| 意味 | 例文 |
Scribe Lineの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 388件
The electrode pads 11 are arranged in the scribe line 5 with a width larger than a cut-off region 13 including the cut-off region 13 of the scribe line 5, and are formed of two metal wiring layers 21-2 and 21-3 excepting for the lowest metal wiring layers 21-1 in the three-layer metal wiring structure.例文帳に追加
プロセスモニタ用電極パッド11は、スクライブライン5の切断領域13を含んで切断領域13よりも広い幅をもってスクライブライン5に配置されており、かつ、3層メタル配線構造のうち最下層のメタル配線層21−1を除く2層のメタル配線層21−2,21−3によって形成されている。 - 特許庁
After that, the part of the interlayer film 6 on the scribe line 4s is selectively removed, so as to have the interlayer film 6 on the scribe line 4s removed or left with a thickness of not thicker than 5 nm when the interlayer film 6 on the protruding patterns 4 in the chip region 1a is removed by polishing in the next process.例文帳に追加
その後、次に行われる研磨によってチップ領域1a内の凸パターン4上における層間膜6が除去された時点で、スクライブライン4s上の層間膜6が除去されるかまたは5nm以下の膜厚で残るように、スクライブライン4s上の層間膜6の一部を選択的に除去する。 - 特許庁
To provide a cutter wheel for cutting glass which is capable of forming a deep crack orthogonal to a scribe line and extending in the depth direction of a glass plate by one scribe scanning without giving excess load due to the blade of the cutter wheel for cutting glass.例文帳に追加
本発明は、ガラス切断用カッターホイールの刃による過度な荷重が加わることがなく、且つ1回のスクライブ走査でスクライブラインに直交してガラス板の厚み方向に延びる深い縦クラックを形成することが可能なカッターホイールを提供するものである。 - 特許庁
The fist substrate 10 further includes an electrode line formed of a metal material at the display medium layer 20 side, and the electrode line formed of the meatal material is constituted of the same conductive film as that of the scribe mark 50.例文帳に追加
第1の基板10は、表示媒体層20側に、金属材料で形成された電極線をさらに有し、金属材料で形成された電極線は、スクライブマーク50と同一の導電膜で構成されている。 - 特許庁
In a scribe-line region 3 on the wafer 1, a first stress-absorbing pattern 33 is formed at the same time when the wiring 31 of a first layer is formed in the chip region 2.例文帳に追加
また、ウェハ1上のスクライブライン領域3には、チップ領域2に第1層の配線31を形成するときに、第1の応力吸収パターン33を同時に形成する。 - 特許庁
In the scribe line region 5 of the semiconductor wafer, a first monitoring pattern 7, a second monitoring pattern 9 and a third monitoring pattern 11 are formed as the watermark monitoring patterns.例文帳に追加
半導体ウェハのスクライブライン領域5に、ウォーターマークモニタ用パターンとして第1モニタ用パターン7、第2モニタ用パターン9及び第3モニタ用パターン11が形成されている。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a display device in which a substrate made by connecting a plurality of cells used for a display device is divided at scribe line parts by the cells.例文帳に追加
表示装置に用いられるセルが複数連結された基板を、前記各セル毎にスクライブライン部分で分割する表示装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To prevent a phenomenon in which a crack is not uniformly formed by a wheel 10 of a glass cutter when a projection or an earlier-formed scribe line is present on glass.例文帳に追加
ガラス上に凸部あるいはさきに形成されたスクライブラインが存在するときに、ガラスカッターのホイール10によるクラックが均一に形成されない現象を対策する。 - 特許庁
To provide a dummy pattern for chemical mechanical polishing (CMP) of a metal where high uniformity is provided in a chip and high chipping resistance is provided for a scribe line.例文帳に追加
チップ内では高い均一性を、スクライブ線では高い対チッピング耐性をもった金属の化学的機械的研磨(CMP)用のダミーパターンを提供することにある。 - 特許庁
A surface wiring line 6 is connected from the bonding pad 3 to the through via 5 of the target chip 2-1 or adjacent chip 2-2 through the scribe region 4.例文帳に追加
表面配線6は、ボンディングパッド3からスクライブ領域4を介して対象チップ2−1又は隣接チップ2−2の表面の貫通ビア5に接続されている。 - 特許庁
If impact is given to the TFT substrate preform by a breaking device, a yTFT cutting surface 116y orthogonal to the principal surface of the TFT substrate preform from the yTFT scribe line is formed.例文帳に追加
ブレイク装置で衝撃を与えると、yTFTスクライブラインからTFT基板母材の主面に直交するyTFT分断面116yが形成される。 - 特許庁
In a semiconductor device 12, a scribe line region 14 is formed in the circumference of a semiconductor element region 20 where a ring-like equipotential ring 22 is formed.例文帳に追加
