| 例文 |
decomposition processの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 480件
To provide an apparatus in which a catalyst in a decomposition tube is heated sufficiently to exert enough the capability of decomposing ammonia even in the case of treating an exhaust gas containing a high level of ammonia such as one discharged from a GaN-based compound semiconductor manufacturing process, or even in the case of using an ammonia decomposition tube having a large inner diameter.例文帳に追加
GaN系化合物半導体製造工程から排出されるような高濃度のアンモニアを含む排ガスの処理であっても、内径の大きいアンモニア分解筒を使用する場合であっても、分解筒内の触媒が充分に加熱され、アンモニアを分解する能力を充分に発揮できるような装置を提供する。 - 特許庁
To provide a cleaning facility capable of stably removing a harmful gas discharged from a semiconductor manufacturing process in safety for a long time by inhibiting the lowering of a decomposition ratio of a treated harmful gas and the accumulation of powdered matter on a wall face of a decomposition chamber without using a large-scaled or complicated constitution.例文帳に追加
半導体製造工程から排出される有害ガスを、大型あるいは複雑な構成を用いることなく、処理対象有害ガスの分解率の低下、及び分解室壁面における粉化物の堆積を抑制することができ、長時間にわたり安全で安定して浄化できる浄化装置を提供する。 - 特許庁
To provide a discharge product decomposition removal device which performs high quality image formation by decomposing and removing a discharge product adhered on an image carrier by easy, small, inexpensive and simple structure, a process cartridge equipped with the discharge product decomposition removal device and an image forming apparatus.例文帳に追加
容易、且つ、小型、低廉で簡単な構成で、像担持体上に付着した放電生成物を分解して除去することにより高品質の画像形成が行われるようにする放電生成物分解除去装置、及び、その放電生成物分解除去装置を具備するプロセスカートリッジ、並びに、画像形成装置を提供する。 - 特許庁
To provide a device for treatment process of excrement of a pet animal, capable of carrying out decomposition treatment of the excrements excreted that the pet animal has excreted, while taking the pet animal for walk, and moreover, that does not incur running cost.例文帳に追加
愛玩動物を散歩させている間に、愛玩動物が排泄した糞を分解処理することが可能で、しかもランニングコストが掛からない愛玩動物の糞処理装置を提供する。 - 特許庁
By this process, the remaining air or moisture is not brought into the thermal decomposition furnace 19, thereby enabling prevention of the generation of dioxins caused by the remaining air or the drop of the furnace temperature caused by the vaporization of the remaining moisture.例文帳に追加
これにより、熱分解炉19に残存空気や水分が持ち込まれることがなくなり、残存空気によるダイオキシン類の発生や残存水分の蒸発による炉内温度の低下が防止される。 - 特許庁
The attached figure shows, as an example, a process for generating part-based representation for a 'cow' model, and shows intermediate processes stepwise by applying a decomposition technique to the 'cow' model.例文帳に追加
‘cow’モデルに対して部分基盤表現を生成する過程を一例として示したものであって、前記分割技法を‘cow’モデルに適用して中間過程を段階的に例示している。 - 特許庁
To subject a large amount of organic waste to fermentative decomposition over a relatively short period of time without using plant facilities consuming a large quantity of energy and also restricted in scale and to also facilitate a treatment process.例文帳に追加
エネルギーを大量消費し、規模も限定されるプラント施設を用いることなく大量の有機性廃棄物を比較的短期間で発酵分解することができるし、処理工程も容易である。 - 特許庁
The visible light-curable material does not cause foreign-body reaction in vivo and can obtain a decomposition property according to a wound-healing process by using gelatin as a substrate of gelation and suitably is used in application to medical materials such as hemostatic agent.例文帳に追加
ゼラチンをゲル化の基質として用いることにより、生体内で異物反応を起こさず、損傷治癒過程に応じた分解性を得ることができ、止血剤等の医療応用において好適である。 - 特許庁
To provide a toxic substance decomposition processing method and a processing equipment for the method so as to process a compound to be processed containing a toxic substance such as PCB extracted in separation processing over a wide concentration range.例文帳に追加
