Showerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 3292件
To provide a sanitary installation room capable of mounting toilet equipment to a convenient position even if one side of a toilet is used for an opening section and even if the other side is faced to an open space used as another use for a shower space or the like.例文帳に追加
便器の一側方が開口部であり、他側方がシャワー空間等の他用途に使用される開放空間に臨んでいる場合であっても、トイレ備品を使いやすい位置に取り付けることができる衛生設備室を提供することを目的としている。 - 特許庁
To perform the water discharging and stopping operation from a spout and the flow regulation at hand as a showerhead is held in the hand, in a water discharge device capable of freely moving the showerhead to an intended position with a shower hose to discharge water through the spout and to simplify the structure of an operation part and valve part therefor.例文帳に追加
シャワーヘッドをシャワーホースとともに自在に目的の位置まで移動させて吐水口から吐水させることのできる吐水装置において、シャワーヘッドを手に持ったまま手元で吐水口からの吐止水操作と流調調節を行えるようにする。 - 特許庁
This substrate processing apparatus has processing tanks 10A to 10C and is configured so as to perform cleaning processings, while supplying rinse liquid to the surface of the substrate S by shower nozzles 14 in each of the processing tanks 10A to 10C, respectively, while conveying the substrate S in an inclined attitude.例文帳に追加
基板処理装置は、処理槽10A〜10Cを有し、基板Sを傾斜姿勢で搬送しながら各処理槽10A〜10C内で、それぞれシャワーノズル14により基板Sの表面にリンス液を供給しながら洗浄処理を施すように構成される。 - 特許庁
This shower hose 20 is provided with an outer pipe 21 in which a connection fitting 23 having a through part 23c is mounted in a part 21a to be mounted and an inner pipe 22 inserted into the outer pipe 21 while a part 22a to be pressed, nipped, and held advances into the through part 23c.例文帳に追加
貫通部23cを有する接続金具23が被装着部21aに装着されたアウター管21と、被押圧挟持部22aを貫通部23cに進入させた状態でアウター管21に挿通されたインナー管22と、を備えるシャワーホース20である。 - 特許庁
To smoothly open and close a horizontally opening curtain provided on the opening of an enclosed room such as a shower bathing chamber provided with the opening for care through which a bathing helper washes a bather with hands and to improve an enclosing degree by the curtain.例文帳に追加
入浴介護者が入浴者を手洗いする介護用開口を有するシャワー入浴装置の入浴用筐体など、密閉性を有する部屋の開口に設けられた横開きのカーテンを円滑に開閉でき、カーテンによる密閉度も向上することである。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a member with plasma resistance, which improves corrosion resistance to plasma, and can be suitably used for members such as a chamber, a chamber liner, a shower plate, a baffle plate, and an electrode, which are used for a dry processing apparatus for manufacturing a semiconductor or a liquid crystal.例文帳に追加
プラズマに対する耐食性の向上を図り、半導体または液晶製造のためのドライプラセス装置に用いられるチャンバー、チャンバーライナー、シャワープレート、バッフル板、電極等の部材に好適に用いることができる耐プラズマ性部材の製造方法を提供する。 - 特許庁
The discharge pressure of developer to be discharged to the inclination lower part (valley side) is two times higher than the discharge pressure of developer to be discharged to the inclination upper part (mountain side), and the number of development shower nozzles 42 on the inclination lower part (valley side) is a ratio (%) calculated by the equation (1).例文帳に追加
斜下部(谷側)に吐出する現像液の吐出圧力が、傾斜上部(山側)側に吐出する現像液の吐出圧力よりも2倍高く、傾斜下部(谷側)の現像シャワーノズル42数が前記式(1)により算出された割合(%)であること。 - 特許庁
