「process structure」に関連した英語例文の一覧と使い方(39ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide a multilayer fiber structure having light weight and thin thickness by using an ultrafine fiber, causing little damage of the ultrafine fiber even by processing the fiber structure such as pleating process and resistant to lowering of capturing performance even after processing.例文帳に追加

超極細繊維を用いているため軽量かつ薄葉である特性を有しており、しかもプリーツ加工等の加工を行っても超極細繊維の破損が生じ難く、加工後も捕集性能が低下しない多層繊維構造体を提供する。 - 特許庁

To provide a vehicle interior member that employs a covering material having a double-layer structure including an infrared reflecting layer and a design layer that allows infrared to pass therethrough, and furthermore allows the double-layer structure to be made without complexing the manufacturing process and allows the infrared reflecting layer to be formed by using existing shaping dies.例文帳に追加

表皮材を、赤外線反射層と赤外線を透過させる意匠層との二層構造としても、製造工程が複雑化せず、赤外線反射層は既存の成形型を用いて成形することができるようにする。 - 特許庁

(2) A process of impregnating the sheet with a self-emulsifying aqueous dispersion of the polyurethane having a cross-linking structure of a siloxane bond in a polyurethane molecular structure at a concentration of ≥15 and ≤45 wt.% so as to apply the self-emulsifying polyurethane to the sheet.例文帳に追加

（２）ポリウレタン分子構造内にシロキサン結合の架橋構造を有する自己乳化型ポリウレタン水分散液を１５重量％以上４５重量％以下の濃度でシートに含浸して、該自己乳化型ポリウレタンを付与する工程。 - 特許庁

To provide a car body structure of a rolling stock and its production method which reduces the number of man-hours required to form a side part body structure in a rolling stock assembly process, completes in a short period of production time with fine finish, has a mass production effect, and reduces its production cost.例文帳に追加

鉄道車両組立工程における側部構体の形成に要する工数を削減し、短工期で仕上がりが良く、量産効果があり、製造コストが低減できる鉄道車両の車体構造とその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a soil cement structure and its construction method for letting a boundary part of a preceding element and a following element keep sufficient water cut-off properties and strength by a simple process or configuration when constructing the soil cement structure such as an underground continuous wall.例文帳に追加

地中連続壁などのソイルセメント構造物を構築するにあたり、簡易な工程又は構成で、先行エレメントと後行エレメントとの境界部が止水性及び強度を保持可能なソイルセメント構造物及びその構築方法を提供する。 - 特許庁

To provide a particulate structure/substrate composite member in which an aggregate of fine particles such as nanoparticles constitutes a microstructure such as a three-dimensional projection structure on a substrate, and to provide a method for manufacturing the member without requiring a process of heating at high temperature.例文帳に追加

ナノ粒子などの微粒子の集合体が基体上で三次元隆起構造などの微小構造を形成している微粒子構造体／基体複合部材、及び、高温に加熱する工程を必要としない、その製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a package structure where a semiconductor chip and a wiring board are packaged in a smaller space through a simplified process, a manufacturing method for an electro-optical device with the package structure, the electro-optical device, and electronic equipment.例文帳に追加

半導体チップと配線基板とがより省スペースに且つ簡略化した工程で実装された実装構造体、この実装構造体を備えた電気光学装置の製造方法および電気光学装置並びに電子機器を提供すること。 - 特許庁

The method for manufacturing a polymer molded body includes a process of dry-etching a polyglycolic acid-containing polymer structure by the use of a power output of 1-6 W and an electric current of 3 mA or less under the degree of vacuum of 50 mTorr or less, and thus forming a recessed part on the above polymer structure.例文帳に追加

ポリグリコール酸を含むポリマー構造体を、真空度５０ｍＴｏｒｒ以下、出力１〜６Ｗかつ電流３ｍＡ以下でドライエッチングして、上記ポリマー構造体に凹部を形成する工程を備える、ポリマー成形体の製造方法。 - 特許庁

To provide a porous structure in which process cost reduction is realized, in addition to reliability improvement by improving gas sealing characteristics and in which size reduction and high-reliability mounting is realized in an electronic device, and to provide a solid electrolyte fuel cell and a fuel cell stack that use the structure.例文帳に追加

