「電子顕微鏡試料」に関連した英語例文の一覧と使い方(11ページ目) - Weblio英語例文検索

電子顕微鏡から得られたステレオの検出データを適切に処理して、試料像を正確に精度よく立体観察可能とし、かつこれに基づき三次元形状計測を行うことができる電子線装置を提供する。例文帳に追加

To provide an electron beam device capable of appropriately processing stereo scopic detection data obtained from an electron microscope, three-dimensionally observing an image of a sample correctly and highly precisely, and measuring the three dimensional shape of the sample based on the observation. - 特許庁

走査電子顕微鏡等を用いた観察時に、電子ビームＥ１が試料３の被観察領域に照射されるにつれて、当該被観察領域が負に帯電されていく。例文帳に追加

As an observed area of the sample 3 is irradiated by the electron beam E1 during observation with a scanning electron microscope, the area is negatively charged. - 特許庁

電子顕微鏡内の試料に近接させても非点収差等による２次電子像の歪みを起こさない高感度なＸ線検出器を提供することである。例文帳に追加

To provide a highly sensitive X-ray detector prevented from generating distortion of a secondary electron image caused by an astigmatism and the like, even when getting close to a sample inside an electron microscope. - 特許庁

電子ビームを試料上で傾斜させて走査した場合でも、主ビームが常に円環状の暗視野走査像検出器の中心を通るようにすることができる走査像観察機能を有した透過型電子顕微鏡を実現する。例文帳に追加

To provide a transmission electron microscope having a scan image observation function for always passing a main beam through the center of an annular dark-field scan image detector even when scanning is carried out by a tilted electron beam on a sample. - 特許庁

電子顕微鏡は電子ビームの焦点を試料上に結ぶための対物レンズ151bと、対物レンズ151bに供給される励磁電流を供給するレンズ制御部150bと、特徴構造を測定するホストコンピュータ102を有している。例文帳に追加

The electron microscope has an objective lens 151b for connecting the focus point of an electron beam on the sample, a lens controller 150b which applies exciting current applied to the objective lens 151b, and a host computer 102 which measures feature structures. - 特許庁

試料に対して電子顕微鏡を走査しながら観察を行う構成を有し、紫外光、Ｘ線の、少なくともいずれかを照射可能な、照射系１５を具備している二次電子像観察装置１０を提供する。例文帳に追加

This secondary electron image observation device 10 is provided with an irradiation system 15 having a structure for observing a sample while scanning it with an electron microscope and capable of irradiating the sample with at least either of an ultraviolet ray and an X-ray. - 特許庁

透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）等の荷電粒子線装置において、試料室の上下（電子線の入射側及び出射側）に設置される絞り（オリフィス）の口径変更、交換、着脱が容易に行えるようにする。例文帳に追加

To facilitate a diameter change, an exchange, and mounting and dismounting of an orifice arranged above and below a sample chamber (an incident side and an emitting side of an electron beam) in a charged particle beam device such as a transmission electron microscope (TEM). - 特許庁

走査型電子顕微鏡として用いられる場合、レンズ鏡筒２は試料４と同電位に保持され、電子銃１には負の電位が印加される。例文帳に追加

When this device is used as a scanning electron microscope, a lens barrel 2 is kept at the same potential as that of a sample 4, and a negative potential is applied to an electron gun 1. - 特許庁

インレンズ形対物レンズを有する高分解能走査電子顕微鏡において、散乱角の大きな透過電子を検出できるようにし、試料や目的に応じた高コントラストのＳＴＥＭ像を観察する。例文帳に追加

To enable to detect a transmitted electron with a large scattering angle and to observe an STEM image of a high contrast according to a testpiece and a purpose, in a high-resolution scanning electron microscope having an in-lens type objective lens. - 特許庁

直流超高圧電源、直流加速管及び多数の超高圧用電磁レンズを使用しなくても、超高圧に加速された電子線による試料観察が可能な対物レンズ系及び電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

To provide an objective lens system and an electron microscope capable of sample observation with an electron beam accelerated to ultra high voltage even without any use of a DC ultra high-voltage power supply, a DC acceleration tube, or a number of electromagnetic lenses for ultra high voltage. - 特許庁

本発明は透過型電子顕微鏡におけるトモグラフのデータ測定方法及び装置に関し、試料への電子線照射量を減らすことができるトモグラフのデータ測定方法及び装置に関する。例文帳に追加

To provide a data measuring method and a device of a tomograph, reducing an electron beam irradiation quantity to a sample, in the data measuring method and the device of the tomograph in a transmission type electron microscope. - 特許庁

無機多孔体の断面を電子顕微鏡で観察するための観察試料であって、前記無機多孔体よりも二次電子放出率の高い金属が前記無機多孔体の細孔に充填されていることを特徴とする。例文帳に追加

