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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > "Appearance Inspection"に関連した英語例文

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"Appearance Inspection"を含む例文一覧と使い方

該当件数 : 348



例文

A multiple-piece printed board is composed of six board pieces having specific circuit patterns formed and it is decided through outward appearance inspection whether each board piece is good to select a defective board piece (S1).例文帳に追加

所定の回路パターンが形成された6個の基板片からなる多面取りプリント基板に対し、外観検査で各基板片の良否を判別して不良基板片を選び出す(S1)。 - 特許庁

ALIGNING METHOD AND APPARATUS FOR MATERIAL OF TRUNCATED CONICAL SHAPE, AND MACHINING DEVICE, EXTERNAL APPEARANCE INSPECTION DEVICE, PRODUCT PACKAGING DEVICE THEREWITH, AND MANUFACTURING METHOD OF FORGED PRODUCT AND FORGING MACHINE EMPLOYING THE ALIGNING METHOD例文帳に追加

円錐台形状素材の整列方法と整列装置およびそれを備えた機械加工装置、外観検査装置、製品梱包装置、並びに当該整列方法を用いた鍛造製品の製造方法および鍛造装置 - 特許庁

To reduce the mounting area of electronic components consisting of chip parts, etc. such as capacitor, chip resistor, etc., and reinforce the junction strength, and facilitate the external appearance inspection of junction state and the repair work.例文帳に追加

チップコンデンサやチップ抵抗等のチップ部品等からなる電子部品の実装面積を小さくし、また接合強度を強くし、さらに接合状態の外観検査およびリペア作業を容易とする。 - 特許庁

To provide an appearance inspection device which can perform focusing operation fast and shorten a tact time for capturing the enlarged image of a substrate to be inspected.例文帳に追加

焦点合わせ動作を高速で行うことができ、被検査基板の拡大像を取り込むためのタイムタクトを短縮することができる外観検査装置を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a visual appearance inspection device of a structure, wherein an inspection of blocked holes provided in a base film tape can be made at a speed to respond to a processing speed easily and automatically in the manufacturing process of a film carrier tape for a semiconductor IC.例文帳に追加

半導体IC用フィルムキャリアテープの製造工程において、ベースフィルムテープの閉塞孔の検査を加工スピードに対応した速度で、容易に、かつ自動で行える外観検査装置を提供する。 - 特許庁


例文

This appearance inspection device 100 is equipped with a lighting means 10 for lighting agricultural produce which is an inspecting object, and an imaging means 20 for imaging the agricultural produce lit by the lighting means 10.例文帳に追加

検査対象の農産物を照明する照明手段10と、照明手段10により照明された農産物を撮像する撮像手段20と、を備える外観検査装置100である。 - 特許庁

To provide a taping unit and an electronic component inspection device which carry out an appearance inspection of an electronic component inserted in a carrier tape pocket, and exchange a defective product with a non-defective product efficiently.例文帳に追加

キャリアテープポケットに挿入された電子部品の外観検査を行い、不良品を効率よく良品と交換するテーピングユニット及び電子部品検査装置を提供。 - 特許庁

The appearance inspection is applied to the downward surface 1a where the transfer pattern of the transfer mold 1 is formed and determines whether there are defective parts on the transfer mold 1 so as to prevent the defects of the wiring pattern prior to transferring to the substrate.例文帳に追加

配線パターンの欠陥を防止するため、基板への転写に先立ち、転写用型1に欠損部があるかどうか、転写用型1の転写パターンの形成面1aを下向きにして外観検査を行う。 - 特許庁

Since the tone of the film 22 generates contrast with the tone of the photosensitive film 23, the mask pattern 23A can be inspected with high accuracy by using an automatic appearance inspection device by optical cognition method.例文帳に追加

また、皮膜22が感光膜23の色調とコントラストが得られる色調であるため、光学認識方式の自動外観装置を用いてマスクパターン23Aの検査を高精度に行うことが可能となる。 - 特許庁

例文

In a manufacturing method of the resin-molded article 20 using the appearance inspecting apparatus 10, since a UV curing of a hard coat layer 21 and an appearance inspection using UV light are performed simultaneously, the productivity of the resin-molded article 20 can be improved.例文帳に追加