ガスシーリング性の向上による信頼性向上に加えて工程コストダウン、電子デバイスでは小型高信頼の実装を実現する多孔構造体、これを用いた固体電解質型燃料電池及び燃料電池スタックを提供する。 - 特許庁

Thus, the optical functional element and the low reflection structure can be formed through a single transfer process using the same mold 50, which can enhance the alignment accuracy of the low reflection structure as a black matrix with the optical functional element.例文帳に追加

同一の金型５０を用いた一回の転写により、光学機能素子および低反射構造体を形成することが可能となり、ブラックマトリクスとしての低反射構造体と光学機能素子との位置合わせ精度を高めることが可能となる。 - 特許庁

To provide a method for stably maintaining the continuous production of a fiber structure by eliminating unexpectedly caused abnormality easily in the production process in the method for producing the fiber structure of a fiber-forming material by an electrospinning method.例文帳に追加

静電紡糸法により繊維形成性物質の繊維構造体を製造する方法において、不意に発生する製造工程異常を容易に解消し、繊維構造体の連続製造を安定的に維持させる方法を提供すること。 - 特許庁

To provide an optical module that has a structure for coupling light propagated through the optical fiber of an optical connector with an optical device with a high coupling efficiency, and that has a structure capable of implementing a process from mounting to sealing of the optical device in an arrayed state.例文帳に追加

光コネクタの光ファイバを伝達してきた光を高い結合効率で光デバイスに結合できる構造であり、光デバイスの実装から光デバイスの封止の工程をアレイ状態で実施できる構造を有する光モジュールを提供する。 - 特許庁

To provide a wavelength conversion element utilizing a new structure which has less problems of unevenness of inversion and non-reproducibility of a process arising when a periodic polarizing structure is manufactured and which has a function as the wavelength converting element.例文帳に追加

周期分極構造を作製する上で問題となっていた反転の不均一性やプロセスの非再現性の問題が少なく、かつ波長変換としての機能を有する新しい構造を利用した波長変換素子を提供することにある。 - 特許庁

Then, the protective layer 52 directly above the MTJ laminate structure 20 is selectively removed by etching after selectively removing the silicon oxide layer 53 other than an MTJ laminate structure 20 region by planarizing and polishing the entire surface by the CMP process.例文帳に追加

その後、ＣＭＰプロセスにより全面を平坦化研磨してＭＴＪ積層構造２０領域以外のシリコン酸化物層５３を選択的に除去した後、エッチングにより、ＭＴＪ積層構造２０の真上にある保護層５２を選択的に除去する。 - 特許庁

To provide a structure and a manufacturing method capable of resolving inconvenience on a structure and a manufacturing process in connection between an optical element and an optical fiber (optical waveguide), and of effectively achieving optical coupling between an optical element and an optical fiber or an optical waveguide.例文帳に追加

光素子と光ファイバ（光導波路）との接続における構造上および製造工程上の不具合を解決し、光素子と光ファイバないしは光導波路との光結合が高効率に行える構造および製造方法を提供する。 - 特許庁

To inexpensively form a fine structure by a simple process not using photolithography, and more particularly, to uniformly form the fine structure by forming a medium to form the structure as a laminated configuration of a light absorption layer and a thermal reaction layer, and separating the light absorption layer which absorbs light and generates heat and the thermal reaction layer which reacts by heat and forms the structure.例文帳に追加

フォトリソグラフィーを用いない簡便なプロセスで微細な構造体を安価に形成すること、特に、構造体を形成する媒体を光吸収層と熱反応層の積層構成として、光を吸収し発熱する光吸収層と、熱により反応し構造体とする熱反応層を分離することにより、微細な構造体を均一に形成すること。 - 特許庁

In the etching process where a non-transfer region is dug down in order to form a mesa structure having a transfer region as the upper surface, an identification structure configuring a name mark, or the like, is formed simultaneously and an etching mask for forming the identification structure is formed to have a specific size corresponding to the height of the mesa structure having a transfer region as the upper surface.例文帳に追加

転写領域を上面とするメサ構造を形成するために非転写領域を掘り下げるエッチング工程において、同時にネームマーク等を構成する識別構造体を形成し、前記識別構造体形成用のエッチングマスクを、前記転写領域を上面とするメサ構造の高さに応じた特定の大きさに形成することにより、上記課題を解決する。 - 特許庁

