「positioning-error」に関連した英語例文の一覧と使い方(8ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an initial position fixing method of a pedestrian navigation system which concerns a position fixing method for a mobile communication terminal, and utilizes the constellation of GPS satellites for raising the accuracy of positioning, especially by reducing the error of radio determination for fixing the position of a mobile communication terminal.例文帳に追加

本発明は、移動通信端末機の位置決定方法に関し、特に、移動通信端末機の位置を決定する無線測位の誤差を改善することで、測位の正確度を向上させるためのＧＰＳ衛星の配置を利用した歩行者ナビゲーション装置の初期位置決定方法に関する。 - 特許庁

To provide a disturbance observer, a feedback compensator, a positioning device, exposure device and a method for designing the disturbance observer which can stabilize a resonance phase using a phase lead compensator and a phase lag compensator which are based on a transfer function decided by a designer without a process of trial and error.例文帳に追加

設計者が試行錯誤することなく決定した伝達関数に基づく位相進み補償器と位相遅れ補償器により、共振の位相を安定化させることが可能な外乱オブザーバ、フィードバック補償器、位置決め装置、露光装置、及び外乱オブザーバ設計方法を提供する。 - 特許庁

A VCM controller 18 corrects gain and phase characteristics of feed-forward control so that the gain and phase characteristics of the feed-forward control substantially match those which minimize the positioning error of the magnetic head 4 in the vicinity of a disturbance frequency caused by mechanical resonance.例文帳に追加

ＶＣＭコントローラ１８が、機械的共振起因の外乱周波数の近傍において、フィードフォワード制御のゲイン特性及び位相特性が磁気ヘッド４の位置決め誤差を最小にするゲイン特性及び位相特性と略一致するように、フィードフォワード制御のゲイン特性及び位相特性を補正する。 - 特許庁

Specifically, positioning error information (information in the two-dimensional direction parallel to an inspection object surface) from a printing position of cream solder and height related information (information in the height direction vertical to the inspection object surface) of the cream solder, namely, the height, a volume value and a three-dimensional shape of the cream solder, are output.例文帳に追加

具体的には、クリームハンダの印刷位置からの位置ズレ情報（検査対象面に平行な二次元方向の情報）と、クリームハンダの高さ関連情報（検査対象面に垂直な高さ方向の情報）とが、すなわちクリームハンダの高さ、体積値、及び、三次元形状とが出力される。 - 特許庁

For example, a reference mark given to the component imaging device 316 is imaged by the substrate imaging device 314 or the reference mark of the mounting device 310 is imaged by the component imaging device 316 in order to detect the relative positioning error between the mounting device 310 and component imaging device 316.例文帳に追加

例えば、部品撮像装置３１６に付された基準マークを基板撮像装置３１４により撮像し、あるいは、装着装置３１０の基準マークを部品撮像装置３１６により撮像して、装着装置３１０と部品撮像装置３１６との相対位置誤差を検出する。 - 特許庁

To provide a magnetic disk drive which can realize a reliable data recording/reproducing operation as a result and has high reliability by correcting a head positioning error so as to be able to eliminate ununiformity between adjacent tracks caused by track-shaped distortion due to a WRO component.例文帳に追加

ＷＲＯ成分によるトラック形状の歪に起因する隣接トラック間の不均一性を解消できるようにヘッド位置決め誤差を補正し、結果として確実なデータ記録再生動作を実現できる高い信頼性を有する磁気ディスク装置を提供することにある。 - 特許庁

The region 114 is set based on a positioning error with respect to the code 201 of an imaging part by the use of the bottom of a slit 101 for defining the positional relationship between the imaging part for imaging the code 201 and the code 201, and on the specification of the code 201.例文帳に追加

このコード検出領域１１４は、上記コード２０１を撮像する撮像部と上記コード２０１との位置関係を規定するスリット１０１の底による上記撮像部と上記コード２０１との位置合わせ誤差と、上記コード２０１の仕様とに基づいて設定される。 - 特許庁

To provide a positioning mechanism of a power tool capable of ensuring the proper rotating operation of a rotary body to a base and the switching operation to a locking condition and an unlocking condition even when the error in size of a ball lock-up part and a lock ball is produced, and keeping the low production cost.例文帳に追加

ボール拘束部分及びロックボールの寸法誤差が生じても、基板に対する回動体の適切な回動動作並びにロック状態及びロック解除状態への切換動作を確保し、生産コストを低廉に維持する電動工具の位置決め機構を提供する。 - 特許庁