The shower head holder includes: two arms which are moved parallel to each other; two pairs of holding plates holding ends of the arms; an insertion part positioned at the lower part of the lower holding plate; and a holder part which is provided on a side of the upper holding plate in a manner of being rotatable relative to the holding plate.例文帳に追加
互いに平行移動可能なる2本のアームと、該アーム端を保持する2対の保持板と、下方の保持板下方に位置する挿入部と、上方の保持板側方に、該保持板に対して回動可能なるホルダー部を有することを特徴とする。 - 特許庁
To provide a shower bathing apparatus in which a user does not feel cold at an initial stage of showering, a temperature inside a housing body reaches a temperature comfortable for the user earliest, and the user does not feels dizzy with steam or warm water over the comfortable temperature.例文帳に追加
使用者がシャワー初期に冷たさを体感することなく、収容体内を使用者にとって快適な温度にいち早く到達させるとともに、この快適な温度を超えた蒸気や温水により使用者がのぼせることのないシャワー入浴装置を提供する。 - 特許庁
Before heating to cross-link a polymer film 17, a shower head 31 of a press member having a high-flatness surface presses the surface of the polymer film 17 to planarize it, while a solvent is supplied to the surface of the polymer film 17.例文帳に追加
高分子材料膜17を加熱架橋する前に、高分子材料膜17の表面に溶剤を供給しながら、平坦性の高い表面を有する押圧部材であるシャワーヘッド31を用いて、高分子材料膜17の表面を押圧して平坦化する。 - 特許庁
To provide a plasma CVD apparatus and a film deposition method by the plasma CVD capable of enhancing the uniformity of a film on a substrate by using a raw material gas feeding mechanism with easy maintenance at low cost in addition to a shower head electrode.例文帳に追加
シャワーヘッド電極に加えて、低コストでメンテナンスが容易な原料ガスの供給機構を用いることにより、基板への膜の均一性を向上させることが可能なプラズマCVD装置及びプラズマCVDによる成膜方法を提供することにある。 - 特許庁
To improve the water saving and energy saving properties and to provide a comfortable human body washing device superior in detergency in the human body washing device for washing the human body such as a shower and a hot water washing toilet seat.例文帳に追加
本発明は、例えばシャワーや温水洗浄便座等の特に人体の洗浄を行う人体洗浄装置において、節水性、省エネ性を向上させるとともに、快適で洗浄力に優れた人体洗浄装置を提供することを技術課題とするものである。 - 特許庁
Besides, when the first water passage communicates with the second water passage, the water is guided to the shower plate side of the head body and when the communication between the first water passage and the second water passage is shut off, the water is guided to the ejection aperture side of the head body as a structural function.例文帳に追加
また、第1水路と第2水路とが連通しているとき、水をヘッド本体に設けたシャワー板側に導き、第1水路と第2水路との連通が遮断されているとき、水をヘッド本体に設けた噴出口側に導く構成にしている。 - 特許庁
To provide a vapor phase growth device uniforming a gas flow supplied to a growth chamber from a gas discharge hole when at least two reaction gases are supplied into the growth chamber by using a shower plate; and a method of manufacturing a semiconductor device.例文帳に追加
シャワープレートを用いて少なくとも2種類の反応ガスを成長室内に供給する場合に、ガス吐出孔から成長室へ供給されるガスフローを均一化することができる気相成長装置及び半導体素子の製造方法を提供する。 - 特許庁
The primary pressure of spray nozzles 22-29 are periodically changed by a spray automatic switching means 33, whereby the blowout speeds and spray quantity of the fluid sprayed from the respective spray nozzles 22-27 provided in an arm 14 and a shower body 11 are changed.例文帳に追加
