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generating surfaceの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 3614件
This electrode tool 61 for the electrochemical machining for forming the dynamic pressure generating groove on the surface of the workpiece comprising a dynamic pressure bearing is provided with the electrode and an insulating plate 63.例文帳に追加
電解加工用電極工具61は、動圧軸受を構成する被加工物の表面に動圧発生用溝を形成するためのものであって、電極62と絶縁プレート63とを備えている。 - 特許庁
The polyolefinic resin film is constituted by laminating a polyolefinic resin layer containing a tackifier resin on at least the single surface of a synthetic resin layer having high frequency heat generating properties.例文帳に追加
高周波発熱性を有する合成樹脂層の少なくとも片面に粘着性付与樹脂を含有するポリオレフィン系樹脂層が積層されてなることを特徴とするポリオレフィン系樹脂フィルム。 - 特許庁
The hydrogen generating material comprises aluminum (A), an aluminum compound (B) having 0.3-200 m^2/g specific surface area and water (C) of pH4-10 or alcohol (C) of ≤2 carbon atoms.例文帳に追加
アルミニウム(A)と、比表面積が0.3〜200m^2/gのアルミニウム化合物(B)と、pHが4〜10の水または炭素原子数2以下のアルコール(C)とからなることを特徴とする水素発生材料。 - 特許庁
To ensure outstanding surface properties and weatherability and lightweight properties and high mechanical strengths without generating poisonous gas upon incineration.例文帳に追加
本発明は、表面性、耐候性等が優れ、軽量で機械的強度が大きく、焼却しても有毒ガスが発生しない筒状体及びその製造方法並びに該筒状体を用いた立看板を提供する。 - 特許庁
To provide a method for providing a membrane and an electrode joint body each having a smooth joint surface without generating a crease on an electrolyte membrane, in a method for forming a catalyst layer on an electrolyte membrane by using catalyst ink.例文帳に追加
電解質膜上に、触媒インクを用いて触媒層を形成する方法において、電解質膜に皺が発生せず接合面が平滑な膜・電極接合体を得る方法の提供。 - 特許庁
A plasmon sensor 10 comprises a sensor plate 12 having a thin film 11 for exciting a surface plasmon including a conductivity, and an electrode 20 for generating an electric field between the electrode and the thin film 11.例文帳に追加
本発明のプラズモンセンサ10は、導電性を有する表面プラズモン励起用の薄膜11が設けられたセンサプレート12と、薄膜11との間で電界を発生させる電極20とを備えている。 - 特許庁
To provide a plunger with a gasket for a syringe not generating a part of low liquid tightness between the gasket for the syringe and a syringe outer cylinder inner surface even when the plunger is tilted, and to provide the syringe and a prefilled syringe.例文帳に追加
プランジャーを傾けてもシリンジ用ガスケットとシリンジ外筒内面との間に液密性の低い部分が発生しないシリンジ用ガスケット付きプランジャー、シリンジ及びプレフィルドシリンジを提供する。 - 特許庁
This corrosion sensor 1 has two kinds of metal electrodes 2, 3 having each mutually different kind of component, composition, surface processing state or the like, and generating a potential difference by interposition of an electrolyte.例文帳に追加
この腐食センサ1は、成分、組成、または表面処理状態等の種類が互いに異なっていて電解質の介在により電位差を生じる2種類の金属電極2,3を有する。 - 特許庁
To provide a method of forming an inorganic film with thickness of 100 μm or more, as an insulation film of an ozone generating electrode, on surface of an electrode made of aluminum or aluminum alloy.例文帳に追加
オゾン発生電極の絶縁皮膜として、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる電極板上に、100μm以上の膜厚の無機質皮膜を得ることができる方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a melamine resin molding material containing no pulp for producing tableware responding to a microwave oven and molded to the tableware generating no discoloration on the surface when heated in the microwave oven.例文帳に追加
電子レンジによって加熱しても表面にヤケ(変色)が生じない食器を成形することができる電子レンジ対応食器製造用パルプ不含有メラミン樹脂成形材料を提供する。 - 特許庁
An alignment film having alignment of liquid crystal molecules is treated with a single or a plurality of plasma generating devices, so that the liquid crystal molecules can be aligned at a pretilt angle on the film surface.例文帳に追加
