「thin layer method」に関連した英語例文の一覧と使い方(27ページ目) - Weblio英語例文検索

The wiring grooves having depths of ≤300 nm are formed on the insulating layer 11 composed of, for example, a silicon oxide film and formed on a substrate 10, and tantalum nitrides (TaN) are deposited in the groove as lower-layer conductors 12 which become barrier metals in a thin-film state by using the sputtering method or CVD method.例文帳に追加

基板１０上に、形成された例えばシリコン酸化膜からなる絶縁層１１に深さ３００ｎｍ以下の配線用の溝を形成し、バリアメタルとなる下層導電体１２として例えばタンタルナイトライド（ＴａＮ）をスパッタリング法またはＣＶＤ法を利用して薄膜状態で堆積する。 - 特許庁

In the manufacturing method of an organic thin film transistor including a process of forming an organic semiconductor layer by supplying a coating liquid containing an organic semiconductor material onto a substrate, the organic semiconductor layer has a protective layer formed thereon as a component layer, and a process in which the protective layer is formed by coating a molten wax material is included.例文帳に追加

有機半導体材料を含有する塗布液を、基板上へ供給して有機半導体層を形成する工程を有する有機薄膜トランジスタの製造方法において、 構成層として、該有機半導体層の保護層を有し、該保護層が、ワックス材料を溶融状態で成膜することにより形成される工程を有することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。 - 特許庁

To provide a thin film transistor which improves crystallinity of an oxide semiconductor thin-film layer on a pair of source-drain electrodes, prevents a leakage current from increasing, current driving performance from decreasing, and current rate limiting from generating, and has excellent TFT characteristics, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加

一対のソース・ドレイン電極上の酸化物半導体薄膜層の結晶性を良好にし、リーク電流の増大、電流駆動能力の低下、電流律速を抑制した、高いＴＦＴ特性を有する薄膜トランジスタ及びその製法を提供する。 - 特許庁

To provide a thin film solar battery and a method for installing the same, by which power generation efficiency is improved by avoiding reducing of a light quantity incident on a thin film photoelectric conversion layer in spite of the presence of surface reflected light, so as to improve light utilization efficiency.例文帳に追加

表面反射光があっても、薄膜光電変換層に入射される光量を減少させないようにして、光利用効率を高めて、発電効率を高くすることができる薄膜太陽電池及びその設置方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a blade that can form a thin layer of toner with stable thickness on the outer peripheral surface of a developing roller and further make an image forming apparatus thin and small-sized, the image forming apparatus equipped with the blade, and a method for manufacturing the blade.例文帳に追加

現像ローラの外周面に安定した厚みのトナーの薄層を形成することが可能であり、さらには、画像形成装置の薄型化、小型化を図ることが可能なブレードとそれを備えた画像形成装置及びブレードの製造方法を提供する。 - 特許庁

After a thin-film semiconductor layer 3 is formed, a flat transparent conductive film 4a is formed on the thin-film semiconductor film 3 by the sputtering method, the surface of the formed rear surface transparent conductive film is dipped into a dilute hydrochloric acid or a dilute acetic acid, and at the same time ultraviolet rays are selectively applied to the surface.例文帳に追加

薄膜半導体層３形成後その上にフラットな透明導電膜４ａをスパッタ法で形成し、形成した裏面透明導電膜表面を希塩酸または希酢酸に浸すとともに、その表面に紫外線を選択的に照射する。 - 特許庁

To provide a thin film single crystal solar cell module and a manufacturing method for the solar cell module having a high quality of superior durability and reliability without generating a failure or a crack when the solar cell module having a thin film single crystal layer is manufactured or used.例文帳に追加

薄膜単結晶層を有する太陽電池モジュールを製造及び使用する際に、欠陥やヒビなどが発生する事無く、耐久性、信頼性に優れた高品質の薄膜単結晶太陽電池モジュール及び太陽電池モジュールの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a thin film which is formed on a surface of a product such as a container and equipment for food and has a layer in which Ag having antibacterial effect is alloyed with Sn, and to provide a method of producing the same, and an article whose surface is coated with the thin film.例文帳に追加

本発明は食品用容器・器具等の製品表面に形成される抗菌性効果のあるＡｇをＳｎと合金化させた層を有する薄膜およびその製造方法ならびにこの薄膜によって表面を被覆された物品を提供する。 - 特許庁