噴霧ノズル22〜29の1次側圧力を噴霧自動切替え手段33により周期的に変化させることで、アーム14及びシャワー本体11に設けられた各々の噴霧ノズル22〜27から噴霧される流体の噴出速度及び噴霧量を変化させる。 - 特許庁
A spouting means (a water spouting tube 2) for spouting hot water like a shower can be attached to a palm of a user by an attaching means (a holder plate 4), so that the user can freely use both hands in washing and can flush an arbitrary place with hot water.例文帳に追加
湯水をシャワー状に吐水する吐水手段(吐水管2)を、装着手段(保持板4)によって手のひらに装着できるようにし、洗浄を行う際に両手を自由に使えるようにするとともに、任意の場所を湯水で流すことができるようにする。 - 特許庁
To provide a vapor deposition apparatus and a vapor deposition method which prevent the clogging of gas discharge holes in a shower head, consequently suppress the occurrence of variance in reaction gas flow to be fed, and thereby securing film uniformity on the substrate to be processed and film reproducibility.例文帳に追加
シャワーヘッドのガス吐出孔の塞がりを防止することにより、供給される反応ガス流のばらつきの発生を抑制し、被処理基板上での膜均一性及び膜の再現性を確保し得る気相成長装置及び気相成長方法を提供する。 - 特許庁
The substrate cleaning apparatus is comprised of a transfer means 1 for transferring a substrate, an ejection nozzle 1 for ejecting heated steam onto the surface of the substrate being transferred to which an organic matter adheres, and a shower device 6 for applying a physical force onto the organic matter adhering to the substrate being transferred.例文帳に追加
基板を搬送する搬送手段1と、搬送される基板の有機物が付着した板面に加熱された水蒸気を噴射する水蒸気噴射ノズル1と、搬送される基板に付着した有機物に物理力を付与するシャワー装置6とを具備する。 - 特許庁
A shower plate 13 has a main surface portion 131 including a placing position of a substrate, and having a flat plate shape generally parallel with a substrate surface; and a side surface portion 132 having a cylindrical shape, connected to an outer peripheral portion of the main surface portion 131 at one end, and connected to a chamber 11 at the other end.例文帳に追加
シャワープレート13は、基板の載置位置を含み、基板面と略平行な平板状の主面部131と、筒状を有し、一端が主面部131の外周部に接続され、他端がチャンバ11に接続される側面部132と、を有する。 - 特許庁
Whenever the number of etching treatment for a thin film 2 on a glass substrate 3 by a first treatment tank 6 and a second treatment tank 7 reaches the prescribed one, pure water W is scattered from each pure water shower nozzle 21 to each conveyance port 8 of the first treatment tank 6 and the second treatment tank 7.例文帳に追加
第1の処理槽6および第2の処理槽7によるガラス基板3上の薄膜2のエッチング処理が所定数となる度に、第1の処理槽6および第2の処理槽7の搬送口8に純水シャワーノズル21から純水Wを散布する。 - 特許庁
If the room-entering person 4 gets out of the area 1a or 1b during the operation of the air shower to disable the reader-writers 12a and 12b from receiving the identification signals, warnings such as displaying and announcing to instruct the room- entering person 4 to return to the former location are given.例文帳に追加
エアーシャワーが動作している間に入室者4が領域1aまたは1bから外れてリーダライタ12a、12bで識別信号を受信できなくなると、入室者4に対して元の位置に戻るように指示する表示や報知等の警告を行う。 - 特許庁
In addition, on the shower head 16 are arranged a water discharge and stoppage operation portion 22 to open and close the pilot valve 67 and another operation portion 24 to regulate water discharge from a shower nozzle 18 by changing the extent of the opening of the pilot valve 67, those two portions constituting an operation portion at hand.例文帳に追加
