「Scanning Probe Microscope」に関連した英語例文の一覧と使い方(15ページ目) - Weblio英語例文検索

To fix a cantilever not to be dislocated even if the cantilever is moved at high speed, and to fix/dismount simply the cantilever on/from a cantilever holding stand, in a scanning probe microscope.例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバーを高速に移動させてもずれることがないようにカンチレバーを固定でき、かつカンチレバーをカンチレバー保持台に簡単に固定または外すことができるようにすること。 - 特許庁

To provide a method for controlling the quality of surface recesses and projections that are not affected by factors other than projections by a scanning probe microscope for a sample where the projections with a specific size are formed on the surface.例文帳に追加

特定サイズの突起が表面に形成された試料について、走査型プローブ顕微鏡により、突起以外の因子によって影響されない表面凹凸の品質管理方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope capable of correcting the optical axis shift of a displacement detection mechanism caused by the difference of a cantilever or a solution or the warpage of the cantilever in the atmosphere or the solution.例文帳に追加

大気中や溶液中を問わず、カンチレバーや溶液の違いやカンチレバーの反りなどによる、変位検出機構の光軸ずれを補正することが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To manufacture inexpensively with high yield and high reliability a cantilever having new magnetic characteristic and optical characteristic or the like using a compound semiconductor as a material, which is suitable to be used for a scanning probe microscope.例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡での利用に適した、化合物半導体を素材とする新しい磁気特性、光学特性等をもつカンチレバーを高い歩留まりと信頼性で安価に製造する。 - 特許庁

To provide an ultrahigh vacuum scanning probe microscope capable of performing in situ observation with an atomic-level resolution of a surface structure, while applying a stress to a sample in ultrahigh vacuum.例文帳に追加

超高真空中において試料に応力を印加しながらその表面構造の原子レベルの分解能でのその場観察を行うことができる超高真空走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a surface observation method using a scanning probe atomic force microscope capable of observing various differences of the surface state, especially the difference of hydrophobicity or hydrophilicity of the surface.例文帳に追加

表面状態の種々の相違、特に表面の疎水性あるいは親水性の差を観察することができる走査プローブ原子間力顕微鏡を用いた表面の観察方法を提供する。 - 特許庁

To provide an SNOM(scanning-type near-field optical microscope) that can be operated in air for obtaining a high-resolution SNOM image where the influence of scattered light from an area other than the tip of a probe has been eliminated as much as possible.例文帳に追加

探針先端以外からの散乱光の影響が極力排除された、従って高分解能なＳＮＯＭ像を得ることのできる、空気中で動作可能なＳＮＯＭを提供する。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope capable of stable and highly reliable operation in inspections on wafers etc. without operation halts in an inspection apparatus or any damage to a probe even if samples are charged in an inline automatic inspection process of wafers etc.例文帳に追加

ウェハ等のインライン自動検査工程でたとえ試料が帯電していたとしても、当該ウェハ等の検査で、検査装置が動作停止に陥らず、探針が損傷を受けることなく安定かつ信頼性の高い動作が可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope capable of optimally and accurately removing static electricity in a short time and measuring and inspecting samples by stable operation without having to interrupt the approximation of a probe even if the samples are charged in an inline automatic inspection process of wafers etc.例文帳に追加

ウェハ等のインライン自動検査工程でたとえ試料が帯電していたとしても、短時間で最適にかつ正確に除電し、探針の接近を中断することなく、安定した動作で測定・検査を行える走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁

In the scanning probe microscope, a method is performed, wherein a relative fine displacement in the lateral direction is applied independently in the orthogonal biaxial directions in the state where a friction is generated between the sample and the probe, and each data related to the friction in the biaxial directions are acquired.例文帳に追加

さらにこの走査型プローブ顕微鏡では、試料と探針の間で摩擦が生じる状態で相対的な横方向の微小変位を直交する２軸方向に独立に加え、２軸方向のそれぞれ摩擦に係るデータを取得する方法が実行される。 - 特許庁

To arbitrarily control relative directions between an axis of a probe and an axis of a carbon nanotube being set at the head of a scanning probe microscope or held by a handling equipment such as carbon nanotube tweezers or the like, in order to improve its durability and precision and stability of measurements.例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡先端のカーボンナノチューブや、カーボンナノチューブピンセットなどのハンドリング機器に把持されたカーボンナノチューブについて、プローブの軸とカーボンナノチューブの軸の相対方向を任意に制御し、測定の精度、安定性、耐久性等を向上させる。 - 特許庁