液晶分子配列を有する配向膜表面に、該配向膜を、単一または複数のプラズマ生成装置により処理することで、液晶分子がプレチルト角を有する配列となることが可能となる。 - 特許庁
To raise a power generating efficiency by enabling it to utilize an interface with catalyst particle effectively by an electrolyte film of polymeric materials formed in the carbon particle front surface in a catalyst slurry for fuel cells.例文帳に追加
燃料電池用触媒スラリーにおいて、カーボン粒子表面に形成される高分子材料の電解質膜が触媒粒子との界面を有効に活用できるようにして、発電効率を高める。 - 特許庁
To reduce a loss caused by reflection of light generating in a scintillator element at an emitting surface of the scintillator element, increase incident light to a semiconductor photodetection element, and improve an output.例文帳に追加
シンチレーター素子内で発光した光がシンチレーター素子の出射光面での反射することにより生ずる損失を低減し、半導体光検出素子への入射光を増加させ出力を向上させる。 - 特許庁
The cleaning method of a pBN crucible (1), for generating a compound semiconductor crystal, features cleaning at least the inside surface of the pBN crucible in an ozone (5) treatment.例文帳に追加
化合物半導体結晶育成用のpBN坩堝(1)の清浄化方法において、そのpBN坩堝の少なくとも内面をオゾン(5)による処理によって清浄化することを特徴としている。 - 特許庁
Nitride ion gas 18 generated by ionizing plasma is radiated to the surface of second nitride semiconductor layer 14 with a cathode for generating plasma fully away from a substrate to be processed.例文帳に追加
第2の窒化物半導体層14の表面に、プラズマを電離することにより生成した窒素イオンガス18を、プラズマを発生させる陰極と被処理基板の距離を十分離して照射する。 - 特許庁
When using a negative electrode material including a specified range of weight-average mesopore/macropore specific surface area, a cell is expanded by generating a cracked gas of an electrolyte constituent in pre-doping a lithium ion.例文帳に追加
特定範囲の重量平均メソ・マクロ孔比表面積を有する負極材料用いる場合、リチウムイオンのプレドープに際して、電解液成分の分解ガスの発生に起因するセルの膨張がみられる。 - 特許庁
Stages from the conveyance of the steel product to the discharging onto a braking plate are smoothly performed without generating sliding friction with a fixed surface by mounting ascendable and descendable rotary disks to the run in table.例文帳に追加
昇降可能な回転円盤をランインテーブルに装着することにより、鋼材の搬送からブレーキングプレート上への払い出しまでが固定面との滑り摩擦を生じることなくスムーズに行われる。 - 特許庁
Polarization processing is applied at a predetermined charge voltage to an insulating film formed on the surface of the electrode plate main body 18A of a back electrode plate 18, thereby generating an electret layer 18B.例文帳に追加
背面電極板18の電極板本体18Aの表面に形成された絶縁膜に対して、所定のチャージ電圧で分極処理を施すことにより、エレクトレット層18Bを生成する。 - 特許庁
To provide a method for producing a silicon wafer for producing a semiconductor device in which the silicon wafer can be heat treated in hydrogen atmosphere without generating any defect on the surface thereof.例文帳に追加
シリコンウエハを水素雰囲気中で熱処理するにあたってその表面に不良を発生させずに半導体装置製造用のシリコンウエハを製造することができるような方法を提供する。 - 特許庁
Magnetic force adjusting pieces 29 consisting of a magnetic substance material with a different board thickness are interposed in positions corresponding to each hierarchy of the stacked plates in a state adsorbed into the magnetic force generating surface 21.例文帳に追加
板厚の異なる磁性体材料からなる磁力調整片29が重ね板材の各階層毎に対応する位置にそれぞれ、磁力発生面21に吸着された状態で介設される。 - 特許庁
A boss is formed to the holder 94 and has height generating a gap D between the holder 94 and the lower part 72B in such a state that the end surface of the boss comes into contact with the lower part 72B.例文帳に追加
このホルダー94にはボス94Aが形成されており、ボス94Aの端面が下部72Bに当接した状態でホルダー94と下部72Bとの間に間隙Dが生じる高さとなっている。 - 特許庁
As a result of it, beaten egg comes up on the upper surface of hot water by gas generating from the leavening agent to form a puffy mass of egg on hot water or soup without sticking to the bottom of a pot.例文帳に追加
これによって膨張剤から発生するガスにより熱水上面部に溶き卵が浮上し、鍋底に付着することなく、ふんわりとした一個の卵塊を熱水又はスープ上で形成させる。 - 特許庁