主水路36を内部に有するシャワーヘッド16に、主水路36開閉用の主弁42を閉弁方向に押圧する背圧室44に連通し通水量変化によって背圧室44内の圧力を変化させて主弁42の開閉及び開弁量の制御を行うパイロット水路46及びパイロット弁67を設け、更にシャワーヘッド16にはパイロット弁67を開閉する吐止水操作部22と、パイロット弁67の開弁量を変化させることによって吐水口18からの吐水流量を調節する流調操作部24とを手元操作部として設ける。 - 特許庁
The film deposition device 1 is arranged such that a shower plate 4 is connected with the same ground potential as a vacuum tank 2, an electrode plate 9 for arranging a substrate 10 is connected with an AC power supply 30, and an AC voltage of 100 kHz to 1 MHz is applied to the electrode plate 9.例文帳に追加
成膜装置1は、シャワープレート4が真空槽2と同じ接地電位に接続され、基板10が配置される電極板9が交流電源30に接続されており、電極板9に100kHz以上1MHz未満の交流電圧が印加されるようになっている。 - 特許庁
The manufacturing method is characterized by that harvested rushes are washed by a water shower, they are sufficiently soaked with water, the water is drained, bamboo vinegar with dissolved colophony is sprayed on rush surfaces, the rushes are rapidly dried, and the dried rushes are woven into the sheet shaped Tatami mat surface.例文帳に追加
収穫したイ草を水シャワーで洗浄して十分に水分を含ませた後、水切りし、次いで松ヤニを溶した竹酢液をイ草表面に噴霧した後、これを急速乾燥させ、しかる後、乾燥させたイ草をシート状の畳表に織り上げることを特徴とするものである。 - 特許庁
To provide a bathroom faucet with cover, which does not require a housing box for housing a shower hose in addition to a faucet, does not require a wide space for setting the hose housing box, and can cope not only with a dedicated bathroom but also with an ordinary bathroom.例文帳に追加
シャワーホースを収納するための収納ボックスを水栓とは別途に必要とせず、またホース収納ボックスを設置するための広い空間を必要とすることなく、尚且つ専用の浴室でなくても通常の浴室にも対応することのできる浴室用カバー付水栓を提供する。 - 特許庁
The handiness in use in the case where the user requires a large quantity of hot water with its quality adjusted in shower or a bath is enhanced by adjusting the quality of water supplied from a supply port 2 with an alkaline ion water making means 3, and heating it with a heating means 4 and delivering it from a hot water delivery port 5.例文帳に追加
給水口2から給水した水をアルカリイオン製水手段3で水質調節を行い、加熱手段4で加熱し出湯口5から出湯させることにより、ユーザーがシャワーや風呂で水質調節された大量の湯を必要とする場合の使用勝手を向上する。 - 特許庁
To provide a body washing apparatus which enables even a person with disability or a senior person without physical flexibility to simply wash their bodies by him/herself in a bathroom or shower room almost without care by another person and is easily maintained and managed.例文帳に追加
身体に障害がある人や身体に柔軟性がなくなった老人などでも浴室やシャワー室内でほとんど他の人が介護せずに一人で簡単に身体を洗うことができるとともに、維持管理も容易な洗体装置を提供することを目的としている。 - 特許庁
To provide a bathtub illumination cover which is suitably employed in environments, for example in a bathroom/shower room or the like where fouling load is large, and where a large quantity of steam and water is continuously splashed.例文帳に追加
Na−Caガラス表面に直接緻密で均質な結晶性チタニア薄膜を付与することにより、汚れ負荷量の大きく、絶えず多量な水蒸気や水のかかる環境下、例えば、浴室・シャワールーム等において好適に使用される浴槽照明カバーを製造することを可能とする。 - 特許庁
The portable shampoo box is integrally equipped with a shampoo bowl 3, the water tank 4 attached to the shampoo bowl 3, a shower head 5 connected to the water tank 4 by piping, a telescopic leg part 6 attached to the shampoo bowl 3 to be folded, and a carrying handle 7 attached to the shampoo bowl 3.例文帳に追加
シャンプーボウル3と、このシャンプーボウル3に組み付けられる給水タンク4と、この給水タンク4に配管接続されるシャワーヘッド5と、シャンプーボウル3に折畳み可能に組み付けられる伸縮式脚部6と、シャンプーボウル3に組み付けられるキャリングハンドル7と、を一体化して備える。 - 特許庁