The object surface is observed by measuring a horizontal force relative to the object whose surface has a part having different hydrophobicity or hydrophilicity by using the scanning probe atomic force microscope having a probe of a cantilever type modified by an organic compound.例文帳に追加

表面に疎水性または親水性が異なる部分を有する対象物を有機化合物で修飾されたカンチレバータイプの探針を有する走査プローブ原子間力顕微鏡を用いて水平力を測定することで対象物の表面を観察する。 - 特許庁

To provide measurement in high reliability by confirming errors, evaluating reliability of the measured data, and removing errors for less measurement error when wide-area measurement or long-time measurement in narrow- area scanning is performed with a scanning probe microscope.例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡で、広域測定を行うときまたは狭域走査で時間をかけて測定を行うとき、測定誤差を確認し、測定データの信頼性を評価し、測定誤差を除去して測定誤差を低減し、信頼性の高い測定を行えるようにする。 - 特許庁

To provide radial clusters of sharp-ended multiwalled carbon nanotubes, which are new carbon nanostructures useful as a probe for STM (scanning tunneling microscope) or AFM (atomic force microscope), a field emission electron source of a display element, a display, or the like, and to provide a method for preparing the radial clusters.例文帳に追加

ＳＴＭやＡＦＭ用探針、表示素子、ディスプレイ等の電界放出電子源などとして有用な、新規なカーボンナノ構造物である鋭端多層カーボンナノチューブ放射状集合体とその製造方法鋭端多層カーボンナノチューブ放射状集合体とその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope having a space resolution up to the periphery centered at 10 nm, capable of acquiring quantitatively information on a film thickness or its distribution of a dielectric thin film, and an (extremely thin dielectric) film thickness distribution measuring method using the microscope.例文帳に追加

誘電体薄膜の膜厚もしくはその分布に関わる情報を定量的に取得可能な、１０ｎｍを中心としてその近傍までの空間分解能を持つ走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた（極薄誘電体）膜厚分布測定方法を提供する。 - 特許庁

Thymine is fixed on a conductive surface of a substrate, a bias voltage applied between a probe and the substrate is varied with a distance between the probe of the scanning probe microscope and thymine fixed, a tunneling current flowing between the probe and thymine is measured, to find an inflection bias voltage wherein a variation rate of the tunneling current logarithmically transformed with respect to the bias voltage varies.例文帳に追加

表面が導電性をもつ基板表面にチミンを固定し、走査型プローブ顕微鏡のプローブとチミン間の距離を固定した状態でプローブと基板間に加えるバイアス電圧を変化させてプローブとチミンとの間に流れるトンネル電流を測定し、バイアス電圧に対する対数変換されたトンネル電流の変化率が変化する変曲バイアス電圧を求める。 - 特許庁

This scanning probe microscope is provided at least with a polarization modulator which lets circularly-polarized light in a rotating polarizer to modulate and irradiate the P-polarized component of linear polarization on the probe tip, and a photodetector for detecting scattered light between the probe tip and the sample at the time point, when P-polarized light is irradiated on the probe tip.例文帳に追加

円偏光としたレーザーを回転する偏光子に通してプローブ先端へ直線偏光のＰ偏光成分を変調して照射する偏光変調装置と、プローブ先端にＰ偏光が照射されたタイミングでプローブ先端と試料との間の散乱光を検出する光検出部とを少なくとも有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 特許庁

In the probe 10 of the scanning tunneling microscope and its manufacturing method, the probe 10 is formed from metal such as tungsten, a tip surface 12 of the probe 10 has a buffer layer such as a carbonization coating film, and a carbon nanotube 13 is extended from the buffer layer such as the carbonization coating film of the tip surface 12 of the probe 10.例文帳に追加

走査型トンネル顕微鏡の探針１０において、探針１０はタングステン等の金属で形成され、探針１０の先端表面１２は炭化コーティング膜等のバッファー層を有し、探針１０の先端表面１２の炭化コーティング膜等のバッファー層からカーボンナノチューブ１３が延設されている走査型トンネル顕微鏡の探針１０とその製造方法である。 - 特許庁