An image coding processor 106 performs a first encoding process using the image type obtained by the decoding processor 101 and a second encoding process using the image type determined by the GOP structure determination part 105 on the decoding video data stream.例文帳に追加

画像符号化処理部１０６は、復号化ビデオデータストリームに対し、復号処理部１０１によって取得されたピクチャタイプを用いた第１の符号化処理、およびＧＯＰ構造決定部１０５によって決定されたピクチャタイプを用いた第２の符号化処理を行う。 - 特許庁

To simplify a process of manufacturing a liquid crystal display device which has a COT structure by laminating and forming a color filter at a position where a black matrix is formed, and then eliminating a process of forming a black matrix to decrease the number of masks.例文帳に追加

本発明は、ＣＯＴ構造を持つ液晶表示装置において、ブラックマトリクスが形成される位置にカラーフィルターを積層して形成することにより、ブラックマトリクスを形成する工程を削除してマスク数を低減し、製造工程を単純化すること。 - 特許庁

Manufacturing process is simplified because the structure and the electrodes are manufactured simultaneously and a six axes inertial sensor can be integrated on the same substrate by fabricating a three way angular speed sensor and a three way acceleration sensor on the same substrate by the same process.例文帳に追加

これにより、その構造体と電極が同時に製作されて工程が単純化され、３方向の角速度センサーと３方向の加速度センサーとを同一基板上に同一工程により製作できて６軸慣性センサーを同一基板上に集積化できる。 - 特許庁

To provide a container reversing device, small article discharging device, and small article discharge process method capable of conducting discharge process work of many small articles housed in a container while maintaining good yields of the small article with a low-cost device structure.例文帳に追加

容器内に多数収納された小物物品の排出処理作業を低コストな装置構成で小物物品の歩留りを良好に維持しつつ行い得る容器反転装置、小物物品排出装置、及び小物物品排出処理方法を提供する。 - 特許庁

There are provided: a process for production of an oxynitride fluorescent material using a metal halide as one of metal compounds to be used as the starting material when producing an oxynitride fluorescent material having Sr_3Al_3Si_13O_2N_21 crystal structure; and the fluorescent material produced by that process.例文帳に追加

Ｓｒ_３Ａｌ_３Ｓｉ_１３Ｏ_２Ｎ_２１結晶構造を有する緑色発光蛍光体の製造にあたり、原料として用いる金属化合物の一部に、金属ハロゲン化物を用いる、酸窒化物蛍光体の製造方法と、それにより製造される蛍光体。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a display apparatus, with the method having a sealing structure constituted by laminating an organic protective film and an inorganic protective film, where the problem is solved where when an organic protective film is formed by a wetting process, the frame width of the display apparatus cannot be fully reduced due to process errors.例文帳に追加

有機保護膜と無機保護膜との積層からなる封止構造の表示装置の製造方法において、有機保護膜をウェットプロセスで形成する場合、プロセス誤差によって、表示装置の額縁幅を十分に低減することができない。 - 特許庁

To obtain both a water-soluble PVA-based fiber capable of being efficiently passed through a dyeing process, a papermaking process, etc., having excellent water solubility in warm water and a fiber structure using the PVA- based fiber.例文帳に追加

染色工程や抄紙工程等を効率的に通過させることが可能であり、かつ温水に対して優れた水溶性を有する水溶性ＰＶＡ系繊維を提供することにあり、さらに該ＰＶＡ系繊維を用いてなる繊維構造体を提供するものである。 - 特許庁

A process for forming the via contact of the multi-layer wiring structure comprises an electroless plating process, in which a catalyst layer is provided on the bottom face of a via hole, a plating metal layer is grown upward of the via hole on the catalyst layer, and the via hole is filled with the plating metal layer.例文帳に追加

多層配線構造のビアコンタクト形成工程が、ビアホールの底面上に触媒層を設け、触媒層上にビアホールの上方に向ってめっき金属層を成長させ、めっき金属層でビアホールを充填する無電解めっき工程からなる。 - 特許庁

A method for producing an alpha-alumina-formed member on a surface of a base material comprises (1) a process for forming an alumina layer of an alpha-type crystal structure on at least a partial surface of the base material; and (2) a process for performing an ion bombardment treatment to the surface of the resulting alumina layer.例文帳に追加

