「ISOLATOR」に関連した英語例文の一覧と使い方(31ページ目) - Weblio英語例文検索

The isolator 6 is composed of a first optical guide through which a light in a first mode passes and a second optical guide for converting the light in the first mode into a light in a second mode, and the first and second modes are mutually perpendicular with respect to the oscillating direction.例文帳に追加

光アイソレータ６は、振動方向が互いに直交する第１および第２の導波モードのうちの第１の導波モードの光が通過する第１の光導波路と、上記第１の導波モードの光を上記第２の導波モードの光に変換する第２の光導波路とからなる。 - 特許庁

In a slave unit reconnection circuit, the circuit breaker condition and the isolator condition at the terminal, where the master unit in another duplex series is installed, are received as reconnection system conditions, and if the three phases of the circuit breaker at the terminal, where the master unit terminal is installed, are all open, reconnection is performed.例文帳に追加

子装置再閉路回路は、前記二重化された他系統の親装置が設置された端子での遮断器条件および遮断器条件を前記再閉路連系条件として受信して、前記親装置端子が設置された端子の遮断器が３相とも開の場合に、再閉路を行う。 - 特許庁

To provide a high-reliability seismic isolator for a center column of an underground structure by forming pin constructions at upper and lower end portions of a center column between a floor surface and a ceiling surface of an underground structure easily and at a low price thereby protecting the contact surface and securing the slidability of the contact surface for a long term.例文帳に追加

地下構造物の床面及び天井面と中柱の上下端部にピン構造を簡易かつ安価に形成して接触面を保護し、接触面の長期にわたる摺動性を確保し、信頼性の高い地下構造物の中柱用免震装置を提供する。 - 特許庁

To provide a wireless unit that can change a reference value (a reference value to discriminate whether abnormity exists depending on a high surface temperature of an isolator) to discriminate whether the wireless unit is faulty depending on the rise or fall of the ambient temperature of a place where the wireless unit is installed.例文帳に追加

無線装置が設置される場所の気温の上下に応じて、無線装置が故障であるか否かを判定するための基準値（アイソレータの表面温度が高いことにより異常であるか否かを判定するための基準値）を変えることができるようにすることを目的とする。 - 特許庁

In the microwave heating device using a waveguide at a microwave frequency with a range of 300 MHz to 30 GHz, the microwave heating device is provided with a microwave oscillator 1, an isolator 2, a phase shifter 3, the waveguide type microwave heating oven 4, and a dummy load 5.例文帳に追加

被加熱物が幅の広い紙やフィルムを加熱及び乾燥、あるいは糸状な物を多数同時に加熱及び乾燥する場合に、マイクロ波加熱装置の導波管形マイクロ波加熱炉の電界分布を一様化させて、均一に加熱、乾燥するマイクロ波加熱装置を提供する。 - 特許庁

To provide an optical device which has a Faraday rotator as an optical element, in particular an optical isolator, while miniaturizing the optical device as much as possible, and to provide a method of growing efficiently and inexpensively a big-diameter oxide single crystal of the optical element that constitutes such an optical device.例文帳に追加

ファラデー回転子を光学素子として有する光デバイス、特には光アイソレータをでき得る限り小型化して提供するとともに、そのような光デバイスを構成する光学素子の酸化物単結晶を大きな径に、効率的かつ安価に育成する方法を提供する。 - 特許庁

The work controlling part 30 acquires the information on the operated object read by the reader 22 and controls the works such as the motion control of instruments connected to the isolator 100, the preparation of the history of the work performed in the working chamber 10 and the final decision of the work process.例文帳に追加

作業管理部３０は、リーダ２２が読み取った操作対象物に付随する情報を取得し、これに基づいて、たとえばアイソレータ１００に接続される機器の動作制御、作業室１０で行われた作業の履歴作成、作業工程の最後判断などの作業の管理を行う。 - 特許庁

A three-port lumped parameter type isolator 1 mainly comprises: a metallic case; a permanent magnet; a center electrode assembly consisting of a ferrite 20 and center electrodes 21 to 23; a trap circuit; a termination resistor R, matching capacitors C1 to C3; and a resin-made terminal case.例文帳に追加

３ポートの集中定数型アイソレータ１は、概略、金属ケースと、永久磁石と、フェライト２０と中心電極２１〜２３とからなる中心電極組立体と、トラップ回路と、終端抵抗Ｒおよび整合用コンデンサＣ１〜Ｃ３と、樹脂製端子ケースとからなる。 - 特許庁