分離処理され抽出されたPCBなどのように、有害物質を低濃度から高濃度にまで含む被処理物における有害物質の分解処理方法と処理設備を提供する。 - 特許庁
After the formation of the ferrite film is completed, the pH adjuster and organic acid contained in the process fluid used for the formation of the ferrite film are decomposed using a decomposition device to which an oxidizer is supplied.例文帳に追加
フェライト皮膜の形成終了後、フェライト皮膜の形成に使用した処理液に含まれているpH調整剤及び有機酸を、酸化剤が供給される分解装置を用いて分解する。 - 特許庁
To provide a sludge treatment process which involves an ozone treatment of concentrated sludge to, enables solubilization of the sludge to enhance the decomposition rate of anaerobic digestion of the sludge, increases of the amount of a digestion gas generated in the anaerobic digestion and accordingly reduces the volume the sludge.例文帳に追加
濃縮汚泥に対してオゾン処理することによって、汚泥を可溶化させ、嫌気性消化の分解率を高め、消化ガスの発生量の増加を図り、もって汚泥の減容化率を高める。 - 特許庁
To prevent the deformation of a compact caused by the decomposition and removal of a low-melting point binder upon sintering, and to provide a hard alloy sintered compact with high dimensional precision using a liquid phase sintering process.例文帳に追加
焼結時における低融点バインダーの分解除去にともなう成形体の変形を防止して、液相焼結法を用いた寸法精度の高い硬質合金焼結体を提供する。 - 特許庁
When a diffraction grating 12 is formed on a glass substrate 11, this manufacturing method has a process for filling and embedding a sol-gel method application solution or an organic metal decomposition method application solution in slots 12a of the diffraction grating 12.例文帳に追加
ガラス基板11に回折格子12を形成する際、回折格子12の溝12a内に、ゾルゲル法塗布液または有機金属分解法塗布液を充填して埋める工程を有する。 - 特許庁
This process is effected under severe conditions, e.g. reaction temperature as high as 400 to 440°C, to accelerate decomposition of asphaltenes and remove impurities, e.g. heavy metals and sulfur, contained therein.例文帳に追加
ここでは例えば反応温度を400〜440℃もの厳しい条件で処理を行い、アスファルテンの分解を促進して、その中に取り込まれている重金属や硫黄などの不純物を除去する。 - 特許庁
This method for producing purified pentamethylenediamine is provided by including the thermal decomposition process of heating an aqueous solution of a pentamethylenediamine carbonate salt and decomposing it to crude pentamethylenediamine and carbon dioxide while removing distillate.例文帳に追加
ペンタメチレンジアミン炭酸塩水溶液を加熱することにより、留出液を除去しながら、粗ペンタメチレンジアミンと二酸化炭素に分解する熱分解工程を含む精製ペンタメチレンジアミンの製造方法。 - 特許庁
The treating process is such that a halogen-containing, flame- retardant resin composition 3 is made to contact with a mixed material 2 of a dehalogenizing material and a dehalogenation-accelerating material at a temperature lower than the decomposition temperature of the resin composition.例文帳に追加
ハロゲンを含む難燃性樹脂組成物3を、樹脂組成物の熱分解温度未満の温度で、脱ハロゲン化材料と脱ハロゲン化促進材料からなる混合材料2に接触させる。 - 特許庁
To provide a cremains-sealing and packaging apparatus which enables a long-period safe preservation of cremains, by tightly sealing cremains broken into pieces in a crematory through fully-automated process so that the cremains stay free from decomposition.例文帳に追加
火葬場で粉砕された遺骨が腐敗しないように全自動工程で緊密に密封することで、遺骨を長期間にわたって安全に保存する遺骨密封包装装置を提供する。 - 特許庁
Hydrogen is easily obtained in a hydrogen demand site by transporting the easily handleable reduced body to the hydrogen demand site in place of directly transporting hydrogen produced by the water decomposition process to the hydrogen demand site.例文帳に追加
水分解工程で発生させた水素を直接に需要箇所へ移すのではなく、取り扱いが容易な還元体を需要箇所へ移し、水素需要箇所において容易に水素を得ることができる。 - 特許庁
To provide a catalyst which gives a high yield of product and also is easily recovered and regenerated, in a hydrothermal reaction of supercritical state or subcritical state, and to provide a decomposition process using this catalyst.例文帳に追加
