「normal element」に関連した英語例文の一覧と使い方(14ページ目) - Weblio英語例文検索

The imaging device detects the relative attitude between an imaging means and an image display means and detects whether the user is to take a normal picture or photograph himself, based upon the detected attitude to perform control for varying the storage time of the imaging element 1-2 of an imaging section.例文帳に追加

撮像手段と画像表示手段の相対的な姿勢を検出し、検知した姿勢に基づき現在の撮影状況が通常の撮影なのかそれとも自分撮り撮影なのかを検知することにより、撮像部の撮像素子の蓄積時間を変更するよう制御する。 - 特許庁

In the pair of wheel speed sensors P_1, P_2, each normal/reverse rotation direction and each rotational frequency of both objects to be detected are detected respectively by the same rotation detecting element 11 by magnetic field fluctuation caused by rotation of each object B, B rotating together with right and left wheels of a vehicle.例文帳に追加

車両の左右車輪とともに回転するそれぞれの被検出体Ｂ、Ｂの回転による磁界変動によりその両被検出体の正逆回転方向及び回転数を同一の回転検出子１１でもってそれぞれ検出する対の車輪速センサＰ_１、Ｐ_２である。 - 特許庁

When a light-emitting element 77 and a light-reception unit 81 both included in a line sensor unit 74 detect that the electronic components D sucked and held by a suction nozzle 15 are in a normal suction posture, vacuum suction is maintained and the lower end level of the electronic components D is detected.例文帳に追加

ラインセンサユニット７４に備えられた発光素子７７及び受光ユニット８１により、吸着ノズル１５に吸着保持された電子部品Ｄが正常な吸着姿勢であると検出された場合は、真空吸着を維持し、さらに電子部品Ｄの下端レベルが検出される。 - 特許庁

To provide a PTC efficiency agent, which indicates a big resistance change because of a rapid rising of PTC characteristic, and has a low resistance at normal temperature, furthermore can obtain a stable PTC composition of the PTC characteristic after repeat switching operation, a PTC composition using it and a PTC heating element.例文帳に追加

ＰＴＣ特性の立ち上がりが急激で大きな抵抗変化を示し、常温での抵抗が小さく繰り返しスイッチング動作後のＰＴＣ特性の安定なＰＴＣ組成物を得るための、ＰＴＣ効率増強剤、それを用いたＰＴＣ組成物及びＰＴＣ発熱体を提供する。 - 特許庁

The DRP 40 loads circuit information configuring the normal generation part 81 or the special image generation part 82 from a circuit information memory 72 and, according to the circuit information loaded, reconfigures a function part 70a of each PE (Processor Element) 70 and connection between respective PE 70.例文帳に追加

ＤＲＰ４０は、回路情報用メモリ７２から、通常画像生成部８１または特殊画像生成部８２を構成する回路情報をロードし、ロードした回路情報に従って、各ＰＥ７０の機能部７０ａの機能と各ＰＥ７０間の接続を再構成する。 - 特許庁

A false sealed element which largely resembles a normal one in appearance but is partly coarse is recognized as a conventional crooked article; even if something is stuck to the coarse part of such a crooked article to conceal it, the coarse part can be detected at first glance.例文帳に追加

このため、封止体の外観中、多くの部分を正規のものに真似つつ一部が粗悪に製作されたものが従来の悪徳品として確認されていたが、そのような不正品の粗悪部分に貼着体を付して隠そうとした場合であっても、その粗悪部分が一見して視認されることとなる。 - 特許庁

The photodetective element 1 has a photodetective part 11 formed on a silicone substrate 9, and a cover layer 3 where a non light-incidence region 5 surrounding the photodetective part 11 is thicker than a light-incidence region 2 on the photodetective part 11 in a view in the normal line direction of the substrate surface of the silicone substrate 9.例文帳に追加

受光素子１は、シリコン基板９上に形成された受光部１１と、シリコン基板９の基板面法線方向に見て、受光部１１上の光入射領域２より受光部１１周囲の非光入射領域５の厚さが厚く形成されたカバー層３とを有している。 - 特許庁

To provide a light emitting element flashing device having LED's wired by small number of wires as possible, capable of making respective LED's independently flash, exerting not any bad effect to the lighting operation of normal LED's even when a part of LED's becomes unlighted.例文帳に追加

