「integration processing」に関連した英語例文の一覧と使い方(9ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a circuit method that realizes high-speed encoding and decoding processing by means of large scale circuit integration with respect to proposals of a higher dimensional torus knot code that can correct errors at a deteriorated error rate of 10-2 to 10-1 whose realization having conventionally been difficult.例文帳に追加

従来実現が困難であった、10^-2〜10^-1の劣悪な誤り率において、誤りの訂正を可能とする高次元トーラス結び目符号を提案してきているが、本発明はLSI化により、高速に符号化処理、復号化処理を実現する回路方式を提供することにある。 - 特許庁

In a step S503, a significant dot value in a reference window including a notice pixel in a half tone image after the half tone processing is integrated and a conversion table is referred to on the basis of the integration value to restore a multi-valued pixel value corresponding to the notice pixel.例文帳に追加

ステップＳ５０３で、中間調処理後のハーフトーン画像において、着目画素を包含する参照ウィンドウ内における有意ドット値を積算し、該積算値に基づいて変換テーブルを参照することによって、該着目画素に対応する多値の画素値を復元する。 - 特許庁

A DPRAM 94 writes as a mass of data the individual data recorded by the FF circuits 91b, 92b with the first AD clock, splits the mass of data having been written into the individual data and reads the individual data with a logic clock dividing the reading into two times, and outputs them to an integration processing portion 98.例文帳に追加

ＤＰＲＡＭ９４は、第１ＡＤクロックでＦＦ回路９１ｂ、９２ｂが記録した個々のデータを一塊のデータとして書込み、書込み済みの一塊のデータを個々のデータに分割して２回に分けてロジッククロックで個々のデータを読込んで積算処理部９８に出力する。 - 特許庁

The vibration of the optical system is detected as an angular velocity signal by an angular velocity sensor 10, the angular velocity sensor is integrated by an integration processing section 20 of a CPU 18, and thereby, the angular velocity signal indicating an amount of displacement of a vibrationproof lens 30 required for negating the image blur is calculated.例文帳に追加

光学系の振動を角速度センサ１０によって角速度信号として検出し、その角速度信号をＣＰＵ１８の積分処理部２０によって積分処理することによって像振れを打ち消すために必要な防振レンズ３０の変位量を示す角度信号を算出する。 - 特許庁

In this case, the unification processing of the operation items of the "sheet size" which are too large to be displayed due to the reduction of the display size of the operation window 100 and the operation items of "sheet selection" displayed in the operation window 100 even after reduction is carried out, and the operation window 100 after integration is formed.例文帳に追加

そこで、操作窓１００の表示サイズの縮小によって表示しきれなくなる「用紙サイズ」の操作項目と、縮小後においても操作窓１００内に表示されている「用紙選択」の操作項目が合体処理され、統合後の操作窓１００が形成される。 - 特許庁

A board processing device 11 which performs prescribed processing to a board 15 by performing two or more time-series steps has a dividing means for dividing data collected at each step based on a prescribed condition; an integration means which calculates a value obtained by integrating the divided data; and a comparing means which compares the integrated value with a previously set reference value.例文帳に追加

時系列的な複数のステップを経ることにより基板１５に所定の処理を施す基板処理装置１１であって、各ステップにおいて収集したデータを所定の条件に基づいて分割する分割手段と、分割したデータを積分した値を算出する積分手段と、積分値と予め設定した基準値とを比較する比較手段と、を有する。 - 特許庁

The contents of handwritten information written down on a code sheet 11 by the user and handwriting time related to time when the handwriting is performed are associated and are stored in a paper information processing server 30, and information provided from various terminals such as video information processor 5 and provision time related to time when the information is provided are associated and are stored in an integration processing server 50.例文帳に追加

ユーザがコード用紙１１に筆記した手書き情報の内容と手書きがなされた時刻に関する手書き時刻とを関連付けて紙情報処理サーバ３０にて格納し、映像情報処理装置５等の各種端末から提供される情報と、この情報が提供される時刻に関する提供時刻とを関連付けて統合処理サーバ５０にて格納する。 - 特許庁

The prescribed handwriting time stored in the paper information processing server 30 is specified by indicating a prescribed part of the handwritten code sheet 11 by an electronic pen 12, and the provision information related to the provision time is read from the integration processing server 50 by use of the specified prescribed handwriting time, and is display-outputted to a terminal such as a handwritten information acquisition terminal 2.例文帳に追加