外観検査装置10を用いた樹脂成形品20の製造方法では、ハードコート層21の紫外線硬化と紫外線を利用した外観検査とが同時に行われるため、樹脂成形品20の生産性を向上させることができる。 - 特許庁

例文

To provide an appearance inspection method and apparatus of a long inspecting object for correctly and surely determining whether there is an abnormality on the entire outer periphery of the long inspecting object, and improving the inspection accuracy.例文帳に追加

この発明は、長尺状の被検査部の外面全周に異常が有るか否かを正確且つ確実に判定することができ、検査精度の向上を図ることができる被検査物の外観検査方法及びその外観検査装置の提供を目的とする。 - 特許庁

Then, the pressing plate 31 placed on the plurality of assembly sheets 100 is removed while the upper surface of the substrate adsorption platform 20A is charged, and automatic appearance inspection is performed on the plurality of assembly sheets 100 adsorbed on the upper surface of the substrate adsorption platform 20A.例文帳に追加

続いて、基板吸着台20Aの上面が帯電した状態で複数の集合体シート100上に載置された押圧板31が取り外され、基板吸着台20Aの上面上に吸着された複数の集合体シート100の自動外観検査が行われる。 - 特許庁

The appearance inspection device stores a rectangular parallelepiped electronic component 120 in a recessed portion 21 formed on a carrying table 20 driven to intermittently rotate in an arrow a direction, and images the appearance of the electronic component 120 by a CCD camera 70.例文帳に追加

矢印a方向に間欠的に回転駆動される搬送テーブル20に形成された凹部21に直方体形状の電子部品120を1個ずつ収容し、該電子部品120の外観をCCDカメラ70で撮像する外観検査装置。 - 特許庁

Confirmation of displacement is simplified by giving a contact 3 a sufficient length and securing an amount of connector floating in temporary insertion, and the conductivity inspection and the appearance inspection are simplified by protruding the lower part of the connector from a printed circuit board 1 after press-fitting.例文帳に追加

コンタクト3に十分な長さを持たせて仮挿入時のコネクタ浮き量を確保して位置ズレ有無確認を簡易化すると共に、圧入後にプリント基板1からコネクタ下を突出させて導通検査や外観検査を簡易化する。 - 特許庁

To provide an apparatus for generating an appearance inspection discriminator, fully letting a discriminator which determines whether an inspection object is defectless or not, fully learn, even when there are only a few available images showing a defect on the defective inspection object.例文帳に追加

検査対象物の不良品に生じた欠陥を写した画像が少数しか得られない場合でも、検査対象物が良品か否かを識別する識別器を十分に学習させることが可能な外観検査用識別器生成装置を提供する。 - 特許庁

To provide a substrate-reversing mechanism for a substrate appearance inspection device capable of fixing and reversing various substrates to be inspected, using a simple mechanism, and which is capable of realizing space saving of an installation surface, to provide and a substrate-reversing and conveying means equipped therewith.例文帳に追加

種々の被検査基板を簡単な機構のもとで定置・反転させることができるほか、設置面の省スペース化を実現できる基板外観検査装置用の基板反転機構および該基板反転機構を備えた基板反転搬送手段の提供。 - 特許庁

The appearance inspection equipment 1 has a wafer holding section 4 which holds a wafer W in the XYZ directions while allowing the wafer W to be freely rotated around the Z axis, and a peripheral imaging section 5 which is arranged nearby to observe the peripheral portion of the wafer W.例文帳に追加

外観検査装置1は、ウェハWをXYZ方向及びZ軸回りに回転自在に保持するウェハ保持部4を有し、ウェハWの周縁部を観察するために用いられる周縁撮像部5が近接して配置されている。 - 特許庁

The wafer appearance inspection device 201 includes: a measuring stage 205; a monitor camera 203 for imaging a surface shape of a wafer 204 placed on the stage; and a control computer 202 for executing detection processing of surface shape defect of the wafer 204.例文帳に追加

ウェーハ外観検査装置201は、測定ステージ205と、その上に載置されたウェーハ204の表面形状を撮像するモニタカメラ203と、ウェーハ204の表面形状欠陥の検出処理を実行する制御用コンピュータ202を備える。 - 特許庁