To construct a concrete structure by joining plate-like concrete members to one another to cope with an error in forming a recessed part when the groove-like recessed part is formed on either of joint end faces and a positioning member is attached to the other of them to position the concrete members in the direction of a thickness.例文帳に追加

板状のコンクリート部材同士を接合してコンクリート構造物を構築する際に、接合端面の一方に溝状の凹部を設け、他方に位置決め部材を取り付けて、コンクリート部材の厚み方向の位置決めをする場合に、凹部の製造誤差に対応できるようにする。 - 特許庁

Accordingly, it is possible to eliminate a dead zone that causes overlooking of flaws, and to determine an inspection region on the basis of the inspection target image itself that is the actual flaw inspection target so as to cause no problems of positioning error and excessive detection due to product diversity.例文帳に追加

これにより，欠陥見逃しの原因となる不感帯を無くすことが可能で，また，実際に欠陥検査の対象となる検査対象画像そのものに基づいて検査領域が決定されるため，位置決め誤差や製品バラツキによる過検出の問題も生じない。 - 特許庁

The implementation of active voltage positioning (AVP) improved for a power source of a microprocessor or the like includes an AVP circuit separated from a power source error amplifier 42 by a buffer amplifier 62 having parallel RC feedback circuits 64, 66 controllably adjusting a transient response.例文帳に追加

マイクロプロセッサ等の電源のための改良されたアクティブ電圧ポジショニング（ＡＶＰ）の実施は、過渡応答を制御可能に調整する並列ＲＣフィードバック回路６４，６６を有するバッファ増幅器６２により、電源誤差増幅器４２から分離されたＡＶＰ回路を含む。 - 特許庁

The vehicle existence range calculation part 22 finds a final position where positioning is finally impossible from the travel locus information, calculates a vehicle existence range consisting of the travel range, angle range and initial error of the vehicle in accordance with the position information for the final position and transmits display information to a map plotting control part 23.例文帳に追加

車両存在範囲算出部22は、走行軌跡情報から最後に測位が可能となった最終位置を求め、最終位置の位置情報を基に車両の走行範囲、角度範囲、初期誤差からなる車両存在範囲を算出し、表示情報を地図描画制御23へ送出する。 - 特許庁

To provide a position-detecting device for reducing a positioning error by directly detecting the position of a movable object when the position detection of the movable object is to be obtained by an operation.例文帳に追加

従来の位置検出装置では、可動物の位置検出を間接的に演算で求めるため、精度が低く、位置決め誤差が生じるという問題点があったが、本発明では、可動物の位置を直接的に検出し、位置決め誤差を低減できる位置検出装置を提供する。 - 特許庁

When the position of a user having a GPS(global positioning system) receiver and the initial estimated value of a clock error are set (step S11), the GPS receiver sets the parameter value indicating the state of its own device (step S12), acquires the observation data of all visible GPS satellites (step S13), and evaluates a Lagrangian factor term (step S14).例文帳に追加

ＧＰＳ受信装置を所有したユーザの位置及びクロック誤差の初期推定値が設定されると（ステップＳ１１）、自装置の状態を示すパラメータ値を設定し（ステップＳ１２）、可視ＧＰＳ衛星全ての観測データを取得し（ステップＳ１３）、ラグランジュ要素項の評価を行なう（ステップＳ１４）。 - 特許庁

An area determining function 161 determines that the user is in an HA when the level of positioning precision is less than a threshold, and the latitude and longitude of GPS is outside the user correction HA and included in the error absorption HA, and also determines that the user is in the HA when the latitude and longitude of GPS is included in the user correction HA.例文帳に追加

エリア判定機能１６１は、測位精度のレベルが閾値未満であり、かつ、ＧＰＳ緯度経度がユーザ補正ＨＡ外かつ誤差吸収ＨＡ内に含まれる場合と、ＧＰＳ緯度経度がユーザ補正ＨＡ内に含まれる場合に、ユーザがＨＡに滞在していると判定する。 - 特許庁

The position of each of two reference marks 146 of the printed wiring board 12 is acquired later by means of the reference mark camera of each unit and, based on these positions and the relative position of both units, positioning error of the printed wiring board 12 is acquired in the first and second units.例文帳に追加