手書きされたコード用紙１１の所定箇所を電子ペン１２で指示することにより、紙情報処理サーバ３０に格納された所定の手書き時刻を特定し、特定された所定の手書き時刻を用いて提供時刻に関連付けられた提供情報を統合処理サーバ５０から読み出し、手書き情報取得端末２などの端末に表示出力する。 - 特許庁

In a hybrid vehicle 11, when a shift position of a shift lever 45 is present in a parking position and when master cylinder pressure and a pedal stroke of a brake pedal 49 exceed preset prescribed values, pressing processing of a gear train in a power distribution integration mechanism 15 is executed by a motor 16, thereafter the motor 16 or an engine 12 is driven, and intake negative pressure generation processing is executed.例文帳に追加

ハイブリッド車両１１にて、シフトレバー４５のシフト位置がパーキング位置にあり、且つ、ブレーキペダル４９のペダルストローク及びマスタシリンダ圧が予め設定された所定値を超えたときに、モータ１６により動力分配統合機構１５における歯車列の押し当て処理を実行し、その後、モータ１６またはエンジン１２を駆動して吸気負圧生成処理を実行する。 - 特許庁

When a head CPU 19a decides the necessity of a flash light on the basis of a photometry value obtained by allowing an integration circuit 16a to carry out AE processing, the head CPU 19a controls the TG 18a to supply a flash start signal to the flash light control section 120b through the exclusive line 1A.例文帳に追加

ヘッドＣＰＵ１９ａが積算回路１６ａにＡＥ処理を行なわせて得た測光値により閃光発光が必要であると判定した場合には、ＴＧ１８ａを制御してＴＧ１８ａからその専用線１Ａを通して閃光制御部１２０ｂに発光開始信号を供給させる。 - 特許庁

To avoid the influence of attenuation of output of an integration circuit caused due to discharge of a capacitor, in a combustion state detecting device wherein a signal processing circuit integrates an output value of a sensor corresponding to change speed of pressure in a combustion chamber with the capacitor and the pressure in the combustion chamber is obtained based thereon.例文帳に追加

信号処理回路が燃焼室内の圧力の変化速度に応じたセンサの出力値をコンデンサで積分し、これに基づいて燃焼室内の圧力を得る燃焼状態検出装置において、コンデンサの放電による積分回路の出力の減衰の影響を回避することである。 - 特許庁

To provide a method for producing a copolymer for semiconductor lithography, controlling a composition of a repeating unit containing a hydroxyl group in a low molecular weight region to improve shift pattern shape in a semiconductor lithography process which is a factor largely affecting a processing precision, an integration degree and yield.例文帳に追加

加工精度に大きく影響し、集積度やさらには歩留まりを左右する大きなファクターである、半導体リソグラフィー工程におけるレジストパターン形状を改善するために低分子領域における水酸基含有繰り返し単位の組成を制御した半導体リソグラフィー用共重合体の製造方法を提供する。 - 特許庁

Pseudo half-tone gradations are given corresponding to the decimal place data generated by processing a signal of n-bits as a result of a time-spatial integration of the lighted dot pattern by changing over the turned-on dot pattern of a different turned-on dot density at a display unit cycle.例文帳に追加

ｎビットの信号を処理することによりに発生する小数点以下のデータに対応して、点灯ドット密度の異なる点灯ドットパターンを表示単位周期で切り換えることにより、上記点灯ドットパターンの時空間的な積分結果として、上記小数点以下のデータに対応する擬似的な中間階調を与える。 - 特許庁

This three-dimensional image processing device inputted with three-dimensional information about the real object has a three-dimensional shape acquisition part, a surface attribute acquisition part, a three-dimensional data integration part and a control part, and performs segmentation to a surface attribute on an acquired texture map.例文帳に追加

実在物体の三次元情報を入力する三次元画像処理装置において、三次元形状取得部、表面属性取得部、三次元データ統合部、制御部を有し、取得されたテクスチャマップ上で表面属性に対するセグメンテーションを行うことを特徴とする三次元画像処理装置を提供する。 - 特許庁

In the imaging apparatus using an XY address scanning type imaging element which performs imaging in cycles 1/2n (n: a natural number) as long as cycles of light quantity variation of lighting, an integration processing section 102 integrates pixel values of pixels in each area obtained by dividing an image into a plurality of images, an integral value holding section 103 holds the integral value.例文帳に追加

