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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > side-etchingの意味・解説 > side-etchingに関連した英語例文

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side-etchingの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 1205



例文

The gas supply means supplies bulk gas to the plasma source electrode side and etching gas containing a gas which acts as etchant to the side of the wafer being processed.例文帳に追加

このとき、ガス供給手段からは、プラズマソース電極側にバルクガスを導入するとともに、被処理基板側にエッチャントとして作用するガスを含むエッチングガスを導入する。 - 特許庁

By selectively etching Al and Cr, one side of the metal film lower layer 16 is made to protrude and the other side thereof is made to form an undercut for the metal intermediate layer 17.例文帳に追加

AlとCrを選択的にエッチング処理して、金属膜下層16の片方が張り出し、他の片方は金属膜中間層17に対しアンダーカットを形成させる。 - 特許庁

With this constitution, because the surface of the first insulating film 1 is flat and the thickness of the second insulating film 2 is uniform, it is possible to suppress the remainder after etching in the second insulating film 2 and generating side etching.例文帳に追加

この構成により、第1の絶縁膜1の表面が平坦化され、第2の絶縁膜2の膜厚が均一化されるので、第2の絶縁膜2エッチング残さやサイドエッチの発生を、抑制できる。 - 特許庁

With the side wall insulating film and etching stopper film as masks, a conductive impurity D2 is introduced by allowing it to transmit the etching stopper film on the upper layer of the substrate, to form a source/drain diffusion layer 12.例文帳に追加

次に、サイドウォール絶縁膜およびエッチングストッパ膜をマスクとして、基板の上層のエッチングストッパ膜を透過させて導電性不純物D2を導入し、ソース・ドレイン拡散層12を形成する。 - 特許庁

例文

To provide a dry etching method which can prevent side etching of resist from occurring and can process a base film into a desired shape in an excellent way, and to provide a method for manufacturing a semiconductor device using the same.例文帳に追加

レジストのサイドエッチングの発生が抑制され、下地膜を所望の形状に良好に加工することが可能なドライエッチング方法、及びそれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁


例文

Since the whole surface of the circuit is covered with the film 5, not only the top of the circuit is prevented from being damaged during flush etching, but also over etching of the side face of the circuit is especially prevented.例文帳に追加

回路の表面全体が金属保護膜5で覆われるので、フラッシュエッチングの際に回路のトップ部分へのダメージを防ぐだけでなく、特に回路側面のオーバーエッチングを防ぐことができる。 - 特許庁

After a storage node 10 is formed, when oxide films 8, 20 are eliminated by wet-etching, as the underlayer oxide film 4 does not expose to the side face of a contact hole 6, thereby preventing unexpected etching.例文帳に追加

ストレージノード10の形成後、酸化膜8及び20をウェットエッチングで除去する際、下地酸化膜4がコンタクトホール6の側面に露出していないので、その不測のエッチングを防止することができる。 - 特許庁

A resist layer whose removal time becomes longer than that of the shading layer is provided, the shading layer is removed by dry etching to have no skirt, and products from the side stopper layer are deposited for protection against the etching.例文帳に追加

レジスト層の除去時間を遮光層のそれより長くなるレジスト層を設け、ドライエッチングで遮光層を裾がなく除去し、サイドストッパー層からの生成物を堆積させエッチングから保護する。 - 特許庁

To provide both-side treated copper foil for a printed wiring board excelling in both adhesiveness to an insulation board and an etching property, excelling in an etching property in forming a circuit pattern, and suitable for fining a pitch.例文帳に追加

絶縁基板との接着性及びエッチング性の両方に優れ、回路パターン形成の際のエッチング性が良好でファインピッチ化に適したプリント配線板用両面処理銅箔を提供する。 - 特許庁

例文

In the second etching process, a resist film is formed to cover the upper and the side surfaces of the second and the third conductive wiring layers which have already been patterned in the first etching process.例文帳に追加

第2のエッチング工程では、第1のエッチング工程においてすでにパターニングされた第2及び第3の導電性配線層の上面及び側面を被覆するようにレジスト膜が形成される。 - 特許庁

例文

At the side part 18, a protective film 16 is formed of a material having an etching selection ratio to the sacrificial oxide film 29 larger than the etching selection ratio of the surface film 11 to the sacrificial oxide film 29.例文帳に追加

次いで、側部18に、犠牲酸化膜29とのエッチング選択比が、表面膜11の犠牲酸化膜29とのエッチング選択比よりも大きい材料からなる保護膜16を形成する。 - 特許庁