本発明の半導体装置12は、リング状の等電位リング22が形成されている半導体素子領域20の周囲にスクライブ線領域14が形成されている。 - 特許庁
An alignment mark 1 is formed by densely arranging patterns of element configuring components in a scribe line region 3 of a reticle 5 used for pattern transfer to the wafer.例文帳に追加
アライメントマーク1は、ウェハに対するパターン転写に用いられるレチクル5のスクライブライン領域3に、素子構成要素のパターンを密集して配置することにより構成されている。 - 特許庁
Irradiating point of the laser beam B on the amorphous silicon thin film 17 is moved linearly to the scribe line 19 of a device 18 on the glass substrate 16 by means of a scan mirror 23.例文帳に追加
アモルファスシリコン薄膜17へのレーザビームBの照射点を、スキャンミラー23にてガラス基板16上のデバイス18のスクライブライン19まで直線状に移動する。 - 特許庁
The reticle for metal patterning has a scribe line, in a non-transmitting solid region (B) adjacent to the counter side of the side of the TEG pattern region adjacent to the region A.例文帳に追加
また、前記領域Aと接しているTEGパターン領域の辺の対辺と接している光非透過ベタ領域(領域B)にスクライブラインを有する金属パターニング用レチクルとした。 - 特許庁
A liquid crystal mother glass substrate 120 is placed with its mother counter substrate 120b upside, and a scribe line S1 is cut into the mother counter substrate 120b using a first scribing device 124.例文帳に追加
液晶マザーガラス基板120のマザー対向基板120bを上にし、第1のスクライブ装置124を用いてマザー対向基板120bにスクライブラインS1を入れる。 - 特許庁
This suppresses a film thickness reduction of a resist 21 used as a mask during formation of a third wiring layer 7, in the vicinity of a boundary position between the scribe line and a chip.例文帳に追加
これにより、スクライブラインとチップとの境界位置近傍において、第3配線層7を形成する際のマスクとして用いるレジスト21が膜減りすることを抑制できる。 - 特許庁
To provide a carpenter's square which makes it possible to surely scribe a line by putting the main body of the square against a cut face of a board even when the board is thin.例文帳に追加
薄い板材であっても、その切断面に曲尺本体を押し当てて、確実に線を罫書くことができるようにした曲尺の提供を目的とする。 - 特許庁
Stoppers 25 each having a height nearly equal to the glass substrate 24 are arranged at both sides of the glass substrate 24, and according to the scribe line, pressing is carried out with a breaking bar 27 from upper part.例文帳に追加
ガラス基板24の両側にはガラス基板24の高さとほぼ等しい高さのストッパ25を配置し、上部よりスクライブラインに合わせてブレークバー27で押圧する。 - 特許庁
This polishing material is constituted by an inorganic particle powder capable of satisfying a specific maximum particle diameter, a specified average particle diameter, a specified indefinite index of the particle and specified Moh's hardness according to the width of the scribe line.例文帳に追加
スクライブライン幅に応じて、特定の最大粒子径、平均粒子径、粒子の不定形指数、及びモース硬度を満足する無機粒子粉体からなる。 - 特許庁
To provide a method for dividing a brittle material substrate where, even in a brittle material substrate having a low linear expansion coefficient, the vertical crack of a scribe line is made to elongate to a thickness direction of the substrate by laser beam irradiation.例文帳に追加
線膨張係数の小さい脆性材料基板であっても、レーザビーム照射によってスクライブラインの垂直クラックが基板厚み方向に伸展するようにする - 特許庁
Also, since a space which is required when the interlayer film 3 near the scribe line 10 is eliminated according to the conventional technology is no longer necessary, the semiconductor device can be miniaturized.例文帳に追加
また、従来技術のようにスクライブライン10近傍の層間膜3を除去した場合に必要なスペースが不要であり、半導体装置の微細化を実現できる。 - 特許庁
Conductive support structure 114 is also formed inside a scribe line region 104, and support the interlevel dielectric layer in the region of the integrated circuit.例文帳に追加
導電性支持構造(114)は、スクライブ・ライン領域(104)内部にも形成し、集積回路のこの領域内にあるレベル間誘電体層に対する支持も与える。 - 特許庁
Test scribing is performed as long as a circumferential length by using the scribing wheel 10, and a distance d1 from a contact point with the substrate to a point where a scribe line is formed is detected.例文帳に追加
スクライビングホイール10を用いて円周の長さだけテストスクライブし、基板と接触した点からスクライブラインが形成されるまでの距離d1を検出する。 - 特許庁
The length of a part of the scribe line 121 where the second back electrode 142 is arranged is shorter than the length where the second back electrode 142 is not arranged.例文帳に追加
