound expressed by the formula: R1R2R3SiR4-S-Zn-S-R4SiR1R2R3 (wherein, R1 to R3 are each independently H, a halogen, a linear chain or branched chain alkyl or a linear chain or branched chain alkoxy; R4 is a linear chain or branched chain alkylidene).例文帳に追加

R^1R^2R^3Ｓｉ−R^4−Ｓ−Zn−S−R^4−ＳｉR^1R^2R^3 （Ｉ） ［式中、R^1、R^2、R^3は、相互に独立に、Ｈ、ハロゲン、直鎖または分枝鎖のアルキル基、直鎖または分枝鎖のアルコキシ基を表し、R^4は、直鎖または分枝鎖のアルキリデン基を表す］の有機ケイ素化合物。 - 特許庁

In the design sheet, the design layer is laminated on the upper surface of the resin layer of a resin composition containing 20-100 pts.wt. of a hydrous silicate per 100 pts.wt. of the non-halogen type resin, a hydrous alkaline earth metal silicate is used as the hydrous silicate.例文帳に追加

非ハロゲン系樹脂１００重量部に対して含水珪酸塩を２０〜１００重量部含有する樹脂組成物からなる樹脂層の上面に意匠層を積層することであり、さらに含水珪酸塩を含水珪酸アルカリ土類金属塩としたことである。 - 特許庁

To provide a non-halogen resin composition of superior flame resistance, in particular, hardly generating smoke in burning, moreover without dripping of resin, having a proper melting characteristic and capable of providing a wire/cable covering material superior in workability, flame resistance, shock resistance and flexibility.例文帳に追加

ノンハロゲン系で難燃性に優れ、特に燃焼時の発煙が少なく、しかも樹脂の滴下がなく、さらに溶融特性が良好で加工性、耐熱性、耐衝撃性および可撓性に優れるワイヤ・ケ−ブル被覆材を与える樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁

To obtain a thermally stable and flame-retardant resin composition free of concerns including dioxins emission attributable to halogen compounds and water pollution by phosphoric acid compounds attributable to burnt ash even if put to combustion disposal, retaining the physical properties inherent in the resin, and giving a molded product with no mechanical strength decline.例文帳に追加

燃焼処理してもハロゲン化合物によるダイオキシンの発生や燃焼灰によるリン酸の水質汚染などの懸念がなく、樹脂本来の物性を変えることなく、成型品の強度の低下がない熱安定性および難燃性の樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

By executing low bias treatment using a halogen-based gas when etching the polysilicon film, a metal electrode having an independent work function is formed on the N-ch transistor and the P-ch transistor while improving the film quality of the High-k film which is a base.例文帳に追加

該ポリシリコン膜をエッチングする際にハロゲン系ガスを用いた低バイアス処理を施すことにより、下地のＨｉｇｈ−ｋ膜の膜質を改善しながら、Ｎ−ｃｈトランジスタ及びＰ−ｃｈトランジスタに独立した仕事関数を持つ金属電極を形成する。 - 特許庁

In the formula, R^1 represents a cyano group, a halogen atom or an alkyl group, R^2 represents a hydrocarbon group, an alkoxy group, a cycloalkoxy group, an aryloxy group, an aralkyloxy group or the like, R^3 represents a hydrogen atom or an acyl group, k is an integer of 0 to 4, and m is an integer of 0 to 3.例文帳に追加

（式中、Ｒ^１はシアノ基、ハロゲン原子又はアルキル基を示し、Ｒ^２は炭化水素基、アルコキシ基、シクロアルコキシ基、アリールオキシ基、アラルキルオキシ基等を示し、Ｒ^３は水素原子又はアシル基を示し、ｋは０〜４の整数、ｍは０〜３の整数である。） - 特許庁

The UV light emitting body gives a peak on the emission spectrum in the UV region when excited by UV under ordinary temperatures and uses the zinc oxide particles not containing an alkali metal and/or a halogen element.例文帳に追加

本発明の紫外線発光体は、常温下において紫外線光で励起したときに紫外線領域に発光スペクトルのピークトップを有し、かつ、アルカリ金属元素および／またはハロゲン元素を実質的に含有しない酸化亜鉛粒子を用いてなることを特徴とする。 - 特許庁

The photosensitive composition contains an IR absorbent, a sulfonium salt polymerization initiator, a polymerizable compound, a binder polymer and at least one kind of compound selected from a group comprising active halogen compounds, oxime ester compounds, and borate compounds.例文帳に追加

