「Dissolution」に関連した英語例文の一覧と使い方(44ページ目) - Weblio英語例文検索

The method for isolating the cyanophage includes a process for filtering a liquid sample containing the cyanophage with a filter, inoculating the obtained filtrate into a solution for culturing the algae of the genus Microcystis, culturing the cyanophage, and then subjecting the alga dissolution-observed culture solution to a limiting dilution treatment to clone the cyanophage.例文帳に追加

該シアノファージの単離方法は、シアノファージを含有する液体試料をフィルターで濾過し、得られた濾液をミクロキスティス属の藻類の培養液に接種して培養を行い、溶藻が観察された培養液を限界希釈することにより前記シアノファージをクローニングする工程を含む。 - 特許庁

A lubricating film is formed by coating the engaging face of either one of the box and the pin constituting the screw joint with the lubricating film forming composition produced by dissolving one or more basic oils selected from basic sulfonate, basic salicylate and basic phenate with a dissolution base.例文帳に追加

ねじ継手を構成するボックスとピンのいずれか一方の嵌合面に、塩基性スルホネート、塩基性サリシレートおよび塩基性フェネートから選ばれる１種または２種以上の塩基性油剤を溶解基剤で溶解した潤滑被膜形成用組成物を塗布して潤滑被膜を形成する。 - 特許庁

To provide a dissolution apparatus capable of accurately judging the clogging degree of a filter for filtering stock solution for dialysis and removing impurities and evading the formation of a contamination source by eliminating the connection part of a separate body such as a manometer, and its filter judgement method.例文帳に追加

透析用原液を濾過して不純物を取り除くための濾過フィルタの目詰まり程度を精度良く判定することができるとともに、圧力計等の別個の接続部位をなくして汚染源が形成されるのを回避することができる溶解装置及びそのフィルタ判定方法を提供する。 - 特許庁

Since aurin tricarboxylic acid or a salt thereof and hydroxycarboxylic acid or a salt thereof are added to an electrolytic solution for an electrolytic capacitor, dissolution of aluminum into the electrolytic solution can be suppressed, whereby the high-temperature service life characteristic of the electrolytic capacitor using this electrolytic solution can be improved.例文帳に追加

電解コンデンサ用電解液にアウリントリカルボン酸またはその塩及びα─ヒドロキシカルボン酸またはその塩を添加しているので、アルミニウムの電解液への溶解が抑制され、この電解液を用いた電解コンデンサの高温寿命特性を向上することができる。 - 特許庁

The positive resist composition comprises (A) a resin containing a repeating unit having an adamantane structure in a side chain and having a velocity of dissolution in an alkali developer increased by the action of an acid and (B) a compound which generates an acid upon irradiation with an actinic ray or a radiation.例文帳に追加

（Ａ）側鎖にアダマンタン構造を有する繰り返し単位を含有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、及び、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型レジスト組成物。 - 特許庁

To provide small particles of lipid-regulating drugs, more preferably fenofibrate, having comparable dissolution and absorption characteristics to the particles of such drugs prepared by the prior art techniques without the need of micronizing the lipid-regulating drug or utilizing surfactants.例文帳に追加

脂質制御薬物を微粉化することも、サーファクタントを使用することも必要とすることなく、先行技術によって製造された同様の薬物類の粒子に匹敵する溶出および吸収の特性を示す小粒子、より好ましくはフェノフィブラートの脂質制御薬物の提供。 - 特許庁

To provide liquid for liquid immersion exposure exhibiting a large refractive index in the liquid immersion exposure, capable of preventing elution or dissolution of the components of a photoresist film or its overlying film, and suppressing defect at the time of forming a resist pattern.例文帳に追加

液浸露光方法において、屈折率が大きく、フォトレジスト膜あるいはその上層膜成分の溶出や溶解を防ぎ、レジストパターンの生成時の欠陥を抑えることができる液浸露光用液体およびその液体を用いた液浸露光方法の提供を目的とする。 - 特許庁

The positive type photoresist composition contains (A) a compound which generates an acid when irradiated with active light or radiation and (B) a resin having a specified alicyclic structure in the principal chain and having a velocity of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of the acid.例文帳に追加

