| 意味 | 例文 |
Scribe Lineの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 388件
A surface 28 to be ground of a thin finished semiconductor wafer 27 is dry-etched by using a mask 29 composed of a resist, and a rib 30 is formed corresponding to a scribe line 24 by leaving the thickness of a substrate 20 behind, and a cavity 31 corresponding to a chip 23 is recessed so as to encircle the cavity with the rib 30.例文帳に追加
薄仕上げ半導体ウエハ27の被研削面28にレジストからなるマスク29を使用してドライエッチングを施し、スクライブライン24に対応したリブ部30をサブストレート20の厚みを残して形成し、チップ部23に対応した窪み31をリブ部30で囲むように陥没させる。 - 特許庁
To provide a method for forming a reformed area of a transparent substrate that can precisely and efficiently cleave a transparent substrate by drawing scribe lines laser beam irradiation without producing distortions and very small defects around a predetermined cutting line of a workpiece.例文帳に追加
被加工物の切断予定ライン周囲に生じる歪みや微少な欠陥を生じさせることなくレーザ照射によるスクライブラインを形成させることによって、透明基板を精密かつ効率的に割断できる透明基板の改質領域形成方法を提供する。 - 特許庁
In a step S18, the position of the substrate W is measured from substrate end information using the alignment mark 205 image with the low magnification and a scribe line region 203, and in a step S20, the angle of rotation of the substrate W is corrected based upon the measurement result.例文帳に追加
次に、ステップS18において、低倍率で撮像したアライメントマーク205とスクライブライン領域203を用いた基板端部位置情報から基板Wの位置を計測し、その計測結果に基づいてステップS20において基板Wの回転角度補正を行う。 - 特許庁
Along the scribe line on a semiconductor wafer 360, a groove 363 is formed using a cutter blade 201 thicker than the width of a test pattern 362 on the semiconductor wafer and then the inside of the groove 363 is cut by means of a thinner cutter blade 202.例文帳に追加
半導体ウエハ360におけるスクライブラインに沿って、まず、半導体ウエハ上のテストパターン362の幅よりも厚い刃厚を有する切断刃201を用いて凹溝363を形成し、次に、この凹溝363内を、薄い刃厚を有する切断刃202によって切り込み、切断する。 - 特許庁
Further, steps 30a are provided on both-side ends of the element part 50 so as to extend in parallel to the trench 20, and in an area which is positioned beneath the bottom of the step 30a on the back of the GaAs substrate 1, a scribe line 40 is provided so as to extend in parallel to the step 30a.例文帳に追加
また、素子部50の両側端面には、溝部20と平行に延びるように、段差部30aが設けられており、GaAs基板1の裏面であって、段差部30aの底面の真下に位置する領域に、段差部30aと平行に延びるスクライブライン40が設けられている。 - 特許庁
To realize a CCD solid-state image pickup element, which is of vertical overflow drain type and sensitive in a near-infrared region, where pixels are more lessened in size without deteriorating image pickup element in characteristics, a leakage current is prevented from generating at a scribe line, and a protective transistor is prevented from deteriorating in protective capacity.例文帳に追加
縦型オーバーフロードレイン方式で近赤外線領域にも感度を有するCCD固体撮像素子において、特性を損なうことなく画素の微細化を図り、且つスクライブライン上でのリーク電流の発生阻止、保護トランジスタの保護能力の低下防止等を図る。 - 特許庁
The optical filter 4 provided up to an upper part of a scribe line 7 blocks light in the infrared domain in light entering obliquely from the part toward the light detection domain 3, and increases the ratio of an effective area on the light detection domain 3, to thereby enable to form the small-sized illuminance sensor.例文帳に追加
スクライブライン7の上部まで設けられた光学フィルタ4は、この部分から光検出領域3に向かって斜めに入射する光のうち赤外領域の光を遮断し、光検出領域3の有効エリアの割合を増やし、小型の照度センサを形成できる。 - 特許庁
