| 意味 | 例文 |
substrate-levelの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 987件
A controller 31 controls shot time of every subfield in accordance with the deflection point of a charged beam for lighting a reticle, based on the current value detected by the sensor 32, so that the amount of dose is kept at a constant level on the surface of a sensitive substrate 23.例文帳に追加
コントローラ31は、感応基板23面上でのドーズ量が一定になるように、検出センサ32で検出された電流値に基づき、レチクルを照明する荷電ビームの偏向位置に応じて、サブフィールド毎のショットタイムを調整する。 - 特許庁
Next, a position of a point of time at which the light source emits light by contacting a protruded portion from the unit substrate of the lower surface of the light source and the upper surface of the electrode layer being a wall surface of difference in level is made a desired position in the vertical direction to an accumulation surface.例文帳に追加
次いで、光源の下面のユニット基板からはみ出した部分と段差の壁面である電極層の上面とが接面することによって光源が発光した時点の位置を、集積面に垂直な方向での所望の位置とする。 - 特許庁
Since the gallium which hardly forms a deep energy level as compared with boron is doped into the substrate 41 together with boron, the resistivity of the crystal can be lowered while the decline in the lifetime of a minority carrier is suppressed.例文帳に追加
シリコン単結晶基板41中に、ボロンとともに、該ボロンに比べ酸素と深いエネルギー準位を形成しづらいガリウムが添加される形となり、少数キャリアのライフタイムの低下を抑制しながら、結晶の抵抗率を低くすることができる。 - 特許庁
To provide a technique capable of improving a radiation electrode in radiation directivity on a first side when the radiation electrode is provided on the first side, and a conductive region set at a ground level is provided on a second side on a substrate.例文帳に追加
基板において、第1の側に放射電極が設けられ、第2の側にグランドレベルに設定される導電領域が設けられている場合に、放射電極の第1の側の放射指向性を向上させることのできる技術を提供する。 - 特許庁
To provide a color filter substrate with planarized surface which dissolves level difference of pigmented pixels of each color constituting a color filter layer and dissolves disadvantages brought by gaps generated among the pigmented pixels of each color.例文帳に追加
カラーフィルター層を構成する各色の着色画素どうしの段差を解消すると共に、各色の着色画素間に生じる隙間がもたらす欠点を解消した、表面が平坦化したカラーフィルター基板を提供することを課題とするものである。 - 特許庁
A resin storage portion (level difference portion) SP1, which is used for temporarily storing a resin to be filled between the wiring substrate and the component 20 when the component is mounted, is provided in the vicinity of the edge EP of the opening 18 in the protection film 14.例文帳に追加
この保護膜14の開口部18のエッジ部EP近傍に、被実装体20を実装したときに当該被実装体との間に充填される樹脂を一時的に貯留させておくための樹脂貯留部(段差部)SP1を設ける。 - 特許庁
An exposed substrate having a resist is placed in a pressure container and while keeping the temperature at a level lower than the critical temperature of carbon dioxide, developing is performed with developer comprising liquid carbon dioxide and an alkaline compound, and then the liquid carbon dioxide is substituted for the developer.例文帳に追加
露光後のレジストを有する基板を圧力容器内に設置して二酸化炭素の臨界温度未満に保ち,液体二酸化炭素とアルカリ性化合物からなる現像液により現像を行い,前記現像液を液体二酸化炭素と置換する。 - 特許庁
To provide a method and device for manufacturing a liquid crystal display element by which substrate contamination is prevented and the liquid crystal display element excellent in display quality level without a minute luminescent point and a gap unevenness is obtained by a semi dry spray scattering method.例文帳に追加
セミドライスプレー散布法による液晶表示素子の製造方法において、基板汚染を防ぎ、微少輝点やギャップムラがなく表示品位の良い液晶表示素子が得られる液晶表示素子の製造方法および製造装置を提供する。 - 特許庁
To simplify a process without increasing the number of steps and form intra-layer lenses evenly in the same lens shape on a substrate having a big difference in level, thereby improving the efficiency of condensation of light, as well as reducing unevenness in light condensation and unevenness in light receiving sensitivity.例文帳に追加