The PLL circuit comprises a phase comparator 15, a voltage controlled oscillator 18 for generating an oscillation signal, a prescaler 19 for dividing the frequency of the oscillation signal, a program counter 20 for dividing the frequency of a signal from the prescaler 19, and a Faraday effect type isolator 23 for transmitting the signal in one direction.例文帳に追加

ＰＬＬ回路は、位相比較器１５と、発振信号を生成する電圧制御発振器１８と、発振信号を分周するプリスケーラ１９と、プリスケーラ１９からの信号を分周するプログラムカウンタ２０と、信号を一方向に伝達するファラデー効果型アイソレータ２３からなる。 - 特許庁

The optical isolator body is structured by arranging the two permanent magnets in a long and narrow flat plate shape opposite each other at an interval and sandwiching the optical element between them, and the holder is structure by forming a recessed groove 36 on one side of a cylindrical part 34 having a center through hole 32.例文帳に追加

光アイソレータ本体は、細長平板状をなす２枚の永久磁石が間隔をおいて対向配置され、それらの間に光学素子が挟まれる構造をなし、ホルダは、中央貫通穴３２を有する円筒状部３４の片側に凹溝３６を形成した構造をなす。 - 特許庁

An isolator 1 is composed of a metal case composed of an upper yoke 4 and a lower yoke 8, a permanent magnet 9, a central electrode assembly 10 composed of a ferrite 20 and central electrodes 21-23, a resistor R, capacitor elements C1-C3 for matching and a resin terminal case 3.例文帳に追加

アイソレータ１は、上ヨーク４と下ヨーク８とからなる金属ケースと、永久磁石９と、フェライト２０と中心電極２１〜２３とからなる中心電極組立体１０と、抵抗素子Ｒおよび整合用コンデンサ素子Ｃ１〜Ｃ３と、樹脂製端子ケース３とからなる。 - 特許庁

To develop improved vibration resistant performance in both vertical and horizontal directions by incorporating a gimbal mechanism into a piston of an air spring type isolator 3 (a vibration resistant device) and to secure sufficient durability and reliability by solving the problem with outgas for allowing the use under a ultra-high vacuum.例文帳に追加

空気ばね式アイソレータ３（除振装置）のピストンにジンバル機構を組み込んで、上下及び水平の両方向について優れた除振性能を得られるようにするとともに、アウトガスの問題を解消して超高真空下での使用を可能とし、且つ十分な耐久信頼性を確保する。 - 特許庁

The galvanic isolator includes a substantially planar, electrically insulating substrate with opposing first and second surfaces, the substrate including an electrically insulating, low dielectric loss material and having a transmitter coil disposed on the first surface and a receiving coil disposed on the second surface.例文帳に追加

ガルバニックアイソレータは、対向する第１および第２の面を含む、略平面であって電気的絶縁性を有する基板を含み、この基板は、電気的絶縁性を有し低誘電損失である材料を含み、第１の面に送信コイルが配置され、第２の面に受信コイルが配置されている。 - 特許庁

In a vibration isolator 10, the liquid releasing path 126 to make a pressurized space 130 communicate with the auxiliary liquid chamber 44 makes the liquid in the pressurized space 130 into the auxiliary liquid chamber 44 limiting the communication amount of the liquid communicating inside when the plunger member 78 moves to the opening position side.例文帳に追加

防振装置１０では、加圧空間１３０を副液室４４へ連通させた液圧解放路１２６が、プランジャ部材７８が開放位置側へ移動する際に、内部を流通する液体の流通量を制限しつつ、加圧空間１３０内の液体を副液室４４内へ流出させる。 - 特許庁

In a vibration isolator 10, the plunger member 78 moves to the blocked position against the urging force of a coil spring 90, pressurized liquid in a main liquid chamber 42 is intermittently supplied into a pressure space 130 by a valve body 102, and the liquid pressure in the pressure space at the main liquid chamber side changes periodically.例文帳に追加

防振装置１０では、プランジャ部材７８がコイルスプリング９０の付勢力に抗して閉塞位置に移動すると、加圧空間１３０内には弁体１０２により主液室４２の加圧状態の液体が間欠的に供給され、主液室側の加圧空間内の液圧が周期的に変化する。 - 特許庁