基材表面にαアルミナ層が形成された部材を製造する方法であって、（１）基材の少なくとも一部の面に、α型結晶構造のアルミナ層を形成する工程、（２）得られたアルミナ層の表面にイオンボンバード処理を施す工程、を含む。 - 特許庁

To provide a manufacturing process of semiconductor device for controlling etching of the front surface of an element isolating film in the etching process of a silicon oxide film after element isolating film formation in the case where the element isolating film has a structure embedded within a semiconductor substrate.例文帳に追加

素子分離膜が半導体基板に埋め込まれた構造である場合、素子分離膜を形成した後の酸化シリコン膜のエッチング工程において、素子分離膜の表面がエッチングされることを抑制できる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a vibration damping structure and the like at a bolt junction part capable in which a viscoelastic body and the like can conduct effective vibration damping action as well as vibration damping deformation action both in a compression process by tension of a bolt and in a recovery process after compression.例文帳に追加

粘弾性体等が、ボルトの引張りによる圧縮過程においても、また圧縮後の復元過程においても、制振変形動作を行うことができて、効果的な制振作用を発現することができる、ボルト接合部における制振構造等を提供する。 - 特許庁

To provide a process cartridge attached to or detached from an image forming apparatus, the process cartridge being designed so as to reduce cost with a simple structure used for a light shield plate for opening or closing an exposure opening and a blocking member for blocking entry of foreign matter such as dust, thereby reducing the number of components.例文帳に追加

画像形成装置に着脱されるプロセスカートリッジにおいて、露光開口を開閉する遮光板と、塵埃など異物侵入を遮蔽する遮蔽部材とを兼用できる簡素な構造を実現して、部品点数の半減化によってコストを低減させる。 - 特許庁

The manufacturing method comprises a primary process in which a straight glass tube 1 is processed to make its both ends standing on different levels in a single spiral structure, with a process of forming a phosphor membrane in which the phosphor membrane is formed inside of a spiral glass tube 6, and a secondary process in which the spiral glass tube that has the phosphor membrane is processed to become circular in the same plane.例文帳に追加

直管状ガラス管１を、その両端部が段違いになるように一重の螺旋状に加工する１次加工工程と、螺旋状ガラス管６の内面に蛍光体膜を形成する蛍光体膜形成工程と、蛍光体膜を形成した螺旋状ガラス管を、同一平面に沿った環状に加工する２次加工工程とを含んでいる。 - 特許庁

This method of manufacturing the carbon nanotube-metal nanoparticle composite material includes a first process of forming a self-organized structure of an organic molecule on the surface of the carbon nanotube, a second process of bonding a metal ion to a terminal end of the organic molecule, and a third process of generating a metal nanoparticle by reducing the metal ion.例文帳に追加

本発明のカーボンナノチューブ‐金属ナノ粒子複合材料の製造方法は、カーボンナノチューブの表面に有機分子の自己組織化構造を形成させる第１工程と、該有機分子の末端に金属イオンを結合させる第２工程と、該金属イオンを還元して金属ナノ粒子を生成させる第３工程と、を有している。 - 特許庁

Related to a manufacturing process for a semiconductor device of a cobalt silicide process structure on a cobalt film 37 formed over a silicide formation region, an oxidation suppressing film (cobalt nitride film 38) comprising the same component as the cobalt film 37 is laminated, and then via the cobalt nitride film 38, a process is included in which the cobalt film 37 is thermally processed for siliciding.例文帳に追加

コバルトシリサイドプロセス構造の半導体装置の製造方法において、シリサイド形成領域上に形成したコバルト膜３７上にこのコバルト膜３７と同一成分を含む酸化抑止膜（窒化コバルト膜３８）を積層した後に、この窒化コバルト膜３８を介して前記コバルト膜３７を熱処理してシリサイド化する工程とを有することを特徴とする。 - 特許庁

To provide a conveying device capable of supplying wet mixture of constant quality to a subsequent process with a small rate of a change in water content in the wet mixture before and after a conveying process, and capable of preventing generation of a crack and cell shortage on an extruded molded body especially when used in a manufacturing process of a honeycomb structure.例文帳に追加