The method comprises forming a thin oxide film (e.g. an intermediate layer 2) on an oriented metallic substrate 1 and comprises the step of heat-treating the oriented metallic substrate in a reducing atmosphere just before the formation of the thin oxide film.例文帳に追加

配向金属基板１上に酸化物薄膜（たとえば中間層２）を形成する酸化物薄膜の製造方法であって、酸化物薄膜形成の直前に配向金属基板を還元雰囲気下で熱処理する工程を有する酸化物薄膜の製造方法。 - 特許庁

To provide an active matrix driven self-luminous display device permitting to prevent thin film transistors from being deteriorated in the characteristics by preventing deterioration of an active layer on the thin film transistors caused by light, and further improve the characteristic, and to provide a manufacturing method therefor.例文帳に追加

光に起因する薄膜トランジスタの活性層の劣化を防止して、薄膜トランジスタの特性悪化の防止、さらには特性向上を図ることができるアクティブマトリックス駆動型自発光表示装置及びその製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

In the inspection method, the thin film magnetic head 10 is prepared, which includes magnetoresistive effect films having a free layer 40 whose magnetization direction is varied in response to an external magnetic field and ferromagnetic layers 51 and 52 for applying a bias magnetic field to the free layer.例文帳に追加

本発明の検査方法では、外部磁界に応じて磁化方向が変化するフリー層４０及び該フリー層にバイアス磁界を印加するための強磁性層５１，５２を有する磁気抵抗効果膜を備えた薄膜磁気ヘッド１０を準備する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for a MOS transistor which reduces short-channel effect and increases the mobility of carriers of a channel by forming an inversion layer on a silicon substrate while no bias is applied and making the thin inversion layer serve as a drain and a drain.例文帳に追加

バイアスが加わらない状態でもシリコン基板に反転層が形成され、薄い反転層がソース／ドレインの役割を果たして短チャネル効果を減少すると共に、チャネルでのキャリアの移動度を増加するＭＯＳトランジスタの製造方法。 - 特許庁

To provide a plastic container with high gas barrier properties, in particular, high steam gas barrier properties which cannot be obtained with a conventional plastic container having a barrier layer formed of a single-layer thin film mainly comprising silicon compounds, and its manufacturing method.例文帳に追加

従来の単層の珪素化合物を主体とする薄膜からなるバリア層を有するプラスチック容器では得られない高度のガスバリア性を奏する、特に高度な水蒸気ガスバリア性を有するプラスチック容器及びそのの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a flexible color filter substrate which can make a display device thin and lightweight has superior adhesion and gas barrier properties of a colored layer, and is free of discoloration of the colored layer and superior in size stability, and to provide its manufacturing method.例文帳に追加

表示装置の薄型軽量化が可能であり、着色層の密着性及びガスバリア性に優れているとともに、着色層の色変化が無く、寸法安定性に優れた可撓性カラーフィルター基板及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

A support layer 3 for reinforcement made from glass or ceramics is formed on one surface of a flexible film 1 by a thin film forming method, and on the other surface of the flexible film 1, a metal layer 4 with a circuit pattern is then formed to produce a circuit board 31a.例文帳に追加

可撓性フィルム１の一面に、薄膜形成法でガラスまたはセラミックスからなる補強用支持層３を形成し、次に可撓性フィルム１の他面に、回路パターンを有する金属層４を形成して、回路基板３１ａを形成する。 - 特許庁

To provide a thin film transistor and its manufacturing method capable of preventing contamination of a metal electrode formed on an ohmic layer, alleviating a deterioration of step coverage caused by a lamination at a lower portion of a gate insulating layer, and improving interface property between laminations.例文帳に追加

オーミック層上に形成される金属電極の汚染を防止でき、ゲート絶縁層下部の積層物によるステップカバレージの悪化を緩和でき、積層物間の界面特性を向上できる薄膜トランジスタ及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a thin layer resin-coated steel pipe formed by extrusion molding to 300 μm or less in a thickness of the whole coated resin layer, and disposable as it is without separating a steel pipe and resin after being used, and a method of manufacturing the same.例文帳に追加