To provide a disk accommodating body and a disk accommodating case capable of reliably preventing any trouble attributable to deposition of particles on a surface of a disk by preventing the particles from generating.例文帳に追加
パーティクルの発生を防止することにより、パーティクルがディスク表面に付着することに起因する不具合の発生を確実に防止可能なディスク収納体およびディスク収納ケースを提供する。 - 特許庁
In the next, there is prepared a spiral-shaped magnet 4, of which the internal peripheral surface is subjected to multipolar magnetization, with the number of poles corresponding to the number of the yokes 2, and the power-generating coil 3 is inserted into core of the spiral shaped magnet 4 to rotate the magnet.例文帳に追加
次に、内周面にヨーク2の本数と同じ磁極数に多極着磁された螺旋状の磁石4を用意し、その軸に発電コイル3を通し、その螺旋状の磁石4を回す。 - 特許庁
To obtain a grease composition and to provide a rolling bearing preventing the surface of lubrication from generating friction and attrition on causing a high loading or a sliding movement condition and having an excellent durability for a long period of time.例文帳に追加
高荷重または、すべり運動が生じる状態での潤滑面での摩擦摩耗を防止し、長期耐久性に優れたグリース組成物および転がり軸受を提供することである。 - 特許庁
One or plural grooves 30 for generating the bite-n by the partial plastic deformation of the inner peripheral surface side of the inner race 10 in the press in state are formed on the circumference 30.例文帳に追加
スリーブ2の外周面に、前記圧入状態で内輪10の内周面側を部分的に塑性変形させて食い込みを生じさせる溝部30が円周上に1つまたは複数形成されている。 - 特許庁
To obtain a high-performance and a long life fluid dynamic bearing which has a dynamic pressure generating groove a sufficient depth and a high precision and besides raises no pressure leakage by sealing residual air holes on a bearing surface and to provide its manufacturing method.例文帳に追加
動圧発生溝を十分な深さに精度良く形成し、かつ軸受面に残留空孔を封孔することで高性能長寿命な流体軸受及びその製造方法が得る。 - 特許庁
To provide a method for estimating shrinkage cracking in a casting where the part at which the risk of generating shrinkage cracking is high in the surface of a casting can be specified with uniform and objective standards.例文帳に追加
鋳造品の表面においてひけ割れが生じる可能性が高い部位を、画一的で客観的な基準で特定することができる鋳造品のひけ割れ推定方法等を提供すること。 - 特許庁
To dispense with any tension setting (i), to eliminate the problem of disengagement and deformation (ii), to resist a side surface load without generating wrong alignment (iii), and to obtain high reliability and minimum maintenance management.例文帳に追加
(i)如何なる張力設定も必要とせず、(ii)係合解除及び変形の問題のがなく、(iii)整列不正を起こさずに側面荷重に耐え、(iv)高い信頼性及び最低限の保守管理を実現する。 - 特許庁
The electrophotographic photoreceptor is obtained by sequentially stacking at least a charge generating layer and a charge transport layer formed using a halogen-free solvent on a conductive support, wherein the charge generating layer contains a charge generating material having a smaller average particle diameter than the surface roughness of the conductive support and two or more polyvinyl acetal resins different from each other in molecular weight.例文帳に追加
導電性支持体上に、少なくとも電荷発生層と非ハロゲン系溶媒を用いて形成される電荷輸送層を順に積層してなる電子写真感光体であって、該電荷発生層中に導電性支持体の表面粗さより小さい平均粒径を有する電荷発生材料、及び分子量の異なる2種以上のポリビニルアセタール樹脂を含むことを特徴とする電子写真感光体。 - 特許庁
A permanent magnet 27 is embedded in a part of the plasma generating chamber 21, a zone 28 for partial electronic cyclotron resonance is formed by the magnetic field of the permanent magnet 27 produced in the plasma generating chamber 21 and microwave power Po radiated into the plasma generating chamber 21, and surface wave plasma 29 is ignited with the zone 28 as seed plasma at the initial stage of supplying the microwave power.例文帳に追加
プラズマ発生室21の一部に永久磁石27を埋設し、プラズマ発生室21内に発生する永久磁石27の磁界とプラズマ発生室21に放射されるマイクロ波電力Poとにより局部的な電子サイクロトロン共鳴のゾ−ン28を生成し、マイクロ波電力の供給初期において、そのゾ−ン28を種プラズマとして表面波プラズマ29を点火させる構成としてある。 - 特許庁