In a state that the cutter 30 is pressed to the surface of a work by the self weight of the main body A of the scribe device, the vibration-generating member 40 is driven to impart vibrations to the cutter 30, and the cutter 30 is simultaneously relatively moved along the surface of the work to form a marked line on the surface of the work.例文帳に追加
スクライブ本体Aの自重でカッタ30をワーク面に押し付けた状態で、振動発生部材40を駆動してカッタ30に振動を付与しながら、カッタ30をワーク面に沿って相対的に移動させることにより、ワーク面に刻線を形成する。 - 特許庁
Then the inter-layer film 6 is polished, while the polished thickness is controlled by measuring the thickness of the part of the interlayer film 6 which is left on the scribe line 4s with the largest thickness, and the interlayer film 6 on the protruding patterns 4 is removed.例文帳に追加
次いで、スクライブライ4s上において層間膜6の膜厚が最も厚く残る部分における層間膜6の膜厚を測定することで研磨膜厚を管理しながら層間膜6を研磨し、チップ領域1a内の凸パターン4上の層間膜6を除去する。 - 特許庁
In addition, it is unnecessary to retain the metal wiring 22-1 of the TEG 30 in the scribe line area 10 by a protection film 40, and a distance between the protection film 40 and the dicing saw is made large enough, thereby preventing shortening of the service life of the dicing saw due to the adhesion of the protection film 40.例文帳に追加
また、スクライブ線領域10のTEG30の金属配線22−1を保護膜40で押さえる必要がなく、保護膜40とダイシングソーとの距離を十分に広げて、保護膜40が付着してダイシングソーの寿命が短くなることを防ぐことができる。 - 特許庁
As shown in Fig. 1(a) and Fig. 1(b), a diamond wheel 21 is moved while being rolled to the right in the X-axis direction in relation to the surface of the brittle material 14 to form the first broken line-shaped scribe groove 14x1 by diamond particles projected to the tip edge of the blade of the wheel 21.例文帳に追加
図1(a)及び図1(b)に示すように、脆性材料14の表面に対しダイヤモンドホイール21をX軸方向右方に転がしながら往行移動させてホイール21の刃の先端縁に突出されたダイヤモンド粒子により破線状の第1スクライブ溝14x1を形成する。 - 特許庁
The apparatus further includes at least one delimiter aperture located on the focal plane of the anamorphic optical relay and an image forming relay that follows it, so that the substrate is exposed in the form of a strip by the boundary between adjacent strips located on the scribe line between circuits.例文帳に追加
この装置はまた、アナモルフィック光学リレーの焦点面に位置付けられた少なくとも1つのデリミッタアパーチャと、その後にある結像リレーとを含み、これにより、基板は、回路間のスクライブ線に位置付けられた隣接するストリップ間の境界によって、ストリップ状に露光され得る。 - 特許庁
Then, the laser dicing is performed on a region between the first groove 108a and the second groove 108b along the scribe line 120 from the surface where the second protective film is formed to form a cutting groove 100a that reaches at least a predetermined depth of the multi-layer interconnect 104.例文帳に追加
この後、第2の保護膜が形成された面から第1の溝108aと第2の溝108bとの間の領域をスクライブライン120に沿ってレーザダイシングで切断して、多層配線層104の少なくとも所定の深さまで達する切断溝100aを形成する。 - 特許庁
Beneath the closing sentence was written the position, rank and name (in that precise order) of the official who issued the document, and on the line under it was the date it was issued (In the cases of a Daijokanpu, the rank and name of the Benkan (Daijokan official) is written on the upper part, and the name of the scribe is placed under it, as required by the Ritsuryo system). 例文帳に追加
書止の次の行には実際の発給担当者の位署が官職・位階・姓名の順に従って記載され(太政官符の場合は、行の上部に弁官、下部に史(律令制)の位署がなされた)、その次の行に発給された年月日が記載された。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス
Since the groove is formed on the scribe line by the first laser light 8a, the generation of chips or cracks can be suppressed independently of the surface state of the semiconductor substrate and the semiconductor substrate 1 can be easily cut off after forming the reformed area 10 based on the multiple photon absorption by the second laser light 8b.例文帳に追加
第一のレーザ光8aにより、スクライブライン2上に溝を形成することで、半導体基板1の表面状態に関わらず、表層の欠けや割れを抑え、第二のレーザ光8bで多光子吸収による改質領域10を形成した後の切断を容易にする。 - 特許庁
The optical system is simplified because a glass-base substrate 100 is cut by making use of a beam pattern after the ejection of the cooling liquid beam 170, and a large tensile force is applied on the scribe line 210, thus a thick non-metallic substrate is completely cut.例文帳に追加
冷却流体ビーム170の噴射後、一つのビームパターンを使用してガラス母基板100を切断するので光学系を単純化させることができ、スクライブライン210に大きい引張力を発生させるので、厚い非メタル基板の完全切断を達成することができる。 - 特許庁
In the method of cutting the substrate such as a glass substrate, the breaking is carried out at the same time when stress is loaded from one surface of the substrate with a pressing edge and a scribe line is drawn on another surface of the substrate opposed to the pressing edge by a scribing means such as scribing cutter.例文帳に追加
ガラス基板等の基板の割断加工方法において、基板の一の面から押え刃にて応力を負荷させた状態にて、当該基板の反対側の他の面にスクライブカッター等のスクライブ手段にてスクライブ線を入れると同時に、ブレークするようにした点にある。 - 特許庁
The method for manufacturing the semiconductor device comprises the steps of forming a pad oxide film on a semiconductor substrate, forming a silicon nitride film on the pad oxide film, and providing a resist pattern containing at least one droplet capturing area in plan view, in an area that serves as a scribe line on the silicon nitride film.例文帳に追加
本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板上にパッド酸化膜を形成する工程と、パッド酸化膜上にシリコン窒化膜を形成する工程と、シリコン窒化膜上のスクライブラインとなる領域に平面から見て少なくとも1つの水滴捕獲領域を含むレジストパターンを設ける工程とを有している。 - 特許庁
Spraying of a cooling fluid onto a cooling area including the scribe line 131 by a discharge nozzle 21 (cooling means) located between the cutter wheel 19 and a laser irradiating part 18 (laser irradiating means) or at downstream of the laser irradiating part 18 can be added to the conditions for controlling the depth of the perpendicular crack 132.例文帳に追加
さらに、カッターホイール19とレーザ照射部18(レーザ照射手段)との間、またはレーザ照射部18の下流側に、吐出ノズル21(冷却手段)により、スクライブ線131を含む冷却領域に冷却流体を噴射する場合を、垂直クラック132の深さ制御の条件に加えることが可能である。 - 特許庁
The first substrate includes: a scribe mark 50 formed at a part positioned at a panel circumference outside the seal 40 at the display medium layer side; a plurality of pixel electrodes formed of transparent conductive oxidation films; an electrode line formed of a metal material; and a flat film 15 formed so as to cover the substrate.例文帳に追加
第1基板は、表示媒体層側に、シール40の外側のパネル周縁に位置する部分に設けられたスクライブマーク50と、各々、透明導電性酸化膜で形成された複数の画素電極と、金属材料で形成された電極線と、基板を被覆するように設けられた平坦化膜15とを有する。 - 特許庁
To provide a glass cutter which enables to firmly make a scribe line, even if a case of cutting glass of a large size or a case of cutting stained glass or working posture is insufficient because of a working environment, by adding a cutting pressure by a weight to a cutter wheel thereby lightening and stabilizing the force to the cutter wheel.例文帳に追加