The electron microscope 5 for observing a defect detected by the optical defect inspection device or the optical appearance inspection device has a constitution wherein an optical microscope 14 for re-detecting the defect is loaded, and a distribution polarization element and a space filter are inserted onto a pupil surface when performing dark field observation by the optical microscope 14.例文帳に追加

光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 - 特許庁

An appearance inspection device (1 or 1') in the invention inspects a surface of an inspected object (2 or 2') by exposing the inspected object (2 or 2') to a transmitted or reflected light.例文帳に追加

本発明では、被検査体(2,2')に透過光又は反射光を照射して被検査体(2,2')の表面の検査を行う外観検査装置(1,1')において、被検査体(2,2')に照射する透過光又は反射光の一部を遮蔽して被検査体(2,2')の表面に明部と暗部の境界領域を形成することにした。 - 特許庁

To provide an appearance inspection method and system capable of correct and reliable detection of defective regions without mistaking a defect- free region, presenting light-and-shade unevenness because of uneven lighting, for a defective region.例文帳に追加

照明むら等の影響により不良でない領域に濃淡値のむらがあっても、むらの領域を不良領域と誤判定することなく、不良の領域を正確且つ確実に検出することができる外観検査装置及び外観検査方法を提供する。 - 特許庁

To provide a correction method and device for hole clogging for a printed wiring board for effectively achieving external appearance inspection, foreign matter removal, and correction in the course of a manufacturing process of the printed wiring board, and provide a manufacturing method of the printed wiring board.例文帳に追加

プリント配線板の製造工程途中での外観検査、異物除去、修正を効率よく実施するための、プリント配線板の孔づまり修正方法及び修正装置並びにプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a device having a small device scale, allocating surely a defect of an observation object into a visual field of an electron microscope or the like, concerning a device for observing minutely by the electron microscope or the like, a defect detected by an optical defect inspection device or an optical appearance inspection device.例文帳に追加

光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。 - 特許庁

The electronic parts W held into the respective work holding recesses 2a, etc., are rotated by 90° and sequentially delivered to the lower rotating tables 2, etc., in the outer peripheral intersecting positions E, F, G, and observed from the outer peripheral side of the respective rotating tables 2, etc., to make the appearance inspection of four side faces.例文帳に追加

各ワーク保持凹所2a・・・に保持された電子部品Wを、外周交差位置E,F,Gで順次下方の回転テーブル2・・・へと90°回転させて受け渡し、これを各回転テーブル2・・・の外周側から観察して4側面の外観検査を行う。 - 特許庁

To provide a highly reliable tablet carrying device preventing appearance abnormalities such as cracks and chips from newly occurring in appearance of tablets to be inspected, on a supply passage of a tablet appearance inspection device incorporating the tablet carrying device.例文帳に追加

錠剤搬送装置を組み込んだ錠剤外観検査装置における供給路において、検査対象である錠剤の外観に割れや欠け等の外観異常を新たに発生させることのない信頼性の高い錠剤搬送装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

In this way, the image data captured by the appearance inspection device 1b are offered to the client without any image collecting device 2 conventionally required only for capturing the commodity image to be offered to the client, and consequently, costs for the system can be lowered as a whole.例文帳に追加

外観検査装置1bにより取り込まれた画像データを顧客に提供することによって、従来例のように顧客に提示する商品の画像を取り込むだけのために画像収集装置2を要することなく、システム全体のコスト低減を図ることができる。 - 特許庁

An SEM system appearance inspection method and a device thereof, in which, after loading a sample on a portable stage and carrying out measurement of a height of the sample, electron beams are scanned over the sample to find a defective part from an image thus obtained, include a height measurement with a correction processing function through stage movement.例文帳に追加

試料を移動可能なステージ上にロード後、試料の高さ計測を行った後、試料に電子線ビームを走査させ、得られた画像から欠陥部を求めるSEM式外観検査方法及び装置において、高さ計測がステージ移動による補正処理機能を備えている。 - 特許庁

An appearance inspection device 1 comprises: an image acquisition part 2 for acquiring an image of an object 10; a binarization part 3a for acquiring a binarized image after applying binarization processing to the image; and an abnormality determination part 3b for determining whether the object 10 has an appearance abnormality based on the binarized image.例文帳に追加