複数のＬＥＤを極力少ない本数で配線すると共に各ＬＥＤを独立して点滅させることができ、また、一部のＬＥＤが不点灯となった場合でも他の正常なＬＥＤの点灯動作に悪影響を及ぼすことがない発光素子点滅装置を提供する。 - 特許庁

Two inlets-outlets 3 and 6 for allowing a refrigerant to flow in both normal/reverse directions are arranged in a block body 1, and a valve seat 40 and a valve element 34 for opening-closing a fluid passage by contacting with and separating from the valve seat are arranged in a valve chest 8 formed in the fluid passage between both of these inlets-outlets.例文帳に追加

ブロック本体１内に冷媒が正・逆の双方向に流動可能な２つの出入口３，６を設け、これら両方の出入口間の流体通路に形成された弁室８に、弁シート４０及び該弁シートに離接して流体通路を開閉する弁体３４を設ける。 - 特許庁

In a light emitting device in which a plurality of light emitting elements are arranged, LED chips as the light emitting element are installed, each of the chips is tilted at a fixed angle for mounting with respect to an angle reference surface, respectively, and arranged on a level surface, the direction normal to each tilted surface being changed to a desired direction, respectively.例文帳に追加

複数の発光素子を配置して成る発光装置において、発光素子であるＬＥＤチップを角度基準面に対して所定の角度で傾斜させてそれぞれ実装し、且つ各々の傾斜面の法線方向をそれぞれ所望の方向に変えて平面状に配置する。 - 特許庁

To provide a discharge lamp lighting device in which the discharge lamp, which is not normally lighted even if the power supply is continuously inputted after the oscillation of the switching element is stopped and retained due to end-of-life of the discharge lamp, can be relighted automatically if it is substituted by a normal discharge lamp.例文帳に追加

放電灯の寿命などで、スイッチング素子の発振が停止保持された後、電源を投入し続けていても、正常点灯しない放電灯を正常放電灯に置換装着すれば、自動的に放電灯が再点灯できる放電灯点灯装置を提供する。 - 特許庁

To provide a rolling bearing for protecting a magnetic bearing capable of preventing increase in an internal clearance of a protected bearing when a temperature recovers its normal state by preventing a raceway ring mounted on the rotary shaft side form easily reaching the yield stress even when the load of a rolling element is increased at a touch down.例文帳に追加

タッチダウン時に転動体荷重（Ｑ）が大きくなっても、回転軸側に装着される軌道輪が容易に降伏応力に達することがないようにして、常温に戻った時の保護軸受の内部すきまの増大を阻止できる磁気軸受の保護用転がり軸受を提供する。 - 特許庁

The light emitting element 34 of the light source unit 30 is made up of a plurality of LDs and LEDs, and normal illumination light or excitation light is selectively supplied to an incoming end 22a of a light guide member 22 inserted into the endoscope 20 by an observation mode changeover switch 32.例文帳に追加

光源ユニット３０の発光要素３４を複数個のＬＤおよびＬＥＤで構成し、内視鏡２０内に挿通する光ガイド部材２２の入射端面２２ａに、通常照明光または励起光を観察モード切替スイッチ３２によって選択的に供給する。 - 特許庁

When these continuous elements A to D pick up images of the same area of the target 5, normal image pickup elements output signals of almost the same video (amplitude) level but a damaged defective image pickup element outputs a signal of a video (amplitude) level different from the other level.例文帳に追加

連続した撮像素子（Ａ〜Ｄ）が対象物５の同一領域を撮像したとき、正常な撮像素子はほぼ同じ映像（振幅）レベルの信号を出力するが、損傷した欠陥撮像素子からは、他とは異なった映像（振幅）レベルの信号が出力される。 - 特許庁

To provide a secondary battery pack with an overcharge protection function with a simpler protection function control part than a prior art, without the need of inserting a charge/discharge switching element causing heat radiation or damage to a power line where a current flows during a normal use, and capable of protecting itself from overcharging.例文帳に追加

保護機能制御部が従来より簡単になり、通常の使用時に電流が流れるパワーラインに発熱や損失を生ずる充放電スイッチ素子を挿入する必要がなく、かつ、過充電から保護できる過充電保護機能付き二次電池パックを提供することにある。 - 特許庁

A 1-chip microcomputer 11 controls a changeover switching element 12 to supply the power to a fan motor 6 from a 12-V DC power source of a power supply part in a normal mode and to supply, when a power-saving mode is entered, the power to the fan motor 6 from a capacitor power source 13.例文帳に追加