The foams are obtained by foaming an unfoamed synthetic resin containing moisture absorption and release, water absorption-heat generating resin powders or moisture absorption and release, water absorption-heat generating resin fibers, and at least part of the moisture absorption and release, water absorption-heat generating resin powders is exposed to the outer part of the resin skeleton (the surface of a cell part) which forms cells.例文帳に追加
本発明に係る発泡体は、吸放湿吸水発熱性樹脂粉末または吸放湿吸水発熱性繊維を含有する未発泡合成樹脂を発泡させてなる連続気泡発泡体または半連続気泡を有する発泡体であって、前記吸放湿吸水発熱性樹脂粉末の少なくとも一部が、気泡を形成している樹脂骨格外部(気泡部表面)に露出していることを特徴とする発泡体である。 - 特許庁
To provide a plasma surface treatment device and method therefor that suppress plasma generation and abnormal electrical discharge except between a pair of electrodes, prevent electrical power loss, and allow uniform plasma surface treatment in a large area when generating plasma and applying it to plasma surface treatment in a VHF band for a substrate having a large area.例文帳に追加
大面積基板を対象にしたVHF帯域におけるプラズマの生成及びそのプラズマ表面処理への応用において、一対の電極間以外でのプラズマ発生及び異常放電を抑制し、電力損失の防止及び大面積・均一のプラズマ表面処理化が可能であるプラズマ表面処理装置及びプラズマ表面処理方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a magnesium alloy molding material subjected to surface treatment which can ground high-frequency current generating electromagnetic noise because of its high electric conductivity, has excellent adhesion and designing properties, can make cavities and surface folds caused by a diecasting method inconspicious, and in which surface treatment can be performed without using a poisonous cyanide, and a production method therefor.例文帳に追加
電磁ノイズを発生する高周波電流をアースすることができるように導電性がよく、密着性、意匠性に優れ、ダイカスト法で生じるような巣や湯じわを目立たないようにでき、有毒なシアン化物を使用しないで行なえるような表面処理を施したマグネシウム合金成形材及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a grinding wheel and method for polishing a wafer substrate with a film having surface unevenness of diamond as a high hardness, brittle material precipitated by using a mechanical polishing method uniformly over the whole substrate surface at a high speed with such a low load as not causing the diamond film to exfoliate from the substrate so that a high quality is established without generating flaw at the surface.例文帳に追加
ウェハ基板上に析出させた高硬度で脆性材料であるダイヤモンドの膜の凹凸表面を、機械研磨法を用いて、ダイヤモンド膜が基板から剥離しない程度に低い負荷で、表面に欠陥を発生させることなく高品質に、高速に、基板全面を均一に研磨する研磨砥石とその方法を提供することにある。 - 特許庁
The airflow generating device 10 includes: a dielectric 20 made of a solid; a first electrode 30 disposed on one side surface 20a of the dielectric 20; a second electrode 31 disposed oppositely to the first electrode 30 in the vicinity of the other side surface 20b of the dielectric 20; and an ozone decomposing layer 40 which is formed on the one side surface 20a of the dielectric 20.例文帳に追加
気流発生装置10は、固体からなる誘電体20と、誘電体20の一方の表面20aに設けられた第1の電極30と、誘電体20の他方の表面20b近傍に、第1の電極30に対設された第2の電極31と、誘電体20の一方の表面20a上に形成されたオゾン分解層40とを備える。 - 特許庁
To provide a surface treatment method of a resin sheet to form concave and convex shapes in multiple directions, a direction of feeding the resin sheet (one direction) and a breadth direction of the resin sheet, on the surface of the resin sheet, and properly bonds a material to be laminated, such as a thermoplastic resin, on the surface of the resin sheet without generating orientation in adhesion between them.例文帳に追加
樹脂シートの送り方向(一方向)と幅方向の多方向に凹凸を付けることができ、樹脂シートの表面に積層する熱可塑性樹脂などの積層材料との接着力に方向性を生じさせることなく、好適に積層材料を接着することを可能にする樹脂シートの表面処理方法を提供する。 - 特許庁