（Ａ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｂ）特定の脂環式構造を主鎖に有し、かつ酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。 - 特許庁

The viscosity of the edible oil can be made lower by the dissolution of the limonene or the pinene and the coating agent can be easily mixed with the malodorous substances without lumping by using a method of spraying etc., so that the coating agent for preventing the malodor is uniformly coated on the surfaces of the malodorous substances.例文帳に追加

リモネンあるいはピネンの溶解によって食用油の粘性を小さくすることができ、悪臭物質に噴霧等の方法を用いて、塊になったりすることなく容易に混合することができ、悪臭物質の表面に悪臭防止用コーティング剤を均一にコーティングすることができる。 - 特許庁

In the producing apparatus 20 of hypobromous acid disinfectant for producing the hypobromous acid disinfectant by using ozone and bromide, a pH controller 15 which controls pH of a bromine ion solution is disposed and, thereby the pH of the bromine ion solution in a dissolution tank 12 is controlled to pH 5 or less.例文帳に追加

オゾンと臭化物とから次亜臭素酸消毒剤を製造する次亜臭素酸消毒剤製造装置２０において、臭素イオン溶液のｐＨを調整するｐＨ調整装置１５を設けて、溶解タンク１２内の臭素イオン溶液のｐＨをｐＨ５以下に調整する。 - 特許庁

To provide a new α-substituted acrylate derivative useful as a raw material for a polymer compound for use in a photoresist composition excellent in its dissolution-rate controllability while maintaining its high transparency in the vicinity of the wavelength of 193 nm, and an efficient method of producing the same.例文帳に追加

波長１９３ｎｍ付近における高い透明性を維持しながら、溶解速度のコントロールに優れたフォトレジスト組成物用高分子化合物の材料として有用である、新規なα−置換アクリル酸エステル誘導体およびその効率的な製造方法を提供する。 - 特許庁

The positive type resist composition contains (A) a resin having a specified alicyclic hydrocarbon group in a side chain and having a velocity of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of an acid and (B) a specified compound which generates the acid when irradiated with active light or radiation.例文帳に追加

（Ａ）特定の脂肪族環状炭化水素基を側鎖に有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、及び（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定の化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 - 特許庁

To realize a fuel cell system with high-efficiency power generation performance stably obtained through dissolution of a gas blending condition formed by air remaining in a fuel gas diffusion layer and hydrogen diffused from a fuel gas flow channel, and through restraint of corrosion of a platinum-supported carbon carrier.例文帳に追加

燃料ガス拡散層内に残存している空気と燃料ガス流路から拡散してきた水素により形成されるガス混合状態を解消し、白金担持カーボン担体の腐食を抑制して安定して高効率な発電性能が得られる燃料電池システムを実現する。 - 特許庁

An alloy composition of the steel material is measured by a portable X-ray analysis device, the discrimination label is read, the obtained analysis value and the dissolution number are fed to the computer, the identity is determined utilizing the determination reference value, and the result is displayed on the electric scoreboard at a shipping field with required instruction.例文帳に追加

携帯Ｘ線分析装置で鋼材の合金組成を測定するとともに、識別ラベルを読み込み、得られた分析値と溶解番号とをコンピュータに送り、判定基準値を利用して同一性を判定し、その結果を、必要な指示とともに出荷現場の電光掲示板に掲示する。 - 特許庁

To provide an apparatus for a dissolution treatment of a synthetic resin waste, for example, an expanded polystyrene or the like once used as a packaging material, a packing material or the like by means of a solvent, which apparatus permits easy and rapid maintenance such as repair, replacement or the like of an impeller for crushing the waste.例文帳に追加

例えば梱包材や包装材等として使用された発泡ポリスチレン等の合成樹脂廃棄物を溶媒により溶解処理する装置に係り、廃棄物を破砕する羽根車の修理・交換等のメンテナンスを容易・迅速に行うことができるようにする。 - 特許庁

The fertilizer dissolution material 2 is composed of brick or granular solid produced from fertilizers such as silica sand, digested sludge, a fish processing waste water sludge and wood scraps to supply phosphorus, nitrogen, silicic acid, iron, humic materials, etc., necessary for forming a seaweed bed at an extremely low rate over a long period.例文帳に追加