To provide a fluid-filled vibration isolator of a new structure, capable of achieving sufficient withstand load performance against input vibration without enlarging a device as a whole, obtaining a sufficient contact area of a rebound contact portion, having high reliability and exercising an effective stopper function.例文帳に追加

装置全体の大型化を回避しつつ、入力振動に対する十分な耐荷重性能を実現出来ると共に、リバウンド当接部の当接面積を十分に得ることが出来て、高い信頼性で有効なストッパ機能を発揮できる新規な構造の流体封入式防振装置を提供すること。 - 特許庁

In a vibration isolator 10, an outer cylinder member 26 is axially moved in synchronization with input of input vibrations, and elastic rolling elements 56 are rolled between an inner circumferential face of the outer cylinder member 26 and an outer circumferential face of an inner cylinder member 48 along with the movement of the outer cylinder member 26.例文帳に追加

防振装置１０では、入力振動の入力に同期して外筒部材２６が軸方向へ移動すると共に、この外筒部材２６の移動に従って弾性転動体５６が外筒部材２６の内周面と内筒部材４８の外周面との間で転動する。 - 特許庁

A lumped constant type isolator 1 is roughly provided with a metallic lower case part 12, a terminal case 13 made of resin, a center electrode assembly 14, a metallic upper case part 15, the permanent magnet 16, an insulation spacer 17, a resistive element R and capacitors C1 to C3 for matching.例文帳に追加

集中定数型アイソレータ１は、概略、金属製下側ケース部１２と、樹脂製端子ケース１３と、中心電極組立体１４と、金属製上側ケース部１５と、永久磁石１６と、絶縁性スペーサ１７と、抵抗素子Ｒと、整合用コンデンサＣ１〜Ｃ３を備えている。 - 特許庁

To provide a photographic device with blur correction function and a blur correction method by which a vibration isolator is continued without a hitch, even if an impact that exceeds the holding power of a friction coupling portion, when a piezoelectric actuator, including the friction coupling portion, is used as the driving source of the vibration isolating operation.例文帳に追加

本発明は、摩擦結合部を含んだ圧電アクチュエータを防振動作の駆動源として利用する際に、摩擦結合部の保持力を超える衝撃が発生しても支障をきたさずに防振動作を継続するブレ補正機能付き撮影装置及びブレ補正方法を提供することである。 - 特許庁

The rubber composition for a rubber vibration isolator is obtained by compounding 100 pts.例文帳に追加

下記の条件（イ）〜（ハ）を充足する１種又は２種以上のエチレン−α−オレフィン−非共役ジエン共重合体１００重量部に対し、窒素吸着比表面積が１０〜２５ｍ^２／ｇでジブチルフタレート吸着量が１００〜１４０ｍｌ／１００ｇ未満のカーボンブラックを配合してなる防振ゴム用ゴム組成物。 - 特許庁

The rubber composition for a rubber vibration isolator is produced by compounding 100 pts.例文帳に追加

下記の条件（イ）〜（ハ）を充足する１種又は２種以上のエチレン−α−オレフィン−非共役ジエン共重合体１００重量部に対し、窒素吸着比表面積が１５〜３０ｍ^２／ｇでジブチルフタレート吸着量が１００〜１４０ｍｌ／１００ｇ未満のカーボンブラックを配合してなる防振ゴム用ゴム組成物。 - 特許庁

To provide an inspection support stand by which a surface mounting type optical isolator can be precisely and stably placed within the contour of an image of an inspection camera without taking a lot of time, to provide an inexpensive inspection apparatus using the inspection support stand, and an inspection method using the inspection apparatus.例文帳に追加

本発明は、時間をかけることなく表面実装型光アイソレータを検査用カメラの画郭内に正確に安定して置くことを可能とする検査支持台と、この検査支持台を用いた安価な検査装置と、この検査装置を用いる検査方法の提供を目的とする。 - 特許庁

The fire resistive belt 24 with flexibility is arranged in the groove space 36 between an EV structure 21 of a superstructure 28, which is borne by a lower structure 22 via a seismic isolator 29, and the lower structure 22 adjacent to the periphery of the EV structure 21 across the groove space 36, along the entire periphery.例文帳に追加

