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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > layer methodに関連した英語例文

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layer methodの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 36897



例文

The manufacturing method includes a step for fixing the covering member from above, while releasing paper is provided on one side of the double-coated adhesive layer, and a step for peeling the releasing paper and exposing an adhesive surface and prevents the foreign matters from adhering to the light-receiving surface during manufacturing steps.例文帳に追加

また、前記両面粘着剤層の一方に離型紙を備えたまま閉塞部材を上から固定する工程と、離型紙を剥がし粘着面を露出させる工程を有し、製造工程中に受光面に異物が付着するのを防止する。 - 特許庁

To provide a method for recovering a support in such a state that it can be reused as a material of a support for a photographic sensitive material, from a photographic sensitive material including a coating film (photosensitive layer) formed on the support using a natural polymer binder and a synthetic polymer binder.例文帳に追加

支持体に天然高分子系バインダー及び合成高分子系バインダーを使用し塗布膜(感光層)を形成した写真感光材料から、写真感光材料用の支持体の原料として再使用出来る状態で支持体を回収する方法の提供。 - 特許庁

This manufacturing method of the noncontact IC card with the rewrite recording layer is characterized, for example, by being printed on and used for an outside surface of the same winding on the surface side of the IC card, and being printed on and used for the other surface of the same winding on the reverse side.例文帳に追加

本発明のリライト記録層付き非接触ICカードの製造方法は、例えば、ICカードの表面側には、同一巻き取りの外側の面に印刷して使用し、裏面側には同一巻き取りの他の面に印刷して使用することを特徴とする。 - 特許庁

The heat insulation material packs 7 which are compressed in the thickness direction and the length or width direction, are set in a space between a venting layer 12 and an internal wall 13 formed of a plaster board, at upper and lower edge of a heat insulation material 15 obtained according to an ordinary production method.例文帳に追加

通気層12と石膏ボードからなる内壁13との空間内で且つ通常の製法で得られた断熱材15の上下に厚み方向と長さまたは幅方向に圧縮された状態の本発明に係る断熱材パック7がセットされている。 - 特許庁

例文

To provide a method for manufacturing a reflection type color liquid crystal display device capable of accurately forming a color filter with a resin black matrix suitable for a reflection type liquid crystal display device on a reflective functional layer provided in a liquid crystal cell and a reflection type color liquid crystal display device.例文帳に追加

液晶セル内に設けた反射機能層上に、反射型液晶表示装置に適した樹脂ブラックマトリクス付きカラーフィルタを精度良く形成し得る反射型カラー液晶表示装置の製造方法及び反射型カラー液晶表示装置を提供する。 - 特許庁


例文

To provide a manufacturing method of a filler layer for a solar cell module and a reclaimable solar cell element or a reclaimable transparent front substrate, for making it possible to recover reusable resources such as transparent front substrates, solar cell elements, etc. from constituting members, and recycle or reuse them.例文帳に追加

構成部材のうち透明前面基板や太陽電池素子などの再利用可能な資源を回収し、リサイクルもしくはリユースすることを可能とすること、および再生太陽電池素子もしくは再生透明前面基板の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for forming a protective film of dense film quality at a low temperature of200°C on an upper part of a pixel controlling element and a wiring pattern for preventing mixing of impurities into a liquid crystal cell layer when the pixel controlling element is selectively transferred to a liquid crystal display substrate.例文帳に追加

液晶ディスプレイ基板に画素制御素子を選択的に転写するにあたり、液晶セル層への不純物混入を防止するため、画素制御素子及び配線パターンの上部に、緻密な膜質の保護膜を200℃以下の低温で形成する。 - 特許庁

To provide a solid-state image sensing element which prevents abnormal expansion of a tungsten film which is an upper layer film of a transfer electrode due to absorption of oxygen and increase of resistivity of a transfer electrode, and prevents damage of the shape of a clearance part, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加

転送電極の上層膜であるタングステン膜が酸素を吸収して異常膨張することおよび転送電極の抵抗率の増大が防止され、また、間隙部の形状の損壊が防止される固体撮像素子およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