肥料溶出体２は藻場造成に必要なリン、窒素、ケイ酸、鉄、フミン質等を極少量ずつ長期間にわたって供給するように、ケイ砂、消化汚泥、水産加工廃水汚泥、木くずなどの肥料を原料として作られたレンガ、もしくは粒状固形物で構成されている。 - 特許庁

In addition, the adverse influence of the binder contained in the separator 3 on the electric characteristic of the element 1 is eliminated by impregnating the separator 3 with the 3,4-ethylene dioxythiophene and oxidizing agent after the binder is removed by dissolution by dipping the element 10 in water maintained at 80-100°C for 1-10 minutes.例文帳に追加

また、コンデンサ素子１０を、８０℃ないし１００℃の水中に１分ないし１０分浸漬してセパレータ中のバインダーを溶解除去した後、３，４−エチレンジオキシチオフェンと酸化剤とを含浸することで、セパレータ３中のバインダーによる電気的特性への悪影響を排除する。 - 特許庁

The method for producing the rumen bypass agent comprises producing the biological active substances only with a granulation process of granulating the dissolution liquid of a protector containing lecithin, and a 12-22C linear or branched, saturated or unsaturated aliphatic monocarboxylic acid or its salt, at 50-90°C liquid temperature by a jet granulation method.例文帳に追加

生物学的活性物質を、レシチン及び炭素数12〜22を有する直鎖又は分枝の飽和又は不飽和の脂肪族モノカルボン酸またはその塩を含有する保護物質の溶融液を、50〜90℃の液温にて噴射造粒法で造粒する造粒工程のみにより製造する。 - 特許庁

To provide a resist composition suitable for use under an exposure light source of ≤250 nm, particularly F_2 excimer laser light, and to provide a positive resist composition having high inhibition and a high dissolution contrast and excellent in sensitivity and resolving power, and a pattern forming method using the same.例文帳に追加

２５０ｎｍ以下、特にＦ_2エキシマレーザー光の露光光源の使用に好適なレジスト組成物を提供することであり、高インヒビションで溶解コントラストが大きく、なお且つ感度・解像力に優れたポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To prevent the generation of defective boards, the reduction of productivity, the occurrence of process failure, the complicated structure of an apparatus or complicated controlling of board conveyance, and excessive consumption of carbon dioxide, and to enable switching of dissolution of carbon dioxide in pure water.例文帳に追加

不良基板の発生、生産性の低下、プロセス不良の発生、装置構成や基板搬送制御の複雑化を生じさせず、さらに、二酸化炭素を無駄に消費することもないようにして、純水に二酸化炭素を溶解させるか否かを切り換えることを可能にする。 - 特許庁

Since dissolution efficiency is high up to pH 8.0 even when the concentration of gaseous CO_2 in flue gas is 10 vol.% and neutralization to ≤pH 8 is carried out in the second and subsequent tanks, the volume of flue gas required can be reduced as compared with the case of one neutralization tank.例文帳に追加

これによって、ｐＨ８．０までは燃焼排ガス中の炭酸ガス濃度が１０容量％であっても溶解効率が高く、２槽目以降においてｐＨ８以下まで中和するため、中和槽が１槽の場合に比較して必要な燃焼排ガス量を低減することができる。 - 特許庁

A solution that fills the inside of an electrical conductance sensor 16 decreases linking with the water level of a dissolution tank 13 when feeding liquid, the inside of the electrical conductance sensor becomes empty and the area between electrodes 161 is insulated, the output change is utilized for substituting for a float switch, and the idling of a circulation pump 17 is prevented.例文帳に追加

送液時、電導度センサ１６内を満たしていた溶液が溶解槽１３水位に連動して低下し、電導度センサ内が空になって電極１６１間を絶縁状態とし、その出力変化を利してフロートスイッチの代用をはかり、循環ポンプ１７の空運転を防止する。 - 特許庁