下部構造体２２に免震装置２９を介して支持される上部構造体２８のＥＶ構造体２１と、その周囲に溝空間３６をあけて隣接する前記下部構造体２２の間に、可撓性を有する耐火帯２４周方向全周にわたって設けられる。 - 特許庁

A Faraday rotating element 22 of the optical isolator is changed from GdBi-base soft magnetic garnet to hard magnetic garnet having an angular magnetic hysteresis, by which Faraday rotation of always 45° may be obtained even if an external magnetic field does not exist and the magnetic field impressing means may be omitted.例文帳に追加

光アイソレータのファラデー回転素子２２を、従来用いていたＧｄＢｉ系軟磁性ガーネットから角形の磁気ヒステリシスを持つ硬磁性ガーネットに変更することで、外部磁界が存在しなくても常に４５°のファラデー回転が得られるようにして磁界印加手段を省略した。 - 特許庁

To provide a base isolator capable of providing high execution accuracy at a time of execution and adhesion retention effect between sliding plates after completion, minute vibration amplification prevention effect and mitigation effect of sudden load change at a time of start of slide in an earthquake.例文帳に追加

施工時における高い施工精度が得られるとともに、竣工後においても、滑り板と滑り材との間の密着性保持効果と、微振動の増幅防止効果や地震発生時における滑り開始時の急激な荷重変化の緩和効果とを共に得ることができる免震装置を提供する。 - 特許庁

The components which are components for holding polarizers, garnet, etc., being the components of the optical isolator and have a nearly U shape in the shape at section perpendicular to an optical path direction and have a shape formed by elongating the sectional shape to the optical path direction are used.例文帳に追加

光アイソレータの構成部品である偏光子あるいはガーネットなどを保持するための機構部品で、光路方向に垂直な断面における形状がほぼコの字形であり、その断面形状を光路方向に引き伸ばしてなる形状である機構部品を用いる。 - 特許庁

An optical transmitter module includes: a stem 10; a semiconductor laser element 20 mounted on the stem 10; a cap 30 fixed to the stem 10 and hermetically sealing the semiconductor laser element 20; and an optical isolator 40 arranged on a light path of outgoing light from the semiconductor laser element 20.例文帳に追加

光送信モジュールは、ステム１０と、ステム１０に搭載されている半導体レーザ素子２０と、ステム１０に対して固定され、半導体レーザ素子２０を気密封止したキャップ３０と、半導体レーザ素子２０からの出射光の光路上に配置された光アイソレータ４０を有する。 - 特許庁

A stopper part 4 comprising an insert member 41 whose outer surface is a substantially arc surface along the inner circumference of a substantially circular outer cylinder member 1 and a rubber layer 42 covering the surface is disposed in opposition to the crest of a substantially V-shaped rubber vibration isolator body 3 disposed between the outer cylinder member 1 and an inner cylinder member 2.例文帳に追加

略円形の外筒部材１と内筒部材２の間に設けた略∧形の防振ゴム体３の頂部に対向して、外表面を外筒部材１の内周面に沿う略円弧状の面としたインサート部材４１と、その表面を覆うゴム層４２からなるストッパ部４を配設する。 - 特許庁

This brake damper for a base isolator includes a speed valve 51 which generates a damping force by a hydraulic pressure supplied thereto when the piston 13 of a cylinder 11 is displaced and a relief valve 55 which generates a high damping force since the speed valve 51 is closed when the speed of the piston 13 is higher than a set speed.例文帳に追加

シリンダ１１のピストン１３が変位するに伴い、供給された油圧により減衰力を発生するスピードバル５１と、ピストン１３の速度が設定速度以上に早くなるとスピードバルブ５１が閉じて、高い減衰力を発生するリリーフバルブ５５を備える。 - 特許庁

The rubber vibration isolator part 10 contains a rubber component comprising natural rubber and a styrene-isoprene block copolymer, and is constituted of a vibration absorbing rubber 13, with the natural rubber content in the rubber component accounting for more than 60 mass%, and a supporting member 12 made of a polyphenylene ether resin, integrated with each other by adhesion.例文帳に追加

防振ゴム部品１０は、ゴム成分として天然ゴムとスチレン−イソプレンブロック共重合体とを含有し、ゴム成分における天然ゴムの含有率が６０質量％よりも多い防振ゴム１３と、ポリフェニレンエーテル樹脂で形成された支持材１２と、が接着一体化してなる。 - 特許庁