This vapor-emitting device has a shower plate type emitting portion 11 in which a plurality of emission ports 12 are arrayed in a plane, and a supply pipe 14 which is provided in the emitting portion 11 and supplies the vapor 50 of an organic vapor deposition material to the emitting portion 11.例文帳に追加
本発明の蒸気放出装置は、複数の放出口12が面内に配列されたシャワープレート型の放出部11と、放出部11内に設けられ有機蒸発材料蒸気50を当該放出部11内に供給する供給管14とを有する。 - 特許庁
A jet plenum box 11 constituting an air blower part 5 of side rooms 4 arranged with a shower room 3 in between consists of a separated body removably fitted on the main body side with rivets and screws and in addition, each constituent member of the jet plenum box 11 consists of separated body members which can be assembled with each other.例文帳に追加
シャワー室3を挟んで配設される側面室4の送風部5を構成するジェットプレナムボックス11は本体側にリベットやビス等により着脱可能に取り付けられる別体のものからなり、更にジェットプレナムボックス11の各構成部材も相互に組み付けられる別体部材からなる。 - 特許庁
If an admixture is put into the tank 1, while water is being fed into the tank 1 from the pipes 3, 5, the admixture is stirred and hence bubbles are produced, however, the bubbles can be eliminated by the water in the form of a shower fed from the nozzle 7 of the pipe 5.例文帳に追加
そして水計量槽1に粗計量用水配管3と微計量用水配管5から水投入中に混和剤を投入すれば混和剤のかき混ぜによって泡立つが、その泡は微計量用水配管5の散水ノズル7からシャワー状に投入される水によって消されていく。 - 特許庁
To provide a shower device that can discharge water from the water discharge part under the condition of repetitive motions of the water discharge part stopping and suppress reduction of the amount of discharged water when the water discharge part is switched from the repetitive motion status to the stop status.例文帳に追加
本発明は、吐水部の反復運動を停止させた状態で吐水部から吐水をさせることができ、また、吐水部を反復運動させている状態から停止させている状態に切り換えた際の吐水量の減少を抑えることができるシャワー装置を提供する。 - 特許庁
To provide a wheelchair allowing a user to discharge bodily wastes to a toilet basin while seated, and capable of preventing water discharged from a toilet seat with a warm-water shower or urine of the user from splashing out from a gap between the toilet basin and a seat part without providing a water guard.例文帳に追加
着座したまま大便器に対して排泄行為を行うことが可能な車いすであって、水跳ねガードを設けずに、大便器と座面部との隙間から、温水洗浄便座の吐水や使用者の尿などが外部に出ないことを可能にする車いすを提供すること。 - 特許庁
Because the propeller 42 is provided at the downstream side from the jetting plate 3 to avoid the upstream side of the jetting plate 3, where the flowing water is easily retarded, and the intermittently flowing water by the propeller 42 is discharged as it is without being weakened, the intermittent shower water is strongly jetted.例文帳に追加
流水が停滞しやすい噴水板3の上流側を避け、噴水板3の下流側にプロペラ42を設けており、プロペラ42で断続した流水を弱めることなくそのまま放出するから、断続的なシャワー水を力強く噴出させることができる。 - 特許庁
Thereby, the plate holes to discharge the gas can be provided without being restricted by the positions of the gas discharge holes of the shower head, variations in the flow of a reaction gas supplied is suppressed, and film uniformity on the substrate to be processed can be secured.例文帳に追加
それにより、シャワーヘッドのガス吐出孔位置に制限されること無く、ガスを吐出するプレート孔を設けることができ、供給される反応ガス流のばらつきを抑制し、被処理基板上での膜均一性を確保し得る気相成長装置を提供することができる。 - 特許庁