超臨界状態若しくは亜臨界状態の水熱反応において、生成物の収率が高く、しかも触媒の回収、再生が容易な触媒と、この触媒を用いた分解方法を提供する。 - 特許庁
To provide a process for gasifying volatile thermal decomposition products by economical means for producing a fuel gas from waste without causing resultant formation of harmful substances, and an apparatus therefor.例文帳に追加
結果的に有害な物質を形成することの無いように廃棄物から燃料ガスを形成する経済的手段で揮発性の熱分解生成物をガス化する方法及び装置を提供する。 - 特許庁
To provide a method for producing a large amount of industrially useful nanocarbons, by an improved process by the application and modification of heat decomposition of saccharides and using a metal nanoparticle-carbon composite as a precursor.例文帳に追加
工業的に有用なナノカーボン類を、糖類の熱分解を応用・改良したプロセスにより、金属ナノ粒子−炭素複合体を前駆体として用いて安価に大量生産する方法を提供する。 - 特許庁
To provide a recycling method and a recycling device of organic resources performing all of crushing, enzymolysis and drying in one process by using enzyme performing a decomposition reaction at a high temperature.例文帳に追加
高温度で分解反応する酵素を用いて、粉砕と酵素分解と乾燥を一つの工程で全てを処理することのできる有機資源の再資源化方法および再資源化装置を提供する。 - 特許庁
To provide a method of suppressing the generation of malodors by ammonia and amines, more particularly the generation of the ammonia in composting process at a low cost without exerting an adverse influence on microorganisms contributing to decomposition.例文帳に追加
分解に寄与する微生物に悪影響を与えることなく、低コストでコンポスト化過程におけるアンモニアないしアミン類による臭気の発生、特にアンモニアの発生を抑制する方法を提供する。 - 特許庁
To prevent the corrosion of equipment in a process of recovering a solvent from a conjugated diene and the decomposition of the solvent each caused by moisture, upon producing a conjugated diene by the catalytic oxidative dehydrogenation of a monoolefin.例文帳に追加
モノオレフィンの接触酸化脱水素反応により共役ジエンを製造するに当たり、共役ジエンの溶媒回収工程における水による機器の腐食や溶媒の分解を防止する。 - 特許庁
The present invention discloses a process for producing an isocyanate by subjecting a carbamic acid ester to a decomposition reaction in the presence of a compound having an active proton and a carbonic acid derivative.例文帳に追加
本発明は、活性プロトンを有する化合物および炭酸誘導体存在下において、カルバミン酸エステルを分解反応に付すことを特徴とするイソシアネートを製造する方法を開示する。 - 特許庁
To perform the decomposition of dioxins in fly ash containing alkali components and the immobilization of heavy metals in one process and to reduce the amount of an inorganic heavy metal immobilizing agent such as phosphoric acid to be added.例文帳に追加
アルカリ成分含有飛灰中のダイオキシン類の分解除去と重金属の固定処理とを一工程で行うと共に、リン酸等の無機系重金属固定剤の必要添加量を低減する。 - 特許庁
To provide a water treatment process which enables the sufficient decomposition of an organic substance such as a refractory organic substance while the generation amount of bromate ions and the consumption amount of hydrogen peroxide are significantly reduced.例文帳に追加
臭素酸イオン生成量および過酸化水素消費量を顕著に低減しながら、難分解性有機物等の有機物を十分に分解することのできる水処理方法を提供すること。 - 特許庁
The method for screening microorganisms having a cellulose decomposition ability includes: (a) a process of culturing a sample under the condition that the sample makes contact with a solid containing cellulose; and (b) a process of detecting whether the solid containing cellulose is decomposed or not, and the kit for screening microorganisms, which has the solid containing cellulose and a culture vessel, is used for screening the microorganisms which have the cellulose decomposition ability.例文帳に追加
(a)試料を、セルロース含有固体と接触させた状態で培養する工程と、(b)前記セルロース含有固体が分解されているか否かを検出する工程と、を有することを特徴とするセルロース分解能を有する微生物のスクリーニング方法、及び、セルロース含有固体と、培養用容器とを有し、セルロース分解能を有する微生物のスクリーニングに用いることを特徴とする、微生物スクリーニングキット。 - 特許庁