To provide a removal method, for the offset of a scanning probe microscope, in which a Z-axis displacement offset is not generated or can be reduced even when the temperature of a viscoelastic substance is lowered when a coarse adjustment is changed over to a fine adjustment.例文帳に追加

粗動から微動への切替え時に、粘弾性体の温度が低下しても、Ｚ軸変位オフセットが生じない、あるいは低減できる走査型プローブ顕微鏡のオフセット除去方法を提供することにある。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope capable of measuring the distribution information relating to the partial characteristic of a sample, simultaneously with the accurate three-dimensional shape information of the sample without giving the damage to the sample with high throughput.例文帳に追加

高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報と同時に試料の局所的特性に関する分布情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供することである。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope which can measure exact information on solid shape of a sample, simultaneously with the distribution information on the local properties of the sample by highest throughput, without damaging the sample.例文帳に追加

高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報と同時に試料の局所的特性に関する分布情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供することである。 - 特許庁

To provide a cantilever holder which can be used under various environments, regardless of the kinds of solution and gas and which can efficiently vibrate a cantilever, and to provide a scanning probe microscope with improved measurement accuracy being equipped with the holder.例文帳に追加

溶液やガスの種類を問わず、様々な環境下で使用可能で、カンチレバーを効率的に加振可能にしたカンチレバーホルダ及びそれを備えて測定精度を向上させた走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope constituted so as to eliminate the replacing necessity of a scanner corresponding to an observation target or an observation purpose and capable of performing the observation from a microregion to a wide region while holding high resolving power.例文帳に追加

観察対象や観察目的に応じてスキャナを交換する必要が無く、高い分解能を保ったまま、微小領域から広域までの観察を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁

To provide a fine adjustment mechanism for a scanning type probe microscope of high rigidity and high measuring precision, by arranging a strain gage type displacement sensor allowing setting even in a narrow space to allow temperature compensation.例文帳に追加

狭いスペースでも設置が可能なひずみゲージ式変位センサを温度補償が可能なように配置することにより、剛性が高く、測定精度の高い走査型プローブ顕微鏡用の微動機構を提供する。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope capable of well measuring the surfaces of various samples different in properties, for example, a sample minute in difference in level and a sample large in difference in level.例文帳に追加

種々の性質の異なる試料、例えば段差の微小な試料に対しても、また段差の大きな試料に対しても、それらの試料表面を良好に測定できる走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁

This scanning probe microscope is designed so that the cantilever 1 is attached to the cantilever mounting section 2 and is additionally equipped with the cantilever feed mechanism 20 for retaining the cantilever 1, and the cantilever 1 retains the cantilever 1 through adhesion.例文帳に追加

カンチレバー１がカンチレバー取り付け部２に取り付けられる構成で、さらに、カンチレバー１を保持するカンチレバー供給機構２０を備え、カンチレバー供給機構２０は、カンチレバー１を粘着力によって保持する。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope capable of automatically rationalizing various parameters in a measuring instrument corresponding to a cantilever and planned so as to enhance not only the efficiency of measuring work but also the stabilization and reliability of a measuring result.例文帳に追加

測定装置での各種パラメータを、カンチレバーに応じて自動的に適正化でき、測定作業の効率化、測定結果の安定化と信頼性向上を企図した走査型プローブ顕微鏡を提供する。 - 特許庁

A probe, means for replacing the inside of a sample chamber with prescribed gas and means for turning into images by ion current detection or absorbed current detection are incorporated to realize a safe SEM (scanning electron microscope) whose risk of electrical discharge is low.例文帳に追加

探針と、試料室内を所定のガスで置換する手段と、イオン電流検出や吸収電流検出による画像化手段を備えることにより、放電の危険性の低い安全なＳＥＭを実現する。 - 特許庁

Also, the scanning type probe microscope is equipped with a cantilever, having an elastomer for supporting the probe, an exciting means for exciting the cantilever and an exciting signal changeover means, for changing over at least two exciting signals inputted to the exciting means.例文帳に追加

また、探針と試料を相対的に走査する走査形プローブ顕微鏡において、探針を支持する弾性体を有するカンチレバーと、カンチレバーを加振する加振手段と、加振手段に入力する少なくとも２つの加振信号を切り換える加振信号切換手段と、を備えることである。 - 特許庁

