「供給プロセス」に関連した英語例文の一覧と使い方(10ページ目) - Weblio英語例文検索

燃料電池を搭載した自動車に関して、燃料電池の中間プロセスにおいて発生するガスの成分濃度を走行状態で測定するガス測定装置を供給する。例文帳に追加

To provide a gas meter measuring a gas constituent concentration generated in an intermediate process of a fuel cell in a traveling condition in an automobile carrying the fuel cell. - 特許庁

像担持体に対する潤滑性付与剤の供給量を変動させずに安定できる画像形成装置および画像形成装置のプロセスカートリッジを提供する。例文帳に追加

To provide an image forming apparatus and a process cartridge for the image forming apparatus that can stabilize the amount of a lubricating agent supplied to an image carrier without varying it. - 特許庁

又リミット回路５を付加することで各ワースト条件に応じたロックレンジを取り出し、カレント比調整回路６を付加することでＶＣＯリングのプロセスバラツキによる変動に応じて供給する制御電流値についてカレント比を変えることで調整し、プロセス変動によらず一定のＶＣＯゲインを実現する。例文帳に追加

A lock range, corresponding to each worst condition, is taken out by adding a limit circuit 5, a control current value to be supplied according to the fluctuations by the variations of the process of a VCO ring by adding a current ratio adjustment circuit 6 is adjusted by changing a current ratio, and a fixed VCO gain is realized, regardless of the fluctuations of the process. - 特許庁

方法においては、ミラー（６，７）を所定の間隔（ａ）で安定に制御するため、フォトダイオード（９）によって測定した信号を、管（１）の製造プロセスに由来する信号（１１）および／または反射した超音波信号の測定プロセスに由来する信号（１１）に依存して変化させて制御器（１０）に供給する。例文帳に追加

The method supplies signals measured by a photodiode 9 to a controller 10 while changing them depending on signals 11 derived from manufacturing processes for the pipe 1 and/or signals derived from measuring processes for reflected ultrasonic signals for stably controlling mirrors 6, 7 at a preset space (a). - 特許庁

ガスタービン緊急停止時に、ガスタービン、排熱回収ボイラ煙風道の流路を切り替え、排熱回収ボイラに付属する主助燃バーナ及び助燃パイロットバーナ、押込通風機にて排熱回収ボイラを単独で運転継続し、プロセス蒸気需要に見合ったプロセス蒸気の供給を継続する。例文帳に追加

During gas turbine emergency shutdown, passages of a gas turbine and an exhaust heat recovery boiler flue are switched, singular operation of an exhaust heat recovery boiler is continued by a main stabilizing burner, a stabilizing pilot burner, and a forced draft fan attached to the exhaust heat recovery boiler, and supply of the process steam appropriating a process steam demand is continued. - 特許庁

非貫通孔の容積以上の体積の導電性ペーストを層間接続のための非貫通孔部分に供給した後、導電性ペーストに加速度を与えることにより、導電性ペーストを非貫通孔に充填するプロセス、及び非貫通孔の容積に対して過剰な導電性ペーストを除去するプロセスを有する多層プリント配線板の製造方法。例文帳に追加

This method of manufacturing a multilayer printed wiring board comprises a first process of feeding conductive paste whose volume is larger than the capacity of a blind hole into the blind hole for interlayer connection and then giving acceleration to the conductive paste and a second process of removing an excess of the conductive paste supplied to the blind hole. - 特許庁

本発明の半導体製造方法は、反応室１１内にウェーハｗを保持し、ウェーハｗ上に、ソースガスを含む第1のプロセスガスと、水素ガスまたは不活性ガスからなる第２のプロセスガスを、交互に整流状態で供給し、ウェーハｗを回転させ、ウェーハｗを加熱してウェーハｗ上に成膜するものである。例文帳に追加

The manufacturing method of the present invention includes: holding a wafer (w) in a reaction chamber 11; supplying a first process gas containing a source gas and a second process gas composed of a hydrogen gas or inert gas onto the wafer (w) alternately in a rectified state; and rotating and heating the wafer (w) to deposit a film on the wafer (w). - 特許庁

排熱回収ボイラ単独運転からガスタービンコージェネレーション運転復帰時にも、ガスタービン追加起動後、バイパススタックダンパ及び排熱回収ボイラ入口ダンパを徐々に動作させ煙風道の流路を切り替えることで、排熱回収ボイラを運転継続しプロセス蒸気需要に見合ったプロセス蒸気の供給を継続する。例文帳に追加