The reader 1 comprises: a housing 2 whose a bottom surface 3A is fixed in contact with a predetermined installation surface F; an antenna 13 provided at a distance h from the bottom surface, that transmits and receives information by wireless communication with the radio tag; and a high frequency circuit 131 including a carrier wave generation part 132 for generating a carrier wave of a frequency fc.例文帳に追加
リーダ1は、底面3Aを所定の設置面Fに接して定置される筐体2と、底面から距離hだけ離して設けられ、無線タグに対し、無線通信により情報送受信を行うためのアンテナ13と、周波数fcの搬送波を生成する搬送波発生部132を含む高周波回路131とを有する。 - 特許庁
The photoelectric surface forming evaporation resource comprises a heating element 17a for generating a heat and a Sb layer 17b evaporated by the heat of the heating element 17a and forming a photoelectric surface, wherein at least a partially prescribed area of a surface of the heating element 17a is formed by a set of curves and the Sb layer 17b is coated on the prescribed area.例文帳に追加
熱を発生する加熱体17aと、この加熱体17aの熱で蒸発し光電面を形成するSb層17bとを具備した光電面形成用蒸発源において、加熱体17a表面の少なくとも一部の所定領域が曲線の集合によって形成され、かつ、その所定領域にSb層17bが被着している。 - 特許庁
This carbon nanotube is obtained by chemically treating the surface of silicon carbide, removing silicon atoms from the treated silicon carbide by heating it in an atmosphere including a slight amount of oxygen at a temperature at which silicon atoms are removed from the surface of the silicon carbide by its decomposition, and generating and growing the carbon nanotube from the surface of silicon carbide to its inside.例文帳に追加
炭化珪素の表面を化学処理し、処理後の炭化珪素を微量酸素の含有する雰囲気において該炭化珪素が分解して該炭化珪素の表面から珪素原子が失われる温度に加熱することにより、該炭化珪素から珪素原子を除去して、該炭化珪素の表面から内部へ生成成長させてカーボンナノチューブを得る。 - 特許庁
To provide a polishing liquid composition which can make a polishing speed faster without generating surface defects on a polished body surface, a polishing method using the polishing liquid composition, and an oxide single- crystal substrate which has superior surface quality for a precise polishing process for the oxide single-crystal substrate of lithium tantalate or lithium niobate.例文帳に追加
タンタル酸リチウムあるいはニオブ酸リチウム等の酸化物単結晶基板の精密研磨加工において、被研磨物表面に表面欠陥を生じさせること無く、研磨速度を向上し得る研磨液組成物及び該研磨液組成物を用いた研磨方法、表面品質に優れた酸化物単結晶基板を提供すること。 - 特許庁
The ultrasonic motor includes a stator 410 generating elliptic oscillation to be formed with a recessed part 412 in the end face, at least one external peripheral surface side rotor 440 brought into contact with an external peripheral surface of this stator 410 to be rotated, and at least one internal peripheral side rotor 420 brought into contact with an internal peripheral surface in the recessed part 412 of this stator 410 to be rotated.例文帳に追加
超音波モータは、楕円振動が発生し端面に凹部412が形成されるステータ410と、このステータ410の外周面に接触して回転する少なくとも一つの外周側ロータ440と、このステータ410の前記凹部412における内周面に接触して回転する少なくとも一つの内周側ロータ420と、を含む。 - 特許庁
To provide a manufacturing method and a manufacturing device of a high-quality glass fiber reinforced rigid polyurethane foam by making a surface of a glass fiber mat a surface with high smoothness by evenly pressing it without generating unevenness on the surface as much as possible while contacting the moving glass fiber mat with little resistance, and by making it possible to supply a foaming raw liquid composition.例文帳に追加
移動するガラス繊維マットの表面に小さい抵抗で接触しつつ、その表面に可能な限り凹凸を生じさせることなく均一に押圧して平滑度の高い表面にし、発泡原液組成物を供給可能にし、高品質なガラス繊維強化硬質ポリウレタンフォームの製造方法とその製造装置を提供する。 - 特許庁
The hydrogen generating material has a particle structure such as a particle structure having the water-releasing material 2 included inside the metal hydride 1, a structure having a layer of the water-releasing material 2 on the surface of the metal hydride 1, or a structure having the water-releasing material 2 on the surface of a metal oxide covering the surface of the metal hydride 1.例文帳に追加