被覆樹脂層全体の厚さを３００μｍ以下に押出し成形して成り、使用済み後は鋼管と樹脂を分離することなく、そのまま廃棄処分することができる薄層樹脂被覆鋼管およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

The method of manufacturing the thin-film transistor includes the steps of forming the substrate, forming the active layer thereon by using the polycrystalline or amorphus titanium oxide, and forming the insulating film on the active layer.例文帳に追加

また、本発明に係る薄膜トランジスタの製造方法は、基板を形成する段階と、前記基板上に多結晶ないし非晶質の酸化チタニウムを用いて活性層を形成する段階と、前記活性層上に絶縁膜を形成する段階とを含む。 - 特許庁

To provide an operation method of a circulating fluidized bed furnace capable of stabilizing combustion and/or gasification treatment by stably forming a thick layer and a thin layer by a flowing medium within a riser without increasing the equipment cost.例文帳に追加

設備費を増大させることなく、ライザ内における流動媒体による濃厚層及び希薄層の安定形成を行うことで燃焼及び／又はガス化処理の安定化を図ることが可能な循環流動層炉の運転方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method capable of forming a gas separating layer having high membrane thickness uniformity without using an extender, on an occasion when obtaining a gas separating composite membrane by forming a gas separating layer comprising a thin film of polyimide on a porous support.例文帳に追加

多孔質支持体上にポリイミドの薄膜からなる気体分離層を形成させて気体分離複合膜を得るに当たり、展延剤を用いなくても膜厚の均一性の高い気体分離層を形成可能な方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a powder scrapping-off method and a scrapping-off device by which a thin layer of a powder containing a fiber component can be scrapped off in uniform thickness and which are suitable for forming a friction member having a multi-layer structure made up of two or more layers.例文帳に追加

繊維分を含有する粉状体の薄い層を均一の厚さに擦り切ることができる粉状体の擦切方法及び擦切装置で、２層以上の多層構造を持った摩擦部材を成形するのに適したものを提供する。 - 特許庁

To provide a corrosion-resistant method capable of being simply and surely carried out even in the seawater in a construction site when an organic corrosion-resistant layer is formed to execute corrosion prevention of an ocean steel structure coating the outside of the corrosion-resistant layer also with a titanium thin-plate.例文帳に追加

有機質の防食層を形成し、該防食層の外面を更にチタン薄板で被覆する海洋鋼構造物の防食を行うに当たり、工事現場の海水中でも簡易に且つ確実に施工が可能な方法を提供する。 - 特許庁

In this method for manufacturing a thin film magnetic head, a pair of conductive layers 7b being electrodes (leads) connected with an MR element are formed on an insulating layer 2, and a magnetic layer is formed so that the conductive layers 7b can be surrounded through an insulating film 2a.例文帳に追加

本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法では、絶縁層２の上に、ＭＲ素子に接続される電極（リード）となる一対の導電層７ｂを形成し、絶縁膜２ａを介して導電層７ｂを囲うように、磁性層を形成する。 - 特許庁

To provide a continuous electrolytic plating apparatus and a continuous electrolytic plating method in which the occurrence of projection in a metal layer is suppressed in the deposition of the metal layer on a long substrate such as resin film with a metal thin film by continuous electrolytic plating.例文帳に追加

金属薄膜付樹脂フィルムなどの長尺基板上に連続電解めっきにより金属層を成膜する際に、金属層での突起の発生を抑制することができる連続電解めっき装置及び連続電解めっき方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a dielectric ceramic composition used as a dielectric layer of a laminated ceramic capacitor, formed from fine particles and having excellent electric characteristics or temperature characteristics even when the capacitor is formed into a thin layer.例文帳に追加

積層セラミックコンデンサの誘電体層として使用し、微細な粒子から構成され、かつコンデンサを薄層化した場合においても、良好な電気特性や温度特性を有する誘電体磁器組成物の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide: a layered electrode film used for display devices, such as a liquid crystal display, a light emitting diode, an organic EL display and a touch panel, in which adhesion between a transparent oxide layer and an Ag alloy thin film layer is improved; and a method for producing the layered electrode film.例文帳に追加

液晶ディスプレイ、発光ダイオード、有機ＥＬディスプレイ、タッチパネルなどの表示デバイスに用いられる透明酸化物層とＡｇ合金薄膜層との密着性を向上させた積層電極膜およびその製造方法を提供すること。 - 特許庁