Even when returning from the single exhaust heat recovery boiler operation to gas turbine cogeneration operation, by gradually operating a bypass stack damper and an exhaust heat recovery boiler inlet damper and switching the passages of the flue after additional start-up of the gas turbine, operation of the exhaust heat recovery boiler is continued, to continue supply of the process steam appropriating a process steam demand. - 特許庁

マイコン１を、スリープモードが設定されている期間に電源が供給されて動作するチップ２と、電源が遮断されて動作を停止するチップ３とを、夫々異なる製造プロセスによりチップ化してマルチチップ構成とし、チップ２は、チップ３よりもリーク電流量を低減可能な製造プロセスで作成する。例文帳に追加

The microcomputer 1 has multi-chip configuration in which a chip 2 which is operated by supply of power during the period of time that a sleep mode is set, and a chip 3 which stops operation by interruption of power are manufactured by different manufacturing processes, and the chip 2 is manufactured by a manufacturing process allowing the amount of leak current to be reduced more than the chip 3. - 特許庁

また、プロセス終了検出装置は、プラズマ処理装置（１）に供給される高周波電力の発振周波数を検出する周波数検出手段と、検出された周波数データを解析し且つ発振周波数の変化率に基づいてプロセスの終了を判別する演算処理手段とを備えている。例文帳に追加

An apparatus for detecting the termination of the process includes a detecting means for detecting the frequency of the high-frequency power supplied to the plasma treatment apparatus 1, and an operation processing means for analyzing detected frequency data and judging the termination of the process on the basis of the rate of change of the oscillation frequency. - 特許庁

システムＡ，Ｂはそれぞれ，別個の冗長なプロセス制御コンピュータ６ａ，６ｂを有し，プロセス制御コンピュータ６ａ，６ｂは，それぞれに付設されている駆動ユニット１２ａ，１２ｂを介して，同一の操舵軸１７に作用する２つの別個の冗長なサーボモータ１４ａ，１４ｂに操作信号を供給する。例文帳に追加

The systems A, B respectively have redundant process control computers 6a, 6b, and the process control computers 6a, 6b supply operation signals to two separate redundant servo motors 14a, 14b which act on the same steering shaft 17 through drive units 12a, 12b respectively attached to them. - 特許庁

複数のプロセススピードを有する画像形成装置において、補給するトナーを収容したトナーユニットと、収納されたトナーを現像器に供給するトナー補給手段と、トナー補給手段のスピードを変更するスピード変更手段と、トナーが補給される現像ユニットを有し、前記トナー補給手段はプロセススピードに応じて補給速度を変更する。例文帳に追加

The image forming apparatus having a plurality of process speeds includes a toner unit containing toner to be supplied, a toner supply means for supplying the stored toner to the developing device, a speed change means for changing a speed of the toner supply means, and a developing unit to which the toner is supplied, wherein the toner supply means changes the supply speed in accordance with a process speed. - 特許庁

炭素質供給原料をアルコールに変換するプロセスであって、その中では、生成された二酸化炭素、および一部の水素は、供給原料改質器から出る合成ガスストリームから取り除かれて、減少した水素、一酸化炭素およびメタンの合成ガスストリームが得られる。例文帳に追加

There is provided a process of conversion of a carbonaceous feedstock to alcohol, in which carbon dioxide and a portion of hydrogen produced are removed from the syngas stream issuing from a feedstock reformer, to yield a syngas stream of depleted hydrogen, carbon monoxide and methane. - 特許庁

種々の条件の変動が生じても、像担持体上への潤滑剤の供給量にバラツキが生じて像担持体の表面の摩擦係数が変動してしまう不具合が軽減される、潤滑剤供給装置、クリーニング装置、プロセスカートリッジ、及び、画像形成装置を提供する。例文帳に追加

To provide a lubricant supply apparatus for eliminating the problem, wherein the quantity of a lubricant supplied to an image carrier is fluctuated, and the frictional coefficient fluctuates on a surface of the image carrier, even if various conditions fluctuate; and to provide a cleaning apparatus, a process cartridge, and an image forming apparatus. - 特許庁