When Miller indices of the silicon wafer 6 are (110), by setting the applying potential Va at a negative side from a rest potential Vr, etching restraining generation of micropyramids is enabled, and an etching surface is smoothed.例文帳に追加

シリコンウエハ6の面方位指数が(110)の場合には、印加電位VaをレストポテンシャルVrよりも負側に設定すると、マイクロピラミッドの発生を抑制したエッチングを行なえ、エッチング面は平滑化される。 - 特許庁

A method for continuously etching them comprises converting tin (II) generated in the water-soluble solution to tin (IV), by adding an oxidizing agent to the solution, contacting it with oxygen and air, oxidizing it at an anode side with electrolysis, or the like, and etching them.例文帳に追加

連続的にエッチングするには、水溶液中に生じたスズ(II)を酸化剤の添加、酸素や空気との接触、電解で陽極側で酸化させる等により酸化してスズ(IV)に戻してエッチングする。 - 特許庁

In addition, a substrate 17 for seal is stuck on one side surface 10 of the etching stopper 2, insulating liquid 18 is enclosed between the etching stopper 2 and the substrate 17 for seal, and the EL element 6 is protected thereby.例文帳に追加

さらに、エッチングストッパ2の一方面10にシール用基板17を貼合わせ、エッチングストッパ2とシール用基板17との間に絶縁性液体18を封入してEL素子6を保護する。 - 特許庁

Therefore, the side face of the Al (alloy) film is hardly exposed to the plasma of chlorine-based gas or fluorine-based gas during etching or channel etching the semiconductor layer 23, which can suppress corrosion of the Al (alloy) film.例文帳に追加

このため、半導体層23のエッチングやチャネルエッチング時にAl(合金)膜の側面が塩素系ガスやフッ素系ガスのプラズマに曝されにくくなり、Al(合金)膜の腐食を抑制することができる。 - 特許庁

When the separation grooves for chip separation and laser lift-off are formed by etching, the active layer 3 is not exposed to etching gas for long time by covering a chip side with the protection insulating film 6.例文帳に追加

チップ側面を保護絶縁膜6で覆う構造とすることで、チップ分離用やレーザーリフトオフ用の分離溝をエッチングにより形成する場合、活性層3等が、長時間エッチングガスに曝されることがない。 - 特許庁

The nozzle plate is arranged integrally on the substrate and the ink chambers are made by isotropically etching the substrate exposed through the nozzles using the side wall as an etching stop wall.例文帳に追加

前記ノズルプレートは、基板上に一体に構成され、前記インクチャンバは側壁をエッチング阻止壁として利用しつつノズルを通じて露出された基板を等方性エッチングすることによってなされる。 - 特許庁

Consequently, even if the W layer 8 is exposed when the interconnection layer is processed by the dry etching, a trouble such as conventionally generated side etching or the like does not occur on account of the absence of the Ti layer 9.例文帳に追加

こうすることによって、配線層をドライエッチで加工するときにW層8が露出しても、Ti層9がないので、従来のようなサイドエッチが生じるといった問題が発生することがない。 - 特許庁

The video signal line of this material composition satisfies requirements of high dry-etching resistance, low resistance, low ACF contact resistance, low side-etching amount, forward tapered wiring cross section form, and 2 or less number of laminations.例文帳に追加

この材料構成の映像信号線により、高ドライエッチング耐性,低抵抗,低ACF接触抵抗,低サイドエッチング量,順テーパ状配線断面形状,積層数2以下の各要件を満たす。 - 特許庁

To reduce the quantity of side etching of a Cr film for forming the source electrode of a thin-film transistor in an active liquid crystal display panel.例文帳に追加

アクティブ型液晶表示パネルにおいて、薄膜トランジスタのソース電極形成用のCr膜のサイドエッチング量を低減する。 - 特許庁

The inclined shape of the sacrifice layer with the terminal of the oxidized surface of the sacrifice layer as a starting point is then formed by side etching.例文帳に追加

そして、酸化した犠牲層表面の端部を起点とした犠牲層の傾斜形状をサイドエッチングにより形成する。 - 特許庁

When the semiconductor wafer (28) is arranged for wet type etching, the reverse side of the wafer is subjected to rinsing using water at the same time.例文帳に追加

半導体ウェーハ(28)を湿式エッチングするための配置では、前記ウェーハの裏側が、水によるリンスに同時に曝される。 - 特許庁

Meanwhile, a lower part 11L of the ridge has a ridge shape comprising a vertical ridge side surface 11LS by vertical anisotropic dry etching.例文帳に追加