This observation sample is used for observing the cross section of the inorganic porous body by using electron microscopy, and the pores of the inorganic porous body are filled with a metal of secondary electron emission rate which is higher than that of the inorganic porous body. - 特許庁

入射像面および入射瞳面を有し、試料を通過した電子の分析方法として１種類またはそれ以上の種類の分析方法を実施可能とする、適応性の高い分析系を備える透過電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

To provide a transmission electron microscope having an analysis system with high adaptability, which has an incident image surface and an incident pupil surface and can perform one or more kinds of analysis methods as an analysis method for electrons passing through samples. - 特許庁

電子顕微鏡を用いた欠陥のレビュー方法、および欠陥のレビュー装置において、電子ビームの自動焦点合わせの設定に要するユーザの工数を低減し、試料の観察を容易化する。例文帳に追加

To provide a process of reviewing failure using electronic microscope and to provide a failure reviewing device which can reduce a man-hour of user required for setting automatic focus by electron beam and to facilitate the observation of a sample. - 特許庁

電子顕微鏡および光学顕微鏡でのシート状試料の断面観察や膜厚を測定する際の凍結切片法により断面出しを行う場合において、試料を垂直にセットする際の作業性を向上させることにより、膜厚測定の誤差を小さくすると共に、作業毎のバラツキ幅を抑えること。例文帳に追加

To reduce the measuring error of film thickness and to suppress width irregularity at every work, in setting a cross section by a frozen section method when the cross section of a sheet-like sample is observed or the thickness thereof is measured by an electron microscope or an optical microscope, by enhancing the workability at time of the vertical setting of the sample. - 特許庁

複数個の試料から同時にスペクトル像を取得し、スペクトル像より抽出された電子エネルギー損失スペクトルから、高精度のケミカルシフトを測定することが可能な透過型電子顕微鏡装置，試料ホルダ，試料台及びスペクトル像の取得方法を提供する。例文帳に追加

To provide a transmission electron microscope apparatus capable of acquiring a spectral image simultaneously from a plurality of samples and measuring a highly accurate chemical shift form an electronic energy loss spectrum extracted from the spectral image, a sample holder, a sample stage, and a method of acquiring the spectral image. - 特許庁

複数個の試料から同時にスペクトル像を取得し、スペクトル像より抽出された電子エネルギー損失スペクトルから、高精度のケミカルシフトを測定することが可能な透過型電子顕微鏡装置，試料ホルダ，試料台及びスペクトル像の取得方法を提供する。例文帳に追加

To provide a transmission electron microscope apparatus, a sample holder, a sample stage and a method for acquiring a spectral image, capable of acquiring the spectral image from a plurality of pieces of samples simultaneously, and measuring a chemical shift of high precision from an electron energy loss spectrum extracted from the spectral image. - 特許庁

上記目的を達成するために、走査電子顕微鏡の対物レンズ、或いは電子ビームを加速するための加速円筒への励磁電流、或いは印加電圧を、測定対象試料を対物レンズ下から離間させたときに、励磁電流をオフ、或いは離間させる前に比べて弱励磁、又は印加電圧をオフ、或いは離間させる前に比べて低電圧とする電子顕微鏡を提案する。例文帳に追加

The electron microscope is provided in which an excitation current or an impressing voltage to an objective lens or an acceleration cylinder for accelerating electron beams of the scanning electron microscope is cut off when the measuring object test piece is separated from underneath of the objective lens, or is made weak excitation compared with before separation for excitation current, or cut off or made to be lower voltage compared with before the separation for impressing voltage. - 特許庁

試料１１に電子ビーム１ａを照射するための電子ビーム鏡筒１と、試料１１を支持する試料台３と、試料１１から放出される後方散乱電子を検出するための散乱電子検出器６と、試料１１に集束イオンビーム２ｂを照射するための集束イオンビーム鏡筒２とを有する電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

An electron microscope has: an electron beam lens-barrel 1 in order to irradiate an electron beam 1a to a sample 11; a sample stage 3 to support the sample 11; a scattered electron detector 6 in order to detect backscattered electrons discharged from the sample 11; and a focused ion beam lens-barrel 2 in order to irradiate the sample 11 with a focused ion beam 2b. - 特許庁

試料表面に導電性ペーストを塗布する際に、試料の一部またはすべてが非導電性である試料のチャージアップや汚染を防ぎ、良好な電子顕微鏡像が得られるための処理機能を有した前処理装置、ならびに前処理方法を提供する。例文帳に追加

To obtain a pretreating device and method with a processing function for preventing a partially or wholly non-conductive sample from being charged up and contaminated at the time of applying a conductive paste on the surfaces of the sample and obtaining satisfactory images through an electron microscope. - 特許庁

