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surface spinの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 403件
The resist removal device is provided with a spin chuck 1 which can turn a wafer W while holding it almost horizontally, and a nozzle 2 to supply SPM to the surface of the wafer W held by the spin chuck 1.例文帳に追加
レジスト除去装置は、ウエハWをほぼ水平に保持して回転させるためのスピンチャック1と、このスピンチャック1に保持されたウエハWの表面にSPMを供給するためのノズル2とを備えている。 - 特許庁
The state density has a characteristic as shown in Fig. 2, and it is seen from the 0-point (Fermi surface) of the horizontal axis that the state density is metallic in majority-spin and semiconductor-like and half-metallic in minority-spin.例文帳に追加
状態密度は図2に示すような特性となり、横軸の0点(フェルミ面)を見ると、majority−spinでは金属的、minority−spinでは半導体的でありハーフメタルになっている。 - 特許庁
To provide a sold rubber for a table tennis paddle and the table tennis paddle, wherein spin performance is maintained even if dust adheres to the surface and wherein the spin performance is maintained and improved even if use causes wear.例文帳に追加
表面へゴミが付着してもスピン性能が維持され、さらに使用により摩耗してもスピン性能が維持及び向上する卓球ラケット用ソリッドラバー及び卓球ラケットの提供を目的とするものである。 - 特許庁
Since the guide part 60 is provided with a surface 62 to be flat with the upper surface 10a of the spin base 10 and is provided with a sharp end part 61 in a sharp shape facing the recovery port 57, the liquid chemicals splashing from the spin base 10 accurately go to the recovery port 57.例文帳に追加
案内部60は、スピンベース10の上面10aと面一となる面62を有するとともに、回収ポート57に対向する尖鋭形状の尖端部61を備えているため、スピンベース10から飛散する薬液が正確に回収ポート57に向かう。 - 特許庁
In a substrate to be treated where a surface 2 is coated with a liquid-like body by a spin coating method, at least a peripheral section 22 on the surface 2 is formed as a falling surface that falls downward toward an edge 23 on the surface 2.例文帳に追加
回転塗布法によって表面2上に液状体を塗布される被処理基板であって、上記表面2の少なくとも周縁部22が該表面2の端部23に向けて下方に落ち込む落ち込み面として形成されている。 - 特許庁
The spin torque oscillator includes a nonmagnetic spacer layer 16 having first and second external surfaces, a magnetic field generation layer 33 brought into contact with the first external surface, and a spin injection layer 12 having permanent magnetization perpendicular to the surface of the nonmagnetic spacer layer 16 and brought into complete contact with the second external surface.例文帳に追加
スピントルク発振器は、第1および第2の外表面を有する非磁性スペーサ層16と、上記第1の外表面と接触する磁界生成層33と、非磁性スペーサ層16の表面に対して垂直な永久磁化を有し上記第2の外表面と完全接触するスピン注入層12とを備える。 - 特許庁
This can prevent the processing liquid sticking to the inside surface of the spin cup 22 from flying up like mist and sticking to the substrate 12, during the processing using the processing liquid.例文帳に追加
スピンカップ22の内面に付着した薬液が乾燥処理時にミスト状に巻き上がり基板12に付着することを防止できる。 - 特許庁
A coated film 104 is formed on the main surface of a substrate 105 by applying a coating liquid by, for instant, a spin coating method.例文帳に追加
基材105の主表面に、例えばスピン塗布法により塗布液を塗布することで、塗布膜104が形成された状態とする。 - 特許庁
Resist is applied by a spin coat method to an anti-reflective coating 2 formed on the front surface of a square silicon substrate 1 and is prebaked.例文帳に追加
四角形のシリコン基板1の表面に形成された反射防止膜2上に、レジストをスピンコート法により塗布して、プリベークする。 - 特許庁
A spin chuck 3 includes a holding electrode plate 5 for holding a wafer W in approximately horizontal attitude by absorbing the backside (a lower surface) thereof.例文帳に追加
スピンチャック3は、ウエハWをほぼ水平な姿勢でその裏面(下面)を吸着して保持する保持電極板5を備えている。 - 特許庁
A wafer 1 is held on the upper surface of a chuck 13, and the chuck 13 is connected to a spin motor 15, motor pedestal 17, and air cylinder shaft 19.例文帳に追加
ウエハ1はチャック13の上面に保持され,チャック13は,スピンモータ15,モータ台座17,エアシリンダ軸19に連結されている。 - 特許庁