滑剤が常に一定の圧力で供給部材に当接させることで、像担持体及び／又は中間転写体に一定量の滑剤を供給できるクリーニング装置、プロセスカートリッジ、画像形成装置また、これらに用いられるトナーを提供する。例文帳に追加

To provide a cleaning device which can supply a specified amount of a lubricant to an image carrier and/or an intermediate transmission member by allowing the lubricant to abut on a supplying member always under a constant pressure, and to provide a process cartridge, an image forming apparatus, and toner used for the same. - 特許庁

処理液による基板Ｗの処理中に、薬液導入バルブ４１〜４４、流量調整バルブ１０１〜１０４、純水供給源バルブ５１、温純水供給源バルブ５２、純水バルブ５などの制御によって、プロセスパラメータに揺らぎが付与される。例文帳に追加

During the treatment of the substrate W by the treatment liquid, a fluctuation is imparted to a process parameter by the control of liquid introduction valves 41-44, flow rate adjustment valves 101-104, a pure water supply source valve 51, a warm pure water supply source valve 52 and a pure water valve 5, etc. - 特許庁

センスアンプ回路に電源を供給する電源ラインに、動作時の電源補強補償用として、メモリセル部の製造プロセス上必要なダミー配線であるダミーワード線を、電源供給配線として用いる半導体記憶装置。例文帳に追加

The semiconductor storage device uses a dummy word line which is a dummy wiring necessary for manufacturing a memory cell section for reinforcement and compensation of the power source during operation, as a power supply wiring, for a power source line which supplies power to a sense amplifier circuit. - 特許庁

容器内に貯蔵された液体材料、特に半導体製造プロセス等で使用される液体材料の液量を正確に測定することのできる液量測定装置、及びそのような液量測定装置を備えた液体供給装置に用いられる液体供給方法を提供する例文帳に追加

To provide a liquid quantity measuring device for exactly measuring the quantity of liquid materials stored in a vessel, especially those used in semiconductor production process and the like, and a liquid supply method used for the liquid supply device provided with such a liquid quantity measuring device. - 特許庁

プラズマプロセスに高周波エネルギを供給する高周波電力発生器３，４を生成されるドライブ制御信号Ｃ，Ｄを使用してドライブ制御するための方法においてプラズマチャンバの種々様々な電極のできるだけフレキシブルな電力供給を可能にする。例文帳に追加

To enable as flexible power supply as possible for various kinds of electrodes of a plasma chamber in a method for drive controlling, with the use of drive control signals C, D generated by high-frequency power generators 3, 4 which supply high-frequency energy to a plasma process. - 特許庁

半導体デバイス製造プロセスの研磨加工に使用される研磨液の供給装置であって、研磨液中における所定粒径以上の粒径の砥粒の発生をインラインで連続的に且つ一層高精度に管理できる研磨液の供給装置を提供する。例文帳に追加

To provide a device for supplying a polishing liquid used for a polishing machining in a semiconductor device manufacturing process, and capable of managing continuously with higher precision on in-line basis occurrence of abrasive grains with a particle size not less than the given one. - 特許庁

トナーの飛散や画像の地汚れがなく、画像形成装置の高速化に伴うトナー供給量の確保及び経時安定供給を達成する現像装置とこれを用いた画像形成装置、現像方法、画像形成方法及びプロセスカートリッジを提供する。例文帳に追加

To provide a developing device which is free from toner scattering and scumming of images and not only secures the amount of toner supplied but also supplies toner stably regardless of passage of time, adaptively to the increase in processing speed of an image forming apparatus, and the image forming apparatus, a developing method, an image forming method, and a process cartridge using the same. - 特許庁

成膜工程を停止させることなく、気化室内部の圧力を安定化してノズル閉塞を防止し、安定した成膜プロセスを行うことができる気化原料供給装置、成膜装置、及び気化原料供給方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a vaporized raw material supply device capable of executing a stable film formation process by stabilizing pressure in a vaporizing chamber to prevent nozzle stoppage without stopping the film formation process; a film formation device; and a vaporized raw material supply method. - 特許庁

プロセスカートリッジ及び現像装置の生産出荷時にトナー供給部材を用いた現像装置でトナー供給部材にトナーよりも融点の高い潤滑剤で、単体では透明であるがその単体が集まると光の反射により白色に見える粉体を塗布する。例文帳に追加