An isolator 1 has a permanent magnet 9, ferrite 20 which a DC magnetic field is applied by the permanent magnet 9, central electrodes 21-23 arranged to ferrite 20, and a lower-side case 4 and an upper-side case 8 in which the permanent magnet 9, ferrite 20 and the central electrodes 21-23 are housed.例文帳に追加

アイソレータ１は、永久磁石９と、永久磁石９により直流磁界が印加されるフェライト２０と、フェライト２０に配置された中心電極２１〜２３と、永久磁石９とフェライト２０と中心電極２１〜２３とを収容する下側ケース４及び上側ケース８とを備える。 - 特許庁

Furthermore, the deflector is set so that the size of a beam image focused on a scanning beam line in the horizontal direction is approximately equal to that of a beam image focused on the objective slit, and a vibration isolator (22) is disposed between a tower (2) and the trestle (3) on which factor components are arranged on a straight line.例文帳に追加

水平方向走行ビームライン上に結像するビーム像と対物スリット上に結像されるビーム像との大きさがほぼ等倍になるようにした偏向器を用い、要素部品が直線上に配置された架台（３）とやぐら（２）との間に防振部材（２２）を設ける。 - 特許庁

The seismic isolator 10 is interposed between the joining section 6 of a corner post for the upper-section skeleton 3 and a beam and a lower-section skeleton 2 supporting the joining section 6, and uses a laminated rubber 11 damping vibrations acting on the upper-section skeleton in the horizontal direction while permitting the floating of the upper-section skeleton.例文帳に追加

上部躯体３の隅柱と梁の接合部６とそれを支える下部躯体２との間に介装されて、上部躯体の浮き上がりを許容しつつ上部躯体に水平方向に作用する振動を減衰する積層ゴム１１を用いた免震装置１０である。 - 特許庁

The non-reciprocal circuit element (2-port type isolator) includes a flat yoke 10, a permanent magnet 41, a ferrite 32 to which current magnetic field is applied by the permanent magnet 41, a first central electrode and a second central electrode provided in the ferrite 32, and a circuit substrate 20.例文帳に追加

平板状ヨーク１０と、永久磁石４１と、該永久磁石４１により直流磁界が印加されるフェライト３２と、該フェライト３２に配置された第１中心電極及び第２中心電極と、回路基板２０とを備えた非可逆回路素子（２ポート型アイソレータ）。 - 特許庁

The optical composite device H1 is constituted by inserting the two optical fiber bodies 2 and 3 having the optical isolator 1 between them into the protection body 34 and at lest the one optical fiber body 2 is equipped with a wavelength filter part, optical attenuator part, or optical resonator part.例文帳に追加

光アイソレータ１を挟んだ２つの光ファイバ体２，３を保護体３４内に挿入して成るとともに、少なくとも一方の光ファイバ体２は波長フィルタ部、光減衰器部、又は光共振器部を備えていることを特徴とする光複合デバイスＨ１とする。 - 特許庁

The weight of equipment 1 mounted on a vibration isolating table A is computed in accordance with the inner pressure of an air spring 7 of an isolator 4, and the mass M of the vibration isolated object is thereby found (20b) to determine the optimum value for the feedback control gain Gc with reference to the mass/gain map (20c).例文帳に追加

除振台Ａに搭載された機器１の重量をアイソレータ４の空気ばね７の内圧に基づいて演算し、これにより除振対象物の質量Ｍを求めて（２０ｂ）、質量・ゲインマップを参照してフィードバック制御ゲインＧcの最適値を決定する（２０ｃ）。 - 特許庁

To provide a seismic isolator in which a longer period for vertical vibration component can be attained by restraining at the same time a structural deformation of a load transmission route, by inputting to an elastic body a vertical relative displacement between a quake-free object and a base after converting to a rotational angular displacement.例文帳に追加

免振対象物とベースとの間の上下相対変位を回転角変位に変換して弾性体に入力するようにして、荷重伝達経路の構造的変形を抑制しつつ上下振動成分に対する長周期化を確保することができる免振装置を提供する。 - 特許庁

In each of plural RF channels (carriers), a digital modulator 1, a quasi-linear type power amplifier 2 of small amplitude linear type and large amplitude nonlinear type, an isolator 3, and a radio frequency band limiting filter 4 are made in cascade connection, and the powers output from these units in the system are combined to make as the transmission power.例文帳に追加