カッターホイルにウエイトで切断圧力を加えることで、カッターホイルに対して加える力を軽減して安定することができ、ガラスのサイズが大きい場合やステンドグラスの切断及び作業環境により作業姿勢が不十分な場合でも、スクライブラインを確実に入れることができるガラスカッターを提供する。 - 特許庁
A pair of adjacent liquid crystal panels of which the liquid crystal injection ports face each other are prepared, and projections forming injection ports are nested into each other and are formed beyond a scribe line along which the pair of panels should be cut, and projections in the injection ports of each other function as banks for each other after panels are separated by cutting.例文帳に追加
隣り合う液晶パネルの液晶注入口を向かい合わせた対を作り、それぞれに注入口を形成する突起は互いに入れ子となり、対になっているパネルを切断するスクライブラインを越えて形成し、相手の注入口内にある突起は切断分離後相手のドテとして機能することを特徴とする。 - 特許庁
The semiconductor device is such that a bump electrode 6 is formed by plating processing on the top face of the electrode pad 4, below which a semiconductor element and an interconnection are formed, and an insulating layer 3a is formed, at a location where deposition of plating does not occur, such as a scribe line 10 and the edge of a chip for eliminating deposition of plating at these places.例文帳に追加
この発明は、下方に半導体素子や配線が設けられた電極パッド4の上面にメッキ処理でバンプ電極6を設けた半導体装置であって、チップのエッジまたはスクライブライン10に絶縁層3aが設けられ、当該箇所にメッキの析出を無くしたことを特徴とする。 - 特許庁
In the wafer with a driver 1 for driving a plurality of displays formed through a wafer process, a dust detecting circuit in the driver 1 for driving each display and measuring terminals 6, 7 in the dust detecting circuit are formed on a scribe line in the periphery of the driver 1 for driving the displays.例文帳に追加
ウエハプロセスによって形成される複数の表示装置駆動用ドライバ1が形成されたウエハにおいて、各表示装置駆動用ドライバ1におけるダスト検知用回路および該ダスト検知用回路における測定端子6,7が、該表示装置駆動用ドライバ1の周囲におけるスクライブライン上に形成される。 - 特許庁
The ceramic substrate is formed by dividing a ceramic base material along a scribe line formed on one face of the ceramic material containing silicon nitride, and when the surface is measured using by an electron probe micro analyzer, the concentration of a silicon oxide and a composite oxide of silicon on the face is not more than 2.7 Atom%.例文帳に追加
窒化珪素からなるセラミックス母材の一面に形成されたスクライブラインに沿って該セラミックス母材を分割して形成されたセラミックス基板であって、前記一面における酸化シリコン及びシリコンの複合酸化物の濃度が、電子プローブマイクロアナライザを用いた表面測定において2.7Atom%以下であることを特徴とする。 - 特許庁
Transfer forming parts 107 and conductive materials 112 for electrically connecting to a counter electrode of a counter substrate preform 102 are formed on a TFT substrate preform 101 symmetrically with respect to the surface passing through a yTFT scribe line 114y between two adjacent TFT substrate forming regions and orthogonal to the principal surface of the TFT substrate preform.例文帳に追加
TFT基板母材101上に、対向基板母材102の対向電極に電気的接続をとるためのトランスファ形成部107と導電材112とを、隣接し合う2つのTFT基板形成領域間で、yTFTスクライブライン114yを通ってTFT基板母材の主面に直交する面に対称に形成する。 - 特許庁
In a manufacturing process of the dummy bump BD, a seed film 31 is selectively remained after plating using a material of the dummy bump BD is performed on the seed film 31, whereby the dummy bump BD is connected to a scribe line SC provided between the child chip 2 and other chip 4 adjacent to the child chip 2 via the remained portion of the seed film 31.例文帳に追加
ダミーバンプBDの製造工程において、シード膜31上にダミーバンプBDの材料を用いたメッキを行った後、シード膜31を選択的に残しておくことにより、ダミーバンプBDは、このシード膜31の残留部分を介して、子チップ2と子チップ2に隣接する他のチップ4との間に設けられたスクライブラインSCに接続されている。 - 特許庁