工程数の増加がなく工程を簡略化できて、高段差を有する基板上に層内レンズを、均一で同じレンズ形状に形成できて、集光率の向上と集光ムラおよび受光感度ムラの改善を更に行う。 - 特許庁
To provide a color filter capable of suppressing difference in level in a part where filter layers overlap each other and preventing the elevation of a resistance value due to disconnection of electrodes formed on each of the filter, a color filter substrate and a display device.例文帳に追加
各フィルタ層の重なり部分の段差を抑えることができ、かつ各フィルタ上に形成される電極の断裂による抵抗値の上昇を防止することができるカラーフィルタ、カラーフィルタ基板および表示装置を提供することである。 - 特許庁
To provide a case for an electronic component incorporated in a substrate having such a structure as terminals are projected downward from the lower surface of the case in which the strength of the terminals can be sustained at a high level while reducing the size and facilitating manufacture.例文帳に追加
ケースの下面から下方向に向けて端子を突出させる構造の基板内蔵の電子部品用ケースにおいて、小型化が図れ、製造が容易で、端子の強度を強く維持できる基板内蔵の電子部品用ケースを提供する。 - 特許庁
Then, a liquid crystal driving signal is transmitted with a small amplitude AC signal (differential AC signal) by using a signal transmission line of a flexible substrate, etc., from the outside of the optical pickup and amplified by the voltage level amplifying circuit to apply it to the electrode section of the liquid crystal panel.例文帳に追加
そして、光ピックアップ外部からフレキシブル基板等の信号伝送線を用いて液晶駆動信号を小振幅交流信号(差動交流信号)で伝送し、電圧レベル増幅回路で増幅して液晶パネルの電極部に印加する。 - 特許庁
When the critical temperature of carbon dioxide is reached while keeping the pressure at the critical pressure or above, carbon dioxide is discharged from the pressure container while keeping the temperature at a constant level to bring about normal pressure and then the substrate is taken out from the pressure container.例文帳に追加
次に,圧力を臨界圧力以上に保ったまま二酸化炭素の臨界温度以上に昇温した後,温度は一定に保ち前記圧力容器から二酸化炭素を排出して常圧にして前記基板を圧力容器から取り出す。 - 特許庁
To reduce a force for moving a slider, i.e., a movable member consti tuting a substrate table or a mask table in a planar device, by keeping pressure being applied to both sides of the slider at a uniform level thereby minimizing the deformation of the movable member while reducing its weight.例文帳に追加
本発明は平板装置における基板テーブルあるいはマスクテーブルを構成する可動部材であるスライダの両側にかかる圧力を均一に保ち可動部材の変形を最小にして軽量化して、それを運動させる力を低減する。 - 特許庁
To provide a process for forming patterns of the microphase separation structure having a fine domain size at a level of about 10 nm or smaller by using a block copolymer or a graft copolymer readily soluble in the solvent and easily applicable to the substrate or the like.例文帳に追加
溶媒への溶解性が良好で基板等に容易に塗布可能なブロックコポリマー又はグラフトコポリマーを用いて、10nm程度以下の微細なドメインサイズを有するミクロ相分離構造からなるパターンを形成し得る方法を提供する。 - 特許庁
After a semiconductor substrate 100 comprising a difference in level is overlaid with a silicon oxide film 102 and a polysilicon film 103 in this order, an organic low dielectric constant film 104 is formed in an application manner, and then an inorganic anti-reflection film 105 is formed thereon.例文帳に追加
段差を有する半導体基板100の上にシリコン酸化膜102及びポリシリコン膜103を順次形成した後、塗布法により有機低誘電率膜104を形成し、その上に、無機反射防止膜105を形成する。 - 特許庁
The thermal expansion coefficient is adjusted to the level of 75 to 90×10^-7/°C which is the thermal expansion coefficient of the conventional soda-lime based glass substrate, by adjusting the weight ratio of alkali metal oxide excluding Na_2O and alkali-earth metal oxide, for example, K_2O.例文帳に追加
熱膨張係数は、Na_2O以外のアルカリ金属酸化物やアルカリ土類金属酸化物、例えばK_2Oの重量比を調整することにより、従来のソーダライム系のガラス基板の熱膨張係数75〜90×10—^7/℃程度の範囲に合せる。 - 特許庁
To provide a silicon carbide semiconductor device, which can greatly lower an interface level between a silicon carbide substrate and a silicon dioxide film by using a practical process being superior in mass productivity, and which is superior in reliability and electric characteristics as a device.例文帳に追加