１チップマイクロコンピュータ１１は、切り替えスイッチ素子１２を制御して、通常はファンモータ６への電力を電源部の１２Ｖ直流電源から供給させ、省電力モードに移行すると、ファンモータ６への電力をキャパシタ電源１３から供給させる。 - 特許庁

While a probe 1 is vibrated in the direction of the normal line to the surface of a sample 5 with a fixed amplitude at or near the resonance frequency of the probe 1 by impressing a signal upon a piezoelectric element 3 from a signal source 4, the relative position between the surface of the sample 5 and probe 1 is scanned and controlled.例文帳に追加

信号源４から圧電素子３に信号を印加することにより、探針１を試料５表面の法線方向に探針１の共振周波数もしくはそれに近い周波数で一定の振幅で振動させ、試料５表面と探針１との相対位置を走査及び制御する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device in which an element or particularly a transistor has excellent operating characteristics and reliability by forming a domain structure or a single crystal metal oxide insulating layer extremely strongly oriented in a normal direction to a board in the insulating layer on a silicon plane (001).例文帳に追加

本発明は、シリコン（００１）面上の金属酸化物絶縁層において、基板法線方向に極めて強く配向したドメイン構造あるいは単結晶の金属酸化物絶縁層を形成することにより素子、特にトランジスタの動作特性と信頼性に優れた半導体装置を提供する。 - 特許庁

To make it possible to reduce a clock frequency compared with the one in a normal pulse width driving when a pulse width modulation system and a bias voltage application system are used together as an electron discharge element driving method, and also to make it possible to match the number of gradations necessary for a system to the number of quantized bits.例文帳に追加

電子放出素子の駆動方法をパルス幅変調方式とバイアス電圧印加方式との併用とした際、クロック周波数を通常のパルス幅駆動に比べて減らすことが可能となり、また、システムの必要階調数、量子化ビット数に合わせることを可能とする。 - 特許庁

A photosensor element 32a is formed such that a semiconductor layer 47 which receives and photoelectrically converts light incident from a front side of a liquid crystal panel 200 and then generates light receiving data, may have a vertical structure where a current flows in a normal direction z of the surface of the liquid crystal panel 200.例文帳に追加

液晶パネル２００の正面の側から入射する光を受光し光電変換することによって受光データを生成する半導体層４７が、液晶パネル２００の面の法線方向ｚにおいて電流が流れる縦型構造になるように、フォトセンサ素子３２ａを形成する。 - 特許庁

To provide a low noise signal generation method of a solid-state imaging apparatus capable of more readily obtaining the effect of reducing reset noise, as compared to a conventional correlation double sampling method and obtaining color image signals for which noise is reduced, even while using a normal imaging element, as is.例文帳に追加

従来の相関二重サンプリングの方法に比べて容易にリセットノイズの低減効果が得られ、しかも、通常の撮像素子をそのまま用いながら雑音の低減されたカラーの画像信号が得られる固体撮像装置の低雑音信号生成方法を提供する。 - 特許庁

Deceleration is controlled based on an output value Iout(0) of an integral element of a difference Δα between a deceleration αv of a vehicle and a reference deceleration αref at a normal time, and at an anti-skid control, the above deceleration control is stopped and the output value Iout(0) is initialized by '0'.例文帳に追加

通常時は車両の減速度αvと規範減速度αrefとの差Δαの積分要素の出力値Ｉout(0)に基づいて減速度制御を行い、アンチスキッド制御が行われているときは、前記減速度制御を中断し且つ前記出力値Ｉout(0)を“０”で初期化するようにした。 - 特許庁

The DRP 40 loads circuit information configuring the normal image generation part 81 or the special image generation part 82 from a circuit information memory 72 and, according to the circuit information loaded, reconfigures a function part 70a of each PE (Processor Element) 70 and connection between respective PE 70.例文帳に追加

ＤＲＰ４０は、回路情報用メモリ７２から、通常画像生成部８１または特殊画像生成部８２を構成する回路情報をロードし、ロードした回路情報に従って、各ＰＥ７０の機能部７０ａの機能と各ＰＥ７０間の接続を再構成する。 - 特許庁

A safer and more convenient control device compared with conventional control devices can be provided because a plurality of temperature sensing elements are prepared, an abnormality is detected by a temperature sensing element abnormality determining unit, and the inside temperature of the control device can be measured based on an output of a normal temperature sensing element even when the abnormality occurs in any of a plurality of temperature sensing elements.例文帳に追加