搬送工程前後における湿潤混合物の水分含有量変化率が小さく、後の工程に一定品質の湿潤混合物を供給することができる搬送装置であり、特にハニカム構造体の製造工程に用いた場合に、押出された成形体にクラック、セル切れ等が発生することを防止することができる搬送装置を提供する。 - 特許庁

Thus, the prepared directory structure is used in a program so that it is possible to operate information processing for registering a work operated in each working process in a process management system, or for collecting or working data by using the process management system, and that it is possible to operate necessary slip outputs or prepared data verification or the like.例文帳に追加

作成されたディレクトリ構造をプログラム中で利用することにより、各加工工程で行った作業を工程管理システムに登録したり、あるいは、工程管理システムを使用してデータを収集したり加工するといった情報処理を行い、必要な帳票出力や、または作成データの検証等を行うことができる。 - 特許庁

The method for producing a solid oxide sintered film having a laminate structure comprises an electrodeposition process for adhering solid oxide particles on the surface of the solid oxide sintered film as a substrate in a film-like shape by a migration electrodeposition method and a burning process for burning the solid oxide sintered film having the solid oxide particle film obtained in the electrodeposition process on the surface.例文帳に追加

基材としての固体酸化物焼結膜の表面上に固体酸化物粒子を泳動電着法により膜状に付着させる電着工程と、該電着工程で得られた固体酸化物粒子膜を表面に有する固体酸化物焼結膜を焼成する焼成工程とからなる積層構造の固体酸化物焼結膜の製造方法。 - 特許庁

This continuous method for producing tetracyclododecenes having a specific structure comprises (1) a process of reacting 2-norbornenes, cyclopentadiene or dicyclopentadiene with an olefin, (2) a process of separating and recovering the tetracyclododecenes and (3) a process of discarding at least 1 mass % of residual heavy substance to the out of system and recycling the rest.例文帳に追加

（１）２−ノルボルネン類、シクロペンタジエンまたはジシクロペンタジエン、およびオレフィンを反応させる工程、（２）テトラシクロドデセン類を分離回収する工程、（３）残さである重質分の少なくとも１質量％を反応系外に廃棄し、残余を反応器に循環させる工程からなる、特定構造を有するテトラシクロドデセン類の連続的製造方法。 - 特許庁

To provide a manufacturing process of an electronic apparatus employing tin-zinc solder in which moisture-resistant lifetime can be enhanced, by performing heat treatment process within a range from the solid phase temperature of solder to the heat-resistant temperature of a component following to ordinary mounting in the mounting process of an electronic component 8 employing tin-zinc solder, and to provide its bonding structure.例文帳に追加

錫−亜鉛はんだを用いた電子部品８の実装プロセスにおいて,通常の実装を行った後、はんだの固相温度から部品耐熱性温度の範囲内で熱処理プロセスを行うことにより、錫−亜鉛はんだを用いた電子機器で、耐湿寿命を向上することができる製造プロセス及びその接合構造を提供する。 - 特許庁

The method of forming an element isolating structure comprises an etching process of cutting the trenches 5 in a semiconductor substrate for isolating an element, a surface treating process of making the semiconductor substrate undergo plasma processing, and an embedding process of embedding the insulating film 7 in the trenches 5.例文帳に追加

半導体基板に素子分離のためのトレンチ部５を形成するエッチング工程と、前記トレンチ部に絶縁膜７を埋め込む、埋め込み工程とを有する素子分離構造形成方法であって、前記埋め込み工程の前に、前記半導体基板をプラズマ処理する表面処理工程を設けたことを特徴とする素子分離構造形成方法。 - 特許庁

The method for manufacturing a polyimide benzooxazole film comprises a first process of forming a polyamic acid by reacting aromatic diamines with a benzooxazole structure and aromatic tetracarboxylic anhydrides, a second process of coating a substrate with a solution containing the polyamic acid and drying it, to obtain a green film, and a third process of heat-treating the green film by the below described two stages.例文帳に追加

ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類と、芳香族テトラカルボン酸無水物類とを反応させてポリアミド酸を得る第１の工程と、ポリアミド酸を含む溶液を支持体上に塗布し乾燥してグリーンフィルムを得る第２の工程と、グリーンフィルムを下記の２段階で熱処理する第３の工程とを含む、ポリイミドベンゾオキサゾールフィルムの製造方法。 - 特許庁