A step for forming a P type buried layer preceding a step for forming an N type epitaxial layer by growing an N type epitaxial layer is carried out for a portion where a scribe line is formed while masking that portion by a resist film 81A formed on an oxide film or by utilizing an oxide film 90A itself.例文帳に追加
N型エピタキシャル層を成長させて形成するN型エピタキシャル層形成工程より先に行うP型埋め込み層形成工程を、スクライブラインが形成される部分については、酸化膜上に形成したレジスト膜81Aによってマスキングをした状態で、或いは酸化膜自体90Aを利用してマスキングをした状態で行うようする。 - 特許庁
In the semiconductor apparatus where an opening is formed from the back of a semiconductor substrate 1 such that a pad electrode 3 formed thereon is exposed and a wiring layer 10 is formed for the pad electrode 3 through the opening, an opening 6b for monitoring the formation state of the opening is formed on a scribe line.例文帳に追加
本発明の半導体装置は、半導体基板1上に形成されたパッド電極3を露出するように基板裏面から開口部が形成され、この開口部を介して前記パッド電極3に配線層10が形成されて成るものにおいて、前記開口部の形成状態をモニターするためのモニター開口部6bをスクライブライン上に形成することを特徴とするものである。 - 特許庁
In the multi-wiring film forming step, a dummy pattern formed by vertically linking together the wirings and the vias is formed in a region other than the dicing region in the scribe line region, and no dummy pattern formed by vertically linking together the wirings and the vias is formed at least on an upper part of the interlayer insulating film in the dicing region.例文帳に追加
そして、前記多層配線膜を形成する工程において、前記スクライブライン領域における前記ダイシング領域を除く領域には、前記配線及び前記ビアを上下方向に連結させたダミーパターンを形成し、前記ダイシング領域における前記層間絶縁膜の少なくとも上部には、前記配線及び前記ビアを上下方向に連結させたダミーパターンを形成しない。 - 特許庁
In a wafer-shaped SOI substrate 10, an epitaxial silicon layer 22, which is a convex formation material layer, is formed through an epitaxial growth method on a second silicon layer 16 constituting an SOI layer of the mark formation area 150, which is a scribe line area, and then the corresponding epitaxial silicon layer is etched to pattern a convex 22a as a positioning mark.例文帳に追加
ウェハ状のSOI基板10のうち、スクライブライン領域であるマーク形成領域150のSOI層を構成する第2のシリコン層16上に、エピタキシャル成長法によって凸部形成用材料層であるエピタキシャルシリコン層22を形成した後、当該エピタキシャルシリコン層に対してエッチングを行って、位置合わせ用マークとしての凸部22aをパターニング形成する。 - 特許庁
This is why the group in a direct line from Zeami was finished after Motomasa died; however, it is believed that as this Juro dayu grew up, he carried out activities based on Yamato which was a place remembered in connection with his father, with the support of Motomasa's younger brother, Motoyoshi KANZE (scribe of "Sarugaku dangi" (An Account of Zeami's Reflections on Art)), and Motoyoshi's son, Saburo, and the Juni family (branch of the Honami family) who was close to the Kanze group and was an influential Sarugaku performer. 例文帳に追加
そのため元雅の死後、世阿弥直系の座は一度破滅を見ていたが、この十郎大夫の成長に従い、元雅の弟観世元能(『申楽談義』の筆記者)とその息子・三郎、また観世座に近い有力な猿楽師であった十二家などの後援を受け、父祖ゆかりの大和の地を根拠に活動したと考えられている。 - Wikipedia日英京都関連文書対訳コーパス
As a plurality of LSI formed on a wafer 1, a digital circuit 6 is packaged on a die area, a test circuit 5 is provided on a scribe line formed on the wafer 1, input and output pads 4 to become interfaces with the test circuit 5 on the die area are connected by wiring, and a test signal is supplied by using the input and output pads 4.例文帳に追加
ウエハ1上に形成された複数のLSIとして、ダイ領域上にはデジタル回路6を搭載し、またウエハ1上に形成されたスクライブライン上にはテスト回路5を備え、そのテスト回路5とダイ領域上のインターフェイス部となる入力及び出力パッド部4とを配線で接続し、入力及び出力パッド部4を用いて試験信号を供給する。 - 特許庁