The UV resin is spreaded to the outside more than the substrate 1, protrusion due to the surface tension is generated at an end plane of the spin tray 2.例文帳に追加
UVレジンは、基板1よりも外側まで延伸され、表面張力による盛り上がりは、スピントレー2の端面に発生する。 - 特許庁
Magnets 2a are respectively provided inside supporting parts 21 of each turning holding member 2 provided on a top surface of a spin base 1.例文帳に追加
スピンベース1の上面に設けられた各回動式保持部材2の支持部21の内部には、磁石2aがそれぞれ設けられている。 - 特許庁
The substrate W carried into a processing chamber 1 is held in a spin chuck 2 in a state where its substrate front surface Wf faces upward.例文帳に追加
処理チャンバー1内に搬入された基板Wは、基板表面Wfを上方に向けた状態でスピンチャック2に保持される。 - 特許庁
A second substrate having a second recording layer on one surface thereof is manufactured and the UV curing resin is spin-coated on the second recording layer.例文帳に追加
又、片面に第2の記録層を有する第2の基板を作製し、紫外線硬化樹脂を第2の記録層上にスピンコートする。 - 特許庁
When a cleaning process is finished, a shielding plate 2 is arranged at a position close to the upper surface of a wafer W held by a spin chuck 1.例文帳に追加
洗浄処理が終了すると、遮断板2がスピンチャック1に保持されたウエハWの上面に近接した位置に配置される。 - 特許庁
A coating unit (SCT) 12, which is one operation form of the apparatus for forming the coating film, has a spin chuck 71 for holding a semiconductor wafer of the substrate nearly horizontal, a motor 72 for rotating the spin chuck 71 and a coating liquid discharge nozzle 81 for discharging the coating liquid to the surface of the wafer W held by the spin chuck 71.例文帳に追加
塗布膜形成装置の一実施形態である塗布処理ユニット(SCT)12は、基板たる半導体ウエハWを略水平に保持するスピンチャック71と、スピンチャック71を回転させるモータ72と、スピンチャック71に保持されたウエハWの表面に塗布液を吐出する塗布液吐出ノズル81とを具備する。 - 特許庁
The substrate processing apparatus 1 includes: a nitrohydrofluoric acid nozzle 5 for supplying nitrohydrofluoric acid to the top surface of a wafer W held in a spin chuck 4; and a DIW(deionized water) nozzle 7 for supplying DIW toward the circumferential edge portion of the top surface of the wafer W held in the spin chuck 4.例文帳に追加
基板処理装置1は、スピンチャック4に保持されたウエハWの上面にフッ硝酸を供給するためのフッ硝酸ノズル5と、スピンチャック4に保持されたウエハW上面の周縁部に向けてDIWを供給するためのDIWノズル7とを備えている。 - 特許庁
The substrate processing device includes a spin chuck for rotating a wafer W, and a front-surface cleaning brush 28, a circumferential-end surface cleaning brush 29, and a backside-surface cleaning brush 30 for cleaning circumferential edge parts of the wafer W.例文帳に追加
基板処理装置は、ウエハWを回転させるためのスピンチャックと、ウエハWの周縁部を洗浄するための表面洗浄ブラシ28、周端面洗浄ブラシ29および裏面洗浄ブラシ30とを備えている。 - 特許庁
The substrate treatment apparatus comprises a spin chuck 2 for approximately horizontally holding and rotating a wafer W, and a nozzle 3 for supplying a treatment liquid (SPM liquid) to the upper surface of the wafer W held and rotated by the spin chuck 2.例文帳に追加
この基板処理装置は、ウエハWをほぼ水平に保持して回転させるスピンチャック2と、このスピンチャック2によって保持されて回転されているウエハWの上面に処理液(SPM液)を供給するノズル3とを備えている。 - 特許庁
A single-wafer removing apparatus 1 comprises a rotary spin chuck 2 that holds a wafer W almost horizontally and a straight nozzle 3 for feeding a resist removing liquid on the surface of the wafer W held by the spin chuck 2.例文帳に追加
枚葉式剥離装置1には、ウエハWをほぼ水平に保持して回転するスピンチャック2と、このスピンチャック2に保持されたウエハWの表面にレジスト剥離液を供給するためのストレートノズル3とが備えられている。 - 特許庁
For forming sidewall spacer films necessary for forming an LDD structure, coating-of an insulative liquid having a high-viscosity coefficient, such as a SOG (spin on glass) liquid, is performed on the surface of the substrate 21 including the films 27 and the oxide film 23 and a flat SOG film 28 is formed.例文帳に追加
LDD構造を形成するために必要なサイド・ウォール・スペーサ膜を形成すべく、絶縁性の高粘性係数をもった液体、例えばSOG(Spin On Glass)の塗布を行い、平坦なSOG膜(28)を形成する。 - 特許庁