複数の温度検出素子を備えたうえで、いずれかの温度検出素子が異常を来たした場合であってもそれを温度検出素子異常判断部によって検知し、正常な温度検出素子の出力に基づいてコントローラ装置の内部温度を測定することが可能となるので、従来のコントローラ装置に比して安全かつ利便性の高いコントローラ装置を提供することが可能となる。 - 特許庁

An electric brake device for an automobile includes a control unit (10) detecting the operation of a normal brake control element, thereby determining at least one brake request for brake control and outputting at least one set value to a control unit (12), 14, 16, 18, 22) for wheel brake control.例文帳に追加

自動車用電気式ブレーキ装置は、常用ブレーキ操作要素の操作を検出し、それによりブレーキ制御のための少なくとも１つのブレーキ希望を決定し、少なくとも１つの設定値を車輪ブレーキ制御のための制御ユニット（１２，１４，１６，１８，２２）に出力する制御ユニット（１０）を備えている。 - 特許庁

To provide an electrolytic capacitor having a pressure valve that reliably operates when the internal pressure rises abruptly, wherein the storage efficiency of a capacitor element in the large electrolytic capacitor is improved, the lifetime of the electrolytic capacitor is prolonged by suitably discharging a gas generated in normal use.例文帳に追加

大型の電解コンデンサにおけるコンデンサ素子の収納効率を改善するとともに、通常使用時の発生するガスを好適に外部に放出させて電解コンデンサの長寿命化を図り、かつ急激な内圧上昇時には確実に動作する圧力弁を備えた電解コンデンサを提供することを目的としている。 - 特許庁

The optical element 10 wherein a pair of substrates 21 and 22 comprising the substrate 22 comprising a uniaxial crystal are formed and a liquid crystal layer 20 is interposed between the pair of substrates 21 and 22 is characterized in that the uniaxial crystal has an optical axis in a direction other than the normal direction of the substrates.例文帳に追加

一軸結晶からなる基板２２を含んでなる一対の基板２１、２２を形成し、一対の基板２１、２２の間に液晶層２０を挟持してなり、一軸結晶は、基板法線方向以外の方向に光学軸を有するものであることを特徴とする光学素子１０などにより課題を解決した。 - 特許庁

The switching element T8 is connected to a first power supply terminal 1 at the gate, connected to the source of the transistor T6 at the source, connected to the substrate terminal of the transistor T6 at the drain, conducted when the size relation of power supply voltages supplied to the power supply terminals 1 and 2 is normal, and not conducted when it is abnormal.例文帳に追加

スイッチング素子Ｔ８は、ゲートが第１電源端子１に接続され、ソースがトランジスタＴ６のソースと接続され、ドレインがトランジスタＴ６の基板端子と接続され、電源端子１、２に与えられる電源電圧の大小関係が正常な場合には導通し、異常な場合には非導通となる。 - 特許庁

To provide an alignment layer suitable as a vertical alignment layer aligning liquid crystal molecules for display in a direction slightly inclined from the normal direction of a substrate surface and having high reliability, and to provide a method of manufacturing the same, to provide an alignment substrate including the alignment layer and a method of manufacturing the same, and to provide a liquid crystal display element.例文帳に追加

表示用液晶分子を基板面の法線方向からわずかに傾いた方向に配向させる垂直配向膜として好適な、信頼性の高い配向膜及びその製造方法、その配向膜を備えた配向基板及びその製造方法、並びに液晶表示素子を提供すること。 - 特許庁

A video processor to which signals imaged in an imaging element are inputted generates an endoscopic image as an original image from the signals imaged under illumination light for normal observation, and also generates a plurality of processing images different from each other even by the image processing to the original image and the changeover of an observation mode or the like as well.例文帳に追加

撮像素子で撮像した信号が入力されるビデオプロセッサは、通常観察用の照明光の下で撮像した信号から原画像としてに内視鏡画像を生成する他に、原画像に対する画像処理や観察モードの切替等によっても互いに異なる複数の処理画像を生成する。 - 特許庁

To apply a normal drive voltage to a liquid crystal element, without enlarging a pixel pitch by adopting such a configuration that each other's circuit configuration components and each other's wires in which a positive-polarity signal side pixel circuit part and a negative-polarity signal side pixel circuit part in each pixel are paired with each other are arranged line-symmetrically with respect to a virtual pixel center line.例文帳に追加