水素発生材料の粒子構造として、金属水素化物1の内部に水放出物2が含まれた粒子構造、金属水素化物1の表層に水放出物2の層が形成された構造、或いは、金属水素化物1の表面を覆う金属酸化物3の表面に、水放出物2が形成された構造を有する。 - 特許庁
A decision processing device 20 estimates the state of the road surface on which the vehicle travels based on the feature vector generated by the feature vector generating device 16 and the feature vector corresponding to the road surface states stored corresponding to each of a plurality of road surface states stored in a decision map memory 22 and the generation source of the tire generation sound.例文帳に追加
判定処理器20は、特徴ベクトル生成器16で生成された特徴ベクトルと、判定マップメモリ22に記憶された・複数の路面状態の各々毎に対応して記憶された路面状態及びタイヤ発生音の発生源に対応する特徴ベクトルと、に基づいて、車両が走行する路面の状態を推定する。 - 特許庁
In manufacturing equipment for performing surface treatment liquid immersion treatment in a stage of a gel film 28, a pair of the drain rolls 26 for pressing the gel film 28 from both surfaces thereof are formed as taper rolls and the diameter of each of the rolls is set to ϕ120 or more to provide an apparatus for effectively treating the surface of the film with a surface treatment liquid without generating coating irregularity.例文帳に追加
表面処理液浸漬処理をゲルフィルム28の段階において行う製造設備において,ゲルフィルム28を表裏両面側から加圧する一対の液切りロール26をテーパロールにし、かつロール径をφ120以上にする、表面処理液を塗工ムラなく効果的にフィルム表面に処理する装置を提供する。 - 特許庁
The snow-melting device includes a heating means equipped with a coil sending a high frequency current, a surface plate generating heat by the heating means, a reinforcing section protecting the heating means and supporting the surface plate and a heating means holding section holding the heating means, and when power is connected to the heating means in the case of snowing, snow-melting calorie is directly supplied to the upper surface plate.例文帳に追加
高周波電流を流すコイルを備えた加熱手段と、加熱手段によって発熱する表面プレートと、加熱手段を保護し、表面プレートを支持する補強部と、加熱手段を保持する加熱手段保持部を有し、降雪時に加熱手段に通電すれば、誘導加熱により、上部の表面プレートに直接、融雪用熱量が供給される。 - 特許庁
The apparatus includes an ultrasonic vibration generating device that makes contact with an outer surface of a structure and imparts ultrasonic vibration to the structure; and a surface temperature detecting means for, by the use of an infrared thermographic device and measuring changes in the temperature on a surface to be measured inside the structure.例文帳に追加
構造物の外表面に接触させることにより、当該構造物に超音波振動を与える超音波振動発生装置と、構造物中の測定対象面に発生する温度変化を、赤外線サーモグラフィ装置で計測する表面温度検出手段とを備えていることを特徴とする赤外線亀裂検出装置。 - 特許庁
Since a bubble feeding means 33 so has bubble generating components that bubbles overlap partly with each other in the direction of the surface of a substrate W, there can be eliminated any portion in the direction of the surface of the substrate W wherewith no bubble of an ozone gas is contacted, and the bubbles of the ozone gas can be contacted uniformly with the substrate W in the direction of its surface.例文帳に追加
気泡供給手段33は気泡が基板W面方向において一部重複するように気泡発生部品35を備えているので、基板Wの面方向にてオゾンガスの気泡が接触しない部分を無くすことができ、基板Wの面方向にて均一にオゾンガスの気泡を接触させることができる。 - 特許庁
To provide a wafer surface inspection method capable of enhancing detection precision of a defective part such as a superfine crack, chip, flaw on a wafer surface, and detection precision of position coordinates of a foreign matter such as dust thereon, without generating a sacrifice by a through-put in wafer surface inspection, and capable of enhancing detection precision of coordinates of a wafer edge, and a device therefor.例文帳に追加
ウエハ表面検査のスループットによる犠牲が生じることなく、ウエハ表面の超微細なクラック,チップ,キズ等の欠陥部の検出精度やゴミ等の異物の位置座標の検出精度を向上させることができると同時に、ウエハエッジの座標の検出精度を向上させることができるウエハ表面検査方法及びその装置を提供すること。 - 特許庁
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