透過型電子顕微鏡観察用の試料となる試料片２を薄片化した後、フォトレジスト３でパターンを形成して、エッチングを行い、形成されたエッチング部４にイオンミリング装置による研磨を行って観察部５を形成する試料作製方法である。例文帳に追加

This method for making a sample comprises thinning a sample piece 2 that becomes the transmission electron microscopic sample, forming a pattern by a photo resist 3 followed by etching, and polishing a formed etched part 4 by an ion milling device to form an observation part 5. - 特許庁

集束イオンビームでＴＥＭ観察用の薄片化試料を作製し、低加速電圧の気体イオンビームで試料表面のダメージ層を除去する装置において、電子顕微鏡と試料とを最適な距離に配置すること。例文帳に追加

To arrange an electron microscope and a sample so that the distance therebetween is optimum, in a device which prepares a thin sample by focused ion beam for use in observation by a transmission electron microscope (TEM) and removes a damaged layer on the sample surface using a gaseous ion beam at a low acceleration voltage. - 特許庁

顕微鏡による試料の観察において電子カルテシステムを利用する際に、異なる生体に関する試料とカルテ情報を同じ生体に関する試料とカルテ情報であると誤認する事故を容易かつ確実に防止する手段を提供する。例文帳に追加

To provide a means for easily and reliably preventing an accident that a sample and chart information about an alien living body are falsely recognized as a sample and chart information about the same living body when using an electric chart system in observing a sample by a microscope. - 特許庁

シリコン結晶中の結晶欠陥観察用透過型電子顕微鏡用の薄片試料を、一度に大量に作成することができるとともに簡便に広い面積で作製することを可能とした試料作製方法及び薄片試料を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a sample which can form at once a large quantity of thin piece samples for a crystal defect observing transmission electron microscope in the silicon crystal and which can be simply manufactured in a wide area and to provide the thin piece sample. - 特許庁

フォトマスクのような試料表面に初期に意図的に電荷を帯電させた後で、帯電された試料表面を１次電子ビームでスキャンして生じる２次電子の信号を基とする画像を得る走査電子顕微鏡画像による。例文帳に追加

After internationally charging electric charge at early stages on a sample surface such as a photograph mask, the scanning electron microscope image, is set as the base which obtains the image based on a signal of a secondary electron produced by scanning with a primary electronic beam on the charged sample surface. - 特許庁

走査電子顕微鏡の電子銃２に接続される電子線加速高圧電源１を電圧微細調整器３により加速電圧を可変にすることにより対物レンズの焦点距離を連続的に変更し、試料位置を機械的手段で調整することなく試料への焦点合わせを実現させる。例文帳に追加

A focal length of an objective is continuously changed by making accelerated voltage from a power source 1 of an electron beam accelerating voltage connected to an electron gun 2 of the scanning electron microscope variable by a voltage fine controller 3 to realize focusing to a sample without adjusting a position of a sample by a mechanical means. - 特許庁

光電子顕微鏡内の１０^-5Ｐａ以下という超高真空下において確実にガス吸着を実現でき、かつ、この超高真空を安定して維持できる試料装置を提供する。例文帳に追加

To provide a sample device which can certainly realize the adsorption of gas under the ultrahigh vacuum of 10^-5Pa or below in the photoelectron microscope and can stably keep this ultrahigh vacuum. - 特許庁

電子線式顕微鏡を用いた半導体欠陥自動レビューにおける自動焦点合わせに要する時間を短縮することができ、試料を観察するスループットを向上させる。例文帳に追加

To shorten the time required for automatic focusing in semiconductor defect automatic review by use of an electron beam type microscope to improve throughput for observing a sample. - 特許庁

レジストパターンの寸法を走査型電子顕微鏡で測定するにあたり、試料を冷却して測定することを特徴とするレジストパターンの寸法測定方法。例文帳に追加

This measuring method of a dimension of a register pattern consists of cooling a sample before measuring a regist pattern dimension with a scanning electron microscope. - 特許庁

半導体デバイス等における特定深さの平面的な微細構造の観察を容易にする、透過型電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for preparing a samaple for microscopic observation using a transmission type electron microscope facilitating the observation of a planar microstructure with a specific depth in a semiconductor device. - 特許庁

本発明の目的は、集束イオンビーム加工法などにより加工した試料をさらに他の前処理法で薄膜加工し、そのまま電子顕微鏡により観察および分析することにある。例文帳に追加

To apply thin film processing by the other pre-processing method on a sample processed by a focused ion beam processing method or the like, and to observe and analyze it as it is by an electron microscope. - 特許庁