The film-coated tablet that has an odor of a raw tablet reduced and is composed of a raw tablet and a film-coating layer of the raw tablet that contains polyvinyl alcohol and weighs 10 mass% or less relative to the raw tablet, and a method for masking the odor are provided.例文帳に追加

素錠と素錠を被覆するフィルムコーティング層とを有し、フィルムコーティング層はポリビニルアルコールを含有し、且つ素錠に対して10質量%以下の量で形成されてなる、素錠の臭いが軽減されたフィルムコーティング錠剤、及び臭いのマスキング方法。 - 特許庁

例文

To provide a thin-film capacitor, which ensures adhesion between a metal thin film and its foundation insulation layer and is superior in capacitor characteristics, wherein a metal thin film is formed and a dielectric is formed by anode oxidation of it, and to provide a manufacturing method thereof.例文帳に追加

金属薄膜を形成し、これを陽極酸化することにより誘電体を形成する薄膜コンデンサにおいて、金属薄膜とその下地絶縁層との密着性を確保し、かつコンデンサ特性の良好な薄膜コンデンサ及びその製造方法の提供。 - 特許庁

例文

In the manufacturing method of a conductive pattern forming substrate, a laser beam L of extremely short pulses with the pulse width being less than 1p second is irradiated in a given pattern on a transparent conductive layer A_1, made of an organic conductor formed on at least one surface of a transparent base material A_2.例文帳に追加

本発明の導電パターン形成基板の製造方法は、透明基材A_2の少なくとも一方の面に形成された有機導電体製の透明導電層A_1に、パルス幅1p秒未満の極短パルスのレーザ光Lを所定のパターンで照射する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor light-emitting element of which light extraction efficiency and heat dissipation are improved and prevents cracking on a surface of a growth layer during peeling of a substrate for growth to improve the yield.例文帳に追加

半導体発光素子の光取り出し効率及び放熱性の向上を図るとともに、成長用基板の剥離時における成長層表面でのクラック発生を防止して歩留まり向上を図ることができる半導体発光素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a hologram sheet which does not require a light reflection layer, thus has exceedingly excellent production efficiency, and is inexpensive and economical, and also, in which an optional interference color can be exhibited and the decorative effect of a hologram is high, and to provide a hologram sheet.例文帳に追加

本発明は、光反射層を必要とせず、製造効率が格段に優れ、安価で、経済的であるだけでなく、任意の干渉色を発現できる極めてホログラムの装飾効果が高い、ホログラムシートの製造方法およびホログラムシートを提供する。 - 特許庁

By the seed layer 39 formed on the inside wall of the groove 38, the incubation time is shortened when the Ru film is formed by the CVD method, the surface of the plug 35 is hardly exposed to oxygen, and the continuity of the Ru film to the plug 35 can be ensured.例文帳に追加

溝38の内壁に形成されたシード層39により、Ru膜をCVD法で形成する際のインキュベーション時間が短縮されて、プラグ35の表面はほとんど酸素に晒されないので、Ru膜とプラグ35との導通を確保することができる。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition, a film of which after curing ensures physical properties comparable to those of a film cured at a high temperature and which inhibits corrosion of copper and copper alloy of metal wiring, a metal layer, etc., a method for producing a patterned curing film, and to provide electronic components.例文帳に追加

硬化後の膜の物性が、高温で硬化したものと遜色ない性能が得られ、かつ金属配線や金属層などの銅及び銅合金の腐食を抑制する感光性樹脂組成物、パターン硬化膜の製造方法及び電子部品を提供する。 - 特許庁

The method for manufacturing the artificial marble comprises the steps of forming the resin layer 1 with the pattern for representing a marble design on an inner surface in a casing mold 3, then casting the casting resin composition 8 in the mold 3, molding and curing the composition to manufacture the artificial marble 4.例文帳に追加

注型用金型3内の内面に大理石柄を表現する模様付き樹脂層1を形成した後、注型用金型3内に注型用樹脂組成物8を注入し、成形硬化させて人造大理石4を製造する方法に関する。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for the formation of a multilayer thin film wherein a multilayer thin film product can be formed at high speed, by forming the film in such a way that the film thickness of a thin film at least on a specific layer being formed on a substrate is formed with an accuracy of 0.5 nm or less.例文帳に追加