照明の光量変動周期の１／２ｎ（ｎは自然数）の周期で撮像するXYアドレス走査型撮像素子を用いた撮像装置において、積分処理部１０２は、画像を複数に分割した各領域内の画素の画素値を積分し、積分知保持部１０３は、積分値を保持する。 - 特許庁

A collection part 21 collects information from a plurality of information providing servers 10 to 12 based on predetermined information collection conditions, an integration part 22 aggregates the collected information based on a predetermined judgment reference for aggregating the information, and a post-processing part 23 stores the aggregated information into a data base 24.例文帳に追加

収集部２１が所定の情報収集条件に基づいて複数の情報提供サーバ１０〜１２から情報を収集し、統合部２２が収集された情報を情報集約のための所定の判定基準に基づいて集約し、後処理部２３が集約された情報をデータベース２４に蓄積する。 - 特許庁

A control section 106 of an image reading apparatus 1 controls to make valid or invalid execution of printing omission detection processing for detecting the omission of printing based on an image, read by a reading unit 8, of a printing result printed on a document by a printing section 11, according to the number of integration output dots at the printing section 11.例文帳に追加

画像読取装置１の制御部１０６は、印字部１１により帳票に印字された印字結果の読取ユニット８での読取り画像に基づいて印字欠けを検知する印字欠け検知処理の実行を、印字部１１の積算出力ドット数に応じて、有効又は無効に制御する構成を特徴とする。 - 特許庁

An object beam number for starting segmenting processing is calculated from the curve radius R of the path, where this vehicle is traveling and recognition points which meet prescribed integration conditions among recognition points which have short distances in the vehicle width direction, on the basis of the beam number are integrated to obtain presegment data, thereby recognizing the vehicle.例文帳に追加

自車両の進行路のカーブ半径Ｒに基づいてセグメント化処理を開始する対象ビーム番号を算出し、該対象ビーム番号を基準に車幅方向の距離が近い認識点に対して、所定の一体化条件に合う点同士を一体化してプリセグメントデータとし、車両を認識させる。 - 特許庁

The band reservation information verification means 21 receives the band reservation integral value per time zone, acquires reservation available band information of an object communication processing unit from a band information storage section 31, compares the information with the existing reservation information so as to verify the appropriateness of band reservation and returns the result to the time zone band reservation information integration means 22.例文帳に追加

帯域予約情報検証手段２１は時間帯別の帯域予約積算値を受け取り、対象となる通信処理装置の予約可能な帯域情報を帯域情報記憶部３１から取得して比較し、帯域予約可否の検証を行い、その結果を時間帯別帯域予約情報積算手段２２に返す。 - 特許庁

The number of times of repetition of the integration averaging processing is restricted by a block period control part 6c so that a multiplication value between a transmission pulse generation period and the number of times of repetition satisfy a condition based on a distance resolution and vehicle speed, and even in an environment having many external noises, the noises are reduced without lowering the radar performance.例文帳に追加

積算平均処理の反復回数は、送信パルス発生周期と反復回数の乗算値が距離分解能と車速とに基づく条件を満足するようブロック周期制御部６ｃによって制限され、外来ノイズの多い環境下においても、レーダ性能を低下させることなくノイズを低減する。 - 特許庁

An object extraction processing part 12 detects and extracts object regions from a plurality of images selected from an image data group acquired by the camera(s) 2, and estimates the number of objects in a sample image by integration of load values calculated based on a visual volume calculated from the respective pixels of the extracted object region.例文帳に追加

物体抽出処理部１２は、カメラ２で取得された画像データ群から選択した複数の画像から被写体領域を検出して抽出し、この抽出された被写体領域の各画素から算出された視体積に基づき算出された荷重値の積算によって標本画像中の被写体数を推定する。 - 特許庁

The image-processing device 12 is provided with a means for discriminating the defect of the film 2 based on the density of the detected image, or the amount of density and the density change, and a means for discriminating the detect of the film, based on an integration value obtained by integrating a plurality of images being detected for each small move of the film.例文帳に追加

画像処理装置１２は、検出された画像を濃度、または濃度ならびに濃度変化量に基いてフィルム２の欠陥を判別する手段、およびフィルムの微少移動毎に検出された複数の画像を積算して積算値に基いてフィルムの欠陥を判別する手段を備えている。 - 特許庁