This method comprises a first decomposition process for decomposing the polyhalogen organic compounds by putting oxygen and graphite adsorbate into the molten metal and by the catalytic effect of the molten metal of separating carbon; and a second decomposition process for decomposing by completely decomposing and deoxigenating the polyhalogen organic compounds by heating at 800-900°C and at a normal pressure in a non-oxygen and non-hydrogen atmosphere.例文帳に追加
さらに、溶解金属中に酸素とグラファイト吸着物を入れ、溶解金属の持つ炭素を脱離する触媒作用効果により多価ハロゲン有機化合物を分解する第1分解工程と、無酸素水素雰囲気中、常圧下で800℃以上から900℃以下の範囲で加熱することで多価ハロゲン有機化合物を完全分解脱酸素化して分解する第2分解工程とから成る。 - 特許庁
The oxidative decomposition method includes: a first process where, when an OH group is contained, the OH radical takes a hydrogen atom to cause oxidation of the OH group and to form a double-bonded oxygen atom; a second process where, when a hydrogen atom is contained, the OH radical takes the hydrogen atom to cause oxidation; and a third process where the OH radical is added to an unpaired electron of the atom to produce the OH group.例文帳に追加
そして、水酸基有の場合、OHラジカルが水素原子を奪って酸化すると共に、酸素原子を二重結合化する第1プロセスと、水素原子有の場合、OHラジカルが水素原子を奪って酸化する第2プロセスと、原子の不対電子にOHラジカルが付加して、水酸基が生成される第3プロセスと、を有してなる。 - 特許庁
This method of treating the organic waste including the biodegradable resin comprises the process to solubilize the organic waste including the biodegradable resin molding by adding an enzyme for decomposing the biodegradable resin molding and/or adding microbes for producing the enzyme, the process to ferment a solubilized decomposition product, and the process to recover a fermentation product.例文帳に追加
生分解性樹脂成形体を含む有機系廃棄物を、生分解性樹脂成形体を分解する酵素および/または酵素を生成する微生物を添加して可溶化を行う工程と、可溶化された分解物で発酵を行う工程と、発酵生成物を回収する工程、からなる生分解性樹脂を含む有機系廃棄物の処理方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method for utilizing a member formed of embrittled carbon steel which is used in an ammonium manufacturing process, hydrocyanic synthesis, an acrylonitrile manufacturing process by and ammoxidation of propylene and the like with a surface portion nitrided by nascent nitrogen generated by decomposition of high-temperature and high-pressure ammonium by restoring the ductility thereof.例文帳に追加
アンモニアの製造プロセス、青酸合成、プロピレンのアンモ酸化によるアクリロニトリルの製造プロセス等で使用し、高温高圧のアンモニアが分解して生じた発生期の窒素によって表面部が窒化し、脆化した炭素鋼からなる部材を、その延性を回復させ、利用する方法に関する。 - 特許庁
To provide an oxidation treatment process for an organic liquid to be treated, by which the reaction rate of oxidative decomposition of the organic liquid can be maintained at a high level through the recovery of waste heat of the treated liquid after the oxidation reaction and concentration of the feed organic liquid with the recovered heat energy, and also to provide an equipment for the process.例文帳に追加
酸化反応後の処理液の廃熱を回収し、この熱エネルギーによって供給する有機性被処理液を濃縮することで、酸化分解の反応速度を高く維持できる有機性被処理液の酸化処理方法及び装置の提供を目的とするものである。 - 特許庁
In the epitaxial growth of a III-V group compound semiconductor thin film laminate wafer using an organic metallic material, the semiconductor thin film is epitaxially grown at a low temperature by a highly efficient V group material decomposition process by the mutual chemical reaction process of ammonia and triethylamine (ETA).例文帳に追加
有機金属材料を用いたIII-V族化合物半導体薄膜積層ウエハのエピタキシャル結晶成長において、アンモニアとトリエチルアミン(TEA)の相互化学反応工程により高効率なV族材料の分解工程により半導体薄膜を低温度で結晶成長させる。 - 特許庁
To provide a baking auxiliary which can accelerate a thermal decomposition of a binder resin, even when a heating temperature in a baking process is lower than that of a conventional baking process, is excellent in self burning, and can improve the dispersibility of inorganic particles in the binder resin.例文帳に追加