基板上に製膜中の少なくとも特定の層の薄膜の膜厚を0.5ナノメーター以下の精度で製膜することによって多層薄膜製品の歩留りを高くすることができる多層薄膜形成方法及び装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a solid-state imaging element never causing a problem of noise or color mixture due to reflected light by preventing light entered through a space between photoelectric conversion elements from reflecting on a wiring layer, in a back emission-type solid-state imaging element; and to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加

裏面照射型の固体撮像素子において、光電変換素子間の隙間を通して入射した光が配線層で反射することを防ぎ、反射光によるノイズや混色の問題を生じさせない固体撮像素子とその製造方法を提案すること。 - 特許庁

To prevent color unevenness due to fluctuation of the surface area of a part to be colored, in a manufacturing method for a color filter wherein a colored part is formed by applying ink to the part to be colored which is formed by pattern-exposing a photosensitive ink reception layer to color the part to be colored.例文帳に追加

感光性のインク受容層をパターン露光して形成した被着色部にインクを付与して着色し、着色部を形成するカラーフィルタの製造方法において、上記被着色部の面積のバラツキによる着色ムラの発生を防止する。 - 特許庁

In the plasma CVD method for holding a coating film forming member on a flat surface of a supporter and depositing a protective film on a non-holding surface of the member, the coating film forming member by the flat surface is held by using an adhesive layer deposited on the flat surface.例文帳に追加

支持体上の平坦面に被膜形成部材を保持して該部材の非保持面に保護膜を形成するプラズマCVD法において、前記平坦面による前記被膜形成部材の保持を、前記平坦面表面に形成された粘着層を用いて行うこととする。 - 特許庁

By this method, a solar cell satisfying a single p-i-n junction having a single-intrinsic amorphous silicon layer having a thickness of 800 to 2,200 Å and having an open circuit voltage of a range from 0.887 V to 0.986 V and a fill factor of a range from 0.645 to 0.74 is manufactured.例文帳に追加

本方法により800〜2200Åの厚みの単−真性アモルファスシリコン層を有する単p−i−n接合を具備し、0.887V〜0.986Vの範囲の開放電圧及び0.645〜0.74の範囲の曲線因子を有する太陽電池を作製する。 - 特許庁

A method for manufacturing a mineral plate comprises the steps of drying the rear surface of a mineral crude plate (1) before press molding when the plate (1) is press molded by a press molding machine (2) to shape a rugged pattern (3) to manufacture the mineral plate to form a rigid front layer (9), and press molding the plate.例文帳に追加

無機質系生板(1)をプレス成形機(2)によりプレス成形して凹凸模様(3)を賦型して無機質板を製造するに際して、プレス成形前の無機質系生板(1)の裏面を乾燥して剛質表層(9)を形成した後、プレス成形する。 - 特許庁

To provide an electrofusion joint and its forming method capable of making refusion by current feeding and heating between an inner and an outer, layer, assuring good productivity owing to shortening of the time of cooling, and free of exfoliation of layers from one another owing to provision of a sufficient fusion area.例文帳に追加

内外層間で通電・発熱により再融着ができ、また冷却時間の短縮ができて生産性がよく、また充分な融着面積が得られて層間剥離が生じない電気融着継手の成形方法及び電気融着継手を提供する。 - 特許庁

This method for producing colored microparticles is characterized by comprising the following process: a metallic component is added to a dispersion of core particles composed of a resin and a colorant followed by irradiating the resultant dispersion with ultrasonic waves to form a shell layer of the metal oxide on the surface of each of the core particles.例文帳に追加

樹脂及び着色料からなるコア粒子の分散液に金属成分を添加し、超音波を照射する事によりコア粒子表面に金属酸化物からなるシェル層を形成することを特徴とする着色微粒子の製造方法。 - 特許庁

In a biochemical analysis method, an analysis chip 12 with a development layer 12b1 for development of a specimen is used to measure the specimen, in which the specimen is supplied to the analysis chip 12 and ultrasonic vibration is applied to the analysis chip 12 with the specimen supplied.例文帳に追加