When the process cartridge and the developing device are manufactured and shipped, a toner supply member of the developing device using the toner supply means is coated with powder which is a lubricant having a higher melting point than that of the toner and of which the particles are transparent as single substances but looks white by reflection of light as an aggregation of single substances. - 特許庁

像保持体と、活性ラジカルを有する物質を作製する活性ラジカル作製手段と、前記活性ラジカルを有する物質を前記像保持体に供給する活性ラジカル供給手段と、を少なくとも備える画像形成装置及びプロセスカートリッジ。例文帳に追加

The image forming apparatus and the process cartridge include at least: an image holder; an active radical production means producing a substance having active radicals; and an active radical supply means supplying the substance having active radicals to the image holder. - 特許庁

現像部内に収容された現像剤に微粒子を供給して、良好な画質が経時においても安定的に維持される微粒子供給装置及びそれを備えた画像形成装置、現像装置、プロセスカートリッジを提供する。例文帳に追加

To provide a particulate supply device capable of supplying particulates into a developer stored in a developing part, thereby stably maintaining excellent image quality even with the lapse of time, and to provide an image forming apparatus provided with the particulate supply device, a developing device and a process cartridge. - 特許庁

現像剤供給部材への現像剤の供給を確保しつつ、良好な現像剤の循環の実現、つまり、ベタ濃度は確保し且つ現像剤のパッキングを防止した現像装置、プロセスカートリッジ及び電子写真画像形成装置を提供する。例文帳に追加

To provide a developing device can circulate favorably a developer, while securing supply of the developer to a developer supply member, i.e. can prevent packing of the developer while securing an all-over density, a process cartridge, and an electrophotographic image forming device. - 特許庁

第１変換回路１４をロジック用プロセスを用いて製造したＭＯＳＦＥＴで構成し、インバータ１４ａに低電圧電源系の電源電圧Ｅ１を供給し、中間変換回路１４ｂに中間電圧電源系の電源電圧ＥＭを供給する。例文帳に追加

The 1st conversion circuit 14 consists of MOSFETs manufactured by using a logic process, a power supply voltage of a low voltage power supply system is applied to the inverter 14a and a power supply voltage EM of an intermediate voltage power supply system is applied to the intermediate conversion circuit 14b. - 特許庁

現像剤供給室内の現像剤に現像剤収容室内の現像剤の粉体圧がかかるのを抑制し、かつ、現像剤供給室内の現像剤の過充填を抑制することができる現像装置、プロセスカートリッジおよび画像形成装置を提供する。例文帳に追加

To provide a developing device in which application of the powder pressure of developer in a developer storage chamber on developer in a developer supply chamber is suppressed and overfilling of developer into the developer supply chamber can be suppressed, a process cartridge and an image forming apparatus. - 特許庁

画像形成装置に装着前には各色共通の現像装置を備えるプロセスカートリッジで、現像装置の開口部を遮断するシャッタ手段を設け、画像形成装置に装着後におけるトナー供給時、あるいは現像剤供給時におけるトナー飛散を防止する。例文帳に追加

To provide a process cartridge including a developing device which is common to respective colors before being loaded in an image forming apparatus, the process cartridge being provided with a shutter means of blocking an opening part of the developing device to prevent toner from scattering when toner is supplied or when a developer is supplied after the process cartridge is loaded in the image forming apparatus. - 特許庁

流量が安定するまでの立上り期間が、薬液供給時間に占める割合が半分以上であるような洗浄プロセスにおいて、洗浄不足などの異常発生ウェハの検知や薬液供給時間を決定する洗浄装置を提供する。例文帳に追加

To provide a cleaning apparatus that detects a wafer on which failures such as inadequate cleaning occurs and that determines chemical supply time, in a cleaning process where rise time to make flow rate stable accounts for a half or more of the chemical supply time. - 特許庁

二軸連続混練機１は、ホッパー２から供給される原料ゴム、カーボンブラック等の補強剤、プロセスオイル等の軟化剤等をスクリューで混練しながら先端方向に送り出してペレット化及び圧送装置３に供給する。例文帳に追加

A twin-screw continuous kneader 1 is constituted so as to send out the raw material rubber, a reinforcing agent such as carbon black or the like, a softening agent such as process oil or the like supplied from a hopper 2 in the leading end direction of the kneader while kneading them by screws to supply the same to a pelletizing pressure feeder 3. - 特許庁