量産性に優れた実用的なプロセスを用いて、炭化珪素基板と二酸化珪素膜との間の界面準位を大幅に低減することができ、デバイスとしての信頼性と電気特性が優れた炭化珪素半導体装置を提供する。 - 特許庁
This memory is provided with a VBB level changing circuit 12 shallowing negative voltage VBB applied as substrate voltage in accordance with shift to a self-refresh mode and a refresh cycle frequency divider 10 lengthening a self-refresh period in accordance with shift to the self-refresh mode.例文帳に追加
セルフリフレッシュモードへの移行に応じて基板電圧として印加される負電圧VBBを浅くするVBBレベル変更回路12と、セルフリフレッシュモードへの移行に応じてセルフリフレッシュの周期を長くするリフレッシュサイクル分周器10とを設けた。 - 特許庁
A low resistant impurity including layer is formed by diffusion in the area to which a laser diode of a silicon substrate is fixed, thereafter the impurity including layer is removed by selective etching, and a difference in level is provided in the area in which the optical waveguide is formed.例文帳に追加
シリコン基板のレーザダイオードを固定する領域に低抵抗の不純物含有層を拡散により形成しておき、選択的エッチングで不純物含有層を除去して、光導波路を形成した領域との間に段差を設ける。 - 特許庁
To provide ligands which enable generally high-level enantioselectivity and activity and are capable of being simply fitted for a specified substrate by changing substituents in a ligand system and to provide a group of catalysts producible therefrom.例文帳に追加
一般に高い水準のエナンチオ選択性及び活性の両者を可能にし、そして配位子系における置換基の変更により簡単に特定の基質に適合させることが可能な配位子及びそれらから製造できる触媒のグループを提供する。 - 特許庁
To provide an organic semiconductor device capable of preventing an organic semiconductor material constituting the organic semiconductor device from deteriorating and having a sealing level matching respective components on a substrate, to provide a manufacturing method thereof, and to provide an electrooptical device.例文帳に追加
有機半導体デバイスを構成する有機半導体材料の劣化を防止することができ、基板上の各構成要素に適した封止レベルを実現することができる有機半導体デバイスとその製造方法および電気光学装置を提供する。 - 特許庁
To form trenches having different depths in a silicon substrate by crystal surface anisotropic etching employing alkali etching liquid without forming a photosensitive material on an underlying film having a level difference and without increasing the number of photolithographic steps.例文帳に追加
段差が形成された下地膜上に感光性材料を形成することなく、かつ写真製版工程数を増加させることなく、アルカリエッチング液を用いた結晶面異方性エッチングによりシリコン基板に深さの異なる溝を形成する。 - 特許庁
By arranging the pattern film 6b, the surface level differs on the side of the TFT array substrate 200 in contact with the liquid crystal layer 50, and this prevents alignment failures in the liquid crystal molecules due to a lateral electric field occurring between adjacent pixel electrodes.例文帳に追加
パターン膜6bが配置されることにより、TFTアレイ基板200の液晶層50に接する側の表面に段差が設けられ、隣り合う画素電極間で生じる横電界による液晶分子の配向不良の発生が防止される。 - 特許庁
To provide a method for forming a desired high permittivity thin film without forming an unnecessary level between an Si substrate and a high permittivity thin film or between a high permittivity thin film and a poly-Si electrode.例文帳に追加
Si基板と高誘電率薄膜との間や高誘電率薄膜とポリSi電極との間に不必要な準位を形成することなく、所望の高誘電率薄膜を形成することのできる高誘電率薄膜の形成方法を提供すること。 - 特許庁
A resist liquid R discharged on a substrate G during coating is adhered to the back surface 160 of the nozzle part 156 of a resist nozzle 120 by a wetting phenomenon and is extended in a height direction, and the top position of the liquid is stabilized and fixed up to the difference in level 162.例文帳に追加
塗布処理中、基板G上に吐出されたレジスト液Rがぬれ現象によりレジストノズル120のノズル部156の背面160に付着して高さ方向に広がり、その頂上位置は段差部162で安定化ないし固定される。 - 特許庁
A mechanism which mounts the conductive paste transferred by the squeegee 22 over the protrusions on the substrate sheet 61 formed by pressing mechanism 10 to position the base material 60 for the printing level block 30, is arranged on the upstream side of the screen mechanism 25.例文帳に追加