検体を展開させる展開層12b1を備えた分析チップ12を使用して、検体を測定する生化学分析方法であって、分析チップ12に検体を供給し、検体を供給された分析チップ12に超音波振動を印加する。 - 特許庁

To provide a thin film deposition method by which a film is uniformly deposited, e.g. on the surface of an insulating film with tight adhesion regardless of the material of a base layer, and, even in the case of the inside of a fine recessed part, the same can securely be buried therein and to provide a system therefor.例文帳に追加

下地層の材質に拘わらず、例えば絶縁膜の表面に密着性良く均一に成膜して、微細な凹部の内部であっても、この内部に確実に埋込むことができるようにした薄膜形成方法及びその装置を提供する。 - 特許庁

To provide a fused structure of a layered film capable of preventing the generation of a removed piece, smoke or the like when base material layers of a layered film formed by layering at least the base material layers and a fused layer are fused, to provide a bag body, and to provide a method for manufacturing the bag body.例文帳に追加

基材層と融着層とが少なくとも積層された積層フィルムの基材層側同士を融着する際に、切除片や煙などが発生するのを防止可能な積層フィルムの融着構造、袋体、および袋体の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a lining construction method in a duct that is able to obtain a uniformly-thick lining layer across the whole duct internal area regardless of an elongated condition of a duct channel and a different inner diameter without causing a liquid drop if a low-viscosity lining agent is used.例文帳に追加

管路の延長状態や口径の違いに拘わらず、低粘性のライニング剤を用いた場合に膜厚が薄くて液垂れを生じない厚さのライニング層を管内面全域に亘って均一に得ることが可能な管内ライニング工法を提供する。 - 特許庁

To provide a forming method for conductive patterns which forms a conductive pattern having no variation of its line width and its line space, even if a circuit is fine, without receiving such constraints as its cost, the workability required when creating a substrate for it, the selection of the composition constituting an insulating layer for it, and the selection of an electrode material for it.例文帳に追加

コストや基板作成時の加工性、絶縁性層を構成する組成物の選択、電極材料の選択等の制約を受けることなく、微細な回路であっても線幅や線間にばらつきのない導電性パターンの形成方法を提供する。 - 特許庁

In the laying method for the visually impaired person guiding film with the protrusions, a reaction-curable resin layer is formed on a road surface; the visually impaired person guiding film with the protrusions is placed thereon; and the plastic film is removed in such a manner that the protrusions are left behind after the curing of a reaction-curable resin.例文帳に追加

道路面に、反応硬化型樹脂層を形成し、前記の視覚障害者誘導用突起フィルムを載置し、反応硬化型樹脂の硬化を進めた後に突起を残しプラスチックフィルムを除去する視覚障害者誘導用突起の敷設方法。 - 特許庁

To provide the electrophotographic photoreceptor stable in characteristics in repeated uses without restriction of charging method and deterioration of characteristics and small in drop of mechanical strength by using a polyarylate resin having specified spirobichroman structures for a resin for forming a photosensitive layer.例文帳に追加

帯電方法の制限や特性の低下を伴うことなく、繰り返し使用において安定した特性を有し、かつ機械的強度の低下の小さい電子写真感光体、この電子写真感光体を有するプロセスカートリッジ及び電子写真装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for treating a heat sensitive lithographic printing plate by which a printing plate is stably treated without having deposition of scum from a heat sensitive layer component even for long-term continuous treatment or without having failure in ink deposition or contamination of the base while little sludge is produced.例文帳に追加

長期間のランニング処理によっても感熱層成分に由来するカスの付着がなく、インキ着肉不良や地汚れ等が発生することなく、ヘドロが少なく、安定に処理することができる感熱性平版印刷版の処理方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a pattern forming method in which excellent adhesion of a photosensitive layer to a substrate to be processed is achieved and small variation in sensitivity and excellent working efficiency are ensured, and by which a permanent pattern such as a protective film, an interlayer insulation film or a solder resist pattern can be efficiently formed with high definition.例文帳に追加

被処理基体と感光層との優れた密着性が得られ、感度のばらつきが小さく、作業効率に優れ、保護膜、層間絶縁膜、ソルダーレジストパターンなどの永久パターンを高精細かつ効率的に形成可能なパターン形成方法の提供。 - 特許庁