外観検査装置1は、物体10の画像を取得する画像取得部2と、画像に二値化処理を施して二値化画像を取得する二値化部3aと、二値化画像に基づき物体10の外観異常の有無を判定する異常判定部3bと、を備えている。 - 特許庁

In the respective appearance inspection stations ST1-ST5 of an appearance inspecting apparatus, support mechanisms 20 are arranged to both ends of a walking beam mechanism 10, and the support mechanisms 20 support an object P to be inspected having rotary chucks 40 attached to both ends thereof in a rotatable manner through the rotary chucks 40.例文帳に追加

外観検査装置の各外観検査ステーションST1〜ST5は、ウォーキングビーム機構10の両端に支持機構20が配設され、支持機構20はその両端に回転チャック40の取り付けられた被検査物Pを回転チャック40を介して回転可能に支持する。 - 特許庁

In the appearance inspection system for inspecting the appearance of the sheet material having translucency, a plurality of monochromatic background plates of different color is disposed over the conveyance width in the direction orthogonal to the conveyance direction of an inspecting object, and the conveyed inspecting object travels on it.例文帳に追加

透光性を有するシート材の外観を検査する外観検査システムにおいて、複数の互いに色が異なる単一色の背景板が、被検査物の搬送方向に直交する方向に搬送幅にわたって設けられ、搬送されてきた被検査物がその上を通過する。 - 特許庁

The appearance inspection device comprises the table 1 for supporting a bottle G of the inspection object, the surface light source 7 for irradiating the bottle G supported on the table 1 with diffusion light, and the imaging device 60 arranged opposite to the surface light source 7 while holding the bottle G in between.例文帳に追加

外形検査装置は、検査対象のびんGを支持するテーブル1と、テーブル1上に支持されたびんGへ拡散光を照射する面光源7と、びんGを中間に挟んで面光源7と対向位置させる撮像装置60とから成る。 - 特許庁

To provide a thermosetting resin composition having black appearance, no decrease in insulation and reliability as a printed circuit board, and capable of appearance inspection by fluorescent light inspection type appearance inspector and suitable for manufacturing a laminated sheet, prepreg, laminated sheet, and printed circuit board.例文帳に追加

外観が黒色であり、プリント配線板として絶縁性及ぴ信頼性の低下がなく、かつ蛍光検出型外観検査機による外観検査が可能な積層板を製造するために好適な熱硬化性樹脂組成物、プリプレグ、積層板およびプリント配線板を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a circuit board design device, a circuit board design method and a circuit board design program, more specifically, which can make arrangement of parts to a circuit board dense, while giving consideration to the restriction by an appearance inspection device, etc.例文帳に追加

本発明は回路基板の設計に関し、より詳細には回路基板への部品配置において外観検査装置等の制限を考慮しながら高密度に配置できる回路基板設計装置、回路基板設計方法および回路基板設計プログラムに関するものである。 - 特許庁

To provide an inspection system by which investigation or the like of the causes of defects of a semiconductor sample can be easily performed by making the work for observing defects detected by a SEM (scanning electron microscope)-aided appearance inspection apparatus is surely performable with the use of a review apparatus with high definition.例文帳に追加

SEM式外観検査装置で検出した欠陥をレビュー装置で高分解能観察する作業を容易、且つ確実に行えるようにし、半導体試料の欠陥に対する原因究明等が容易に行える検査システムを提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a semiconductor device which prevents breakage (cracks and chips) of a semiconductor wafer due to small impact caused when the semiconductor wafer is housed in a case or is transported with being housed in the case even when the semiconductor wafer is thinly ground, which allows conducts of appearance inspection and electrical inspection.例文帳に追加

半導体ウエハを薄く研削した場合であっても、ケースヘの収納時やケースに収納した状態での搬送時等における僅かな衝撃による半導体ウエハの破損(割れ・欠け)を防止することが可能であるとともに、外観検査や電気的検査を実施することが可能な半導体装置の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a lead frame which can prevent joining failure of wire-bonding, prevent mis-alignment of die-bonding, prevent peeling of resin from a die pad, prevent occurrence of a bubble of sealing resin or an unfilled sealing resin, and easily perform an appearance inspection of confirming a semiconductor chip mounting position, and also to provide a semiconductor device, and an electronic apparatus.例文帳に追加