スクリーン機構25の上流側には、スキージ22によって転移される導電性ペーストが、加圧機構10によって形成された基板シート61の凸部上に載置し、基材60を印刷定盤30に対して位置決めする機構が配置されている。 - 特許庁
The recessed part between the adjacent first and second magnetic projecting parts is preferably 0.6 or more of b/a where the width at the surface level of the magnetic projecting part 14 is a and a depth is b in the cross section in the thickness direction of the magnetic substrate 10.例文帳に追加
隣接する第1および第2の磁性凸部の相互間の凹部は、磁性基板の厚さ方向の断面において、該磁性凸部の表面レベルでの幅をaとし、かつ深さをbとすると、b/aが0.6以上であることが望ましい。 - 特許庁
A slope SL is provided which descends toward a coating region Rp side to a distal end ED of a mask side part SD in the state that the distal end ED is directed to the coating region Rp, and the difference in level between the mask side part SD and the surface of the substrate W is restrained small.例文帳に追加
先端EDを塗布範囲Rpに向けた状態において、塗布範囲Rp側に向けてマスク辺部SDの先端EDにまで下るスロープSLを有しており、マスク辺部SDと基板W表面の段差が小さく抑えられている。 - 特許庁
Based on a relationship between the three measured cleanliness levels MA-MC and the three required cleanliness levels RA-RC, either one of the treatment units 1-4 is selected according to the required level, and the substrate W is treated by the selected treatment unit.例文帳に追加
3つの測定清浄度レベルMA〜MCと3つの要求清浄度レベルRA〜RCとの間の対応関係に基づいて、要求レベルに応じて処理ユニット1〜4のいずれかが選択され、選択された処理ユニットで基板Wが処理される。 - 特許庁
To maintain transmittance for light of an electro-optic apparatus or to maintain high contrast in an image by preventing level difference on the surface of an alignment film formed on a counter substrate and by appropriately controlling the alignment state of liquid crystal molecules in contact with the alignment film.例文帳に追加
対向基板上に形成される配向膜の表面に段差を生じさせず、該配向膜に接する液晶分子の配向状態を適正にすることによって、該電気光学装置の光透過率の維持、或いは画像の高コントラスト維持を図る。 - 特許庁
To realize a tensioning/carrying mechanism of a cord for a tire cord attaching head which is simple to assemble, certain and efficient to operate and effective for keeping the tension of the cord sent to an annular substrate layer through an attaching head to the optimum level.例文帳に追加
組立てが簡単で、動作が確実で効率的であり、取付けヘッドを通して環状の下地層に送られるコードの張力を最適なレベルに維持する上で有効な、タイヤコード取付けヘッド用のコードの緊張および搬送機構を実現する。 - 特許庁
An elevated substrate W is exposed to the drying gas and pure water adhering to the surface is dried by the drying gas but since the drying gas is mixed with the vapor of isopropyl alcohol which reduces surface tension of pure water, liquid level of pure water stored in the processing tank 1 or surface tension of pure water adhering to the substrate W is reduced thus preventing collapse of a pattern formed on the substrate W.例文帳に追加
上昇された基板Wは、乾燥用気体を浴び、表面に付着している純水が乾燥用気体で乾燥されるが、乾燥用気体には純水の表面張力を低減させるイソプロピルアルコールの蒸気が混合されているので、処理槽1に貯留している純水の液面や、基板Wに付着している純水の表面張力が低減され、基板Wに形成されているパターンの倒壊を防止できる。 - 特許庁
In a cleaning method for cleaning a configuration member that constitutes the exposure device and comes into contact with the immersion liquid in an exposure device that exposes a substrate through immersion liquid, the configuration member is cleaned using cleaning fluid, and the cleaning fluid is washed in a state where the liquid level of cleaning fluid in the cleaning fluid is higher than the liquid level of rinsing liquid using the rinsing liquid.例文帳に追加
液浸液を介して基板を露光する露光装置内において、露光装置を構成して液浸液と接触する構成部材を洗浄する洗浄方法であって、洗浄液を用いて構成部材を洗浄し、すすぎ液を用いて洗浄時における洗浄液の液面よりもすすぎ液の液面を高くした状態で洗浄液を洗い流す。 - 特許庁