本発明は、焼成工程での加熱温度が、従来より低温であっても、バインダー樹脂の熱分解を促進でき、自己燃焼性にも優れ、さらにはバインダー樹脂中における無機粒子の分散性を向上させることが可能な焼成助剤を提供することである。 - 特許庁
In a Monte Carlo simulation calculating process of an ion implantation process, when scattering of a cluster-type molecular ion consisting of ten or more atoms is calculated by the Monte Carlo method, a travelling direction of decomposed individual atom is defined in a uniform random direction spatially at decomposition processing of the cluster-type molecule.例文帳に追加
イオン注入プロセスのモンテカルロシミュレーション計算過程において、10個以上の原子からなるクラスター型分子イオンのモンテカルロ法による散乱を計算する場合に、クラスター型分子の分解処理の時に、分解した個々の原子の進行方向を空間的に一様ランダムな方向に決定する。 - 特許庁
This treatment method is characterized by including a crushing process 1 for acquiring granular material of grain size from 0.05 mm to 100 mm by crushing the organic substance-containing radioactive solid wastes, and a thermal decomposition process 2 for thermally decomposing the organic substance in the granular material at temperatures from 400°C to 600°C in an inert atmosphere.例文帳に追加
有機物含有放射性固体廃棄物を破砕し粒径0.05mm〜100mmの粒状体を得る破砕工程1、該粒状体中の有機物を不活性雰囲気において温度400℃〜600℃で熱分解する熱分解工程2を含むことを特徴とする。 - 特許庁
The skin layer in a skin layer growing process is grown so as to make its thickness equal to the sum of its final target thickness and a compensatory thickness compensating for a thickness reduction which occurs in the skin layer in a cooling process due to the decomposition of a nitride forming the skin layer.例文帳に追加
表面薄層成長工程において表面薄層を、最終的に得るべき目標厚さに対し、冷却工程時において該表面薄層を形成する窒化物の分解により生ずる該表面薄層の厚さ減少を補償する補償厚さを部増しした形で成長する。 - 特許庁
In this production process, a stirring process for stirring the organic material in order to promote the reactive decomposition is involved.例文帳に追加
有機材料から水素を発生させる水素製造方法において、有機材料を投入する投入工程と、クロストリジウム属の微生物を投入する微生物投入工程と、を具備し、この反応工程中に、反応・分解を促進させるため有機材料を撹拌する撹拌工程を設けている。 - 特許庁
To provide a nitrogen-containing waste liquid treatment method which prevents aerobic decomposition of organic matter in an anaerobic process during treatment of nitrogen-containing waste liquid with intermittent aeration to effectively utilize the organic matter as a hydrogen donor required in the anaerobic process.例文帳に追加
窒素含有廃液を間欠曝気処理によって処理する際にあたり、嫌気工程における有機物の好気的分解を防止して、該有機物を嫌気工程において必要とされる水素供与体として有効利用する窒素含有廃液の処理方法を提供すること。 - 特許庁
The method is characterized by decomposing a plastic A containing an unsaturated polyester resin and an inorganic material with the use of subcritical water (process 1), and by filtrating the obtained decomposition liquid B at ≥40°C and ≤100°C to separate into a solution C, an inorganic filler and other solid contents D (process 2).例文帳に追加
不飽和ポリエステル樹脂と無機物を含有するプラスチックAを亜臨界水によって分解処理し(工程1)、得られた分解液Bを40℃以上100℃以下で濾過して(工程2)、溶液Cと、無機充填剤及びその他の固形分Dと、に分離することを特徴とする。 - 特許庁
The process includes a methane-containing gas generating process for collecting gas with methane as a main component obtained by fermenting and/or pyrolyzing the organic wastes under anaerobic conditions and containing ammonia and/or hydrogen sulfide, a decomposition process for generating hydrogen by decomposing the ammonia and/or the hydrogen sulfide, and a power generating process for generating power by a fuel cell with the hydrogen as fuel.例文帳に追加
有機性廃棄物を嫌気的条件で発酵および/または熱分解して得られる、メタンを主成分とし、アンモニアおよび/または硫化水素を含有するガスを回収するメタン含有ガス生成工程と、前記アンモニアおよび/または硫化水素を分解し、水素を生成させる分解工程と、前記水素を燃料として燃料電池により発電を行う発電工程と、を含む燃料電池発電プロセス。 - 特許庁