For example, the catalytic system is composed of: a metal foam 2.1 having a hollow cylindrical shape and metal nanoparticles grafted on the wall of a metal foam 2.1; and the material 2.4 having a cylindrical shape whose dissolution reaction in water is exothermic, is arranged in a hollow part 2.3 of center of the hollow cylinder.例文帳に追加

例えば、中空円筒の形状を有する金属発泡体２．１と、前記発泡体の壁にグラフト化されている金属ナノ粒子を備え、この円筒の中央の中空部２．３には、それ自体も円筒形で、水への溶解反応が発熱性である材料２．４からなる。 - 特許庁

This solid preparation for dissolution in oral cavity comprises a part containing an oral medicine for treatment of common cold disintegrated within 45 sec to 2 min and a part containing antiinflammatory ingredient to throat disintegrated beyond 3 min, when carrying out disintegration testing according to a disintegration testing method of Japanese Pharmacopoeia.例文帳に追加

日本薬局方の崩壊試験法に従って崩壊試験を行ったとき、４５秒〜２分間に崩壊する風邪治療内服薬物を含む部分及び３分を超えて崩壊するのどに対する消炎成分を含む部分からなる口腔内溶解用固形製剤。 - 特許庁

The positive type resist composition contains (A) a resin which has a specific alicyclic hydrocarbon group and in which the dissolution rate to an alkali developer is increased by the action of an acid, and (B) a compound having a specific structure to generate an acid by the irratidation with active ray or radiation.例文帳に追加

（Ａ）特定の脂肪族環状炭化水素基を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、及び（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定構造の化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 - 特許庁

To provide chewing- or crunching-type novel confectionery having excellent palate feeling, filled with very juicy feeling due to its excellent meltability and refreshing cool feeling via heat-absorbing function resulted from dissolution of crystalline granules comprising xylitol or the like when beginning to bite.例文帳に追加

噛んだり、噛み砕いたりできるタイプの優れた食感を有する菓子であって、噛み始めるとその優れた溶解性のため非常にジューシーさにあふれ、キシリトールなどの結晶粉粒体の溶解による吸熱作用によりさわやかな冷涼感が口中に広がる新規な菓子およびその製法の提供。 - 特許庁

Also, when the solution is to be stored in the dissolution tank 13 and a water level rises, the solution enters piping 132 making the area between insulted electrodes 131 conduct electricity, and the output change is utilized for substituting for the float switch, thus preventing overflow.例文帳に追加

また、溶液を溶解槽１３に貯留する際、水位が上昇したときに溶液が配管１３２内に進入してきて絶縁状態だった電極１３１間が導通状態となり、そのときの出力変化を利用してフロートスイッチの代用をはかり、オーバフローを防止する。 - 特許庁

To provide a Cu-Ga alloy cutting method capable of cutting (machining) even a Cu-Ga alloy lump manufactured by, for example, dissolution casting and having a relatively large Ga composition ratio to a desired shape without causing cracking or chipping.例文帳に追加

例えば溶解鋳造によって製造されたＧａの組成比が比較的大きいＣｕ−Ｇａ合金塊であっても、ヒビが入ったり、割れたりかけたりすることなく切断して所望の形状に切断（加工）することができるＣｕ−Ｇａ合金の切断方法を提供する。 - 特許庁

Minerals dissolved from an ore 10 in the mineral dissolution tank 9 and micro-nanobubbles from a first and second micro-nanobubble generators 84, 85 are introduced in the first and a second microorganism cultivation tank 14, 27, in which the microorganism is cultivated with the minerals as a nutrient source and activated by the micro-nanobubbles.例文帳に追加

ミネラル溶出槽９内の鉱物１０から溶出したミネラルと第１,第２マイクロナノバブル発生機８４,８５からのマイクロナノバブルとが第１,第２微生物培養槽１４,２７に導入され、微生物はミネラルを栄養源として培養され、マイクロナノバブルで活性化される。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing an electrode for a fuel cell by which a particle diameter increase of a catalyst particle and falling are suppressed by preventing dissolution and dissipation of a noble metal catalyst particle under a strong acid condition so as to manufacture an electrode that can maintain power generation characteristics over a long term.例文帳に追加