The semiconductor device includes: a plurality of first wiring layers 12 formed on an optional level layer on a substrate and formed of patterns having wiring widths and pitches smaller than those of a solution limit of an exposure technology; and second wiring layers 14 formed between the plurality of first wiring layers 13 in the same level layer and having a wiring width larger than that of each of the first wiring layers 13.例文帳に追加
半導体装置は、基板上の任意のレベル層に設けられ、かつ露光技術の解像限界より小さい配線幅及び間隔を有するパターンで形成された複数の第1の配線層12と、同一レベル層内で複数の第1の配線層13の間に設けられ、かつ第1の配線層13より大きい配線幅を有する第2の配線層14とを含む。 - 特許庁
The characteristic of a subject optical image input-to-output signal in a pre-limiter circuit 28 which is formed on the substrate being the same as that of the CMOS imaging circuit 21 is the characteristic inclined to the level of 400% in a subject optical image input with a prescribed signal level when the subject optical image input is smaller than a standard input 100% as a pre-limiter position.例文帳に追加
CMOSタイプの撮像回路21と同じ基板上に形成されたプレリミッタ回路28の被写体光像照射量対出力信号特性は、標準照射量100%よりも小なる被写体光像照射量のときの所定の信号レベルをプレリミッタ位置とし、被写体光像照射量400%のレベルまで傾斜させた特性とされている。 - 特許庁
A plurality of stages of thickness conductors (level difference circuit) with different thicknesses formed of "a partial solder of different species metals other than a panel copper plating and copper" are superposed partially to the flat identical substrate side in a small area in which the component elements of a wiring board is carried, and a method are provided for forming three-dimensional level difference circuit used as stepped and its wiring board.例文帳に追加
課題を解決するため、配線基板の部品素子を搭載する小さなエリア内の平坦な同一基材面に(パネル銅めっき+銅以外の異種金属の部分めっき)からなる厚みの異なる複数段の厚み導体(段差回路)を部分的に重ねて階段状となる三次元的な段差回路を形成する形成方法とその配線基板を供給するものである。 - 特許庁
The apparatus for inspecting a print head comprises an image reader 11 having a line sensor, an image processor 10 for converting information delivered from the line sensor into a digital image and calculating the measurement distance of an article by arithmetic operation, and a unit 12 for lighting the LED chip on an LED array substrate by controlling the current level to a constant level for each chip.例文帳に追加
ラインセンサを有する画像読取装置11と、ラインセンサから送られてきた情報をディジタル画像に変換し、演算処理を行ない、被検査物の測定距離を算出する画像処理装置10と、LEDアレイ基板のLEDチップの各チップ毎に一定の電流値に制御してLEDチップを点灯させる点灯装置10とを具備して構成される。 - 特許庁
In accordance with the formation method of the interlayer dielectric even if the aspect ratio of the level difference on the semiconductor substrate is ≥3, the occurrence of any void in the interlayer dielectric is suppressed, and any damage which might be exerted on a semiconductor device by reflowing can be reduced.例文帳に追加
本発明の層間絶縁膜の形成方法によると、半導体基板上の段差部のアスペクト比が3以上であっても、層間絶縁膜内のボイドの発生が抑制され、また、リフローに半導体装置に与えるダメージを小さくすることができる。 - 特許庁
A Y-print wiring board 19 is disposed along the short side of the display device frame 12 in almost the same level as that of a matrix array substrate 14 without causing interference, and a power supply function and a scanning data bus function are mounted on the Y-print wiring board 19.例文帳に追加
表示装置枠体12の短辺に沿ってY−プリント配線基板19を表示装置枠体12内のマトリクスアレイ基板14とほぼ同一高さに位置して干渉しないように配設し、Y−プリント配線基板19には電源機能および走査データバス機能を搭載する。 - 特許庁
To provide an optoelectronic apparatus capable of preventing an element substrate from causing large difference in level thereon by making an anodizing film used as a dielectric layer in the retention capacitance thin in thickness, and to provide an electronic apparatus and a method for manufacturing the optoelectronic apparatus.例文帳に追加
保持容量において誘電体層として用いる陽極酸化膜を薄くすることにより、素子基板上に大きな段差が発生することを防止可能な電気光学装置、電子機器、および電気光学装置の製造方法を提供すること。 - 特許庁