スクライブ線121上において、第2裏面電極142が位置している部分の長さは、第2裏面電極142が位置していない部分の長さより短い。 - 特許庁
To provide a disruption apparatus capable of rationalizing a disruption system by executing a scribe line step and a disruption step simultaneously without reversing a substrate.例文帳に追加
スクライブライン工程と分断工程とを基板を反転することなく同時に行うことにより、分断システムの合理化を図ることのできる分断装置を提供する。 - 特許庁
To cut a fuse with high accuracy and lessen the area of a pattern for positioning in trimming that it occupies in a scribe line region, in an IC where the fuse is trimmed with a laser.例文帳に追加
ヒューズをレーザトリミングをするICにおいて、高精度でヒューズを切断し、及びスクライブライン領域に占めるトリミング位置決め用パターンの面積を小さくすること。 - 特許庁
A wiring 1 is formed in the scribe line region, so as to surround each of the chip element forming regions and to extend to close-to-edge regions P of the wafer.例文帳に追加
このスクライブライン領域には、配線1が、チップ用素子形成領域を取囲むように、かつウェハの端縁近傍領域Pにまで延びるように形成されている。 - 特許庁
A corner section 4a of the scribe line 4 is formed wider than other parts, and a wafer testing circuit 5 and testing pads 6 are formed in the corners 4a.例文帳に追加
スクライブライン4はそのコーナー部4aが他の部分4bに比べて幅広に形成され、そのコーナー部4aにウェハテスト回路5及びテスト用パッド6が形成される。 - 特許庁
The wafer 2 is removed along a scribe line B, the semiconductor pellets 1 having an Au plate layer are individually separated, the photo resist 5 is exposed at the scribe line B, the low- melting-point wax 6 is melted with the quartz substrate 4 heated at 150 to 190°C, and the quartz substrate 4 is exfoliated from the porous quartz substrate 4.例文帳に追加
次に、スクライブ線Bに沿って半導体基板2を除去して、Auメッキ層7をもつ半導体素子(ペレット)1,・・・に個々に分離するとともに、スクライブ線Bの部分にフォトレジスト5を露出させた後、石英板4を150〜190℃に加熱して低融点ワックス6を溶融し、石英板4を多孔質石英板3から剥離する。 - 特許庁
The substrate cutting device includes a stage 2 for mounting the substrate, and a cooling plate 7 for cooling the substrate by contacting a cooling projection 7a as a projection for locally cooling the substrate with a surface having a scribe line 8 formed or an opposite surface to it, except for the scribe line 8 formed on the substrate and its periphery.例文帳に追加
本発明にかかる基板切断装置は、基板を載置するステージ2と、基板に形成されたスクライブライン8及びその近傍以外であってスクライブライン8が形成されている面又はその反対面に基板を局所的に冷却するための突出部である冷却突出部7aを接触させて基板を冷却する冷却板7とを有する。 - 特許庁
In semiconductor wafer including an insulated substrate having light transparency and a plurality of chip forming regions formed of silicon semiconductor layer formed on the insulated substrate and defined by scribe line regions, a non-transparent pattern layer is provided in the scribe line region wherein a plurality of non-transparent figures separated via gaps with each other are arranged.例文帳に追加
透光性を有する絶縁基板と、絶縁基板上に形成されたシリコン半導体層とで形成され、スクライブライン領域により区画された複数のチップ形成領域を有する半導体ウェハにおいて、スクライブライン領域に、互いに隙間を介して離間する複数の不透明図形を配置した不透明パターン層を設ける。 - 特許庁
The scribe line is formed on the brittle substrate by rotating a winding reel 42 to wind a film F wound by a driven reel 44 while being in close contact with the brittle substrate, running a scribe head 3 and scribing from the upper side of the film F to be wound by a cutter wheel 33.例文帳に追加
巻き取りリール42を回転させて、従動リール44に巻回されたフィルムFを脆性基板に密着させた状態で巻き取るとともに、スクライブヘッド3を走行させ、巻き取られるフィルムFの上からカッターホイール33によって脆性基板にスクライブラインを形成する。 - 特許庁
When the first machining treatment by laser beam is completed, an image of a part including a shape-changed part (a scribe line P1) formed by the machining treatment is acquired, and the image is used for the machining position alignment treatment before the treatment of the second and subsequent machining (scribe lines P2, P3).例文帳に追加
レーザ光による最初の加工処理が終了した時点で、その加工処理によって形成された形状変化部分(スクライブ線P1)を含む箇所の画像を取得し、その画像を次回以降の加工(スクライブ線P2,P3)の処理前の加工位置アライメント処理に利用するようにした。 - 特許庁
The alignment mark structure has a scribe line of wafer or an alignment mark 102 formed in the region of a nonconstitutional part, and a protective dummy pattern 114 for protecting it against CMP.例文帳に追加