A manufacturing method of a solar cell using a wafer which is provided by slicing a Si ingot includes a step in which the wafer is submerged in an isotropic wet etching liquid for etching, where a modified layer 200 on the surface generated due to plicing of the wafer is is removed.例文帳に追加

Siインゴットがスライスされたウエハを用いて太陽電池を製造する製造方法において、ウエハを等方性ウエットエッチング液に浸漬してエッチングすることにより、ウエハがスライスされた時に生じる表面の加工変質層を除去する工程を含む。 - 特許庁

To provide a printed substrate which resolves a peeling problem of a circuit pattern by widening an area adhered to an insulation layer, minimizes the occurrence of damage to the circuit pattern due to under cut, and realizes the fine circuit pattern, and to provide a manufacturing method of the printed substrate.例文帳に追加

絶縁層との密着面積を広くすることにより、回路パターンの剥離問題を解決し、アンダーカットによる回路パターンの損傷発生を最小化するうえ、微細な回路パターンを実現することができるプリント基板およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an adhesive sheet useful as a transparent adhesive layer for a film-reinforced glass, a laminated safety glass, etc., and having good heat-ray shielding performance without deteriorating excellent adhesiveness and penetration resistance, a method for producing the adhesive sheet and a laminate obtained by using the sheet.例文帳に追加

優れた接着性と、耐貫通性を損なうことなく、良好な熱線カット性能を有するフィルム強化ガラス及び合わせガラス等の透明接着剤層として有用なシート状接着剤、その製造方法、それを用いた積層体を提供すること。 - 特許庁

A method for forming the wiring pattern includes a step (A) of dropping a droplet having a diameter smaller than the first width and larger than second width onto the first area to form the conductive material layer covering both first and second areas.例文帳に追加

そして、配線パターン形成方法は、前記第1の幅以下かつ前記第2の幅以上の直径の液滴を前記第1領域に向けて吐出して、前記第1領域と前記第2領域とを覆う前記導電性材料層を形成するステップ(A)を含む。 - 特許庁

The method also comprises the steps of thereafter relatively moving the panel 2 and the die 51 while contacting the part of the die 51 for extrusion molding with the surface of the tape 10, extrusion molding the resin molding 20 along the edge of the panel 2, and integrating the molding via the adhesive layer 15.例文帳に追加

その後、押出成形用のダイ51の一部を保護テープ10の表面に当てながらパネル2とダイ51とを相対的に移動させて同パネル2の縁部に沿って樹脂成形品20を押出成形しかつ接着剤層15を介して一体化する。 - 特許庁

In this method, two suspended arms, which are constructed each in double-layer metal structure made of metals having different remaining stresses or thermal expansion coefficients, are employed in such a manner that they are joined to an induction coil which is formed on an AlCu at a location between the two arms.例文帳に追加

この方法では、異なる残留応力ないし熱膨張係数を有する金属からなる二重層金属構造で各々形成された二つのサスペンド・アームが、二つのアームの中間にAlCuに形成された誘導コイルに結合されるように利用される。 - 特許庁

To provide: a semiconductor light-emitting element which has an InGaN active layer of high In composition having a uniform composition distribution, the semiconductor light-emitting element emitting light of ≥480 nm in light emission wavelength with high luminous efficiency and being superior in mass-productivity; and a manufacturing method thereof.例文帳に追加

均一な組成分布を有する高In組成のInGaNの活性層を有する素子であって、発光波長が480nm以上の発光を高い発光効率で実現でき、しかも量産性に優れた半導体発光素子およびその製造方法を提供する提供する。 - 特許庁

To provide a liquid crystal display element having high contrast and satisfactory display characteristics though having a satisfactory viewing angle by providing a retardation layer wherein liquid crystal molecules are hybrid-aligned, to provide an electronic device using the same and to provide a manufacturing method of the liquid crystal display element.例文帳に追加