At least one kind of element selected among hydrogen, fluorine, and chlorine is ionized and implanted into a silicon film 12 formed on a glass substrate 11, so that an unpaired combined hand of silicon in the silicon film 12 is neutralized to lower a level in the silicon film 12.例文帳に追加
ガラス基板11上に形成された珪素膜12に水素、フッ素、塩素から選ばれた少なくとも1種類の元素をイオン化して注入することにより、珪素膜12内の珪素の不対結合手を中和し、珪素膜12内における準位を低下させる。 - 特許庁
To provide a copolymer bearing a group removable by a proton which fulfils at a high level both characteristics such as changes in solubility in an aqueous alkali solution by treatment with a free proton, and the like and adhesion to a substrate, and is suitably applied to various uses.例文帳に追加
遊離プロトンによる処理前後のアルカリ水溶液への溶解性の変化等の特性と基板密着性が高いレベルで両立され、様々な用途に好適に適用することができるプロトンによる脱離性基を有する共重合体を提供する。 - 特許庁
To provide a matrix array substrate used for a flat display device which can set an auxiliary capacitance in a predetermined level when the extension part of a pixel electrode is superposed on a scanning line to form the auxiliary capacitance without lowering a pixel aperture ratio.例文帳に追加
平面表示装置等に用いられるマトリクスアレイ基板であって、画素電極の延在部が走査線に重ねられて補助容量を形成するものにおいて、画素開口率を低下させることなく、補助容量を所定のレベルに設定できるものを提供する。 - 特許庁
The mounting position of the die on the prealignment stage 31s is the same or substantially same level as the bonding position to the substrate and the tip end of the component recognition camera 42 or is lowered relatively therefrom, and located above the die supply section.例文帳に追加
また、プリアライメントステージ31sに前記ダイを載置する載置位置は、前記基板へのボンディング位置及び前記部品認識カメラ42の先端面の同じかほぼ同一レベルより相対的に下げ、ダイ供給部の上面より上側に設けることを第2の特徴とする。 - 特許庁
To minimize generation of a watermark by quickly and completely removing a liquid from a wet substrate surface without allowing the liquid to remain, including a thin liquid film and minute droplets to an invisible level without using an organic solvent.例文帳に追加
有機溶剤を使用することなく、目視不可能な程度に薄い液膜や微小な液滴を含めて、濡れた基板表面から液体を残留させることなく迅速かつ完全に除去して、ウォーターマークの生成を最小限に抑えることができるようにする。 - 特許庁
Height of an erection part 2b and the corner material 1 are accurately aligned with a level of a floor panel A1 by vertically adjusting a horizontal part 2a of a support material 2 to a substrate face D cutting a part of a corner part of the border part by an adjusting bolt.例文帳に追加
ボーダー部のコーナー部の一部を切り欠いた下地面Dに対して支持材2の水平部2aを調整ボルトで上下方向に高さ調整することにより、その起立部2b及び見切り材1の高さ位置が、床パネルA1のレベルと正確に位置合わせされる。 - 特許庁
In order to provide an inter-metal and/or in-metal air isolation for at least some conductive metal elements 11 at metalization level of an integrated circuit, a polycrystalline germanium 12 is deposited in a mutually connecting between the conductive metal elements 11 on a substrate 10.例文帳に追加
集積回路の金属化レベルの少なくともいくつかの導電性金属素子の金属間および/または金属内空気アイソレーションを実現するため、まず基板上の導電性金属素子間の相互接続空隙に多結晶ゲルマニウムを堆積する。 - 特許庁
To provide a transfer vibration monitoring device for an in-line film forming apparatus which adjusts a level difference between bearings of a substrate transfer mechanism more accurately and quicker than a conventional one, thereby improving a service factor of the apparatus and the yield of products, and reducing the maintenance cost.例文帳に追加
従来よりも高精度且つ迅速に基板搬送機構のベアリング間の段差を調整することで、装置稼働率、製品歩留まりの向上及びメンテナンスコストの低減を図ることができるインライン式成膜装置の搬送振動監視装置を提供する - 特許庁
Since a photosensitive material film 3a is deposited by spin-on of a photosensitive material with a film thickness substantially equal to or thicker than a surface level difference caused by an underlying pattern 2 on a substrate 1 to be processed, impact of striation of a layer provided thereon can be reduced.例文帳に追加
被処理基板1上の下地パターン2による表面段差と同程度以上の膜厚で感光性材料をスピンオンして感光性材料膜3aを成膜するため、その上に設けられる層のストリエーションの影響を低減することができる。 - 特許庁
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