ワイヤボンディングの接合不良を防止することができると共に、ダイボンディングのミスアライメントを防止することができ、かつ、ダイパッド部からの樹脂の剥離を防止できると共に、封止樹脂の気泡及び未充填の発生を防止することができ、半導体チップ搭載位置確認の外観検査が容易であるリードフレーム、半導体装置、および、電子機器を提供すること。 - 特許庁

A circuit board production line 9 comprises an electronic component mounting machine 1 which attaches electronic components 80, 81 to circuit boards Bf, Br based on the mounting machine data, and a circuit board appearance inspection machine 7 which inspects the appearance of the circuit boards Bf, Br to which the electronic components 80, 81 are attached based on the inspection machine data.例文帳に追加

基板生産ライン9は、実装機データに基づいて基板Bf、Brに電子部品80、81を装着する電子部品実装機1と、電子部品実装機1の下流側に配置され、検査機データに基づいて電子部品80、81が装着された基板Bf、Brの外観を検査する基板外観検査機7と、を備える。 - 特許庁

To provide a defect detector suitable for detecting a defect, such as a void on the bonded interface of transparent substrates composed of a compound semiconductor, which are bonded directly, and a defect detection system capable of surely removing the defect portion in a chip appearance inspection after chip process completion and a defect detection method.例文帳に追加

直接接合により貼り合わされた化合物半導体からなる透明基板の貼り合わせ界面のボイド等の欠陥を検出するのに好適な欠陥検出装置、更にチッププロセス終了後のチップ外観検査において該不良部を確実に取り除くことができる欠陥検出システムおよび欠陥検出方法を提供する。 - 特許庁

In the surface defect data display management device 3, a risk level calculation part 33 calculates an influence degree of a defect upon yield of the final product on the basis of a defect size of the wafer detected by an appearance inspection device 12 and a review device 10 and a pattern density obtained from design data of a pattern figure corresponding to neighbors of the position of the defect.例文帳に追加

表面欠陥データ表示管理装置3において、危険率算出部33は、外観検査装置12やレビュー装置10によって検出されたウェーハの欠陥サイズと、その欠陥の位置の近傍に対応するパターン図の設計データから得られるパターン密度とに基づき、その欠陥が最終製品の歩留まりに影響を及ぼす影響度を表面欠陥の危険率として算出する。 - 特許庁

The apparatus and method for optically inspecting a printed circuit board make it possible to use light in an infrared band to reduce excessive detection of products that are judged to be defective due to a nonconducting foreign matter, and make it possible to simultaneously carry out an electrical circuit pattern inspection and an appearance inspection, thus enabling an improvement in speed of inspection.例文帳に追加

開示されたプリント回路基板の光学検査装置及びその方法によれば、赤外線帯域の光を利用して非伝導性異物によって不良品と判別される過検出を低減することができ、電気的な回路パターン検査及び外観検査を同時に処理することができるため、検査速度を向上させることができる。 - 特許庁

The appearance inspection device comprises the table 1 for supporting bottles; the surface light source 7 for irradiating the bottles on the table 1, the imaging device 60 which is arranged opposite to the surface light source 7 holding the bottle in between, and the elevation mechanism 2 for elevating the table 1 so as to put the inspection position in the viewing range of the imaging device 60.例文帳に追加

外形検査装置は、びんを支持するテーブル1、テーブル1上のびんへ光を照射する面光源7、びんを中間に挟んで面光源7と対向位置させる撮像装置60、撮像装置60の視野範囲にびんの検査部位が入るようにテーブル1を昇降動作させる昇降機構2から成る。 - 特許庁

In the confirmation operation screen to confirm the determination result regarding a component determined to be defective in an automatic appearance inspection, the image list is displayed in which images of components determined to be defective are sorted in descending order of deviation of measured values from a determination standard used for detecting a defect for each defect type, and the designation of a boundary position between conforming/defective is received.例文帳に追加

自動外観検査において不良と判定された部品に関する判定結果を確認するための確認操作画面において、不良と判定された部品の画像を、不良の種毎に、その不良の検出に用いられた判定基準に対する計測値の逸脱度合いの大きいものから順に並べた画像リストを表示し、良/不良の境界位置の指定を受け付ける。 - 特許庁