複数のＲＦチャネル（キャリア）毎に、ディジタル変調器１と、小振幅線形，大振幅非線形の準線形電力増幅器２と、アイソレータ３と、無線周波帯域制限フィルタ４とを縦続接続し、その出力を合成して送信出力とする。 - 特許庁

The optical signal noise suppressing device 1 is a device which suppresses noise caused by induced Brillouin scattering when the signal light is propagated from a first end side to a second end side of an optical fiber 90, and includes a light source unit 10, an optical attenuator 20, an optical circulator 30, and an optical isolator 40.例文帳に追加

光信号雑音抑圧装置１は、光ファイバ９０の第１端側から第２端側へ信号光が伝搬する際に発生する誘導ブリルアン散乱に起因する雑音を抑圧する装置であって、光源部１０，光減衰器２０，光サーキュレータ３０および光アイソレータ４０を備える。 - 特許庁

To enlarge an area of a membrane, and to improve performance during high frequency vibration in a vibration isolator for switching a restriction passage by a piston moving by a liquid pressure of a main liquid chamber and restraining the rise in the liquid pressure of the main liquid chamber during high frequency vibration by elastic deformation of the membrane.例文帳に追加

主液室の液圧で動くピストンで制限通路の切り換えを行い、高周波振動時の主液室の液圧上昇をメンブランの弾性変形により抑える構成の防振装置において、メンブランの面積を大きく取って高周波振動時の性能を向上する。 - 特許庁

In the operation, there are cases in which one electrode at the output side of the high-voltage transformer is sealed and insulated and only the other one electrode is used, the two electrodes are used and a bar-like negatron applicator and an isolator are used instead of the plate type negatron applicator.例文帳に追加

このさい、高電圧トランスの出力側の１極は封鎖絶縁されたものとなして、他の１極のみを使用する場合と、２極の夫々れを使用するものとなしたり、板式陰電子印加器の代わりに棒状陰電子印加器と絶縁体を使用したりする。 - 特許庁

A laser doppler speed meter comprises: a light source generating a laser beam; a coupler for dividing the laser beam emitted from the light source into a first laser beam and a second laser beam, and emitting the first laser beam and the second laser beam; and an isolator in which the second laser beam is made incident.例文帳に追加

本発明のレーザドップラ速度計は、レーザ光を発生する光源と、光源から出射されるレーザ光を第１のレーザ光及び第２のレーザ光に分割し、第１のレーザ光及び第２のレーザ光を出射するカプラと、第２のレーザ光が入射されるアイソレータと、を備える。 - 特許庁

In the optical fiber amplifier 10, a WDM coupler 13, an EDF 14 as the fiber for optical amplification, an optical isolator 15 and a gain equalizer 16 are arranged in order from an input end 11 to an output end 12, and an exciting light source 17 is connected with the WDM coupler 13.例文帳に追加

光ファイバ増幅器１０は、入力端１１から出力端１２へ向かって順に、ＷＤＭカプラ１３、光増幅用ファイバとしてのＥＤＦ１４、光アイソレータ１５および利得等化器１６が設けられており、ＷＤＭカプラ１３には励起光源１７が接続されている。 - 特許庁

A seismic isolator 20 is erected between a floor portion and a ceiling portion of a cylindrical underground structure and is attached at least to one of upper and lower end portions of a center column 10 supporting both the floor portion and ceiling portion, and a center column side member 21 and an underground structure side member 31 are overlapped in the configuration.例文帳に追加

免震装置２０は、筒型の地下構造物の床部と天井部との間に立設されて床部と天井部間を支持する中柱１０の上下端部の少なくとも一方に取り付けられて、中柱側部材２１と地下構造物側部材３１とが重ね合わされて構成される。 - 特許庁

A support mechanism (a gas pressure operated mechanism) is constituted for leading atmospheric pressure into a space S in the isolator unit 2 isolated from the inside of the vacuum chamber C by the shield cover 5 or the like, and levitating a top plate 6 by the pressure difference from the inside of the vacuum chamber C to support the load of the apparatus 1.例文帳に追加

シールドカバー５等により真空チャンバＣ内から隔離されたアイソレータユニット２内の空間Ｓに大気圧を導入し、真空チャンバＣ内との差圧によりトッププレート６を浮上させて、機器１の荷重を支持する支持機構（気体圧作動機構）を構成する。 - 特許庁