That is, in the material, a tensile stress is low, a step coverage is good, the integrity is maintained when a subsequent processing is applied, the material does not significantly and/or adversely impact the performance characteristics of the mechanical structures in a chamber (in the case of not being coated with the material during attaching) and/or facilitates the integration with the high performance integrated circuits.例文帳に追加

即ち、引張応力が低く、ステップカバレッジが良好であり、続くプロセスが加えられたときにその一体性を維持し、チャンバ内の機械構造の性能特性に大きな影響及び／又は悪影響を及ぼさず（付着中に材料でコーティングされていない場合）、及び／又は高性能集積回路との一体性を容易にする。 - 特許庁

The data reception apparatus 2 includes an MIMO processing unit 22 for receiving a plurality of code words to be transmitted simultaneously using reception antennas 21a to 21f, and a demodulating means for integrating a plurality of code words and demodulating the code word after integration, wherein data before encoding by the data transmission apparatus 1 is reproduced using the code word transmitted from the data transmission apparatus 1.例文帳に追加

データ受信装置２は、受信アンテナ２１ａ〜２１ｆを用いて、同時に送信された複数の符号語を受信するＭＩＭＯ処理部２２と、複数の符号語を統合し、統合後の符号語を復調する復調手段とを備え、データ送信装置１から送信された符号語を用いて、データ送信装置１で符号化される前のデータを再生する。 - 特許庁

The probability densities distributed in the geographical distribution amount calculation mesh are integrated by a statistical processing part 15, and an integration probability density as the integrated probability density is calculated as a geographical distribution amount in the geographical distribution amount calculation mesh, so that the geographical distribution amount is calculated in consideration of an error along with the position information of the mobile terminal.例文帳に追加

そして、統計処理部１５により、地理的分布量算出メッシュ内に分布する確率密度が積算され、積算された確率密度である積算確率密度が地理的分布量算出メッシュ内の地理的分布量として算出されるので、移動端末の位置情報に伴う誤差が考慮された地理的分布量が算出される。 - 特許庁

The traffic information processing comprises a format standardization device for standardizing various formats of input traffic information to a standard format of traffic information; and a traffic information integration device for correcting and complementing the traffic information of the standard format based on a knowledge base, acquiring matching traffic information, and integrating the traffic information.例文帳に追加

交通情報処理装置は、様々なフォーマットの入力交通情報を統一フォーマットの交通情報に統一するフォーマット統一装置と、知識ベースに基づいて、統一フォーマットの交通情報を修正・補完し、互いに整合する交通情報を取得し、交通情報を統合する交通情報統合装置とを備える。 - 特許庁

When receiving a big win finish command from a main control device 80 in a processing of S785, a sub-integration control device 83 starts a big win finish performance and, when shifting to the probability variable state (S1000: YES), determines whether or not a first retention win flag stored in the first retention storage in S920 is on (S1005).例文帳に追加

サブ統合制御装置８３は、主制御装置８０からＳ７８５の処理により大当り終了コマンドを受信すると、大当り終了演出を開始するとともに、確変状態に移行する場合（Ｓ１０００：ＹＥＳ）、第１保留記憶内にＳ９２０で記憶した第１保留当りフラグが立っているか判断する（Ｓ１００５）。 - 特許庁

To provide a waveguide type deflective function element of an in-line structure where the input and output directions of light are mainly set in the same direction by utilizing advantages of the waveguide form in which entire components can be downsized through planar integration with the fine processing technology adopting the IC process so as to attain mass-production at a low cost without the need for using a special optical element.例文帳に追加

特殊な光学素子を用いず、ＩＣプロセスを適用した微細加工技術による平面集積で部品全体を小型に構成できて低コストで大量生産を図られる導波路形の利点を生かし、主に、光の入出力方向を同方向に設定するインライン構造の導波路形偏向機能素子を構成する。 - 特許庁

The server receives the living area information representing the living area of the user from a user terminal that is an information processing terminal used by the user, specifies the cluster ID corresponding to the living area information from the integration result information, and transmits an information set of the specified cluster ID and information representing the organization and/or the use corresponding to the cluster ID to the user terminal.例文帳に追加

サーバは、ユーザの居住エリアを表す居住エリア情報を、ユーザが使用する情報処理端末であるユーザ端末から受け、その居住エリア情報に対応したクラスタＩＤを集約結果情報から特定し、特定されたクラスタＩＤと、そのクラスタＩＤに対応した機関及び／又は用途を表す情報との情報セットを、ユーザ端末に送信する。 - 特許庁