赤外線吸収剤、スルホニウム塩重合開始剤、重合性化合物、バインダーポリマー、並びに、活性ハロゲン化合物、オキシムエステル化合物及びボレート化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。 - 特許庁

To provide an excellent waste gas treatment catalyst as an NOx removal catalyst and as a catalyst suitable for efficiently removing organic halogen compounds such as dioxins in waste gas, and to provide a method for treating waste gas using the catalyst.例文帳に追加

窒素酸化物の除去性能に一層優れた脱硝触媒、及び、排ガス中のダイオキシン類等の有機ハロゲン化合物を効率良く除去するのに好適な触媒として優れた排ガス処理用触媒、および、それを用いた排ガス処理方法を提供する。 - 特許庁

Therefore, even when the organic gas containing halogen, sulfur, nitrogen or the like is decomposed oxidatively, magnesium ferrite is not decomposed by a reaction of magnesium ferrite with the acidic gas being a decomposition product and does not lose its catalytic activity.例文帳に追加

このため、ハロゲン、硫黄や窒素を含有する含ハロゲン等有機ガスを酸化分解する場合であっても、分解生成物としての酸性ガスとマグネシウムフェライトとの反応によりマグネシウムフェライトが分解してマグネシウムフェライトの触媒活性が失活するようなことはない。 - 特許庁

The polymerizable composition comprises a polymerizable liquid crystal compound having, as a polymerizable group, a (meth)acryloyl group which may be substituted with a halogen and a compound having a carbazole skeleton and an acyloxime ester as a radical photopolymerization initiator.例文帳に追加

重合性基としてハロゲン原子で置換されてもよい（メタ）アクリロイル基を有する重合性液晶化合物と、ラジカル光重合開始剤としてカルバゾール骨格及びアシルオキシムエステルを有する化合物とを含有することを特徴とする重合性組成物。 - 特許庁

To provide a sealing resin composition not containing especially a halogen compound and antimony oxide, and having a good flame retardant property, continuous production efficiency, moisture resistance and reliability by using a new phosphorus-nitrogen-based flame retardant and a metal hydroxide, and a semiconductor-sealing device.例文帳に追加

特にハロゲン化合物および酸化アンチモンを含有しない、新規なリン−窒素系難燃剤と金属水酸化物の使用により、難燃性、連続生産性、耐湿性および信頼性のよい、封止用樹脂組成物および半導体封止装置を提供する。 - 特許庁

The silicon substrate is maintained at about 700°C on its surface with a tungsten-halogen lamp 2.例文帳に追加

タングステンハロゲンランプ２でシリコン基板の表面を約７００℃に維持し、かつ、キャリアガスとして水素ガスを供給しながら、シリコン原料ガスとしてジクロルシランと、ゲルマニウム原料ガスとしてゲルマンと、炭素原料ガスとしてアセチレンとを、それぞれマスフローコントローラー１８，１９，２０を介して反応室に供給する。 - 特許庁

The etching agent for copper or copper alloy is an aqueous solution containing 0.01-20 mass% cupric ion, 0.1-30 mass% organic acid, 0.01-20 mass% halogen ion, 0.001-2 mass% azole and 0.001-2 mass% polyalkylene glycol.例文帳に追加

本発明の銅又は銅合金のエッチング剤は、第二銅イオン０．０１〜２０質量％、有機酸０．１〜３０質量％、ハロゲンイオン０．０１〜２０質量％、アゾール０．００１〜２質量％及びポリアルキレングリコール０．００１〜２質量％を含有する水溶液である。 - 特許庁

When a wafer 1 is irradiated with light emitted from halogen lamps 3, 4 and heated, preheated inert gas having a temperature higher than normal temperature is supplied through the second introduction pipe 8 and the second gas introduction hole 8a into the quartz chamber 2.例文帳に追加

ハロゲンランプ３、４から放射光を照射してウェーハ１を加熱する際に、あらかじめ加熱された常温より高温の不活性ガスを、第１の気体導入管８および第１の気体導入孔８ａを通じて石英チャンバー２内に供給する。 - 特許庁

By thus performing plasma processing using the gas containing the halogen element and the gas containing the inert gas, the metal oxide film pattern where the lower section linewidth is decreased can be obtained, and this allows the integration of a semiconductor device to be improved.例文帳に追加

このようにハロゲン元素を含むガス及び不活性ガスを含むソースガスを利用してプラズマ処理することにより、下部線幅が減少された金属酸化膜パターンを獲得することができ、これにより、半導体素子の集積度を向上させることができる。 - 特許庁