To obtain a multi-layer insulation material (MLI) that can control heat in a stable manner under a high temperature condition of 500°C or more, and to obtain a processing method that is superior for mass production and can inexpensively perform heat-resistance processing of a thin titanium sheet material used for the multi-layer insulation material.例文帳に追加

５００℃以上の高温下で安定した状態で熱制御できる多層断熱材（ＭＬＩ）を得ること、該多層断熱材に用いるチタン薄葉材を、低コストで耐熱化加工できる量産性に優れた加工方法を得る。 - 特許庁

To provide a thin-film transistor and a method of manufacturing the same, whereby: an organic semiconductor layer can be formed simply and accurately without using a bank; and the level difference between the organic semiconductor layer and any one of its source and drain electrodes can be reduced.例文帳に追加

バンクを用いることなく、有機半導体層を簡単に高精度に形成でき、有機半導体層とソースおよびドレイン電極との段差を小さくすることのできる薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタの製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for easily and accurately manufacturing a thin-film magnetic head, in which a magnetic shielding layer is provided so that a magnetic layer is surrounded from one medium outflow direction and two side directions for a total of three directions.例文帳に追加

媒体流出方向と２つの側方向との３方向から磁極層を囲い込むように磁気遮蔽層が配設された薄膜磁気ヘッドを容易かつ高精度に製造することが可能な薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する。 - 特許庁

In the method for manufacturing the thin-film magnetic head, a free layer 40 which is changed in a magnetization direction according to an external magnetic field and a magnetoresistive effect film having ferromagnetic layers 51 and 52 for applying a bias magnetic field to the free layer 40 are first formed.例文帳に追加

本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法では、まず、外部磁界に応じて磁化方向が変化するフリー層４０、及び、このフリー層４０にバイアス磁界を印加するための強磁性層５１，５２を有する磁気抵抗効果膜を形成する。 - 特許庁

The polycrystalline thin film Si depositing method includes a process for depositing a polycrystalline Si thin film serving as a base on a substrate, a process for depositing an amorphous Si layer on the surface of the polycrystalline Si thin film, a process for partially removing the amorphous Si layer and partially exposing polycrystalline Si, and a process for growing crystal Si by setting a part where polycrystalline Si is exposed as a core.例文帳に追加

多結晶薄膜Ｓｉ堆積法において、少なくとも 下地となる多結晶Ｓｉ薄膜を基板上に堆積する工程と 該多結晶Ｓｉ薄膜表面に非晶質Ｓｉ層を堆積する工程と 該非晶質Ｓｉ層を部分的に除去し、多結晶Ｓｉを部分的に露出させる工程と 該多結晶Ｓｉが露出した部分を核として結晶Ｓｉを成長させる工程とを含むことを特徴とする - 特許庁

A method for producing a functional article comprises forming a primer layer on a substrate and bonding a functional thin film using silanol groups formed on the surface of the primer layer, wherein after the formation of the primer layer, the primer layer is subjected to a treatment selected from the group consisting of contact with an acidic solution having a pH of 0-4, corona discharge, and ultraviolet radiation.例文帳に追加

機能性物品の製法は、基材上にプライマー層を形成し、プライマー層表面に形成されるシラノール基で機能性薄膜との結合を行うもので、プライマー層形成後に、プライマー層に対してｐＨ０乃至４の酸性溶液の接触、コロナ放電、紫外線照射の群から選ばれるいずれかの処理を行うこと。 - 特許庁

In the manufacturing method of the organic thin film transistor, a layer containing the precursor of a fused polycyclic aromatic compound which has at least a group capable of desorbing it by a protonate and an acid generating source adjoining to the layer are so formed as to convert the layer containing the precursor of the fused polycyclic aromatic compound into a semiconductor layer by heating.例文帳に追加

プロトネートにより脱離しうる基を少なくともひとつ有する縮合多環芳香族化合物の前駆体を含有する層およびこれに接する酸発生源を形成し、加熱により前記縮合多環芳香族化合物の前駆体含有層を半導体層に変換することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。 - 特許庁