Although the inertia operation conducted by the arithmetic processing part 4 includes operation for time integration, as time data in integral operation, the data on repeat time indicated by the external clock period data 106 is used, so the inertia data (attitude, speed and position) is high-accuracy data from which an influence of variation of repeat cycle Δt in the external clock signal 105 is eliminated.例文帳に追加

演算処理部４で行われる慣性演算には、時間積分の演算を含むが、積分演算における時間データとして、外部クロック周期データ１０６で示される繰り返し時間のデータを用いるから、慣性データ（姿勢、速度および位置）は、外部クロック信号１０５における繰り返し周期Δｔの変動分の影響を除いた高精度のデータとなる。 - 特許庁

A map processing method makes a computer execute: an evaluation process which evaluates reliability of a plurality of estimation devices to estimate own positions on the basis of inputs from sensors different from each other using reliability evaluation models corresponding to the respective estimation devices; and a coupling process which performs different integration processes with respect to estimation results of the estimation devices depending on the reliability thereof.例文帳に追加

互いに異なるセンサからの入力に基づいて自己位置を推定する複数の推定器の信頼度をこれらの推定器に対応する信頼性評価モデルを用いて評価する評価処理と、これらの複数の推定器からの推定結果に対して信頼性に応じた異なる統合処理を行う結合処理をコンピュータに実行させるように構成する。 - 特許庁

This invention provides the recorder where an image read means 106 is mounted on a carriage 101, the image read means 106 is characterized in that it has a function of integrating the output corresponding to the density of an image for a consecutive read operation time and consists of two 1st and 2nd correction means that generates corrected data in response to the integration processing.例文帳に追加

画像読み取り手段１０６をキャリッジ１０１上に搭載した記録装置であって、前記画像読み取り手段１０６は連続する読み取り動作時間中に画像の濃度に対応する出力を積分する機能を有し、前記積分処理に応じて、補正するデータを生成する第１及び第２の二つの補正手段からなることを特徴とする。 - 特許庁

This reception proof directly gives at least one medium identifying part 20Y in the medium product and in the supply source, and forms at least one connection identifying part 330 by connecting at least one medium identifying part 20Y and a supply destination identifying part 320, and processing is performed by communicating this connection identifying part 330 to at least one integration point.例文帳に追加

この受信プルーフは、１）媒体製品へと媒体供給元において直接少なくとも１つの媒体識別部（２０Ｙ）を与え、２）供給先において、少なくとも１つの媒体識別部（２０Ｙ）と供給先識別部（３２０）とを結合させて、少なくとも１つの結合識別部（３３０）を形成し、３）該結合識別部（３３０）を１つ以上の集積ポイントへと通信して処理を行う。 - 特許庁

The building control device has an acceleration sensor for acquiring acceleration data of vibration, and a controller for carrying out filtering and integration processing to the acceleration data acquired by the acceleration sensor to obtain speed data and displacement data of the vibration, and controlling a building that vibrates with the input of external force, based on the obtained speed data and displacement data.例文帳に追加

振動の加速度データを取得するための加速度センサと、該加速度センサにより取得された前記加速度データに対してハイパスフィルタによるフィルタ処理及び積分処理を行って前記振動の速度データと変位データを求め、求められた該速度データと該変位データとに基づいて、外力が入力されて振動する建造物を制御するコントローラと、を有することを特徴とする。 - 特許庁

In the energy compensating scintillation type photon dosimeter 1, an output property of a scintillation detector 10 is compensated by an incidence window, and weighting factor data, corresponding to energies of energy data, are read from a weighting factor memory 15 and added to an integration value integrated from a measurement start by using an arithmetic processing section 16, in order to output them as dose data, thereby making the energy response flat.例文帳に追加

シンチレーション検出器１０の出力特性を入射窓で補正し、さらに演算処理部１６がエネルギーデータのエネルギーに対応する荷重係数データを荷重係数メモリ１５から読み出し、これを測定開始からの積算値に加算して線量データとして出力することでエネルギーレスポンスを平坦化したエネルギー補償型シンチレーション式光子線量計１とした。 - 特許庁