To provide a human-body washing device, used particularly to wash a human body like a shower, a hot-water flushing closet seat, etc., and having amenity and excellent detergency in spite of water saving and a reduction in electric power for heating washing water.例文帳に追加
本発明は、例えばシャワーや温水洗浄便座等の特に人体の洗浄を行う人体洗浄装置において、節水および洗浄水を加熱する電力を低減しつつも、快適で洗浄力に優れた人体洗浄装置を提供することを技術課題とするものである。 - 特許庁
After the ultrasonic washing while cooling the washing liquid in the immersion washing chamber 610 ends, the liquid crystal panels 1 are transferred as they are into a process chamber 630 where the liquid crystal panels are subjected to shower washing and steam washing, following which the process chamber 630 is partitioned by a work base 620 and vacuum drying is executed there.例文帳に追加
この浸漬洗浄室610で、洗浄液を冷却しながらの超音波洗浄を終えた後は、そのまま処理室630に液晶パネル1に移し、そこでシャワー洗浄および蒸気洗浄を行った後、処理室630をワーク台620で仕切り、そこで真空乾燥を行う。 - 特許庁
The cleaning apparatus S has a circulation passage for the cleaning solution formed with pipes 2a and 2c connecting the cleaning vessel 1 with the reservoir tank 2, and work W is immersion-cleaned by introducing the work W into the cleaning vessel 1 and showering the cleaning solution on the work W from a shower head 8.例文帳に追加
洗浄装置Sは、洗浄槽1とリザーバタンク2を接続する配管2a、2cによって洗浄液の循環流路を形成しており、洗浄槽1にワークWを導入してシャワーヘッド8から洗浄液を導入することにより、ワークWに浸漬洗浄を行なう。 - 特許庁
A plasma processor 1 has a chamber 2 storing a substrate G, a susceptor 4 which is installed in the chamber 2 and on which the substrate G is placed, a shower head 11 supplying processing gas into the chamber 2, and a plasma generation means 25 generating the plasma of processing gas into the chamber 2.例文帳に追加
プラズマ処理装置1は、基板Gを収容するチャンバー2と、前記チャンバー2内に設けられ、基板Gが載置されるサセプタ4と、前記チャンバー2内に処理ガスを供給するシャワーヘッド11と、前記チャンバー2内に前記処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成手段25とを具備する。 - 特許庁
Electrolytic water (acidic water or alkaline water) which is generated by an electrolytic water generator 15 and housed in a tank 10 is sucked by a pump, pressurized, and supplied to a shower nozzle 22 having a lever 22a for effecting ON-OFF control of ejection through a discharge pipe 24.例文帳に追加
電解水生成機15により生成されてタンク10内に収容された電解水(酸性水またはアルカリ性水)は、ポンプ20により吸入され加圧され、吐出管24を介して、噴出を開閉制御するレバー22aを有するシャワーノズル22に供給される。 - 特許庁
The gas introduction pipes 12, 22 and 23 are provided with needle valves 12a, 22a and 23a respectively which adjust a flow rate of the material gas G1 passing through them so as to equalize the amounts of the gases introduced from the shower heads 15a, 24a and 27a into the chamber 1, and uniformize the concentration distribution of the material gas in the chamber 1.例文帳に追加
ガス導入管12,22,23を通る材料ガスG1の流量を、それぞれニードルバルブ12a,22a,23aで調節することにより、シャワーヘッド15a,24a,27aからチャンバー1内へ導入する量を等しくし、チャンバ1内の材料ガスの濃度分布を均一化する。 - 特許庁
A shower head 9 is provided, in a reactive furnace 8 of an MOCVD device, which comprises a plurality of jetting ports for supplying at a constant density, organic metal gas to the surface of a substrate 10 and a plurality of exhaust ports for supplying at a constant density, oxidizing gas.例文帳に追加
MOCVD装置の反応炉8内に、基板10の表面に対して有機金属ガスを均一な密度で供給するための複数の噴出孔と、酸化性ガスを均一な密度で供給するための複数の噴出孔とを備えたシャワーヘッド9を設ける。 - 特許庁