各画素内の正極性信号側画素回路部と負極性信号側画素回路部で互いに対になっている回路構成要素及び配線同士を、仮想の画素中心線に対して線対称で配置構成することにより、画素ピッチを増大させることなく液晶素子に正常な駆動電圧を印加する。 - 特許庁

To provide a configuration for securing a normal film formation region, which is free of a quality defect such as frame color unevenness and peeling, in a color filter formed on a pixel portion of a high-sensitivity solid-state imaging element in which a pixel portion whose surface position is low and a multilayer wiring portion whose surface position is high at a periphery thereof form a step.例文帳に追加

表面位置の低い画素部とその周囲の高い多層配線部とが段差を有する高感度の固体撮像素子の画素部上に形成するカラーフィルタにおいて、枠色ムラや剥がれ等の品質不良のない正常な膜形成領域を広く確保するための構成を提供すること。 - 特許庁

In the Blaze type and transmission type diffraction optical element 101, the normal line of a side wall 131 adjacent to a diffraction surface 132 through which the incident light of the Blase 121 is passed has an inclination so as to be vertical to the center or the center of the gravity of luminous flux which enters into the diffraction surface 132 of the Blaze 121.例文帳に追加

ブレーズ型かつ透過型の回折光学素子１０１において、ブレーズ１２１の入射光が通過する回折面１３２に隣接した側壁１３１の法線が、当該ブレーズ１２１の回折面１３２に入射する光束の中心または重心の方向に対して垂直になるような傾きを有する。 - 特許庁

The image composition part 39 modulates the image data of the main image M based on a non-linear correspondence between luminance relative to an axial direction parallel with a normal of a display screen and luminance relative to an off-axis direction concerning the luminance from an LCD element, and the image data of the side images F_r, and sets the modulated image data as the image data of the display image.例文帳に追加

画像合成部３９は、ＬＣＤ素子から、表示画面の法線に平行な軸方向に対する輝度と軸外の方向に対する輝度との非線形な対応関係と、サイド画像Ｆ_ｒの画像データとに基づいて、メイン画像Ｍの画像データを変調し、表示用画像の画像データとする。 - 特許庁

This induction heating device 10 is so structured that a power voltage V of a power source 1 is detected via a detection means 17 connected to both ends of the power source 1; and a control means 16 controls to stop a drive signal S1 to a drive element 4, when the power voltage V fluctuates outside of normal voltage.例文帳に追加

電源１の両端に接続された検知手段１７を介して電源１の電源電圧Ｖを検知すると共に、電源電圧Ｖが定常電圧外に変動した際、制御手段１６が駆動素子４への駆動信号Ｓ１を停止制御するようにして誘導加熱装置１０を構成する。 - 特許庁

The light-emitting element U has an optical resonator structure which extracts the light travelling at a predetermined angle θ larger than 0 degree for the direction normal to the reflective layer 22, out of the light emitted from the luminous layer 27, from the semi-reflection layer 25 side while resonating between the reflective layer 22 and the semi-reflection layer 25.例文帳に追加

発光素子Ｕは、発光層２７から出射された光のうち、反射層２２の法線方向に対して０度よりも大きな所定の角度θで進行する光を、反射層２２と半反射層２５との間で共振させて半反射層２５側から取り出す光共振器構造を有する。 - 特許庁

A computing device 11 is provided to compute the replacement recommending timing by using the degree of deterioration of the consumable part 14 extracted through comparison of working the normal state data and the actual working state data, the number of integrated working times and its working frequency, and the standard number of deterioration working times stored at the memory element 12 as data for decision.例文帳に追加

正常時稼動状態データと実際の稼動状態データとを比較することで抽出した消耗部品14の劣化度合いと、積算稼働回数、その稼動頻度、記憶素子12に記憶されている標準劣化稼動回数とを判断データとして、交換推奨時期を演算する演算装置11を設ける。 - 特許庁

To provide a getting-on/out step device for a crawler type working machine, shifting a state in which a step opens to an outside surface of a side frame to a normal state of the step, and closing the step to the outside surface by external force when the external force is applied to the step from the outside of a traveling element.例文帳に追加

ステップがサイドフレームの外側面に対して開いた状態を、ステップの通常の状態にすることができ、走行体の外側方からステップに外力が与えられたときには、その外力によりステップを外側面に対して閉じさせることができるクローラ式作業機械の昇降用ステップ装置の提供。 - 特許庁