The method comprises providing a substrate 100, depositing an amorphous silicon layer 114 on the substrate 100, adjusting the threshold voltage of the thin film transistor 101 by bringing the plasma into contact with the amorphous silicon layer 114, and performing a crystallization process to convert the amorphous silicon layer 114 into a polycrystalline silicon layer 114'.例文帳に追加

基板１００を提供することと、前記基板１００の上に非晶質シリコン層１１４を堆積することと、プラズマを前記非晶質シリコン層１１４と接触させることによって、前記薄膜トランジスタ１０１の閾値電圧を調整することと、結晶工程を行い、前記非晶質シリコン層１１４を多結晶シリコン層１１４に変換することを含む。 - 特許庁

The cloth for camouflaging far infrared rays is constituted by laminating a metal thin film layer, a colorant-containing resin layer and a water repelling resin layer at least on one side of cloth in this order and characterized in that the water repellency measured based on a JIS L1092-19986.2 method of the surface of the water repelling resin layer is a third class or above.例文帳に追加

本発明の遠赤外線偽装布帛は、布帛の少なくとも片面に、金属薄膜層、着色剤含有樹脂層および撥水樹脂層をこの順に積層せしめ、前記撥水樹脂層表面のＪＩＳ Ｌ１０９２−１９９８６．２法に基づいて測定される撥水性が３級以上であることを特徴とする。 - 特許庁

In a method for forming a polycrystalline silicon layer on the glass substrate, a thin film layer is formed on the glass substrate 50 by preheating the glass substrate 50, depositing an amorphous silicon precursor layer on the substrate at a primary temperature, and annealing the substrate in thermal processing chambers 52, 54, 56, 58 at a secondary temperature sufficiently higher than the primary temperature to substantially reduce hydrogen concentration in the precursor layer.例文帳に追加

ガラス基板５０を予熱し、その基板上に非結晶シリコン先駆層を一次温度で堆積させ、熱処理チャンバ５２，５４，５６，５８内において基板を一次温度よりも十分に高い二次温度でアニーリングして先駆層内における水素濃度を実質的に減少させることによってガラス基板５０上に薄膜層を形成できる。 - 特許庁

In a manufacturing method of the semiconductor device including the thin film transistor in which a semiconductor layer including a channel formation region is an oxide semiconductor layer, heat treatment for improving the purity of the oxide semiconductor layer, reducing moisture and the like which are impurities and oxidizing the oxide semiconductor layer (heat treatment for dehydration or dehydrogenation) is performed.例文帳に追加

チャネル形成領域を含む半導体層を酸化物半導体層とする薄膜トランジスタを有する半導体装置の作製方法において、酸化物半導体層の純度を高め、不純物である水分などを低減すると共に、酸化物半導体層を酸化する加熱処理（脱水化または脱水素化のための加熱処理）を行う。 - 特許庁

Thereafter, the resist is separated to make the base plating layer 4 exposed, the exposed base plating layer 4 is removed through an ion milling method by which the base plating layer 4 of the same shape as the electrodes 5 is formed, and the electrodes 5 are connected to the ends of the resistor 2 through the intermediary of the base plating layer 4 for the formation of a thin film resistor element.例文帳に追加

しかる後、レジストを剥離して下地めっき層４を露出させ、この露出した下地めっき層４をイオンミリング法で除去することにより、両電極５と同一形状の下地めっき層４を形成し、両電極５がそれぞれ下地めっき層４を介して抵抗体２の両端部に接続された薄膜抵抗素子を得る。 - 特許庁

The method of manufacturing the flexible magnetic disk medium is characterized in that the magnetic layer consisting of the ferromagnetic metal thin film, a protective layer and a lubrication layer are formed in this order on at least one surface of a flexible polymer substrate and then the surface on the magnetic layer side is burnished by using a burnishing tape run along a backup roll or a backup pad.例文帳に追加

可撓性高分子支持体の少なくとも一方の面に強磁性金属薄膜からなる磁性層、保護層、潤滑層をこの順に形成した後、該磁性層を有する側の表面をバックアップロールあるいはバックアップパッドに沿わせた研磨テープでバーニッシュ加工を行うことを特徴とするフレキシブル磁気ディスクの製造方法。 - 特許庁

