boat loadとは 意味・読み方・使い方

A boat base 104 introduces a boat 105 which is formed of quartz and on which a plurality of wafers WF are mounted to the inside and the outside of the inner tube 101b (load/unload).例文帳に追加

ボートベース１０４は、複数のウェハＷＦが載置される石英製のボート１０５をインナーチューブ１０１ｂの内外に導く（ロード／アンロード）。 - 特許庁

The substrate 17 carried into the first load lock chamber 31 is put on a boat to carry it into a heat treatment chamber 12 by a boat loader 29.例文帳に追加

第１のロードロック室３１内に搬入された基板１７は、ボートに搭載され、ボートローダ２９によって熱処理室１２内に搬入される。 - 特許庁

In an outer tube 10, a boat 30 is provided to load a plurality of laminated semiconductor wafers (not shown).例文帳に追加

アウターチューブ１０内に、複数の半導体ウェーハ（図示せず）を積層して搭載するボート３０を設ける。 - 特許庁

That we should have risked a second boat load seems more daring than it really was.発音を聞く 例文帳に追加

２回もボートを出す危険をおかすなんて向こうみずに思われるかもしれないが、実際はそうでもなかった。 - Robert Louis Stevenson『宝島』

To provide a substrate treating apparatus which is equipped with a substrate loader and can safely load a wafer on a boat without changing the boat even if the number of wafers to be treated is changed.例文帳に追加

基板移載機を具備した基板処理装置に於いて、処理枚数に変更があった場合もボートを変更することなく、ウェーハを安全にボートに移載できる様にする。 - 特許庁

The cross-sectional shape of a circumferential wall 31 of a load chamber 3 is deformed so that at least a part of the circumferential wall 31 is nearer to a wafer boat 4, and this reduces the volume of the load chamber 3.例文帳に追加

ロード室３の周壁３１の横断面形状を、少なくともその一部がウェハボート４に接近する異形形状として、ロード室の容積を小さくした。 - 特許庁

Since a support wheel 11 supports an unbalanced load of the boat and a counterweight 12 equalizes the load in the operation, the turntable 2 can smoothly turn.例文帳に追加

上記の作動において、支持車輪１１はボートの偏荷重を支え、またカウンタウェイト１２が荷重を均等化するので、ターンテーブル２は円滑に旋回することになる。 - 特許庁

To provide an adhesive coating device for a boat for reducing worker' s load and suppressing cost of installation.例文帳に追加

作業者の負担を軽くすることができ、さらに設備費を抑えることができる艇体用接着剤塗布装置を提供する。 - 特許庁