後にプリント配線板１２の２つの基準マーク１４６の１つずつの位置を、各ユニットの基準マークカメラにより取得し、それらの位置と上記両ユニットの相対位置とに基づいて第一，第二ユニットにおけるプリント配線板１２の位置決め誤差を取得する。 - 特許庁

The position of each of two reference marks 148 of the printed wiring board 12 is acquired later by means of the reference mark camera of each unit and, based on these positions and the relative position of both units, positioning error of the printed wiring board 12 is acquired in the first and second units.例文帳に追加

後に、プリント配線板１２の２つの基準マーク１４８の１つずつの位置を、各ユニットの基準マークカメラにより取得し、それらの位置と上記両ユニットの相対位置とに基づいて、第一、第二ユニットにおけるプリント配線板１２の位置決め誤差を取得する。 - 特許庁

To provide a liquid crystal display device which can be further improved in quality of a screen by solving the problem that an error in positioning due to deformation of upper and lower substrates is caused by changing installation positions of post spacers and then preventing the post spacers from being displaced in spite of an external impact.例文帳に追加

柱状スペーサの設置位置を変更することにより、外部の衝撃を受ける時柱状スペーサの変位を防止し、上下基板の変形による位置あわせに誤差を生じる問題を解決し、画面の品質を更に向上できる液晶ディスプレ装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method and device for correcting the positioning error of a tool or a machine tool generated due to the difference of distances between a traveling object on the guide faces of a bed and the guide faces, based on the difference of the thickness of the oil film of supplied lubricating oil generated according to the movement of the traveling object on the guide face.例文帳に追加

ベッドの案内面上の移動体の移動により供給された潤滑油の油膜厚さに差ができ、この差にもとづき移動体と案内面との距離が異なることにより生ずる工具又は工作物の位置決め誤差を補正する方法及び装置を提供する。 - 特許庁

The inclination detecting means installed on a water tank determines by its detecting output whether a rotational axis of a rotary drum placed inside the water tank is within a specified range (S11) and in case it detects any defect in the positioning of the water tank 1 is assigned to an error flag (S13).例文帳に追加

水槽に取り付けた傾き検知手段の検知出力によって、水槽内に配置されている回転ドラムの回転軸が所定の範囲内であるか否かが判定され（Ｓ１１）、水槽の配置状態が異常である場合には、エラーフラグに１が代入される（Ｓ１３）。 - 特許庁

In a magnetic disk device provided with a head positioning control system, a feedback control system 1 which drives and controls an actuator 4 based on a positional error between a target position TP on a disk and an absolute position HP of a head and a feed forward control system 2 having a compensative function are combined.例文帳に追加

ヘッド位置決め制御システムを備えた磁気ディスク装置において、ディスク上の目標位置ＴＰとヘッドの絶対位置ＨＰとの位置誤差に基づいてアクチュエータ４を駆動制御するフィードバック制御系１と補償機能を有するフィードフォワード制御系２とを組み合わせたシステムである。 - 特許庁

Positioning error is obtained by simulation.例文帳に追加

大気の状態を表す数値シミュレーションデータの入力手段と、数値シミュレーションデータに基づいて視線遅延量を計算する視線遅延量計算手段と、該視線遅延量計算手段で算出した視線遅延量に基づいて測位誤差を求める測位誤差計算手段とを備え、測位誤差をシミュレーションにより求める構成をもつ。 - 特許庁

To provide a fine adjustment device for displacement and a fine adjustment method of displacement capable of surely and stably performing a further precise positioning and adjustment of a fine displacement with an extremely easy and inexpensive structure without causing a problem such as backlash of gear, clearance between members, or assembling error of member.例文帳に追加

歯車のバックラッシュ、部材間のクリアランス及び部材の組付誤差等の問題を生じさせることなく、極めて簡易且つ安価な構成により高精度の微量変位量の位置出し、調整を確実、安定的に行える変位量の微調整装置並びに変位量の微調整方法を提供する。 - 特許庁

Since the ratio of the rear end part 20 to the aperture inner diameter size of the frame fixing part 25 becomes small, an allowable error range of the relative position when setting the relative position of the lead frame 10 to the frame fixing part 25 becomes large, to thereby reduce complication of positioning of the relative position.例文帳に追加

また、フレーム固着部２５の開口内径寸法に対する後端部分２０の比率が小さくなることから、挿入作業時に、フレーム固着部２５に対するリードフレーム１０の相対位置を設定する際の相対位置の許容誤差範囲が大きくなり、相対位置の位置決めの煩雑さを軽減できる。 - 特許庁