像担持体上に残留する未転写トナーの量や転写残画像パターンによらず、像担持体上に適量の潤滑剤を均一にムラなく安定的に供給することができる、潤滑剤供給装置、クリーニング装置、プロセスカートリッジ、及び、画像形成装置を提供する。例文帳に追加

To provide a lubricant supplying device which is capable of uniformly and stably supplying a proper amount of lubricant onto an image carrier, without unevenness, regardless of the amount of untransferred toner remaining on the image carrier and an image pattern remaining after transfer, and to provide a cleaning device, a process cartridge, and an image forming apparatus. - 特許庁

そして、上記プロセスカートリッジを新品に交換した後、画像形成動作が開始されるまでに、上記像担持体表面へ潤滑剤を塗布し、また、該物質を上記像担持体表面に供給するように、上記潤滑剤塗布手段と、該物質供給手段とを制御する。例文帳に追加

Then, the lubricant coating means and the substance supply means are controlled so that the surface of the image carrier may be coated with the lubricant and the substance may be supplied to the surface of the image carrier by the time image forming operation is started after exchanging the process cartridge for the new one. - 特許庁

除去部材によってブラシ状回転部材から除去された付着物が固形潤滑剤に付着することがなく、像担持体上に潤滑剤を安定的に供給することができる、潤滑剤供給装置、クリーニング装置、プロセスカートリッジ、及び、画像形成装置を提供する。例文帳に追加

To provide a lubricant supplying device capable of stably supplying lubricant on an image carrier without adhesion of deposit removed from a brush-like rotating member by a removal member on solid lubricant, and to provide a cleaning device, a process cartridge, and an image forming apparatus. - 特許庁

アニオン交換性層間化合物が帯電ローラ、現像手段、あるいは帯電手段と現像手段の間に配置された供給手段を介して、電子写真感光体表面に供給されることを特徴とする電子写真装置及びプロセスカートリッジである。例文帳に追加

In the electrophotographic apparatus, an anion-exchange intercalation compound is supplied to the surface of an electrophotographic photoreceptor via a charging roller, a developing means or a supply means disposed between a charging device and the developing device. - 特許庁

構成が比較的簡易で、像担持体や固形潤滑剤の破損がなく、経時においても像担持体上に潤滑剤をムラなく安定的に供給できる、潤滑剤供給装置、クリーニング装置、プロセスカートリッジ、及び、画像形成装置を提供する。例文帳に追加

To provide a lubricant supply device capable of uniformly and stably supplying a lubricant onto an image carrier with a relatively simple configuration even with time without breaking an image carrier nor a solid lubricant, and to provide a cleaning device, a processing cartidge and an image forming apparatus. - 特許庁

製造プロセス中から採取した粉体試料を測定部に供給する吸引ラインにおける粉体試料の詰まりや堆積等を防止し、測定部に粉体試料を安定して供給することのできる粉体測定装置を提供する。例文帳に追加

To provide a powder measuring device capable of supplying stably a powder sample to a measuring part by preventing clogging or deposition of the powder sample in a suction line for supplying the powder sample collected from a manufacturing process to the measuring part. - 特許庁

そして、第１の電極板１２と第２の電極板１４との一方もしくは両方の、裏面のシャワー領域に溝を設けることにより、第２の複数のガス供給孔１８を通じて供給されたプロセスガスを第１の複数のガス供給孔１６に供給する水平経路２２が形成されている。例文帳に追加

In addition, a horizontal path 22, for supplying the process gas supplied through a plurality of second gas supply holes 18 to a plurality of first gas supply holes 16, is formed by providing a groove to the shower region of the rear surface of one of the first electrode plate 12 or second electrode plate 14 or of both electrodes. - 特許庁

各色毎のプロセス部１６が水平方向において並列的に配置される横置きタイプのタンデム方式のカラーレーザプリンタの各現像ユニット２０において、トナー収容室３１の下方に供給ローラ３２および現像ローラ３３を配置して、トナー収容室３１と供給ローラ３２との間に、供給ローラ３２の上方を覆う供給ローラ上側壁部３８を設ける。例文帳に追加

In each developing unit 20 of a tandem-type color laser printer provided with process units 16 for each color arranged horizontally in parallel with each other, a supply roller 32 and a developing roller 33 are disposed below a toner chamber 31, and a supply roller upper-side wall portion 38 that covers the supply roller from above is provided between the toner chamber 31 and the supply roller 32. - 特許庁