To provide an inexpensive device with a simple structure and an easy operation capable of enlarging an analyzing area of sample and enhancing a resolving power of ion at an electric field evaporation position to an atom level in an atom probe or a scanning type atom probe in which an electric field ion microscope and an ion detector are combined.例文帳に追加

電界イオン顕微鏡とイオン検出器を組み合わせたアトムプローブあるいは走査型アトムプローブにおいて、試料の分析領域を拡大すると共にイオンの電界蒸発位置の分解能を原子レベルまで向上させ得る、簡素な構造で安価で操作が容易な装置を構成する。 - 特許庁

A previously selected reference pattern region is measured at a certain timing during measurement of a measurement region of sample characteristics with a scanning probe microscope, and the displacement of a probe is corrected while necessarily specifying the displacement in an XYZ axis from a measured image of the reference pattern.例文帳に追加

走査プローブ顕微鏡による試料特性の測定領域を測定中のあるタイミングで予め選択されたリファレンスパターン領域の測定を行い、リファレンスパターンの測定像から適宜ＸＹＺ軸方向の位置ずれ量を特定して探針の位置ずれ補正を行う。 - 特許庁

A two-dimensional area 5 on a substrate 3 and a two-dimensional area 6 on a tilt plane 4 are scanned by the probe of a scanning probe microscope to calculate the angle formed by the two 2 dimensional areas 5 and 6 in this measuring method of the tilt angle 2 of the tilt plane 4 formed on the substrate 3.例文帳に追加

基板３上に形成された傾斜面４の傾斜角２の計測手法において、基板３上の２次元領域５と傾斜面４上の２次元領域６とを走査プローブ顕微鏡のプローブにより走査し、２つの２次元領域５と６のなす角を算出する。 - 特許庁

The scanning probe microscope 1 has a constitution with the lever excitation mechanism 1a, a moving means 5 for moving relatively a probe 3a and a sample S, a measuring means 6 for measuring displacement in the vibration state of the lever 3c, and a control means 8 for collecting observation data.例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡１を、レバー加振機構１ａと、探針３ａと試料Ｓとを相対的に移動させる移動手段５と、レバー３ｃの振動状態の変位を測定する測定手段６と、観測データを採取する制御手段８とを備えて構成した。 - 特許庁

Similarly in correcting a black defect, an etching source material in a liquid state is supplied from the probe of a scanning probe microscope onto only the black defect region by a similar method to Dip-Pen Nanolithography, and an ion beam or an electron beam is supplied to etch to correct the black defect.例文帳に追加

黒欠陥修正の場合も同様に、走査プローブ顕微鏡の探針から液体状のエッチング原料をＤｉｐ−Ｐｅｎ Ｎａｎｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙと同様な方法で黒欠陥領域上のみに供給し、イオンビームや電子ビームを供給してエッチングを行い黒欠陥を修正する。 - 特許庁

In a scanning probe microscope 10 for making a probe 16 provided for one end of the cantilever 15 scan along the surface of a sample 30 and measuring the height and a distribution of the physical state of the sample 30, the resonance frequency of the cantilever 15 is detected before and after the measurement of the sample 30 to detect the presence or absence of the adhesion of foreign matter to the tip of the probe 16.例文帳に追加

カンチレバー１５の一端に設けられたプローブ１６を試料３０の表面に沿って走査させて試料３０の高さ及び物理状態の分布を測定する走査プローブ顕微鏡１０において、試料３０の測定の前後にカンチレバー１５の共振周波数を検出してプローブ１６の尖端への異物の付着の有無を検知する。 - 特許庁

To provide a method for joining a probe to a detecting piezoelectric element in a scanning probe microscope that uses a piezoelectric element as the distance control means of the probe, without depending on changes in ambient condition, such as temperature, and the amount of an adhesive or a method of adhesion, so that stable vibration characteristic and detection characteristic can be obtained and so that the detecting piezoelectric element can be reused.例文帳に追加

プローブの距離制御手段として圧電体を利用する走査型プローブ顕微鏡において、温度などの環境変化や接着剤の量や接着方法によらず、安定した振動特性や検出特性が得られ、さらに検出用圧電素子の再利用が可能なようなプローブと検出用圧電体の接合方法を提供する。 - 特許庁