The process includes contacting a 5-100 vol.% ammonia-containing exhaust gas discharged from semiconductor production processes with an ammonia decomposition catalyst to thereby decompose most of the ammonia into nitrogen and hydrogen, contacting undecomposed ammonia after the ammonia decomposition with synthetic zeolite for purification, and cyclically contacting an ammonia-containing regenerated exhaust gas that is liberated from the synthetic zeolite when the synthetic zeolite is heated for regeneration with the ammonia decomposition catalyst.例文帳に追加
半導体製造工程から排出される5〜100vol%のアンモニア含有排ガスをアンモニア分解触媒に接触させて、アンモニアの大部分を窒素と水素に分解し、アンモニア分解処理後の未分解アンモニアを合成ゼオライトに接触させて浄化すると共に、該合成ゼオライトの加熱再生の際に前記合成ゼオライトから脱離したアンモニアを含む再生排ガスを前記アンモニア分解触媒に循環接触させる構成とする。 - 特許庁
To provide a purifying apparatus capable of safely and stably purifying noxious gas exhausted from a semiconductor manufacturing process, by thermal decomposition with combustion exhaust gas or flames obtained by burning fuel, for a long time while suppressing a lowering of a decomposition rate of noxious gas to be treated and the accumulation of powdered matter on a wall surface of a decomposition chamber without using large-sized or complicated constitution.例文帳に追加
半導体製造工程から排出される有害ガスを、燃料を燃焼して得られる燃焼排ガスまたは火炎により熱分解して浄化する浄化装置において、大型あるいは複雑な構成を用いることなく、処理対象有害ガスの分解率の低下、及び分解室壁面における粉化物の堆積を抑制することができ、長時間にわたり安全で安定して浄化できる浄化装置を提供する。 - 特許庁
To provide a polyamide 66 resin-mixed pellet which inhibits the increase of yellowness and thermal decomposition in a molding process at a high temperature, in repeated melting processes, and in staying under heat for a long time, and has excellent mechanical properties such as toughness.例文帳に追加
高温での成形、繰り返しの溶融工程、長時間の熱滞留において、黄色度の増加の抑制、熱分解が抑制されかつ靭性等の機械物性に優れるポリアミド66樹脂ペレットの提供。 - 特許庁
To promote sludge oxidative decomposition due to aerobic bacteria by supplying dissolved oxygen-rich water throughout sludge to exhibit aerobic condition, and to prevent sludge from dispersing/floating during the above process.例文帳に追加
溶解酸素量が豊富な水をヘドロ全体に供給することでより好気性を発揮して好気性菌によるヘドロ酸化分解を促進し、かつ、その際にヘドロを水中に分散・浮遊させてしまうことをより防止する。 - 特許庁
To provide a method for producing a monomer from a polyester, with which an incinerator is slightly damaged even if a distillation residue is incinerated and the recovery of a monomer is not inhibited even if the distillation residue is returned to a decomposition process again.例文帳に追加
蒸留残渣を焼却しても焼却炉を痛めることが少なくなり、蒸留残渣を再度分解工程に戻してもモノマーの回収を阻害しないポリエステルからモノマーの製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a method of manufacturing a light modulated glass capable of securing a sufficient light modulating function by a vanadium oxide film even in use of a thermal decomposition process and suppressing the high reflection coefficient caused by the vanadium oxide film.例文帳に追加
熱分解法を用いながらも、酸化バナジウム膜による十分な調光機能が確保され、かつ酸化バナジウム膜に起因する高い反射率が抑制された調光ガラスを製造する方法を提供する。 - 特許庁
To surely decompose propionic acid, to prevent the acid from remaining and to realize stable heavy load treatment when organic discharged water containing a matrix to be decomposed in an anaerobic decomposition process by way of propionic acid.例文帳に追加
嫌気分解過程においてプロピオン酸を経由して分解される基質を含む有機性排水を嫌気処理するに当たり、プロピオン酸を確実に分解してその残留を防止し、安定した高負荷処理を可能とする。 - 特許庁
The package device is immersed in a soft etchant containing sulfuric acid and hydrogen peroxide and stored in a vessel 33, and cleaned by pure water by ending the etching process when the decomposition of the resin at a necessary part is ended.例文帳に追加
容器33内に収容された硫酸及び過酸化水素を含むソフトエッチング液にパッケージ装置を浸漬し、必要な部分の樹脂の分解が終了したらエッチング処理を終了し純水により洗浄する。 - 特許庁
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