Further, the dispersion plane at an arbitrary point on the line connecting an arbitrary point on an input surface 15 of the light collecting member 8 to the light receiving point where light 16 inputted on the arbitrary point on the input surface is received on the optical receiving surface of the light receiving element 3 is flat, and the normal to the dispersion plane is parallel to the line.例文帳に追加

そして、集光体８の入力面１５上の任意点と、その任意点に入力された光１６が受光素子３の受光面上で受光される受光点とを結ぶ線分上の任意点の分散面は平坦であり、かつその分散面の垂線は、その線分に平行である。 - 特許庁

An abnormality decision part 9 for the microcomputer can detect abnormalities due to the failure of the comparator itself or a peripheral element on the basis of an output of the normal comparator, a comparator output at a time, when a microcomputer signal is output, the output of the microcomputer signal and the comparator output or the like before and after a stoppage.例文帳に追加

マイクロコンピュータの異常判断部９は、通常時のコンパレータの出力、マイコン信号を出力したときのコンパレータ出力、マイコン信号の出力、停止を挟む前後のコンパレータ出力等に基づいて、コンパレータ自体および周辺素子の故障による異常を検出することができる。 - 特許庁

To provide an MTF measuring method and an MTF measuring instrument for easily and accurately measuring an MTF, without making an imaging element or an inspected lens turn, when measuring the MTF along a normal or tangent, having an arbitrary inclination angle from the optical center of the inspected lens relative to the pixel arranging direction.例文帳に追加

画素配列方向に対して被検レンズの光学中心から任意の傾斜角を有する法線及び接線に沿ってＭＴＦを測定する際に、撮像素子や被検レンズを回動させること無く、ＭＴＦを容易に且つ精度良く測定できるＭＴＦ測定方法及びＭＴＦ測定装置を提供する。 - 特許庁

A bend correction optical element 6 is arranged between the scanning lens 5 and the face to be scanned 7, which has the refractive power in the main scanning direction and subscanning direction of substantially zero and a function to vary the emitting angle with respect to the incident angle in the subscanning direction with respect to the normal line of the deflection and reflection face of the optical deflector 4.例文帳に追加

走査レンズ５と被走査面７との間には、主走査方向及び副走査方向の屈折力が略ゼロであり、光偏向器４の偏向反射面の法線に対する副走査方向の入射角度に対し、射出する角度を変化させる機能を持つ曲り補正用光学素子６が配置されている。 - 特許庁

The inclined retardation layer 87 is prepared by oblique deposition of an inorganic material, and the like on the surface of the crystalline retardation layer 86 with the main birefringence direction within a range of about 0-45 degrees with respect to the surface normal and to a thickness to be produced easily without making higher the haze of the retardation compensating element 57.例文帳に追加

傾斜位相差層８７は、主屈折率の方向が表面の法線に対して０度より大きく４５度程度の容易に作製できる範囲で、かつ位相差補償素子５７のヘーズを高めない程度の厚さに、無機材料など結晶位相差層８６の表面に斜方蒸着することによって作製される。 - 特許庁

When a decision part 17 detects the presence of a human body based on the output of a human body detecting sensor, the pulse signal outputted from a pulse output circuit 19 to a switching element 20 is changed, and the light with the heat ray sensor makes the brightness of a light source 5 rise from the lower state of lighting to the normal state gradually.例文帳に追加

人体検知センサ３の出力をもとに判定部１７が人体を検知したと判定すると、パルス出力回路１９よりスイッチング素子２０に出力されるパルス信号を変化させて、通常より低い点灯状態を経て通常点灯状態となるように徐々に光源５の点灯照度を上昇させる。 - 特許庁

A first interlayer dielectric is formed on a semiconductor substrate having a semiconductor element formed thereon, and a tantalum nitride film is formed on the first interlayer dielectric by first sputtering at a substrate temperature from a normal temperature to 400°C with a nitride gas partial pressure ratio of 3-10% in a reaction gas.例文帳に追加

半導体素子が形成された半導体基板上に第１層間絶縁膜を形成し、基板温度を常温から４００℃までの温度に設定し、反応ガス中の窒素ガス分圧比を３乃至１０％として、第１スパッタリングにより、前記第１層間絶縁膜上に窒化タンタル膜を形成する。 - 特許庁