An alignment key formed of a first stepped part, formed of a first recess having a first depth from the surface of a semiconductor substrate in a scribe line region on the semiconductor substrate and a second stepped part formed of a second recess, having a second depth that is from the surface of the semiconductor substrate in a well region on the semiconductor substrate and equal to or smaller than the first depth are included.例文帳に追加
半導体基板のスクライブライン領域にて前記半導体基板の表面から第1深さを有する第1凹部により形成された第1段差部よりなるアラインキーと、前記半導体基板のウェル領域にて前記半導体基板の表面から前記第1深さと同じか浅い第2深さを有する第2凹部により形成された第2段差部とを含む。 - 特許庁
A laser beam generating device 210 irradiates a first laser beam 130 with which the cut route 200 set on the non-metallic substrate is heated and a scribe line 210 is formed on the cut route 200, and a second laser beam 150 with which a beam pattern is formed along the irradiation route of the first laser beam 130 separated by a predetermined distance from the first laser beam 130.例文帳に追加
レーザビーム発生装置210は非メタル基板に設定された切断経路200を加熱して切断経路200上にスクライブライン210を形成する第1レーザビーム130を照射し、第1レーザビーム130と所定距離離隔されて第1レーザビーム130の照射経路に沿って一つのビームパターンを形成する第2レーザビーム150を照射する。 - 特許庁
Within a scribe line 13, a dummy pattern 14 is formed in the vicinity of an overlap accuracy measuring mark comprising a first layer pattern 11 formed on a semiconductor substrate and a second layer pattern 12 as a resist pattern and, as the result, the resist pattern 10 in the vicinity of the overlap accuracy measuring mark is arranged to be symmetrical to the overlap accuracy measuring mark.例文帳に追加
スクライブライン13内において、半導体基板上に形成された第1層のパターン11とレジストパターンで形成される第2層のパターン12とからなる重ね合わせ精度測定マークの周辺にダミーパターン14を形成することにより、重ね合わせ精度測定マークの周辺のレジストパターン10を重ね合わせ精度測定マークに対して対称に配置する。 - 特許庁
The method of manufacturing the solid-state image sensor includes a barrier forming step of forming a barrier on a scribe line defining an element forming region including an imaging region having microlenses formed on the surface thereof with a predetermined gap provided between the sidewall of the element forming region and the barrier, an antireflection film forming step of forming an antireflection film on the surfaces of the microlenses and in the gap, and a barrier removing step of removing the barrier.例文帳に追加
表面にマイクロレンズが形成された撮像領域を含む素子形成領域を区画するスクライブライン上に、素子形成領域の側壁との間に所定の間隙設けて障壁部を形成する障壁部形成工程と、マイクロレンズ表面及び前記間隙内に反射防止膜を形成する反射防止膜形成工程と、障壁部を除去する障壁部除去工程とを有する。 - 特許庁
The dicing method of rotating the dicing blade to cut a substrate includes: a blade lowering process of lowering the dicing blade down to the substrate to cut the substrate; a cutting process of cutting the substrate while moving the dicing blade only by a predetermined distance along the scribe line after the blade lowering process; and a blade lifting process of lifting the dicing blade until it completely leaves the substrate after the cutting process.例文帳に追加
ダイシングブレードを回転させて基板を切断するダイシング方法において、前記基板に対し前記ダイシングブレードを降下させ前記基板を切削するブレード降下工程と、前記ブレード降下工程の後、前記ダイシングブレードをスクライブラインに沿って所定の距離だけ移動させながら前記基板の切削を行う切削工程と、前記切削工程の後、前記ダイシングブレードを前記基板より完全に離れるまで上昇させるブレード上昇工程と、を有することを特徴とするダイシング方法により上記課題を解決する。 - 特許庁
| 意味 | 例文 |
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