A resist applying apparatus includes a cleaning tool 20 sucked and held on a spin chuck; a container surrounding the spin chuck and the cleaning tool 20; and a cleaning liquid jetting nozzle for jetting the cleaning liquid onto the rear surface of the cleaning tool 20.例文帳に追加
レジスト塗布装置は、スピンチャックに吸着保持された洗浄治具20と、スピンチャック及び洗浄治具20を取り囲む容器と、洗浄治具20の裏面に洗浄液を噴射する洗浄液供給ノズルとを有している。 - 特許庁
The both tubular bodies 10, 11 are united with the slanting surface portion 28a welded to the outlet side weld portion 21 by the spin welding.例文帳に追加
この傾斜面部28aを流出側溶着部21に対しスピン溶着法により溶着して両管状体10、11を一体化する。 - 特許庁
To improve the efficiency of a coating liquid to be used by improving a process in which the coating liquid is stuck on the surface of a substrate in spin coating.例文帳に追加
スピン塗布において、基板表面への塗布液付着工程を改善することにより、塗布液の使用効率を大幅に向上させる。 - 特許庁
To uniformly form a thick film consisting of a high-viscosity photoresist on the surface of a substrate and without involving bubbles in the thick film by the operation of one time of a spin coating.例文帳に追加
高粘度フォトレジストの厚膜を基板表面に均一に、かつ気泡が巻き込まれることなく、1回のスピンコート操作で成膜する。 - 特許庁
A sheet 65 made of low- expansion silicone rubber with elasticity is bonded onto the support 62a so that the upper surface of the spin chuck 61 is covered.例文帳に追加
スピンチャック61の上面を覆うように,弾性を有する低発泡シリコーンゴムのシート65が支持部62a上に接着されている。 - 特許庁
An epoxy resin 7 is applied by spin coater, roll coater, and the like on a surface of a board (6) formed by semi-additive method or subtractive method (7).例文帳に追加
セミアディティブ法またはサブトラクティブ法により形成された基板(6)の表面にエポキシ系の樹脂7をスピンコータ、ロールコータなどで塗布する(7)。 - 特許庁
The upper end part of a spin shaft (5) is provided with a vacuum suction pad (6) which fixes the lower surface central part of a semiconductor wafer (WH) through suction.例文帳に追加
スピンシャフト(5)の上端部には、半導体ウェーハ(WH)の下面中心部を吸引固定する真空吸引パッド(6)が設けられている。 - 特許庁
To provide a spin processor wherein a substrate held on a bearing surface is never floated much when it is clamped.例文帳に追加
この発明は受け面に支持された基板をクランプする際、基板が大きく浮き上がるのを防止したスピン処理装置を提供することにある。 - 特許庁
Hereby, the opposite surface of the spin base 5 and the plurality of supporting pin 7 are cleaned with the pure water, thereby obviating the wafer W from being contaminated.例文帳に追加
これにより、スピンベース5の対向面と複数本の支持ピン7とが純水により洗浄され、ウエハWが汚染するのを防止できる。 - 特許庁
Above the spin chuck 31, an optical film thickness system 51 is arranged for measuring the thickness of a thin film on the surface of the wafer W.例文帳に追加
このスピンチャック31の上方には、ウエハWの表面の薄膜の膜厚を測定するための膜厚光学系51が配置されている。 - 特許庁
Although masking is done on the circular groove using the spin-on glass, the wafer's front surface is exposed to an etchant, which etches the peripheral lip preferentially.例文帳に追加
円形溝はスピン・オン・ガラスによってマスキング処理されるが、ウエハの前面はエッチング剤にさらされて外周リップを優先的にエッチングする。 - 特許庁
Mizukiri is a game of throwing a stone with spin toward the water surface to make it skip over the water, sometimes competing how many times the stone skips. 例文帳に追加
水切り(みずきり)は水面に向かって回転をかけた石を投げて水面で石を跳ねさせて、その回数を競ったりする遊びの事。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス
The wafer W is pulled to the spin base 7 side, and the lower part of the circumferential end surface of the wafer W is pressed against the fixing/supporting members 10a-10f.例文帳に追加
ウエハWがスピンベース7側に引き寄せられ、ウエハWの周端面の下方部が固定支持部材10a〜10fに押し付けられる。 - 特許庁
A plurality of fixing/support members 10a-10f are fixed and are arranged on a circumferential edge part of an upper surface of the spin base 7, at a substantially equal angle interval.例文帳に追加
スピンベース7の上面には、その周縁部に複数個の固定支持部材10a〜10fがほぼ等角度間隔で固定配置されている。 - 特許庁
After the surface of a wafer W is processed with a chemical liquid, the surface of the wafer W is rinsed by DIW while a surface 14 counter to a shielding plate 4 is close to the surface of the wafer W held by a spin chuck 2 (refer to figure 4(b)).例文帳に追加