To recognize alignment deviation of a terminal part from a face side opposite to a mounting face by appearance inspection when the mounting face of mold resin is loaded on a substrate in a state where the mounting face is confronted with the substrate in a mold package where a lead frame is sealed with mold resin and the terminal part of the lead frame is exposed to a peripheral part in the mounting face of mold resin.例文帳に追加

リードフレームをモールド樹脂にて封止してなり、モールド樹脂の実装面における周辺部にリードフレームの端子部が露出するモールドパッケージにおいて、モールド樹脂の実装面を基板に対向させた状態で基板に搭載するときに、実装面と反対の面側から端子部のアライメントずれを外観検査で確認できるようにする。 - 特許庁

An appearance inspection system for obtaining an image of an inspection object and inspecting an appearance is provided with an image detector 100 for detecting the image of the inspection object and an information processor 200 for processing the image detected by the image detector 100 and determining the existence of abnormality emerging in the image of the inspection object.例文帳に追加

検査対象の画像を取得して外観検査を行う概観検査システムであって、検査対象の画像を検出する画像検出装置100と、画像検出装置100により検出された画像を処理して、当該検査対象の画像に現れる異常の有無を判定する情報処理装置200と、を備える。 - 特許庁

This wire harness appearance inspection device 1 employed is equipped with a harness appearance comparison means 6 provided inside a frame 2, mounting parts 3 provided on both sides of the frame, and an inspection harness bearing part 44 installed between the both-side mounting parts and positioned apart from the comparison means with a gap 28 left between.例文帳に追加

フレーム2の内側に設けられるハーネス外観比較手段6と、フレームの両側に設けられる取付部3と、両側の取付部の間に架設され、ハーネス外観比較手段との間に隙間28を存して離れて位置する検査ハーネス受け部44とを備えるワイヤハーネス外観検査装置1を採用する。 - 特許庁

The appearance inspection track system includes: a fixed track 3 having a travel face 3a where the carrier tape 15 travels; a movable track 4 which is freely slidably installed in a part of the fixed track 3 along a travel direction and has a travel face 6 where the carrier tape 15 travels; and the appearance inspecting part 20 disposed near the movable track 4.例文帳に追加

外観検査トラックシステムはキャリアテープ15を走行させる走行面3aを有する固定トラック3と、固定トラック3の一部に走行方向に沿って摺動自在に設けられ、キャリアテープ15を走行させる走行面6を有する可動トラック4と、可動トラック4の近傍に配置された外観検査部20とを備えている。 - 特許庁

In the appearance inspecting apparatus for inspecting the surface of the electrophotographic photoreceptive drum, a pair of driving rollers 1 are disposed with an adequate distance so as to support the ends of the electrophotographic photoreceptive drum to be inspected, and the electrophotographic photorecreptive drum mounted on these driving rollers 1 are rotated due to the friction between its weight and the driving rollers 1 to perform the appearance inspection by rotating the driving rollers 1.例文帳に追加

電子写真用感光ドラムの表面検査を行うための外観検査装置において、検査すべき電子写真用感光ドラムの端部を支持することができるように適宜間隔もって配置された一対の駆動ローラが該電子写真用感光ドラムの両端部を支持するため一組配置され、これら駆動ローラ上に載置された電子写真用感光ドラムが、駆動ローラを回転させることでその自重と駆動ローラーとの摩擦により回転し外観検査が行われる。 - 特許庁

例文

An appearance inspection device for detecting defects occurred in a construction layer (barrier rib 3) of the substrate by illuminating the surface of the substrate, detecting a reflected light from the surface of the substrate by a line sensor S (or an area sensor) and treating variations in the intensity with a specific algorithm comprises an illumination utilizing a parallel incident light at a specific angle to the substrate or a diffused light.例文帳に追加

基板の表面に照明を当て、その基板の表面からの反射光をラインセンサーS(或いはエリアセンサー)で検出し、その輝度変化を特定のアルゴリズム処理を行うことにより、その基板の構成層(バリヤーリブ3)に発生している欠陥を検出する外観検査装置において、照明として、基板に対してある特定の角度で入射する平行光を用いるようにするか、或いは、拡散光を用いるようにする。 - 特許庁

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