露光装置は、プロセスガスより生成されたプラズマを供給可能な第１供給口を有し、第１供給口から供給されたプラズマと露光液体と接触する所定部材とを接触させて、所定部材の表面の露光液体に対する撥液性を高めるプラズマ処理装置を備えている。例文帳に追加

The exposure apparatus includes a plasma processing device which icnludes a first supply port capable of supplying a plasma produced from a process gas, and brings the plasma supplied from the first supply port into contact with a predetermined member coming into contact with the exposure liquid to enhance liquid repellency of a surface of the predetermined member to the exposure liquid. - 特許庁

塊状重合法により熱可塑性樹脂を製造する塊状重合プロセス部１０と、その脱気セクション１２から溶融樹脂１９を供給する樹脂供給ライン２５と発泡剤供給ライン２６とが接続された押出機２１と、押出機２１に接続したダイ２２から押し出された樹脂を切断して発泡性熱可塑性樹脂粒子４０を形成するカッター２３とを有する押出切断プロセス部２０とを含む製造装置。例文帳に追加

The apparatus has a bulk polymerization process portion 10 for production of a thermoplastic resin by bulk polymerization and an extrusion cutting process portion 20 having an extruder 21 connected to a flow line 25 supplying a molten resin 19 from a deairing section 12 and a flow line 26 supplying a foaming agent and a cutter 23 cutting the resin extruded from a die 22 connected to the extruder 21 to form a foaming thermoplastic resin particle 40. - 特許庁

ライナ２の頭部３１の周囲には、塩化水素ガスをライナ２内に供給するガス流路２６が設けられており、ライナ２内に塩化水素ガスを供給しながら、プロセスガス２５を供給部４からチャンバ１内に流下させて、下方に配置されたサセプタ７上の半導体基板６に結晶膜を形成する。例文帳に追加

A gas flow path 26 for supplying a hydrogen chloride gas into the liner 2 is provided around the head portion 31 of the liner 2 so that the process gas 25 is flown from the supply section 4 into the chamber 1 while supplying the hydrogen chloride gas into the liner 2, thereby forming a crystal film on the semiconductor substrate 6 on the susceptor 7 disposed downward. - 特許庁

画像形成装置本体に着脱可能なプロセスカートリッジ内に設けられた現像装置１３は、トナー格納部１３ｆと、静電搬送面に発生させた移相電界によりトナーを移動させ像担持体１１に供給する静電搬送部材１３ａと、トナー格納部１３ｆからトナーを取り出して上記静電搬送面に供給する供給ローラ１３ｂを備えている。例文帳に追加

The developing unit 13 in a process cartridge which is detachably provided to the body of an image forming apparatus has a toner storage 13f, an electrostatic transfer component 13a which moves the toner by the phase shift electric field generated on the electrostatic transfer surface to supply to the image carrier 11, and a roller 13b to take out the toner from the toner storage 13f to supply to the above electrostatic transfer surface. - 特許庁

基板を回転させながら、この基板に処理液を供給することにより行われるウエットプロセスにおいて、基板の裏面側に温水を供給して加温することによって、基板に供給された処理液の温度を正確に管理して、この処理液が基板の全面に広がる間にその温度が低下しないように保持する。例文帳に追加

To keep a treating liquid so as not to lower the temp., while the treating liquid spreads on the whole surface of a substrate by supplying hot water to the back surface side of the substrate to heat to accurately control the temp. of the treating liquid supplied to the substrate in a wet process performed by supplying the treating liquid to the substrate as the substrate is rotated. - 特許庁

プロセス装置１はオゾン供給装置２１からオゾン濃度８０ｖｏｌ％以上のオゾン含有ガスが一定の流量で高温処理チャンバ２４に供されるオゾン供給ライン１１に前記オゾン含有ガスに対するオゾン分解因子の供給を制御することにより当該ガスのオゾン濃度を制御するオゾン分解装置２２を備える。例文帳に追加

A processing apparatus 1 includes an ozone decomposition device 22 that controls the ozone concentration of an ozone containing gas with ozone concentration of 80 vol% or more, which is supplied to a high temperature processing chamber 24 from an ozone supply device 21 through an ozone supply line 11 at a constant flow rate, by controlling the supply of an ozone decomposition factor to the ozone containing gas. - 特許庁