液晶分子をハイブリッド配向させた位相差層を備えたことで視野角が良好でありながらも、コントラストが高く表示特性が良好な液晶表示素子、これを用いた電子機器、および液晶表示素子の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for a substrate for a power module, that can efficiently produce a substrate for a power module with high strength of an interface between a ceramic substrate and an aluminum layer composed of aluminum or an aluminum alloy and with excellent reliability, and provide the substrate for the power module.例文帳に追加

セラミックス基板とアルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム層との界面強度が高く信頼性に優れたパワーモジュール用基板を効率よく生産することができるパワーモジュール用基板の製造方法、及び、パワーモジュール用基板を提供する。 - 特許庁

The new inorganic EL element uses zinc oxide thin film obtained by the method as the luminescent layer.例文帳に追加

排気量制御により供給する有機物気体を含む雰囲気ガス中で、塩化亜鉛を加熱して気化させ、基板上に酸化亜鉛を析出させる酸化亜鉛蛍光体の製造方法、および当該方法により得られる酸化亜鉛薄膜を発光層とする新しい無機EL素子。 - 特許庁

To provide an organic EL element, and its manufacturing method, which can achieve high integration of luminescent element, effectively take out light emitted from an organic EL layer, is of simple production process and highly reproducible, and on which a drive circuit is easily mounted for each element.例文帳に追加

発光素子アレイの高集積化を達成でき、有機EL層から出た発光を有効に外部に取り出し可能で、作製プロセスが簡単で再現性が高く、各素子毎の駆動回路が容易に搭載可能な有機EL素子、及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To make structure capable of securing a large clearance in preparation for a large earthquake with regard to a wall and joint method in a base isolated layer lower story for a vertical shaft such as an elevator shaft and a staircase room shaft in a building having a base isolated device.例文帳に追加

本発明は、免震装置を有する建物における、例えば、エレベータシャフトや階段室シャフト等の竪シャフトに対する免震層下階における壁とのジョイント方法に関し、大地震に備えて大きなクリアランスを確保できる構造にすることが課題である。 - 特許庁

To provide a wireless communication system which allows position information of a wireless terminal to be transmitted/received even when communication in layers higher than a MAC layer is not established between a wireless base station and the wireless terminal, a wireless terminal, and a communication method.例文帳に追加

MAC層より上位の層における通信が無線基地局と無線端末との間で確立されていない場合であっても、無線端末の位置情報を送受信することができる無線通信システム、無線端末及び通信方法を提供する。 - 特許庁

To provide an organoelectroluminescent element that exhibits a high light-emitting efficiency and high driving stability using an organic compound suitable for a wet film-forming method, particularly an organic compound that has high effects for confining an electron and an exciton in a light-emitting layer side and excellent preservation stability.例文帳に追加

湿式成膜法に適した有機化合物、特に電子および励起子を発光層側に封じ込める効果が高く、保存安定性に優れる有機化合物を用いて、発光効率が高く、駆動安定性が高い有機電界発光素子を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing equipment of radiographic image conversion panel and a manufacturing method for the radiographic image conversion panel for manufacturing a high sharpness radiographic image conversion panel by preventing the deposition of flotage on a support body, before the initiation of evaporation of stimulable phosphor layer.例文帳に追加

輝尽性蛍光体層の蒸着開始前に浮遊物が支持体上に付着することを防止して、高鮮鋭な放射線画像変換パネルを製造する放射線画像変換パネルの製造装置及び放射線画像変換パネルの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing PDP by which components of PDP excellent in pattern profile (such as a dielectric layer, barrier ribs, electrodes, a resistive element, a phosphor, color filters and a black matrix) can be suitably formed with excellent workability, and to provide a transfer film.例文帳に追加

作業性に優れ、かつパターン形状に優れたPDPの構成要素(例えば、誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス)を好適に形成することができるPDPの製造方法および転写フィルムを提供すること。 - 特許庁

例文

To provide a method of manufacturing a semiconductor device which avoids damaging a conductive pattern containing a metal material such as Cu wirings, etc. and a layer insulation film having the material buried therein, and removes a natural oxide film on the conductive pattern.例文帳に追加

Cu配線などの金属材料を含有する導電性パターンとこれを埋め込む層間絶縁膜に対してダメージを生じさせることなく、導電性パターン表面の自然酸化膜を除去することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁




  
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