貴金属触媒粒子の強酸性条件下での溶解散逸を防ぐことで、触媒粒子の粒径増大や脱落を抑制して、発電特性が長期に渡って維持される電極を製造することができる、燃料電池用電極の製造方法を提供する。 - 特許庁

The transformer oil in which the additive powder is dispersed is pressurized to a high pressure and then atomized into a decompressed vacuum deaerating tank from an atomizing nozzle to be dissolved while the additive powder and transformer oil are given a shock, so the processing time up to complete dissolution becomes short.例文帳に追加

添加剤粉末を分散させた変圧器油を高圧に加圧し、噴霧ノズルから減圧した真空脱気槽中に噴霧することにより、添加剤粉末と変圧器油に衝撃を与えながら溶解させるようにしたため、完全溶解までの処理時間が短くなった。 - 特許庁

There is provided an oxygen-consuming electrode including a support in the form of a sheet-like structure and a coating which includes a gas diffusion layer and a catalytically active component, wherein the support is based on a material which can be at least partly removed by dissolution, decomposition, melting and/or vaporization.例文帳に追加

シート様構造物状の支持体、並びにガス拡散層および触媒活性成分を含んでなる被膜を含んでなる酸素消費電極であって、支持体が溶解、分解、溶融および／または蒸発によって少なくとも部分的に除去できる材料に基づく酸素消費電極。 - 特許庁

To obtain an oil and fat composition, in which powdery and granular food materials keeping their shape and not being dissolved are present, and especially, the composition having rough and crunchy feeling, or exhibiting a cool feeling caused by a heat absorption by the dissolution of the powdery and granular food on eating.例文帳に追加

粉粒状食品素材が溶けずに形が残っている油脂組成物を提供するものであり、特に食感にザラツキ感やジャリジャリ感を有する油脂組成物や、食した時に粉粒状食品の溶解吸熱による清涼感を有する油脂組成物を提供する。 - 特許庁

The method in which the double salt of hydroxide or the like is produced by partially subjected metal powder as the raw material to oxidative dissolution, the products having high specific gravity are utilized to improve the dispersibility of the metal into a solution, and simultaneously, the polishing effect is increased by its collision with the double salt is used.例文帳に追加

原料である金属粉を部分的に酸化溶解することで水酸化物などの複塩を生成させ、これらの比重の重い生成物を利用して金属の溶液中への分散性を向上させ、同時に複塩との衝突により研磨効果を高める方法を用いた。 - 特許庁

The positive resist composition contains (A) a resin having a fluorine substituted structure in a principal chain and/or a side chain of a polymer skeleton, (B) a specified structure compound which generates an acid under the action of an actinic ray or a radiation, and (X) a non-polymer type dissolution inhibitor.例文帳に追加

（Ａ）ポリマー骨格の主鎖及び／又は側鎖にフッ素原子が置換した構造を有する樹脂、（Ｂ）特定の構造をもつ活性光線又は放射線の作用により酸を発生する化合物、及び、（Ｘ）非ポリマー型溶解抑止剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 - 特許庁

Since the liquid-state fibrinogen preparation is excellent in preserving property, no dissolution operation is required, and further without requiring the transfer of the preparation into an application tool by separately dispensing the preparation into the application tools in advance and it has an extremely excellent advantage of directly used in an emergency.例文帳に追加

本発明の液状フィブリノゲン製剤は保存性に優れていることから、溶解操作等を必要とせず、さらに本液状製剤を予め塗布用器具に分注しておくことにより塗布用器具への移し換えが不要となり、緊急時に直ちに使用できるという極めて優れた利点を有する。 - 特許庁

To provide a high refractive index liquid for liquid immersion exposure capable of forming a pattern having more excellent resolution by preventing elusion and dissolution of a photoresist film or its overlying film component and suppressing deterioration of a pattern shape and capable of being reused and purified, and to provide a liquid immersion exposure method employing the liquid.例文帳に追加

液浸露光方法において、屈折率が大きく、フォトレジスト膜あるいはその上層膜成分の溶出や溶解を防ぎ、パターン形状の劣化を抑え、より解像度の優れたパターンを形成できるとともに、液体の再利用および精製が容易である。 - 特許庁