To approach unevenness of sample surface and measure surface state at high resolution by solving such problems as destruction, deformation of a base probe, destruction of a jointed part, caused by distortion and slipping of the CNT probe, which cause problems in observing the sample surface with a scanning probe microscope using a CNT cantilever.例文帳に追加

ＣＮＴカンチレバーを使用した走査型プローブ顕微鏡による試料表面の観察で問題となるＣＮＴの湾曲や滑りに起因するベース探針の破壊、変形および接合部の破壊の問題を解決し、試料表面の凹凸に確実にアプローチして高分解能で表面状態を測定することができるようにする。 - 特許庁

Particles to be created by changing the ratio of different elements for indexing a probe are used; an SEM image is obtained by a scanning electron microscope for detecting the position and the size; and further, the position and the size of characteristic X rays generated, when electrons irradiated to the particles by the scanning electron microscope are obtained, by obtaining element analysis images, by using an energy dispersion type characteristic X-ray detector.例文帳に追加

プローブのインデクシング用に異なる元素の比率を変えて作成する粒子を用い、走査型電子顕微鏡でＳＥＭ像を得て容易にその位置と大きさを検出し、さらに、走査型電子顕微鏡で粒子に電子を照射する時に発生する特性Ｘ線をエネルギー分散型特性Ｘ線検出器により元素分析像を得ることで位置と大きさを得る。 - 特許庁

To enable measurement by a highly precise scanning probe microscope using a novel cantilever with a measurement hole and provide a method for measuring mutual action of various beams and a sample substance by squeezing it into a very small region.例文帳に追加

新規な測定孔付きカンチレバーを用いて精度の高い走査型プローブ顕微鏡測定を可能にし、種々のビームと試料物質との相互作用を極小領域にまで絞り込んで測定できる方法を実現する。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope and its measuring method capable of properly adjusting an explorer approaching position, when measuring a ridged/grooved shape and stroke of a Z-axis fine-movement element when an approaching action is finished, and measuring effectively utilizing the stroke.例文帳に追加

凹凸形状測定時に探針接近位置と接近動作終了時のＺ軸微動素子のストロークを適切に調整し、ストロークを有効に利用して測定できる走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法を提供する。 - 特許庁

To provide a measurement method of a scanning probe microscope for measuring a shape and optical characteristics of a sample using near field light without reducing a signal-to-noise ratio in a plasmon propagation beam SPM.例文帳に追加

本発明はプラズモン伝播形光ＳＰＭにおいて、信号対雑音比が低下させずに近接場光を用いて試料の形状と光学特性を測定する走査プローブ顕微鏡の測定方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To manufacture a scanning probe microscope whose S/N is insusceptible to noise generated in a post-stage of a photodiode when the noise generated in the post-stage of the photodiode is relatively larger than noise generated in a pre-stage of the photodiode.例文帳に追加

フォトダイオードの前段で発生するノイズに較べて、相対的にフォトダイオードの後段で発生するノイズの方が大きい場合に、Ｓ／Ｎがフォトダイオードの後段で発生するノイズに影響されにくい走査型プローブ顕微鏡を作る。 - 特許庁

To enable an uneven shape corresponding to an interest region extracted from two-dimensional distribution of another physical quantity to easily and correctly be understood in a two-dimensional distribution image of a height of predetermined range obtained with an SPM (scanning probe microscope).例文帳に追加

ＳＰＭで得られた所定範囲の高さの２次元分布画像において、他の物理量の２次元分布に基づいて抽出される関心領域に対応する凹凸形状などを容易に且つ的確に理解できるようにする。 - 特許庁

To obtain a scanning Kelvin probe microscope in which a frequency component not required to detect potential information on the surface of a sample to be measured is suppressed and in which the S/N ratio of the potential information on the surface of the sample is enhanced.例文帳に追加

走査型ケルビンプローブ顕微鏡において、試料表面の電位情報を検出する場合に不要となる周波数成分を抑圧し、測定される試料表面の電位情報のＳ／Ｎを向上させることを目的とする。 - 特許庁

To provide a scanning probe microscope for avoiding the trouble of sample stand changing, and accurately measuring the temperature depending characteristic of physical properties by tracing measurement of the temperature variation on an identical measurement point and an identical measurement area.例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡において、試料を測定する際、試料台の交換の手間をなくすとともに、同一測定ポイント同一測定領域の温度変化を追跡測定し、物性の温度依存特性を正確に測定すること。 - 特許庁