An integration processing part 242 calculates a distance between sensors and the reliability of the distance between the sensors in each extracted local region, performs weighting according to the reliability of the distance between the sensors, calculates the distance between the sensors subjected to weighting correction, and calculates the position coordinate of each sensor in the coordinate system wherein local regions are integrated based on the weighted average of the distance between the sensors subjected to weighting correction.例文帳に追加

統合処理部２４２は、抽出された局所領域それぞれにおいて、センサ間距離及びセンサ間距離の信頼度を算出し、センサ間距離の信頼度によって重み付けを行なって重み付け補正後のセンサ間距離を算出し、前記重み付け補正後のセンサ間距離の加重平均に基づいて、局所領域を統合した座標系における各センサの位置座標を算出する。 - 特許庁

To provide a layout method for semiconductor integrated circuit in which integration of semiconductor chip can be enhanced while shortening the design period, by providing a processing step for performing automatic placement and routing of basic cells allowed to be placed in an automatic layout area including an area between megamacros by providing the basic cells additionally with information for allowing placement in an area prohibiting placement of basic cell except the megamacro.例文帳に追加

配置許容基本セルに対してはメガマクロを除いた基本セル配置禁止領域での配置を許可する情報を付加して、メガマクロ間の領域を含む自動レイアウト領域における配置許容基本セルの自動配置・配線を行う処理工程を備え、半導体チップの集積度を向上し、かつ設計期間を短縮することが可能な半導体集積回路のレイアウト方法を提供する。 - 特許庁

An information integration system for integrating information includes: a local information receiving unit configured to receive information from a plurality of sensors; an information collecting unit configured to collect information from a plurality of remote information sources; and an information processing unit, coupled to the local information receiving unit and the information collecting unit, to process the information received by the local information receiving unit and the information collected by the information collecting unit.例文帳に追加

情報を統合する情報統合システムは、複数のセンサから情報を受信するローカル情報受信ユニットと、複数のリモート情報源から情報を収集する情報収集ユニットと、ローカル情報受信ユニット及び情報収集ユニットに結合され、ローカル情報受信ユニットにより受信された情報と、情報収集ユニットにより収集された情報とを処理する情報処理ユニットとを含む。 - 特許庁

The method comprises the steps of mixing fine particle departure material with binder to form a compressible mixture, pressing the mixture to form a non-processing integrated artifact which can be sintered including at least 5 of plural of tubes interconnected in integration as a parallel relationship, and sintering the artifact which is not sintered to form a sintered polycrystalline solid electrolyte artifact.例文帳に追加

該方法は、押し出し可能な混合物を形成するように、微粒子出発材料をバインダとともに混合することと、並列関係にて一体に相互接続された少なくとも５個の多数のチューブを含む、一体の焼結可能な未加工のアーティファクトを形成するように、混合物を押し出すことと、焼結された多結晶セラミック固体電解質アーティファクトを形成するように、未焼結のアーティファクトを焼結することとを含んでいる。 - 特許庁

The image receiving means for an image processing apparatus receives an image, and a succession-degree image creation means creates a succession degree image having the degree of succession of black pixels or white pixels in an image accepted by the image receiving means as a pixel value, and a solid line integration means integrates a line having breaks into a solid line, based on the succession degree image created by the succession degree image creation means.例文帳に追加

画像処理装置の画像受付手段は画像を受け付け、連続度数画像作成手段は、前記画像受付手段によって受け付けられた画像内における黒画素又は白画素が連続する度数を画素値として有する連続度数画像を作成し、実線化手段は、前記連続度数画像作成手段によって作成された連続度数画像に基づいて、切れ目のある線を実線に変更する実線化を行う。 - 特許庁

In another embodiment, a method for process integration in manufacture of a photomask includes depositing a hard mask on a substrate in a first processing chamber, depositing a resist layer on the substrate, patterning the resist layer, etching the hard mask through apertures formed in the patterned resist layer in a second chamber, and etching a chromium layer through apertures formed in the hard mask in a third chamber.例文帳に追加

別の実施形態では、フォトマスク製造におけるプロセス集積方法は、第１の処理チャンバにおいて基板上にハードマスクを堆積するステップと、レジスト層を該基板上に堆積するステップと、該レジスト層をパターニングするステップと、第２のチャンバにおいて該パターニング済みレジスト層上に形成されたアパーチャを介して該ハードマスクをエッチングするステップと、第３のチャンバにおいて該ハードマスクに形成されたアパーチャを介してクロム層をエッチングするステップと、を含んでいる。 - 特許庁