To provide a water base ink for charge control-type inkjet recording which enables high resolution image printing by securing an appropriate electrical conductivity and excels in dissolution stability with time even when left to stand with the head filled with the ink for a long period of time without use.例文帳に追加

適正な導電率を確保することにより、高精細な画像印字が可能であり、またヘッドにインクを充填したまま長期間使用しないで放置した場合でも、経時での溶解安定性に優れた、荷電制御型インクジェット記録用の水性インクを提供する。 - 特許庁

The hydrogen dissolution operation is complete and if the hydrogen gas is absent in the gas-liquid mixing tank, the bath water is passed through a by-pass pipe provided in parallel with the gas-liquid mixing tank, and water containing hydrogen in the bathtub is circulated and discharged from a bath adapter to the bathtub (hydrogen water circulation operation).例文帳に追加

水素溶解運転が終了して気液混合タンク内に水素ガスがなくなったら、気液混合タンクと並行に設けられたバイパス管に浴水を通過させ、浴槽内の水素ガスを含んだ循環させて浴槽のバスアダプターから浴槽内へ吐出させる（水素水循環運転）。 - 特許庁

The positive resist composition contains (A) a compound having a disulfone group, (B) a low molecular dissolution inhibiting compound which is decomposed by the action of an acid to increase solubility in an alkali developing solution and has a molecular weight of ≤3,000 and (C) an alkali-soluble resin.例文帳に追加

（Ａ）ジスルホン基を有する化合物、（Ｂ）酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解度を増大する、分子量３０００以下の低分子溶解阻止化合物、及び（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とする電子線又はＸ線用ポジ型レジスト組成物。 - 特許庁

To provide a filling device of liquid such as liquefied petroleum gas capable of performing pressurization in a short time and reducing dissolution of pressurizing gas into liquid when filling liquid such as liquefied petroleum gas into a fuel tank of a car, a cylinder or the like by pressurizing a storage means with pressurizing gas.例文帳に追加

収容手段を加圧ガスで加圧して液化石油ガス等の液体を自動車の燃料タンクやボンベ等に充填するに際し、短時間加圧ができ、加圧ガスの液体への溶け込み量を少なくすることができる液化石油ガス等の液体の充填装置を提供する。 - 特許庁

The positive type resist composition contains (A) two resins each having an alicyclic hydrocarbon group in a side chain and having a velocity of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of an acid and (B) a compound which generates an acid when irradiated with active light or radiation.例文帳に追加

（Ａ）脂肪族環状炭化水素基を側鎖に有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂として２種類の樹脂、及び（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 - 特許庁

To provide a method for producing indium metal, which can produce high-purity indium metal by a simple process at a high recovery rate by controlling the free acid concentration of a dissolution liquid obtained by dissolving an indium ingredient with an acid and then removing Sn being a metal impurity in the indium ingredient.例文帳に追加

インジウム含有物を酸で溶解させた溶解液の遊離酸濃度を制御し、インジウム含有物中の金属不純物であるＳｎを除去することで、簡単な工程で且つ高い回収率で高純度のインジウムメタルを製造することができるインジウムメタルの製造方法の提供。 - 特許庁

The positive type photoresist composition contains a resin containing specified repeating structural units and having a velocity of dissolution in an alkali developing solution increased by the action of an acid, a compound which generates the acid when irradiated with active light or radiation and a specified mixed solvent.例文帳に追加

特定の繰り返し構造単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び特定混合溶剤を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。 - 特許庁

By carrying out a liquid immersion lithography process in such a state that a top barrier covering a resist film is formed by using the composition containing the tris(trimethylsiloxy)silyl group providing hydrophobicity, the dissolution of photoresist components into an immersion medium during exposure processing through the immersion medium can be prevented.例文帳に追加

疏水性特性を提供するトリス(トリメチルシロキシ)シリル基を含む組成物を使用してレジスト膜を覆うトップバリアーを形成した状態で液浸リソグラフィ工程を行うことによって、液浸媒体を通じた露光中にフォトレジスト成分が液浸媒体に溶解されることを防止できる。 - 特許庁