ウエハWの表面に薬液処理が行われた後、遮断板4の対向面14がスピンチャック2に保持されたウエハWの表面に近接された状態で、DIWによるリンス処理がウエハWの表面に行われる(図4(b)参照)。 - 特許庁
To provide-electron-optical equipment capable of developing magnetic anisotropy toward a cathode axis direction (traveling direction of spin polarization electrons) and thereby capable of efficiently carrying out the measurement of a spin polarization rate and an analysis/surface analysis of a magnetic material sample.例文帳に追加
陰極軸方向(スピン偏極電子の進行方向)への磁気異方性を発現することができ、もってスピン偏極率の測定や磁性体試料の解析・表面分析などを効率よく行うことが可能な電子光学機器を提供すること。 - 特許庁
To provide a spray/spin coating method constituted so as to cover the predetermined surface region of a rotary substrate with a mask to spray a chemical liquid, not only to conserve the chemical liquid but also to shorten a coating time and a drying time, and to provide a spin coating device.例文帳に追加
回転する基板の所定の表面領域をマスクで覆って薬液を噴霧することにより、薬液を節約し、塗布時間並びに乾燥時間を短縮しようとするスプレー併用スピンコート方法及びスピンコート装置を提供することである。 - 特許庁
Thereby, a tapered shaft surface 611 of the supporting member 600a abuts a tapered hole surface HT of a spin base 700, thereby causing an interspace between a lift shaft 605 and a member-inserting hole H to be closed by the tapered shaft surface 611.例文帳に追加
それにより、保持部材600aの軸傾斜面611がスピンベース700の孔傾斜面HTに当接し、昇降軸605と部材挿入孔Hとの間の隙間が軸傾斜面611により閉塞される。 - 特許庁
The pure water supplied from the lateral cleaning nozzle 23, on the other hand, is provided to the space between the undersurface of the wafer W and an opposite surface of a spin base 5.例文帳に追加
一方、側部洗浄ノズル23から供給された純水はウエハWの下面とスピンベース5の対向面との間の空間に向けて供給される。 - 特許庁
A ^1H spin of the contact liquid thereby diffuses gradually from the surface to the sample contacting therewith, after the ^1H contained in the sample is relaxed.例文帳に追加
従って、試料に含まれる^1Hが緩和した後、接触液の^1Hスピンをそれに接触している試料の方に、表面から徐々に拡散させて行く。 - 特許庁
To provide a bottom spin valve magnetometric sensor using GMR, which can read out magnetic information with a surface recording density exceeding 9.3 x 10^4 Gbit/m^2.例文帳に追加
9.3×10^4Gbit/m^2を超えるような面記録密度の磁気情報を読み出し可能な、GMRを利用したボトムスピンバルブ磁気センサを提供する。 - 特許庁
In applying, it is favorable to spray the mold separating agent on a surface of the resist while forming a thin film of the resist on a substrate by spin coating.例文帳に追加
その塗布は、スピンコートによって基板上にレジストの薄膜を形成する間に、当該レジストの表面に離型剤を噴霧するのが好ましい。 - 特許庁
In a state wherein a spin chuck is rotated (S3) and an etching liquid is supplied (S4), the thickness of a film on the surface of the wafer is measured in real time (S5).例文帳に追加
スピンチャックを回転し(S3)、かつ、エッチング液を供給している状態で(S4)、ウエハ表面の膜の膜厚がリアルタイムで測定される(S5)。 - 特許庁
To provide a spin processor which can hold a substrate by reliably bringing a plurality of holding parts into contact with the peripheral surface of the substrate.例文帳に追加
この発明は基板の外周面に複数の保持部を確実に当接させてこの基板を保持できるようにしたスピン処理装置を提供することにある。 - 特許庁
First and second water paths 31 and 32 composed of grooves are formed on an upper surface plate 12 covering a peripheral part at the upper end of the washing tub 3 and a spin-drying tub 2.例文帳に追加
洗濯槽3及び脱水槽2の上端の周部を覆う上面板12に溝から成る第1、第2水路31、32を形成する。 - 特許庁
Then, a process liquid is supplied onto the surface 60a of the template 60, and the spin chuck 62 is rotated to fill the flow paths 91 with the process liquid.例文帳に追加
次いで、テンプレート60の表面60aに処理液を供給すると共にスピンチャック62を回転させて流通路91に処理液を充填する。 - 特許庁
The magnetoresistive device 1 is provided with a pair of electrodes 3 and 4 to send a sense current in a direction vertical to the film surface of the spin valve type magnetoresistive film 2.例文帳に追加
磁気抵抗効果素子1はスピンバルブ型磁気抵抗効果膜2の膜面垂直方向にセンス電流を通電する一対の電極3、4を有する。 - 特許庁
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