試料表面の凸凹の立体的な画像を観察することができる電子顕微鏡において、構成が簡単で低コストで得ることができるようにする。例文帳に追加

To realize an electron microscope having a simple structure and being low cost, where the electron microscope can provide observation of a three-dimensional image of the ruggedness on a sample surface. - 特許庁

材料毎のスパッタイールド差を大きくするアシストガスを利用した集束イオンビームアシストエッチングにより、構造毎の微小凹凸を形成することで、走査電子顕微鏡観察に適した試料作製を実現する。例文帳に追加

The sample production device achieves sample production suitable for observation by a scanning electron microscope, by forming a micro irregularity every structure by focused ion beam assistant etching using assist gas for increasing the spatter yield difference for every material. - 特許庁

走査式電子顕微鏡を用いた観察において、観察試料に対して鉛直下向きに撮像する落射画像と、傾斜観察画像とを高速に収集すること。例文帳に追加

To enable to collect a vertical image photographing against an observation sample and a slant observation image in observation using a scanning type electron microscope at a high speed. - 特許庁

位相回復法を適用した電子顕微鏡等において、回折像の画素サイズｐ、カメラ長L、照射ビームの波長λにより決まる画像サイズと試料照射領域が一定関係になるようにする。例文帳に追加

In the electron microscope applying a phase retrieval method, an image size decided by a pixel size p of a diffraction image, a camera length L, and a wavelength λ of irradiation beams and a sample irradiation area are set to have a constant relation. - 特許庁

半導体製造分野で用いられる電子顕微鏡装置の試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を可能とする。例文帳に追加

To allow positioning precision of high level such as required in a sample stage of an electron microscope device used in a field of manufacturing a semiconductor, and to allow reduction of a drift. - 特許庁

生体分子、ＤＮＡ等を高集積度で配列し、透過電子顕微鏡を用いて観察、解析できる高集積度バイオチップ用試料支持体およびその製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a sample support for a high accumulation biochip capable of arranging biomolecules, DNA or the like in a high accumulation degree to observe and analyze the same using a transmission electron microscope. - 特許庁

半導体製造分野で用いられる走査型電子顕微鏡の試料ステージについて要求されるような高いレベルでの振動やドリフトの低減および位置決め精度を可能とするステージ装置の提供。例文帳に追加

To provide a stage system enabling alleviation of vibration or drift at a high level and positioning accuracy, which are required for a sample stage of a scanning electron microscope used in a field of semiconductor manufacturing. - 特許庁

大型試料の任意の位置を観察することを可能にし、また、三次元立体像を容易に得ることができ小型化された走査型電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

To provide a miniaturized scanning electron microscope enabling observation of the optional position of a large sample, and capable of easily obtaining a three-dimensional image. - 特許庁

薄片状に加工する前のサンプルにＯｓ（オスミウム）からなる膜をサンプルの表面に形成し、その後に加工して薄片状とすることを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。例文帳に追加

A film comprising Os (osmium) is formed on the surface of the sample before processed into a slice form and this sample having the Os film on its surface is processed into the slice form to prepare the sample for the transmission electron microscope. - 特許庁

本発明の目的は、試料像の全体に亘って焦点が合った像を得ることにあり、全体に亘ってぼけのない２次元像を獲得できる走査電子顕微鏡の提供にある。例文帳に追加

To provide a scanning electron microscope in which an image focused over the whole sample image is obtained, and in which the two-dimensional image can be acquired without blurring all over the image. - 特許庁

走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いた回路パターンの寸法計測において、試料上の任意の評価ポイント（ＥＰ）を自動で撮像し，評価ポイントに形成された回路パターンを自動で計測することを可能にする。例文帳に追加

To automatically image a desired evaluation point (EP) on a sample, and automatically measure a circuit pattern formed at the evaluation points, in the dimension measurement of a circuit pattern using a scanning electron microscope (SEM). - 特許庁

透過型電子顕微鏡用の薄片試料を作製する際に、集束イオンビームによるスパッタエッチングによって切削端面に生じたダメージ層を除去する。例文帳に追加

To remove a damaged layer generated in a cut end face by sputtering- etching with a convereged ion beam, when preparing a thin sample piece for a transmission electron microscope. - 特許庁

Ｘ線分析装置を備える電子顕微鏡において専門的な知識や能力がなくても試料の観察および分析において精度の高い結果を得ることができるようにする。例文帳に追加

To obtain a precise result in observation and analysis of a sample, even when not having expert knowledge and ability, in an electron microscope provided with an X-ray analyzer. - 特許庁

容易に、低コストにて、ガラス繊維配合ポリマー本来の明確なモルフォロジーを観察できる、透過型電子顕微鏡の検鏡試料作成法の提供。例文帳に追加

To provide microtomy for a transmission type electron microscope providing easy and inexpensive observation of clear glass fiber mixed polymer innate morphology. - 特許庁