アライメントマーク構造は、ウェハのスクライブ線又は非構成部品領域に形成されるアライメントマークと、このアライメントマークの周辺に位置し、これをCMPから保護する保護ダミーパターンとを有する。 - 特許庁
On a reverse-surface side of a wafer, electric junction between the top and the reverse of the wafer is made using a side face of a through hole formed at a specified place on a scribe line, and an electrode for substrate mounting is arranged.例文帳に追加
ウエハ裏面側に、スクライブライン上の特定箇所に形成したスルーホールの側面を利用して,ウエハ表裏間の電気接合を取り、基板実装用の電極を配置する。 - 特許庁
To provide a cutter wheel which allows for stable formation of a scribe line with high precision even in the case where the thickness of a brittle material substrate is small when the substrate is broken, and a method of manufacturing the same.例文帳に追加
脆性材料基板を分断するに際し、基板の板厚が薄い場合でも精度の高いスクライブラインを安定して形成できるカッターホイールおよびその製造方法を提供する。 - 特許庁
The outer edge of a scheduled through-hole forming area is scribed by a cutter wheel 2 to form a first scribe line 31 including a first crack 41 inclined in a substrate thickness direction.例文帳に追加
貫通孔形成予定領域の外縁をカッターホイール2によってスクライブし、基板厚み方向に対して傾斜した第1クラック41からなる第1スクライブライン31を形成する。 - 特許庁
The semiconductor chip 100 is formed at a predetermined depth on the top surface of the semiconductor chip and is equipped with a top surface void preventing path 106, that extends up to the scribe line 102 of the contour.例文帳に追加
半導体チップ100は、半導体チップの上部面に一定の深さに形成され、外郭のスクライブライン102まで延びた上部面ボイド防止経路106を備える。 - 特許庁
The fine adjustment alignment target 31 formed at a cross part with the scribe line 29Y in the Y-direction is used for alignment, after a metal pattern 30 is formed at the edge part of each chip pattern 21.例文帳に追加
各チップパターン21のエッジ部にメタルパターン30を形成した後のアライメントには、Y方向のスクライブライン29Yとの交差部に形成する微調アライメントターゲット31を使用する。 - 特許庁
The bonding pads 9 are electrically connected to the probing pads 11 through metal wiring layers 17-2b, 17-3b, 17-4b, 17-5b disposed in the scribe line 5.例文帳に追加
ボンディング用パッド9とプロービング用パッド11はスクライブライン5に配置されたメタル配線層17−2b,17−3b,17−4b,17−5bを介して電気的に接続されている。 - 特許庁
Thereby, it can be grasped that defect is caused in which node out of six transistors constituting a SRAM cell, also the number of pads to be provided is less, and the test circuit can be inserted into a scribe line sufficiently.例文帳に追加
これにより、SRAMセルを構成する6個のトランジスタのどのノードで不良が発生したのかが把握でき、かつ備えるパッドの数が少なく、スクライブラインに十分に挿し込める。 - 特許庁
Stress (lines of stress 118) symmetrical with respect to the surface passing through the yTFT scribe line and orthogonal to the principal surface of the TFT substrate preform is induced in the TFT substrate preform.例文帳に追加
すると、TFT基板母材に、yTFTスクライブラインを通ってTFT基板母材の主面に直交する面に対称な応力(応力線118)が誘起される。 - 特許庁
In the adjusting method of a wafer carrying mechanism, an annular scribe line is formed on a wafer for test which is carried on a chuck table by means of the wafer carrying mechanism while rotating the chuck table.例文帳に追加
ウエーハ搬送機構の調整方法であって、ウエーハ搬送機構によりチャックテーブル上に搬送された試験用ウエーハにチャックテーブルを回転させながら環状罫書き線を形成する。 - 特許庁
Furthermore, a guard ring 54 is formed in the area of a wiring layer 38, corresponding to an area between the blade area 4 and the chipping-preventing wall 53 inside the scribe line 3 on the semiconductor substrate 32.例文帳に追加
また、半導体基板32のスクライブライン内3のブレード領域4とチッピング防止壁53との間の領域に対応する配線層38の領域にガードリング54を形成する。 - 特許庁
From the standpoint of further preventing fixing of the vertical crack 53a of the first scribe line 52a, the cooling water is preferably ejected together with a gas toward the substrate 50.例文帳に追加
ここで、第1スクライブライン52aの垂直クラック53aの固着を一層防止する観点からは、冷却水を気体と共に基板50に対して噴出させるようにするのが好ましい。 - 特許庁
To provide a liquid crystal device having an ultrathin glass, which can stably form a scribe line during manufacture and reinforce the vicinity of an end face of the ultrathin glass of a liquid crystal panel.例文帳に追加
極薄ガラスを用いた液晶表示装置において、製造時に安定したスクライブラインの形成が可能となるとともに、液晶パネルの極薄ガラス端面近傍を補強できる。 - 特許庁
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