また、リッジ下部11Lは、垂直異方性ドライエッチングによって、垂直なリッジ側面11Lsとなるリッジ形状となっている。 - 特許庁

The cover side wafer measurement process S5 and the etching process S7 include adjusting the capacity value of the load capacity C_L to a target set value.例文帳に追加

蓋体側ウェハ測定プロセスS5とエッチングプロセスS7とは、負荷容量C_Lの容量値を目標設定値に調整する。 - 特許庁

In this case, a part overhanging from the conductive film 18 is etched by the side-etching of the conductive film 18 in the metal layer 26.例文帳に追加

このとき、金属層26の、導電膜18のサイドエッチングによって導電膜18からオーバーハングした部分をエッチングする。 - 特許庁

To reduce the quantity of side etching of a wiring layer and to suppress the narrowing of the wiring width of the wiring layer and an irregularity in the wiring width in a method of manufacturing a semiconductor device.例文帳に追加

配線層のサイドエッチング量を減少させ、配線層の配線幅の狭幅化及びばらつきを抑制する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a crystal resonator wherein a side etching is hardly in progress from a boundary face of joined crystal wafers.例文帳に追加

接合した水晶ウエハの境界面からサイドエッチングが進みにくくした水晶振動子の製造方法を提供する。 - 特許庁

A polysilicon layer 11 is grown on one surface of an active layer wafer 10 after etching, with the silicon surface on the opposite side mirror- polished.例文帳に追加

エッチング後の活性層用ウェーハ10の片面にポリシリコン層11を成長させ、反対側のシリコン面を鏡面研磨する。 - 特許庁

The side face (etching face) of the field insulation film is inclined at about 20 to 42.5° with respect to the surface of the semiconductor substrate.例文帳に追加

フィールド絶縁膜の側面(エッチング面)を、半導体基板の表面に対して概ね20°〜42.5°傾斜した側面にする。 - 特許庁

To avoid inconvenience due to side etching although a subtractive method which can minimize the cost is used to form a printed board.例文帳に追加

プリント基板を作成するにあたり最もコストを抑えられるサブトラクティブ法を用いながら、サイドエッチングによる不都合を回避する。 - 特許庁

A side wall of the second film is slightly removed when a resist mask is stripped by a resist stripping solution after the second etching step.例文帳に追加

第2のエッチング工程後にレジストマスクをレジスト剥離液により剥離するに際し、第2の膜の側壁が少し削られる。 - 特許庁

An edge part 300 in the removed region is cut by side etching to form a groove 310 in the edge part 300.例文帳に追加

次に、除去された領域のエッジ部300をサイドエッチングによって削ることで、エッジ部300に溝部310が形成される。 - 特許庁

The first etching mask includes first and second side walls facing each other with a first interval in a track width direction.例文帳に追加

第1のエッチングマスクは、トラック幅方向について第1の間隔をあけて対向する第1および第2の側壁を有する。 - 特許庁

To pattern a comparatively thick ITO thin film, which was formed by room temperature film formation on a flexible board, through etching without causing residue or side etch.例文帳に追加

フレキシブル基板上に室温成膜した比較的厚いITO薄膜をエッチングにより残渣やサイドエッチなくパターニングすること。 - 特許庁

An element formation semiconductor layer 4 having side walls 5, 5a is formed in the element formation region 1 by etching the semiconductor layer 11.例文帳に追加

素子形成領域1に、半導体層11をエッチングして側壁5、5aを有する素子形成半導体層4を形成する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a semiconductor device which can suppress side etching of an upper layer of metallic wiring.例文帳に追加

金属配線の上層のサイドエッチングの発生を抑制することができる、半導体装置の製造方法を提供すること。 - 特許庁

The second etching mask 54 includes side walls 54a and 54b facing each other with a second interval larger than the first interval.例文帳に追加

第2のエッチングマスク54は、第1の間隔よりも大きい第2の間隔をあけて対向する側壁54a,54bを有する。 - 特許庁

A hard mask 4b is formed by etching the exposed side face of an insulating film 4a in a vapor phase hydrofluoric acid atmosphere.例文帳に追加

気相フッ酸雰囲気中にて、絶縁膜4aの露出した側面にエッチングを施すことによりハードマスク4bを形成する。 - 特許庁

(4) An outer layer circuit pattern is formed by etching on the copper foil of the one side copper clad laminate formed in the process (3).例文帳に追加

(4)前記工程(3)で形成された片面銅張積層板の銅箔にエッチング手法により、外層回路パターンを形成する。 - 特許庁

By etching the island portion from the rear side of the substrate 100, the cavity 110 is formed just under the resonator.例文帳に追加