A beam being reflected by a disk is picked up by an optical pick-up means with several photo detectors PHD, and a positioning error of the beam for the track is obtained according to a basic signal that is transmitted from the photo detector and a total signal that is transmitted from the pick-up and includes information.例文帳に追加

ディスクによって反射されたビームは、いくつかの光検出器を備えた光ピックアップ手段によってピックアップされ、光検出器からそれぞれ送出された基本信号と、前記ピックアップによって送出され、情報を含む総合信号とから、トラックに対するビームの位置決めエラーを求める。 - 特許庁

In the preferred embodiment, a) data, for example, track number is mapped to the code word of error correcting code(ECC), b) code is encoded for further redundancy using a bit vector and c) unprocessed data written to the PES field is restricted and an analog signal characteristic used by the servo system for positioning is equalized.例文帳に追加

好ましい実施態様では、ａ）データ、たとえばトラック番号を誤り訂正符号（ＥＣＣ）の符号語にマッピングし、ｂ）ビット・ベクトルを使用してさらなる冗長性のために記号を符号化し、ｃ）ＰＥＳフィールドに書き込まれた未加工データを制約して、位置決めのためにサーボ系によって使用されるアナログ信号特性を等化する。 - 特許庁

To provide a navigation system, a terminal device, a navigation server, a navigation device, a navigation method, and a program capable of route-guiding with positioning error parameters changing at real time, without disturbing acquisition of route guide information and map information, and increasing a communication volume.例文帳に追加

経路案内情報や地図情報の取得処理の妨害や、通信量の増大を招くことなく、リアルタイムに変化する測位誤差パラメータを適用した経路案内を行うことができるナビゲーションシステム、端末装置、ナビゲーションサーバ、ナビゲーション装置、ナビゲーション方法、および、プログラムを提供することを課題とする。 - 特許庁

Position detecting means 11, 12 of the substrate stage ST used for positioning at an exposure position and position detecting means 11, 13 (11, 14) of the substrate stage ST used for detecting alignment information at an alignment position are disposed so that the Abbe error about the exposure position and alignment position is approximately zero.例文帳に追加

また、露光位置での位置決めに使用する基板ステージＳＴの位置検出手段１１，１２と、アライメント位置でのアライメント情報検出に使用する基板ステージＳＴの位置検出手段１１，１３（１１，１４）をそれぞれ、露光位置とアライメント位置に対してアッベ誤差が略ゼロとなるように配置する。 - 特許庁

To reduce precision requested for positioning, a calculation time in a vibration analysis process and a rounding error in confirming calculation by a computer in supporting the design of optical equipment in consideration of the deformation of optical components to be used by using a method for analyzing the optimal mechanical structure of the optical equipment by optical path analysis and mechanical system analysis.例文帳に追加

光学機器の最適な機械構造を光路解析及び機械系解析の手法を用いて、使用する光学部品の変形を考慮しつつ光学機器を設計支援する際、位置決めに要求される精度、振動解析工程での計算時間、コンピュータで計算する際の丸め誤差を減らす。 - 特許庁

Moreover, means 11 and 12 for detecting the positions of the substrate stage ST used for positioning in exposure position, and means 11 and 13 (11 and 14) for detecting the position of the substrate stage ST used for detection of alignment information in alignment position are arranged severally so that the Abbe error may be zero to the exposure position and the alignment position.例文帳に追加

また、露光位置での位置決めに使用する基板ステージＳＴの位置検出手段１１，１２と、アライメント位置でのアライメント情報検出に使用する基板ステージＳＴの位置検出手段１１，１３（１１，１４）をそれぞれ、露光位置とアライメント位置に対してアッベ誤差が略ゼロとなるように配置する。 - 特許庁

Also, the position detecting means 11 and 12 of the substrate stage ST used for positioning on the exposure position, and the position detecting means 11, 13 (11, 14) of the substrate stage ST to be used for detection of alignment information on the alignment position are arranged in such a manner that the Abbe error to exposure position and alignment position becomes almost zero.例文帳に追加

また、露光位置での位置決めに使用する基板ステージＳＴの位置検出手段１１，１２と、アライメント位置でのアライメント情報検出に使用する基板ステージＳＴの位置検出手段１１，１３（１１，１４）をそれぞれ、露光位置とアライメント位置に対してアッベ誤差が略ゼロとなるように配置する。 - 特許庁