To provide a cap with an intermittent screw which prevents intrusion of water drop in the cap during shower cooling, enables easy removal and dry of intrusion water drop, is easily used since opening and closing torque is relatively low, hardly loosens during delivery and storage and can reduce an amount of a resin.例文帳に追加
シャワー冷却時のキャップ内への水滴の混入を防ぎ、混入した水滴を排除し易く又は乾燥し易く、開閉トルクが比較的に低く使用し易く、流通や保存中に緩みにくく、また、樹脂量を削減可能な断続ネジ付キャップを提供する。 - 特許庁
To provide a shower head used for a CECVD system by which, when vapor-depositing a metallic thin film by a CVD method by chemical treatment with a catalyst, chemical treatment is uniformly performed, and the vapor deposition rate, texture, adhesive properties or the like of the metallic thin film can be improved.例文帳に追加
触媒などの化学的処理によってCVD法で金属薄膜を蒸着する際、化学的処理を均一に行えるようにして、金属薄膜の蒸着速度、質感、粘着特性などを改善することができる、CECVD装備に用いられるシャワーヘッドを提供すること。 - 特許庁
Since the passage sectional area of the bottom wall part 12a is small in comparison with the shower sink 12 of square cross section or circular cross section, even if the flow of wash water is reduced to economize water, the flow rate of wash water flowing at the bottom wall part 12a is raised to effectively wash away the garbage.例文帳に追加
四角形断面や円形断面を有するシャワーシンク12に比べて底壁部12aの流路断面積が小さくなるので、洗浄水の流量を減らして節水を図っても、底壁部12aを流れる洗浄水の流速を高めて残菜を効果的に流し去ることができる。 - 特許庁
An upper space generated in a body case 3 or auxiliary case 4 side can be arranged with an air blowing nozzle capable of blowing air to a head or a shoulder of a person 8 coming into a room through a door in an air shower indoor space 11, and the dust removal efficiency is enhanced.例文帳に追加
本体ケース3又は補助ケース4側に生まれた上部スペースには、エアシャワー室内空間11にドアを通じて入室した人8の頭部又は肩部へのエア吹き付けを可能とするエア吹き付け用のノズルを配設することができ、除塵効率を向上させることができる。 - 特許庁
To provide a shower washing device for machinery parts, with which a whole of the device including a robot is not required to be stored in a water-proof chamber and further since the robot itself does not need to have dust and water proof specifications, the labor and cost for installing water proof facilities can be eliminated.例文帳に追加
ロボットを含めた装置全体を防水室内に収める必要がなく、且つ、ロボット自体を高度の防塵防水仕様とする必要がないため、これら防水手段配備のための手間及びコストを削減できる機械部品のシャワー洗浄装置を提供することを課題する。 - 特許庁
To set the press-connection force of both plates to a proper level without relying upon the assembly error while preventing friction of a fixing member and a ceiling plate which fix them, in a structure for supplying gas in the form of a shower to the processing atmosphere constituted by laminating a base plate on the ceiling plate.例文帳に追加
天板にベース板を積層してなり、ガスを処理雰囲気にシャワー状に供給するための構造体において、両板の圧着力を組み立て誤差に依存せずに適正な大きさに設定でき、また両者を固定する固定部材と天板との擦れを防止すること。 - 特許庁
To provide a vapor phase deposition apparatus and a vapor deposition method by which the gas concentration distribution on the surface of a substrate to be treated in a growth chamber can be uniformized and the thickness of a deposition film and the compositional ratio can be improved when a raw material gas is introduced from a peripheral part of a shower head.例文帳に追加
原料ガスをシャワーヘッドの周辺部から導入した場合に、成長室の被処理基板面上のガス濃度分布を均一化することができ、成膜厚や組成比を向上させることができる気相成長装置及び気相成長方法を提供する。 - 特許庁
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