そして、基板100の裏面から、前記島部分をエッチングすることで、前記共振器の直下に空洞110を形成する。 - 特許庁

Afterward, the trench 11c of a desired shape is formed by etching residual quartz crystal between the side trenches 11d, 11d.例文帳に追加

その後、このサイド溝部11d,11dの間に残っている水晶をエッチングして所定形状の溝部11cを形成する。 - 特許庁

Thereafter, a diffusion prevention spacer 164a is formed on a side surface of the gate pattern 200, by subjecting the diffusion-preventing film 164 to anisotropic etching.例文帳に追加

以後、拡散防止膜164を異方性エッチングしてゲートパターン200の側面に拡散防止スペーサ164aを形成する。 - 特許庁

The predetermined direction is set so that the side surface of the stripe mesa structure 40 formed by wet etching has a forward mesa shape.例文帳に追加

所定方向は、ウェットエッチングにより形成されるストライプメサ構造40の側面が順メサ形状となるように設定される。 - 特許庁

In addition, a second conductor film is formed and etching is performed to leave the second conductor film on the side faces of the second insulating film.例文帳に追加

そして、第2の導電体膜を形成し、第2の絶縁膜の側面に第2の導電体膜に残すエッチングを行う。 - 特許庁

A non-sticking fog generating unit 26 for feeding non-sticking fog(F) to the inside of the etching chamber 22 is provided on the side of the chamber 23.例文帳に追加

チャンバ23の側部に、エッチング室22内にスティックレスフォグFを供給するスティックレスフォグ発生ユニット26を設ける。 - 特許庁

To reduce the amount of side etching of a Cr film for source electrode formation of a thin film transistor, in an active liquid crystal display panel.例文帳に追加

アクティブ型液晶表示パネルにおいて、薄膜トランジスタのソース電極形成用のCr膜のサイドエッチング量を低減する。 - 特許庁

In the method for regenerating the iron chloride-based etching liquid containing nickel in an electrolytic cell, an Fe-Ni alloy in an amount dissolved by an etching stage among metal in the etching liquid is electrolytically recovered at the ratio of the alloy dissolved by the etching stage on the cathode side of the electrolytic cell, and chlorine ions produced by a reduction reaction on the cathode side are consumed to oxidize bivalent iron into tervalent iron.例文帳に追加

ニッケルを含む塩化鉄系エッチング液を電解槽にて再生する方法において、電解槽の陰極側で、エッチング液中の金属のうちエッチング工程により溶解されたFe−Ni合金の量をエッチング工程により溶解された合金比率で電析回収し、電解槽の陽極側で、陰極側の還元反応により生成される塩素イオンを消費充当して2価鉄を3価鉄に酸化する。 - 特許庁

A display device has a substrate which has a rectangular shape and on which a plurality of terminals is arranged on one side of the rectangular shape, wherein the side face of the one side of the substrate is formed by wheel or laser, and at least part of three side faces other than the side face of the one side of the substrate is formed by etching.例文帳に追加

矩形形状を有し、前記矩形形状の一辺側に複数の端子が配置された基板を有する表示装置であって、前記基板の一辺側の側面がホイール又はレーザによって形成され、前記基板の一辺側の側面を除く他の3つの側面の少なくとも一部がエッチングによって形成されている。 - 特許庁

After a side wall protection film 22 is formed with a film having more difficulty in water penetration than the Low-k film, a side surface of the semiconductor device is protected with the side wall protection film 22 by exposing a metal pad 20 by etching back the side wall protection film 22, leaving this side wall protection film 22 formed at the side surface of the semiconductor device.例文帳に追加

そして、上記Low‐k膜よりも水分の浸透し難い膜で全体に側壁保護膜22を成膜した後、側壁保護膜22をエッチバックして金属パッド20を露出させると共に、半導体装置側面に成膜された側壁保護膜22を残して、半導体装置側面を側壁保護膜22で保護する。 - 特許庁

例文

A non-reactive sputtering etching method includes a step for etching after a photoresist layer 106 as a mask material is formed on an inner side of a step formed on an etching film 102, a step for baking at 180 to 200°C after the photoresist is exposed and developed, and a step for etching without reactive sputtering.例文帳に追加

反応性を用いないスパッタエッチングにおいて、被エッチング膜102上に形成された段差の内側にマスク材としてのフォトレジスト層106を形成してエッチングする工程と、前記フォトレジストを露光現像後、180〜200℃の温度でベークする工程と、反応性を用いないスパッタエッチング工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 特許庁




  
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