With this structure, when pushing the paper feeding cassette 7 in a direction A and closing it, immediately before the paper feeding cassette 7 is closed, attraction force and repulsion force generated between the electromagnets 33 and 34 are switched to each other to absorb a shock to be generated when installing the paper feeding cassette 7, and positioning error of the paper feeding cassette 7 can be thereby prevented.例文帳に追加

給紙カセット７を矢印Ａの方向に押し込み、閉じてゆくと、給紙カセット７が閉じられる直前に、電磁石３３、３４間に発生する引力と斥力が切り替わるため、給紙カセット７を装着する際の衝撃が吸収されるとともに、給紙カセット７の位置決めミスが防止される。 - 特許庁

To provide a finely adjusting device of a displacement quantity and a finely adjusting method of the displacement quantity for surely and stably making an adjustment by highly accurately positioning a trace displacement quantity with the extremely simple and inexpensive constitution without causing problems of a backlash of a gear, clearance between members and an installation error in the members.例文帳に追加

歯車のバックラッシュ、部材間のクリアランス及び部材の組付誤差等の問題を生じさせることなく、極めて簡易且つ安価な構成により高精度の微量変位量の位置出し、調整を確実、安定的に行える変位量の微調整装置並びに変位量の微調整方法を提供する。 - 特許庁

To put it concretely, when continuous reception of the beacon signal from the same access point AP is detected and a distance between a previous located position and the newest located position is longer than a radio LAN signal arrival distance, it is determined that a positioning error has occurred, and not the newest located position but the previous located position is outputted.例文帳に追加

具体的には、同一のアクセスポイントＡＰからのビーコン信号の連続受信が検出され、且つ、前回測位位置と最新測位位置間の距離が無線ＬＡＮ信号到達距離より大きい場合に、測位誤差が発生していると判定され、最新測位位置ではなく前回測位位置が出力される。 - 特許庁

To suppress eccentricity component of a track associated with rotation of a spindle motor to a magnetic disk device of a system mounting the magnetic disk in an individual device after recording a servo signal on the magnetic disk by an external master STW, and to improve positioning accuracy of a magnetic head, without degrading a D/A converter quanitization error.例文帳に追加

主たる課題の１つは、外部のマスタSTWで磁気ディスクにサーボ信号を記録し、サーボ信号記録後、磁気ディスクを個々の装置に搭載する方式の磁気ディスク装置に対して、スピンドルモータの回転に伴うトラックの偏心成分を抑圧し、D／Aコンバータ量子化誤差を劣化させずに磁気ヘッドの位置決め精度を向上させる。 - 特許庁

A detection means to detect an attachment positioning error for each light emitting element line with respect to the SLA, either the light emitting element line 5 or 6 is chosen from among light emitting element lines on the basis of the result of detection of the detection means and the luminous energy of light emitting elements of the light emitting element line chosen are controlled on a line basis.例文帳に追加

また、ＳＬＡに対する各発光素子ラインの取り付け位置誤差を検出する検出手段を有しており、検出手段の検出結果に基づき各発光素子ラインの中から発光素子ライン５、６のいずれかを選択し、選択された発光素子ラインの発光素子の光量をライン単位で制御する。 - 特許庁

When rotation precision of the main spindle 7 is low, since an error occurs as a result of a tip 8a of the bite 8 being dislocated from a target revolution locus, displacement from the target revolution locus of the bite 8 is predicted by a pre-measured main spindle rotation precision data group 104 and a positioning command for X Y Z tables 4-6 is corrected.例文帳に追加

主軸７の回転精度が低いと、バイト８の刃先８ａが目標旋回軌跡からずれて誤差を生じるため、予め計測された主軸回転精度データ群１０４によってバイト８の目標旋回軌跡からの位置ずれを予測し、ＸＹＺテーブル４〜６の位置決め指令を補正する。 - 特許庁

Position detecting means 11 and 12 for the wafer stage ST, which are used for positioning at an exposure position and position detecting means 11 and 13 (11 and 14) for the wafer stage ST, which are used for alignment information detection at an alignment position, are so provided that Abbe error is almost zero relative to the exposure position and alignment position, respectively.例文帳に追加

また、露光位置での位置決めに使用する基板ステージＳＴの位置検出手段１１，１２と、アライメント位置でのアライメント情報検出に使用する基板ステージＳＴの位置検出手段１１，１３（１１，１４）をそれぞれ、露光位置とアライメント位置に対してアッベ誤差が略ゼロとなるように配置する。 - 特許庁