In this radiological image conversion panel having a fluorescent sheet that is achieved by forming a fluorescent layer on a transparent and moisture-impermeable sheet according to a vapor deposition method, the surface of the fluorescent layer is directly or indirectly covered by a metal thin film (metal foil or metal deposition layer) to insulate the fluorescent layer from water entering from the outside.例文帳に追加

透明非透湿性シート上に気相堆積法により形成した蛍光体層を持つ蛍光体シートを備えた放射線像変換パネルにおいて、蛍光体層の表面を直接あるいは間接的に金属薄膜（金属箔あるいは金属蒸着層）で覆って、外部から侵入する水分から蛍光体層を隔離する。 - 特許庁

To provide a flexible substrate a manufacturing method therefor, and a thin film transistor using the same, which can prevent such phenomena that a metal substrate bends due to a buffer layer and the buffer layer peels off the metal substrate by restricting a substance of the buffer layer formed on the metal layer according to the thermal expansion coefficient of the metal substrate.例文帳に追加

金属基板の熱膨脹係数に従って前記金属基板上に形成されるバッファ層の物質を限定して、前記バッファ層により前記金属基板が曲がる現象、前記金属基板から前記バッファ層が剥離される現象を防止することができるフレキシブル基板及びその製造方法、それを用いた薄膜トランジスタを提供する。 - 特許庁

To provide: a manufacturing method of a photoelectric transducer which, even when a deposition time of a photoelectric conversion layer is short, can change a band gap (Eg) in its thickness direction and afford the photoelectric conversion layer with excellent photoelectric conversion efficiency; a photoelectric transducer manufactured by this manufacturing method; and a thin layer solar cell having this photoelectric transducer.例文帳に追加

光電変換層の成膜時間が短い場合でも、その厚さ方向のバンドギャップ（Ｅｇ）を変化させることができ、光電変換効率が優れた光電変換層が得られる光電変換素子の製造方法、この製造方法で製造された光電変換素子および、この光電変換素子を有する薄膜太陽電池を提供する。 - 特許庁

A thin GaN layer 302 is grown at a growth rate of, for example, 4 μm/h or under by depressurized hydride VPE method on a substrate 301, and then a thick AlGaN layer 304 is grown enough at a growth rate of 4-400 μm/h by normal pressure hydride VPE method on this GaN layer 2.例文帳に追加

ｃ面サファイア基板３０１上に、減圧ハイドライドＶＰＥ法により４μｍ／ｈ以下の成長速度で薄いＧａＮ層３０２を成長させた後、このＧａＮ層３０２上に常圧ハイドライドＶＰＥ法により４μｍ／ｈよりも大きく且つ２００μｍ／ｈ以下の成長速度で十分に厚いＡｌＧａＮ層３０４を成長させる。 - 特許庁

The resin case body is formed by an insert injection molding method or a in-mold injection molding method by inserting a thin film sheet 2 having a conductive layer 3 into a mold and injection molding a resin molded body 1 for a case body preform, wherein the conductive layer 3 is placed via an adhesive layer 4 in the inner face side of the resin molded body 1 for a case body preform.例文帳に追加

導電層３を有する薄膜シート２を金型に挿入して筐体母材用樹脂成形体１を射出成形するインサート射出成形法またはインモールド射出成形法で成形され、筐体母材用樹脂成形体１の内面側に接着層４を介して導電層３が位置している樹脂製筐体。 - 特許庁

This manufacturing method of the titanium oxide photocatalyst thin film having a surface layer containing silicon oxide and titanium oxide has a process where the titanium oxide photocatalyst thin film of which the surface layer is a layer containing silicon oxide and titanium oxide is irradiated with excimer light while heating a base material on which the titanium oxide photocatalyst thin film has been formed, in the presence of a silicon-containing compound, in a vacuum or a gas atmosphere.例文帳に追加

酸化チタン光触媒薄膜であって、表面層が酸化珪素と酸化チタンを含む層である酸化チタン光触媒薄膜、および酸化チタン薄膜を形成した基材に、珪素含有化合物の存在下、真空あるいはガス雰囲気において、基材を加熱しながら酸化チタン薄膜にエキシマ光を照射する工程を有することを特徴とする、酸化珪素と酸化チタンを含む表面層を有する酸化チタン光触媒薄膜の製造方法。 - 特許庁