A method to form a SiGe/SOI structure contains a process in which an on-insulator silicon substrate comprising a buried oxide layer is provided, a process in which a silicon germanium layer is deposited on the substrate and a process in which the silicon germanium layer on the substrate is annealed for a time of at least 1 sec at a temperature of at least 1,050°C.例文帳に追加

本発明によるＳｉＧｅ／ＳＯＩ構造を形成する方法は、埋め込み酸化物層を含む絶縁体上シリコン基板を提供する工程と、基板にシリコンゲルマニウム層を堆積する工程と、基板上の該シリコンゲルマニウム層を少なくとも１０５０℃の温度で少なくとも１秒の時間、アニーリングする工程とを包含する。 - 特許庁

This manufacturing method of a sample for a transmission type electron microscope includes a process for forming a protective film of an amorphous structure to the observation cross section of the specific place of a semiconductor device, a process for removing the periphery of the observation cross section to which the protective film is formed and a process for forming the region containing the protective film into a thin film state.例文帳に追加

透過型電子顕微鏡用の試料の作製方法において、半導体デバイスの特定箇所の観察断面に非晶質構造の保護膜を形成する工程と；前記保護膜が形成された観察断面の周囲を除去する工程と；少なくとも前記保護膜を含む領域を薄膜化する工程とを含むことを特徴とする。 - 特許庁

In the manufacturing process of a PDP having the structure formed through the burning process, a temperature profile in the burning process has a plurality of temperature rise steps of temperature rise speed until top keep temperature Tp is reached and does not have a period, where temperature until the top keep temperature Tp is reached is made constant.例文帳に追加

焼成工程を経て形成される構造物を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記焼成工程の温度プロファイルが、トップキープ温度Ｔｐに至るまでに複数の昇温速度の昇温ステップを有し、且つ、トップキープ温度Ｔｐに至るまでに温度を一定とする期間を有さないことを特徴とするものである。 - 特許庁

A method for producing the mold includes the production process for producing a matrix 13 having the prescribed minute uneven structure 12 and an electroformed mold 14 from the matrix 13, the centering process for centering the matrix 13 and a backing member 17 by using a side surface 11a of the matrix 13 as a criterion, and the fixing process for fixing the electroformed mold 14 and the backing member 17.例文帳に追加

金型の製造方法において、所定の微細凹凸構造１２を有する母型１３と当該母型１３から電鋳型１４を作成する作成工程と、母型１３と裏打ち部材１７とを母型１３の側面１１ａを基準として芯出しする芯出し工程と、電鋳型１４と裏打ち部材１７とを固定する固定工程とを有する。 - 特許庁

The method for manufacturing a capacitor includes an application process for applying a solution containing a plurality of carbon nanotubes to which functional groups are coupled to the surface of a base body, and a bridging process for forming the carbon nanotube structure constituting the network structure in which the plurality of carbon nanotubes are mutually bridged by chemically coupling these functional groups so that the carbon nanotube structure is constituted as at least one electrode out of the pair of opposed electrodes.例文帳に追加

官能基が結合された複数のカーボンナノチューブを含む溶液を基体表面に塗布する塗布工程と、複数の前記官能基間を化学結合させて、前記複数のカーボンナノチューブが相互に架橋した網目構造を構成するカーボンナノチューブ構造体を形成する架橋工程とを含み、前記カーボンナノチューブ構造体を前記対向する一対の電極の少なくとも一方の電極として構成したコンデンサの製造方法。 - 特許庁

To provide a measuring apparatus which can precisely, simply, and quickly specify measuring pattern species, measure a film thickness and process end points in a film eliminating process and a film forming process, for a substrate having a pattern structure constituted of various pattern species, a substrate in an STI(shallow trench isolation) process and a substrate in a Cu process in which a barrier metal layer exists.例文帳に追加

様々なパターン種から構成されるパターン構造を有する基板、更にＳＴＩ工程の基板及びバリアメタル層の存在するＣｕ工程の基板に対しても、測定しているパターン種（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ）の特定、膜厚の測定、膜の除去工程、成膜工程に於ける工程終了点の測定を精度良く、簡便、且つ高速に行うことができる測定装置及び測定方法及びこの測定装置を用いた研磨装置及びこの測定方法を用いた研磨方法を提供すること。 - 特許庁