To provide a announcing device for cargo handling support in an industrial vehicle and the industrial vehicle capable of restraining useless work caused by a determination error in a driver by giving proper indication to the driver when moving the vehicle or a cargo handling apparatus to a cargo handling object for positioning.例文帳に追加

荷役対象に対し車両または荷役機器を位置合わせのために移動させるに当たり、運転者に適切な指示を与えることができ、これにより運転者の判断ミスなどに起因する無駄な作業を抑制できる産業車両における荷役支援用報知装置及び産業車両を提供する。 - 特許庁

In order to prevent degradation of the quantization error of a D/A converter and to make the magnetic head follow the target track with high accuracy, the D/A converter for rough motions for large eccentricity follow-up (for feedforward control output) and the D/A converter for precision positioning (for feedback control part output) which are the separate D/A converter are provided.例文帳に追加

前記課題は、D／Aコンバータの量子化誤差の劣化を防ぎ、磁気ヘッドを目標トラックに高精度に追従させるため、大偏心追従の為の粗動用D／Aコンバータ（フィードフォワード制御出力用）と精密位置決め用D／Aコンバータ（フィードバック制御部出力用）の別々のD／Aコンバータを設けることによって達成される。 - 特許庁

A tracking processor 100 and three or more of electronic scanning type sensors 200 are provided to find a position of the target by a method of distance intersection and resection, using combination of distance informations, with respect to the same target, of the two sensors out of distances and azimuth informations with respect to the same target measured by the sensors 200, so as to remove the positioning error in the azimuth direction.例文帳に追加

追尾処理装置１００と３つ以上の電子走査式センサー２００を設け、各電子走査式センサー２００により測定された同一目標の距離と方位情報の内、２つのセンサーの同一目標に対する距離情報の組合せを利用して、目標の位置を距離交会法で求め、方位方向の測位誤差を除去する。 - 特許庁

To provide a light guiding plate machining device capable of highly accurately keeping positioning accuracy of a recessed pattern formed on the surface side or the reverse surface side of a main surface of a light guiding plate, even if an installation error is caused when installing an ultrasonic machining hone, an ultrasonic machine tool in the device, in light guiding plate machining.例文帳に追加

本発明は、導光板加工において、超音波加工具である超音波加工用ホーンを装置に装着した際に取付誤差等が発生しても、導光板の主面の表面側又は裏面側に形成する凹状のパターンの位置決め精度等を高精度に保つことができる導光板加工装置の提供を目的とする。 - 特許庁

To provide a work machinery and its position correcting method for eliminating the necessity to correct the control parameter of a work machinery even when any error is generated in the mounting of a work tool or a work object, and for eliminating the necessity to calculate correction quantity by executing a preparing operation before performing a normal mounting operation, and capable of correcting the position during the positioning operation(movement).例文帳に追加

作業工具や作業対象物の取付けに誤差があっても、作業機械の制御パラメータ等を補正する必要もなく、また、通常の実装動作を行なう前に、準備動作を実行して補正量を求めたりする必要がなく、位置決め動作（移動）中に位置の補正が可能な、作業機械及びその位置補正方法を提供する。 - 特許庁

To suppress error factors which accompany execution of a three-face joining method by being equipped with a positioning means for bringing the positions of respective specimens relative to hold means before and after an exchange substantially, in line with each other when exchanging the specimens, and an alignment means for making each center axis and rotational axis of two specimens substantially in line with each measurement optical axis.例文帳に追加

被検体を交換する際において保持手段に対する交換前後の各被検体の位置を互いに略一致させる位置合せ手段と、２つの被検体の各中心軸および回転軸を測定光軸に略一致させるアライメント手段とを備えることにより、３面合せ方法を実施する際に伴う誤差要因を抑制する。 - 特許庁

By constituting a moving path of the substrate under exposure on the back side as a mirror image of a moving path under exposure on the front side, all positioning errors specific in the moving direction are reversed compared with front side exposure under back side exposure, so that a net overlay error between a front side device and a back side device becomes zero or close to zero.例文帳に追加

この裏側の露出中の基板の移動経路を表側の露出中の移動経路の鏡像であるようにすることによって、移動方向に特有のあらゆる位置決め誤差が裏側露出で表側露出に比べて反転され、それで表側デバイスと裏側デバイスの間の正味オーバレイ誤差がゼロまたはゼロに近くなる。 - 特許庁